JP6474289B2 - Optical rotary encoder - Google Patents

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Description

本発明は、回転角度を検出する光学式ロータリーエンコーダに関する。特に、レーザマーキング装置のガルバノミラーの揺動範囲等の回転角度を検出する光学式ロータリーエンコーダに関する。   The present invention relates to an optical rotary encoder that detects a rotation angle. In particular, the present invention relates to an optical rotary encoder that detects a rotation angle such as a swing range of a galvanometer mirror of a laser marking device.

レーザマーキング装置は、ヘッド及びコントローラを有するレーザマーカと、ユーザの指示に応じて印字データを生成する印字データ生成装置とで構成される。レーザマーカのヘッド(マーキングヘッド)には、印字データを印字するためにX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の各軸のスキャナに備えるガルバノミラーを精緻に揺動させる必要があり、回転角度を検出する検出手段として光学式のエンコーダを備えている。   The laser marking device includes a laser marker having a head and a controller, and a print data generation device that generates print data in accordance with a user instruction. The laser marker head (marking head) needs to precisely swing the galvanometer mirror provided in the scanner of each axis in the X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction in order to print the print data. An optical encoder is provided as detection means for detection.

例えば特許文献1には、反射部と非反射部とを周方向に交互に配置した円板状のスケールと、一対の発光部と受光部とで構成されたセンサを備える反射型の光学式ロータリーエンコーダが開示されている。特許文献1では、センサの相互干渉を防ぐために、スケールの外周部において、互いに対向する位置にセンサが配置されている。   For example, Patent Document 1 discloses a reflective optical rotary including a sensor composed of a disk-shaped scale in which reflecting portions and non-reflecting portions are alternately arranged in the circumferential direction, and a pair of light emitting portions and light receiving portions. An encoder is disclosed. In Patent Document 1, in order to prevent mutual interference of sensors, sensors are arranged at positions facing each other on the outer periphery of the scale.

また、特許文献2には反射型の光学式回転エンコーダが開示されている。特許文献2では、光源と受光素子とを近接して配置しており、乱反射光を受光素子で受光しないよう、スリットが形成されているレチクル基板を備えている。   Patent Document 2 discloses a reflective optical rotary encoder. In Patent Document 2, a light source and a light receiving element are arranged close to each other, and a reticle substrate on which slits are formed is provided so that irregularly reflected light is not received by the light receiving element.

特開2001−188017号公報JP 2001-188017 A 特表2010−501857号公報Special table 2010-501857 gazette

しかし、従来のロータリーエンコーダでは、原点位置を特定するための原点センサは、インクリメンタルセンサが配置されているスケールディスクの外周部よりも内側に配置されているため、原点信号の受光量の立ち上がりが急峻ではないという問題点があった。また、原点センサが、外周部からのインクリメンタル信号の正弦波を受光することにより、光学的な干渉が生じるおそれがあるという問題点もあった。   However, in the conventional rotary encoder, the origin sensor for specifying the origin position is arranged on the inner side of the outer periphery of the scale disk on which the incremental sensor is arranged. There was a problem that it was not. In addition, there is a problem that optical interference may occur when the origin sensor receives a sine wave of an incremental signal from the outer periphery.

特許文献2では、上記問題点を解消するべく、光路を制限するレチクル基板を設けている。その分、エンコーダを薄くすることが困難であるとともに、部品点数が増加することによりコスト増の原因にもなる。   In Patent Document 2, a reticle substrate for limiting the optical path is provided in order to solve the above problems. Accordingly, it is difficult to make the encoder thin, and the increase in the number of parts causes an increase in cost.

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で、光学的干渉を抑制することが可能な光学式ロータリーエンコーダを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide an optical rotary encoder capable of suppressing optical interference with a simple configuration.

上記目的を達成するために第1発明に係る光学式ロータリーエンコーダは、光学式ロータリーエンコーダにおいて、反射部と非反射部とで構成されたスケールを備えるスケールディスクと、発光部と受光部とを備えるセンサとを有しており、前記センサは、インクリメンタル信号を出力するインクリメンタル信号出力センサ、及び原点位置信号を出力する原点位置信号出力センサであり、前記スケールは、前記インクリメンタル信号出力センサの検知対象となるインクリメンタルスケール部と、前記原点位置信号出力センサの検知対象となる原点スケール部とで構成されており、前記インクリメンタルスケール部の中央と前記原点スケール部とは、前記スケールディスクの外周部の同一円周上であって、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度以上になる位置に配置されており、前記インクリメンタルスケール部は、第1のインクリメンタルスケール部と第2のインクリメンタルスケール部とを有し、前記原点スケール部は、第1の原点スケール部と第2の原点スケール部とを有し、前記第1のインクリメンタルスケール部の中央と前記第1の原点スケール部とは、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置され、前記第1の原点スケール部と前記第2のインクリメンタルスケール部とは、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置され、前記第2のインクリメンタルスケール部の中央と前記第2の原点スケール部とは、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, an optical rotary encoder according to a first aspect of the present invention is an optical rotary encoder, comprising a scale disk including a scale composed of a reflective portion and a non-reflective portion, a light emitting portion, and a light receiving portion. A sensor, an incremental signal output sensor for outputting an incremental signal, and an origin position signal output sensor for outputting an origin position signal, wherein the scale is a detection target of the incremental signal output sensor. And an origin scale part to be detected by the origin position signal output sensor, and the center of the incremental scale part and the origin scale part are the same circle on the outer periphery of the scale disk. Around the center of rotation of the scale disk Corner is disposed at a position equal to or greater than 90 degrees, the incremental scale unit includes a first incremental scale portion and a second incremental scale unit, the origin scale unit, the first origin scale section And the second origin scale portion, and the center of the first incremental scale portion and the first origin scale portion are arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees. The first origin scale portion and the second incremental scale portion are arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees, and the center of the second incremental scale portion and the second incremental scale portion are arranged. the second origin scale unit, be characterized in that the central angle of the rotation center of the scale disc is disposed at a position at 90 degrees .

第1発明では、スケールが、インクリメンタル信号出力センサの検知対象となるインクリメンタルスケール部と、原点位置信号検出センサの検知対象となる原点スケール部とで構成されており、インクリメンタルスケール部の中央と原点スケール部とは、スケールディスクの外周部の同一円周上であって、スケールディスクの回転中心の中心角が90度以上になる位置に配置されている。これにより、インクリメンタルスケール部の中央と原点スケール部とを離して配置することができ、インクリメンタル信号出力センサと原点位置信号出力センサとの間で光学的干渉が生じることを未然に回避することが可能となる。また、インクリメンタルスケール部と原点スケール部とが、スケールディスクの外周部の同一円周上に配置されていることから、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。
また、第1のインクリメンタルスケール部の中央と第1の原点スケール部とは、スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置され、第1の原点スケール部と第2のインクリメンタルスケール部とは、スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置され、第2のインクリメンタルスケール部の中央と第2の原点スケール部とは、スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置されているので、スケールディスクの回転中心の中心角の90度ごとに原点位置信号出力センサとインクリメンタル信号出力センサとを交互に配置することができ、原点位置信号を確実に検出することが可能となる。
In the first invention, the scale is composed of an incremental scale portion that is to be detected by the incremental signal output sensor and an origin scale portion that is to be detected by the origin position signal detection sensor, and the center of the incremental scale portion and the origin scale. The part is arranged on the same circumference of the outer peripheral part of the scale disk and at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees or more. As a result, the center of the incremental scale portion and the origin scale portion can be arranged apart from each other, and it is possible to avoid optical interference between the incremental signal output sensor and the origin position signal output sensor. It becomes. In addition, since the incremental scale part and the origin scale part are arranged on the same circumference of the outer periphery of the scale disk, the rise of the light reception amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy is improved. It becomes possible.
Further, the center of the first incremental scale portion and the first origin scale portion are arranged at a position where the center angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees, and the first origin scale portion and the second incremental scale portion are arranged. The section is arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees, and the center angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees between the center of the second incremental scale section and the second origin scale section. Since it is arranged at the position where the degree is rotated, the origin position signal output sensor and the incremental signal output sensor can be alternately arranged every 90 degrees of the center angle of the rotation center of the scale disk, so that the origin position signal is reliably transmitted. It becomes possible to detect.

また、第2発明に係る光学式ロータリーエンコーダは、第1発明において、前記スケールは、前記反射部と前記非反射部とが同一円周上で交互に形成され、前記スケールは、前記反射部と前記非反射部との境界を前記原点スケール部とし、前記原点スケール部と前記インクリメンタルスケール部との間は、前記反射部又は前記非反射部のいずれかが連続して形成されていることが好ましい。   The optical rotary encoder according to a second aspect of the present invention is the optical rotary encoder according to the first aspect, wherein the scale includes the reflective portion and the non-reflective portion alternately formed on the same circumference, and the scale includes the reflective portion and the scale. It is preferable that the boundary with the non-reflective part is the origin scale part, and either the reflective part or the non-reflective part is continuously formed between the origin scale part and the incremental scale part. .

第2発明では、スケールが、反射部と非反射部とが同一円周上に交互に形成されており、スケールは、反射部と非反射部との境界を原点スケール部とし、原点スケール部とインクリメンタルスケール部との間は、反射部又は非反射部のいずれかが連続して形成されているので、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。   In the second invention, the scale is formed such that the reflective portion and the non-reflective portion are alternately formed on the same circumference, and the scale has the boundary between the reflective portion and the non-reflective portion as the origin scale portion, Since either the reflective part or the non-reflective part is formed continuously with the incremental scale part, the rise of the light reception amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy can be improved. It becomes.

また、第3発明に係る光学式ロータリーエンコーダは、第2発明において、前記スケールは、前記反射部と前記非反射部とが同一円周上で交互に形成され、前記スケールの前記インクリメンタルスケール部と前記原点スケール部とを除く部分は、前記反射部又は前記非反射部のいずれかとなるよう形成されていることが好ましい。   The optical rotary encoder according to a third aspect of the present invention is the optical rotary encoder according to the second aspect, wherein the scale includes the reflective portion and the non-reflective portion that are alternately formed on the same circumference, and the incremental scale portion of the scale. The portion excluding the origin scale portion is preferably formed to be either the reflective portion or the non-reflective portion.

第3発明では、スケールは、スケールは、反射部と非反射部とが同一円周上で交互に形成され、スケールのインクリメンタルスケール部と原点スケール部とを除く部分は、反射部又は非反射部のいずれかとなるよう形成されているので、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。   In the third aspect of the invention, the scale is configured such that the reflective portion and the non-reflective portion are alternately formed on the same circumference, and the portion other than the incremental scale portion and the origin scale portion of the scale is the reflective portion or the non-reflective portion. Therefore, the rising of the received light amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy can be improved.

また、第発明に係る光学式ロータリーエンコーダは、第1乃至第発明のいずれか1つにおいて、前記センサは、前記発光部と前記受光部とが、前記スケールディスクの外周部の同一円周上に隣接して配置されていることが好ましい。 The optical rotary encoder according to a fourth aspect of the present invention is the optical rotary encoder according to any one of the first to third aspects, wherein the light emitting unit and the light receiving unit have the same circumference of the outer peripheral portion of the scale disk. It is preferable that they are arranged adjacent to each other.

発明では、センサは、発光部と受光部とが、スケールディスクの外周部の同一円周上に隣接して配置されているので、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。 In the fourth aspect of the invention, since the light emitting portion and the light receiving portion are arranged adjacent to each other on the same circumference of the outer peripheral portion of the scale disk, the rising of the received light amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position Detection accuracy can be improved.

本発明によれば、インクリメンタルスケール部の中央と原点スケール部とを離して配置することができ、インクリメンタル信号出力センサと原点位置信号出力センサとの間で光学的干渉が生じることを未然に回避することが可能となる。また、インクリメンタルスケール部と原点スケール部とが、スケールディスクの外周部の同一円周上に配置されていることから、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。さらに、スケールディスクの回転中心の中心角の90度ごとに原点位置信号出力センサとインクリメンタル信号出力センサとを交互に配置することができ、原点位置信号を確実に検出することが可能となる。 According to the present invention, the center of the incremental scale portion and the origin scale portion can be arranged apart from each other, and optical interference between the incremental signal output sensor and the origin position signal output sensor can be avoided in advance. It becomes possible. In addition, since the incremental scale part and the origin scale part are arranged on the same circumference of the outer periphery of the scale disk, the rise of the light reception amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy is improved. It becomes possible. Further, the origin position signal output sensor and the incremental signal output sensor can be alternately arranged every 90 degrees of the center angle of the rotation center of the scale disk, so that the origin position signal can be reliably detected.

本発明の実施の形態に係るレーザマーキング装置の構成を模式的に示すブロック図である。It is a block diagram showing typically the composition of the laser marking device concerning an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態に係るレーザマーキング装置の、固体レーザマーカを用いる場合の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure in the case of using the solid state laser marker of the laser marking apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダの構成を示す二面図である。It is a double view which shows the structure of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダの角度検出原理の説明図である。It is explanatory drawing of the angle detection principle of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダの原点センサ及びインクリメンタルセンサの配置例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of arrangement | positioning of the origin sensor and incremental sensor of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダの原点センサの受光感度の例示図である。It is an illustration figure of the light reception sensitivity of the origin sensor of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダのインクリメンタルセンサの受光感度の例示図である。It is an illustration figure of the light reception sensitivity of the incremental sensor of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダのスケールの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the scale of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダの原点センサ及びインクリメンタルセンサの他の配置例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other example of arrangement | positioning of the origin sensor and incremental sensor of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダのスケールの他の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other structure of the scale of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダの原点センサ及びインクリメンタルセンサの他の配置例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other example of arrangement | positioning of the origin sensor and incremental sensor of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダのスケールの他の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other structure of the scale of the optical rotary encoder which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダについて、図面に基づいて具体的に説明する。以下の実施の形態では、レーザマーキング装置のガルバノミラーの回転角度を検出する光学式ロータリーエンコーダについて説明する。   Hereinafter, an optical rotary encoder according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the drawings. In the following embodiments, an optical rotary encoder that detects the rotation angle of a galvanometer mirror of a laser marking device will be described.

図1は、本発明の実施の形態に係るレーザマーキング装置の構成を模式的に示すブロック図である。図1に示すように、本実施の形態に係るレーザマーキング装置10は、マーキングヘッド1と、マーキングヘッド1の動作を制御するコントローラ2と、コントローラ2とデータ通信することが可能に接続されている印字データ生成装置3とで構成されている。印字データ生成装置3は、コントローラ2に対して印字データを展開データとして送信する。印字データ生成装置3は、展開データを生成するプログラムをインストールしたコンピュータ、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)等で構成されることが好ましい。   FIG. 1 is a block diagram schematically showing a configuration of a laser marking device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, a laser marking device 10 according to the present embodiment is connected to a marking head 1, a controller 2 that controls the operation of the marking head 1, and data communication with the controller 2. The print data generating device 3 is used. The print data generation device 3 transmits the print data to the controller 2 as expanded data. The print data generation device 3 is preferably composed of a computer, a programmable logic controller (PLC) or the like in which a program for generating development data is installed.

コントローラ2には、必要に応じて各種外部機器4が接続される。外部機器4としては、例えばライン上に搬送されるワークWの種別、位置等を確認するイメージセンサ等の画像認識装置401、ワークWとマーキングヘッド1との距離に関する情報を取得する変位計等の距離測定装置402、所定のシーケンスに従って機器の制御を行うPLC403、ワークWの通過を検出するPDセンサ、その他各種のセンサ等を例示的に挙げることができる。   Various external devices 4 are connected to the controller 2 as necessary. Examples of the external device 4 include an image recognition device 401 such as an image sensor for confirming the type and position of the workpiece W conveyed on the line, a displacement meter for acquiring information on the distance between the workpiece W and the marking head 1, and the like. The distance measuring device 402, the PLC 403 that controls the device according to a predetermined sequence, the PD sensor that detects the passage of the workpiece W, various other sensors, and the like can be exemplified.

レーザマーキング装置10は、ワークWの表面に印字する印字パターンを設定し、ワークWの表面に印字する。図2は、本発明の実施の形態に係るレーザマーキング装置10の、固体レーザマーカを用いる場合の構成を示すブロック図である。なお、印字とは、文字、記号、図形等のマーキングを意味しており、具体的には、ひらがな、カタカナ、漢字、アルファベット、数字、記号、絵文字、アイコン、ロゴ、バーコード、二次元コード等のグラフィックを含む。また、レーザマーキング装置10として固体レーザマーカを用いることに限定されるものではなく、例えばファイバレーザマーカを用いても良い。   The laser marking device 10 sets a print pattern to be printed on the surface of the workpiece W and prints on the surface of the workpiece W. FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the laser marking device 10 according to the embodiment of the present invention when a solid-state laser marker is used. Note that printing means marking of characters, symbols, figures, etc., specifically hiragana, katakana, kanji, alphabet, numbers, symbols, pictograms, icons, logos, barcodes, two-dimensional codes, etc. Includes graphics. Moreover, it is not limited to using a solid laser marker as the laser marking apparatus 10, For example, you may use a fiber laser marker.

レーザマーキング装置10は、コントローラ2(レーザ光発生部200及びレーザ光制御部201を含む)とマーキングヘッド1(レーザ出力部202)とを含み、レーザ出力部202に含まれるレーザ発振部204のレーザ媒質206で発振されたレーザビームLbをワークWの表面で二次元状に走査させることでワークWの表面に印字する。印字動作を制御する印字信号は、レーザビームLbのオンオフ信号であり、1パルスが発振されるレーザビームLbの1パルスに対応するPWM信号である。PWM信号は、周波数に応じたデューティ比に基づいてレーザ強度を規定することができる。変形例として、周波数に基づいた走査速度によってレーザ強度を規定しても良い。   The laser marking device 10 includes a controller 2 (including a laser light generation unit 200 and a laser light control unit 201) and a marking head 1 (laser output unit 202), and a laser of a laser oscillation unit 204 included in the laser output unit 202. The laser beam Lb oscillated by the medium 206 is scanned on the surface of the work W in a two-dimensional manner to print on the surface of the work W. The print signal for controlling the print operation is an on / off signal of the laser beam Lb, and is a PWM signal corresponding to one pulse of the laser beam Lb from which one pulse is oscillated. The PWM signal can define the laser intensity based on a duty ratio corresponding to the frequency. As a modification, the laser intensity may be defined by the scanning speed based on the frequency.

レーザ光発生部200は、レーザ励起光源208と集光部210とを備え、レーザ励起光源208には電源から定圧電源が供給される。レーザ励起光源208は、半導体レーザ、ランプ等で構成される。具体的には、レーザ励起光源208は、複数の半導体レーザダイオード素子を直線状に並べたレーザダイオードアレイで構成され、各素子からのレーザ発振がライン状に出力され、集光部210の入射面に入射される。   The laser light generation unit 200 includes a laser excitation light source 208 and a condensing unit 210, and a constant pressure power source is supplied from the power source to the laser excitation light source 208. The laser excitation light source 208 is constituted by a semiconductor laser, a lamp, or the like. Specifically, the laser excitation light source 208 is configured by a laser diode array in which a plurality of semiconductor laser diode elements are arranged in a straight line, and laser oscillation from each element is output in a line shape. Is incident on.

レーザ光発生部200とレーザ出力部202とは、光ファイバケーブル212によって連結され、レーザ光発生部200が生成したレーザ励起光は、上述したレーザ媒質206に入射される。レーザ媒質206は、ロッド状の固体レーザ媒質(例えばNd:YVO4 )で構成され、一方の端面からレーザ励起光を入力して励起され、他方の端面からレーザビームLbを出射する、いわゆるエンドポンピングによる励起方式が採用されている。レーザ媒質206は、固体レーザ媒質に波長変換素子を組み合わせて、出力されるレーザビームLbの波長を任意の波長に変換できるようにしても良い。 The laser beam generator 200 and the laser output unit 202 are connected by an optical fiber cable 212, and the laser excitation light generated by the laser beam generator 200 is incident on the laser medium 206 described above. The laser medium 206 is composed of a rod-shaped solid laser medium (for example, Nd: YVO 4 ), is excited by inputting laser excitation light from one end face, and emits a laser beam Lb from the other end face, so-called end pumping. The excitation method by is adopted. The laser medium 206 may be configured such that the wavelength of the laser beam Lb to be output can be converted to an arbitrary wavelength by combining a solid-state laser medium with a wavelength conversion element.

レーザ媒質206は、上述した固体レーザ媒質の代わりに、レーザビームを発振させる共振器で構成することなく、波長変換のみを行う波長変換素子で構成しても良い。この場合、半導体レーザの出力光に対して波長変換を行えば良い。   The laser medium 206 may be formed of a wavelength conversion element that performs only wavelength conversion without using a resonator that oscillates a laser beam, instead of the solid-state laser medium described above. In this case, wavelength conversion may be performed on the output light of the semiconductor laser.

波長変換素子としては、例えばKTP(KTiPO4 )、有機非線形光学材料や他の無機非線形光学材料、例えばKN(KNbO3 )、KAP(KAsPO4 )、BBO、LBO、バルク型の分極反転素子(LiNbO3 (Periodically Poled Lithium Niobate:PPLN)、LiTaO3 等)が利用できる。また、Ho、Er、Tm、Sm、Nd等の希土類をドープしたフッ化物ファイバを用いたアップコンバージョンによるレーザの励起光源用半導体レーザを用いることもできる。 Examples of the wavelength conversion element include KTP (KTiPO 4 ), organic nonlinear optical materials and other inorganic nonlinear optical materials such as KN (KNbO 3 ), KAP (KAsPO 4 ), BBO, LBO, and bulk polarization inversion elements (LiNbO). 3 (Periodically Poled Lithium Niobate: PPLN), LiTaO 3, etc.) can be used. Further, a semiconductor laser for an excitation light source of a laser by up-conversion using a fluoride fiber doped with rare earth such as Ho, Er, Tm, Sm, and Nd can be used.

レーザ出力部202は、レーザビームLbを発振させる上述したレーザ発振部204を備えている。レーザ発振部204は、上述したレーザ媒質206が放出する誘導放出光の光路に沿って所定の距離を隔てて対向配置された出力ミラー及び全反射ミラーと、これらの間に配されたアパーチャ、Qスイッチ等を備えている。レーザ媒質206が放出する誘導放出光を、出力ミラーと全反射ミラーとの間における多重反射により増幅し、Qスイッチの動作により短周期にて通断しつつアパーチャによりモード選別して、出力ミラーを経てレーザビームLbを出射する。   The laser output unit 202 includes the above-described laser oscillation unit 204 that oscillates the laser beam Lb. The laser oscillation unit 204 includes an output mirror and a total reflection mirror that face each other at a predetermined distance along the optical path of the stimulated emission light emitted from the laser medium 206 described above, an aperture disposed between them, and a Q A switch is provided. The stimulated emission light emitted from the laser medium 206 is amplified by multiple reflection between the output mirror and the total reflection mirror, and the mode is selected by the aperture while being cut off in a short period by the operation of the Q switch, and the output mirror is Then, the laser beam Lb is emitted.

レーザ発振部204として、CO2 やヘリウム−ネオン、アルゴン、窒素等の気体を媒質として用いる気体レーザ方式を採用しても良い。例えば炭酸ガスレーザを用いた場合、レーザ発振部204は、内蔵電極を含むレーザ発振部204の内部に炭酸ガス(CO2 )が充填され、コントローラ2から与えられる印字信号に基づいて内蔵電極により炭酸ガスを励起してレーザ発振させる。 As the laser oscillation unit 204, a gas laser system using a gas such as CO 2 , helium-neon, argon, or nitrogen as a medium may be employed. For example, when a carbon dioxide laser is used, the laser oscillation unit 204 is filled with carbon dioxide (CO 2 ) inside the laser oscillation unit 204 including the built-in electrode, and the carbon dioxide gas is produced by the built-in electrode based on a print signal given from the controller 2. Is excited to cause laser oscillation.

レーザビーム走査系220は、レーザ発振部204と光路を一致させたZ軸スキャナを内蔵するビームエキスパンダ242と、X軸スキャナ224と、X軸スキャナ224と直交するよう配置されたY軸スキャナ226とを備える。レーザビーム走査系220は、レーザ発振部204から出射されるレーザビームLbを、X軸スキャナ224及びY軸スキャナ226でワークWの表面上の作業領域で二次元状に走査させる。   The laser beam scanning system 220 includes a beam expander 242 that incorporates a Z-axis scanner whose optical path coincides with the laser oscillation unit 204, an X-axis scanner 224, and a Y-axis scanner 226 that is arranged to be orthogonal to the X-axis scanner 224. With. The laser beam scanning system 220 causes the X-axis scanner 224 and the Y-axis scanner 226 to scan the laser beam Lb emitted from the laser oscillation unit 204 two-dimensionally in the work area on the surface of the workpiece W.

X軸スキャナ224及びY軸スキャナ226は、光を反射する反射面として全反射ミラーであるガルバノミラー224a、226a、ガルバノミラー224a、226aを回動軸に固定して回動するためのガルバノモータ224b、226bと、回動軸の回転位置を検出して位置信号として出力する位置検出部として、それぞれ本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cを備える。また、X軸スキャナ224、Y軸スキャナ226は、スキャナ駆動回路228に接続されている。スキャナ駆動回路228はコントローラ2に接続されており、コントローラ2から供給される制御信号に基づいてX軸スキャナ224、Y軸スキャナ226を駆動する。   The X-axis scanner 224 and the Y-axis scanner 226 are galvano motors 224b for rotating with galvano mirrors 224a, 226a, galvano mirrors 224a, 226a, which are total reflection mirrors, as reflecting surfaces that reflect light. 226b, and optical rotary encoders 224c and 226c according to the present invention, respectively, are provided as position detection units that detect the rotational position of the rotation shaft and output it as a position signal. The X-axis scanner 224 and the Y-axis scanner 226 are connected to the scanner drive circuit 228. The scanner driving circuit 228 is connected to the controller 2 and drives the X-axis scanner 224 and the Y-axis scanner 226 based on a control signal supplied from the controller 2.

ビームエキスパンダ242は、レーザ媒質206から出射するレーザビームLbのスポット径を調整する。スポット径を調整することで、ワーキングディスタンス(焦点距離)を調整することができる。すなわち、ビームエキスパンダ242で入射レンズと出射レンズとの相対距離を変化させることで、レーザビームLbのビーム径を拡大/縮小し、焦点位置を変化させることができる。   The beam expander 242 adjusts the spot diameter of the laser beam Lb emitted from the laser medium 206. By adjusting the spot diameter, the working distance (focal length) can be adjusted. That is, by changing the relative distance between the entrance lens and the exit lens by the beam expander 242, the beam diameter of the laser beam Lb can be enlarged / reduced, and the focal position can be changed.

ビームエキスパンダ242、X軸スキャナ224、Y軸スキャナ226の動作を制御することにより、ワーキングディスタンスを調整しながらレーザビームLbをワークWの表面で二次元状に走査することができる。したがって、ワークWの表面に対して焦点距離を合わせた状態で高精度に且つ最小スポットで印字することができる。   By controlling the operations of the beam expander 242, the X-axis scanner 224, and the Y-axis scanner 226, the laser beam Lb can be scanned two-dimensionally on the surface of the workpiece W while adjusting the working distance. Therefore, it is possible to print with high accuracy and the minimum spot in a state where the focal length is adjusted with respect to the surface of the workpiece W.

図3は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの構成を示す二面図である。図3(a)は、光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの構成を示す平面図を、図3(b)は、光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの構成を示す、スケールディスクの回転中心軸を含む面での模式断面図を、それぞれ示している。図3では、図2に示すガルバノモータ224b、226bと一体化している状態を図示しており、ガルバノモータ224b、226b自体の記載は省略している。   FIG. 3 is a two-side view showing the configuration of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. 3A is a plan view showing the configuration of the optical rotary encoders 224c and 226c, and FIG. 3B is a plane including the rotation center axis of the scale disk showing the configuration of the optical rotary encoders 224c and 226c. The schematic sectional drawing in is shown, respectively. FIG. 3 shows a state in which the galvano motors 224b and 226b shown in FIG. 2 are integrated, and the description of the galvano motors 224b and 226b itself is omitted.

光学式ロータリーエンコーダ224c、226cは、ガルバノミラー224a、226aを回転させるモータ装置の回転情報を検出するために取り付けられている。つまり、光学式ロータリーエンコーダ224c、226cで検出された信号に基づいてガルバノモータ224b、226bの回転を制御する。   The optical rotary encoders 224c and 226c are attached to detect rotation information of a motor device that rotates the galvanometer mirrors 224a and 226a. That is, the rotation of the galvano motors 224b and 226b is controlled based on the signals detected by the optical rotary encoders 224c and 226c.

ロータリーエンコーダの原点位置信号を出力する原点センサ(原点位置信号出力センサ)301及びインクリメンタル信号を出力するインクリメンタルセンサ(インクリメンタル信号出力センサ)302、回路素子、コネクタ等が実装されたプリント基板303は、モータの筐体に固定されている。ガルバノモータ224b、226bの回転軸305には、プリント基板303の下方にスケールディスク304が固定されている。ガルバノモータ224b、226bを駆動して回転軸305が回転した場合、スケールディスク304が回転する。原点センサ301は、発光部と受光部とが外周方向に並んで配置されており、インクリメンタルセンサ302も、発光部と受光部とが外周方向に並んで配置されていてもよい。   An origin sensor (origin position signal output sensor) 301 that outputs an origin position signal of a rotary encoder, an incremental sensor (incremental signal output sensor) 302 that outputs an incremental signal, a circuit board, a connector, etc. are mounted on a printed circuit board 303. It is fixed to the housing. A scale disk 304 is fixed to the rotating shaft 305 of the galvano motors 224b and 226b below the printed circuit board 303. When the galvano motors 224b and 226b are driven to rotate the rotating shaft 305, the scale disk 304 rotates. The origin sensor 301 may have a light emitting part and a light receiving part arranged in the outer peripheral direction, and the incremental sensor 302 may also have a light emitting part and a light receiving part arranged in the outer peripheral direction.

スケールディスク304の原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302と対向する側の面には、円板状の部材に放射状のスリットパターンが形成されている。図4は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの角度検出原理の説明図である。   On the surface of the scale disk 304 facing the origin sensor 301 and the incremental sensor 302, a radial slit pattern is formed on a disk-shaped member. FIG. 4 is an explanatory diagram of the angle detection principle of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention.

図4に示すように、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302は、プリント基板303に固定されており、発光素子(発光部)501から光を出射する。発光素子501としては、例えばLEDを用いる。出射された光は、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302と対向する位置に回転することが可能に設けられているスケールディスク304で反射され、受光素子(受光部)502が反射された光を受光する。受光素子502としては、例えばフォトダイオードを用いる。   As shown in FIG. 4, the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are fixed to a printed circuit board 303 and emit light from a light emitting element (light emitting unit) 501. For example, an LED is used as the light emitting element 501. The emitted light is reflected by a scale disk 304 provided so as to be able to rotate to a position facing the origin sensor 301 and the incremental sensor 302, and the light receiving element (light receiving unit) 502 receives the reflected light. . For example, a photodiode is used as the light receiving element 502.

スケールディスク304は円板状であり、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302に対向している側の面に、反射部503と非反射部504とが交互に配置されている。ガルバノモータ224b、226bを駆動して回転軸305が回転した場合、スケールディスク304が回転し、受光素子502での受光信号に応じて、回転角度を検出することができる。   The scale disk 304 has a disk shape, and reflective portions 503 and non-reflective portions 504 are alternately arranged on the surface facing the origin sensor 301 and the incremental sensor 302. When the galvano motors 224b and 226b are driven to rotate the rotating shaft 305, the scale disk 304 rotates and the rotation angle can be detected according to the light reception signal from the light receiving element 502.

すなわち、発光素子501から出射された光はスケールディスク304に照射される。照射された面が反射部503である場合、光束が反射して受光素子502に入射される。また、照射された面が非反射部504である場合、光束は反射されず受光素子502には入射しない。光束が入射した場合、フォトダイオードに流れる電流が電圧に変換され、内蔵されているコンパレータ等によりデジタル信号が出力される。出力されるデジタル信号は、スケールディスク304が回転している場合にはパルス信号となり、その周波数はスケールディスク304の回転速度に比例する。したがって、出力されるパルス信号に基づいて、スケールディスク304の回転状態を把握することが可能となる。なお、フォトダイオードの出力信号は、アナログ信号であっても良い。   That is, the light emitted from the light emitting element 501 is applied to the scale disk 304. When the irradiated surface is the reflecting portion 503, the light beam is reflected and enters the light receiving element 502. When the irradiated surface is the non-reflecting portion 504, the light beam is not reflected and does not enter the light receiving element 502. When a light beam is incident, the current flowing through the photodiode is converted into a voltage, and a digital signal is output by a built-in comparator or the like. The output digital signal is a pulse signal when the scale disk 304 is rotating, and its frequency is proportional to the rotation speed of the scale disk 304. Therefore, the rotation state of the scale disk 304 can be grasped based on the output pulse signal. Note that the output signal of the photodiode may be an analog signal.

図5は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302の配置例を示す模式図である。図5は、プリント基板303上での原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302の配置例を示しており、図5(a)は、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302が配置されたプリント基板303の平面図を、図5(b)は、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302が配置されたプリント基板303の側面図を、それぞれ示している。   FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an arrangement example of the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. FIG. 5 shows an arrangement example of the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 on the printed circuit board 303. FIG. 5A is a plan view of the printed circuit board 303 on which the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are disposed. FIG. 5B is a side view of the printed circuit board 303 on which the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged.

図5に示すように、本実施の形態では、原点センサ301とインクリメンタルセンサ302とは、スケールディスク304のスケールが形成されている位置と対向する位置、すなわち円板状のプリント基板303の同一円周上であって、スケールディスク304の回転中心における中心角が90度となる位置に配置されている。原点センサ301とインクリメンタルセンサ302とが隣接して配置されていないので、原点センサ301とインクリメンタルセンサ302との間に光学的干渉が生じることを未然に回避することが可能となる。   As shown in FIG. 5, in this embodiment, the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are opposed to the position where the scale of the scale disk 304 is formed, that is, the same circle of the disc-shaped printed board 303. It is arranged at a position on the circumference where the central angle at the rotation center of the scale disk 304 is 90 degrees. Since the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are not arranged adjacent to each other, it is possible to avoid optical interference between the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 in advance.

また、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302は、図4における発光素子501と受光素子502とが、同一円周上に隣接して配置されている。これにより、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。   Further, in the origin sensor 301 and the incremental sensor 302, the light emitting element 501 and the light receiving element 502 in FIG. 4 are arranged adjacent to each other on the same circumference. As a result, the rising of the received light amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy can be improved.

図6は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの原点センサ301の受光感度の例示図である。図6に示すように、従来の原点センサ301の受光信号61では、受光の立ち上がりが比較的緩やかであり、しかも隣接するインクリメンタル信号が重畳することにより、受光光量が安定せず、立ち上がり部分、すなわち原点位置信号を検知しづらいおそれがあった。   FIG. 6 is an exemplary view of the light receiving sensitivity of the origin sensor 301 of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, in the light receiving signal 61 of the conventional origin sensor 301, the rising of the received light is relatively gradual, and the adjacent incremental signals are superimposed, so that the received light quantity is not stabilized, that is, the rising portion, There was a possibility that it was difficult to detect the origin position signal.

本実施の形態に係る原点センサ301の受光信号62では、受光の立ち上がりが急峻となり、しかも隣接するインクリメンタル信号が重畳されにくいので、受光光量が安定し、立ち上がり部分、すなわち原点位置信号を確実に検知することが可能となる。   In the light reception signal 62 of the origin sensor 301 according to the present embodiment, the rising of the light reception is steep, and the adjacent incremental signals are not easily superimposed, so that the amount of received light is stable and the rising portion, that is, the origin position signal is reliably detected. It becomes possible to do.

インクリメンタルセンサ302についても、同様の効果を奏することができる。図7は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cのインクリメンタルセンサ302の受光感度の例示図である。図7に示すように、従来のインクリメンタルセンサ302の受光信号71では、隣接する原点位置信号が重畳することにより、受光光量が大きくなり、インクリメンタル信号を検知しづらいおそれがあった。   The same effect can be achieved with the incremental sensor 302. FIG. 7 is an exemplary view of the light receiving sensitivity of the incremental sensor 302 of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, in the light reception signal 71 of the conventional incremental sensor 302, the adjacent origin position signal is superimposed, so that the amount of received light becomes large and it is difficult to detect the incremental signal.

それに対して、本実施の形態に係るインクリメンタルセンサ302の受光信号72では、隣接する原点位置信号が重畳されにくいので、インクリメンタル信号として正常な正弦波を検知することができる。したがって、回転数を正しく把握することが可能となる。   In contrast, in the light reception signal 72 of the incremental sensor 302 according to the present embodiment, the adjacent origin position signal is difficult to be superimposed, so that a normal sine wave can be detected as the incremental signal. Therefore, it is possible to correctly grasp the rotation speed.

スケールディスク304の原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302と対向している側の面には、スケールが設けられている。スケールは、インクリメンタルセンサ302の検知対象となるインクリメンタルスケール部と、原点センサ301の検知対象となる原点スケール部とで構成されている。   A scale is provided on the surface of the scale disk 304 facing the origin sensor 301 and the incremental sensor 302. The scale includes an incremental scale portion that is a detection target of the incremental sensor 302 and an origin scale portion that is a detection target of the origin sensor 301.

図8は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cのスケールの構成を示す模式図である。図8に示すように、インクリメンタルスケール部81と、原点スケール部84とは、スケールディスク304の外周部の同一円周上に配置されている。図8ではインクリメンタルスケール部81は左右対称の形状をしており、それぞれスケールディスク304の回転中心の中心角が90度になる位置に配置されている。   FIG. 8 is a schematic diagram showing the configuration of the scales of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 8, the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are arranged on the same circumference of the outer peripheral portion of the scale disk 304. In FIG. 8, the incremental scale unit 81 has a symmetrical shape, and is arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 90 degrees.

図8では、原点スケール部84を、反射部82と非反射部83との境界としている。原点位置信号の立ち上がりを確実に検出することができるからである。もちろん、スケールディスク304の外周部では、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302がスケールディスク304と対向するように配置されているので、同一円周上で反射部82と非反射部83とが隣接するように配置されていれば原点スケール部84として機能する。   In FIG. 8, the origin scale portion 84 is the boundary between the reflecting portion 82 and the non-reflecting portion 83. This is because the rise of the origin position signal can be reliably detected. Of course, since the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged on the outer periphery of the scale disk 304 so as to face the scale disk 304, the reflecting part 82 and the non-reflecting part 83 are adjacent to each other on the same circumference. If it is arranged at, it functions as the origin scale portion 84.

インクリメンタルスケール部81は、反射部82と非反射部83とが同一円周上で交互に形成されている。図8の例では、インクリメンタルスケール部81の中央と原点スケール部84とが、スケールディスク304の回転中心の中心角が90度になる位置に配置されている。原点スケール部84とインクリメンタルスケール部81との間は、反射部82又は非反射部83のいずれかが連続して形成されている。つまり、原点スケール部84の周囲では、原点位置信号以外の出力信号は検出されることがないので、確実に原点位置信号を検知することができる。スケールの配置は、これらの条件を満たしていれば、図8の例の限定されるものではない。図8に示すように、外周部に設けられたインクリメンタルスケール部81の内周側は、図8において左側では反射部82、右側では非反射部83としてある。   In the incremental scale portion 81, the reflection portions 82 and the non-reflection portions 83 are alternately formed on the same circumference. In the example of FIG. 8, the center of the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are arranged at positions where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 90 degrees. Between the origin scale part 84 and the incremental scale part 81, either the reflective part 82 or the non-reflective part 83 is formed continuously. That is, since the output signal other than the origin position signal is not detected around the origin scale section 84, the origin position signal can be reliably detected. The arrangement of the scale is not limited to the example of FIG. 8 as long as these conditions are satisfied. As shown in FIG. 8, the inner peripheral side of the incremental scale portion 81 provided on the outer peripheral portion is a reflecting portion 82 on the left side and a non-reflecting portion 83 on the right side in FIG.

また、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302を、スケールディスク304の回転中心の中心角が90度になる位置に、それぞれ2個ずつ配置しても良い。図9は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302の他の配置例を示す模式図である。図9は、プリント基板303上での原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302の配置例を示しており、図9(a)は、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302が配置されたプリント基板303の平面図を、図9(b)は、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302が配置されたプリント基板303の側面図を、それぞれ示している。   Two origin sensors 301 and two incremental sensors 302 may be arranged at positions where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 90 degrees. FIG. 9 is a schematic diagram showing another arrangement example of the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. FIG. 9 shows an arrangement example of the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 on the printed board 303, and FIG. 9A is a plan view of the printed board 303 on which the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged. FIG. 9B shows side views of the printed circuit board 303 on which the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged.

図9に示すように、本実施の形態では、原点センサ301とインクリメンタルセンサ302とは、スケールディスク304のスケールが形成されている位置と対向する位置、すなわち円板状のプリント基板303の同一円周上であって、スケールディスク304の回転中心における中心角が互いに90度となる位置に交互に配置されている。原点センサ301とインクリメンタルセンサ302とが隣接して配置されていないので、原点センサ301とインクリメンタルセンサ302との間に光学的干渉が生じることを未然に回避することが可能となる。原点センサ301とインクリメンタルセンサ302とは、円周方向には90度隔ててはいるものの、隣接して配置されている。半径方向には隣接して配置されていないので、原点センサ301とインクリメンタルセンサ302との間で光学的干渉は少ない。   As shown in FIG. 9, in the present embodiment, the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are opposite to the position where the scale of the scale disk 304 is formed, that is, the same circle of the disc-shaped printed board 303. On the circumference, the scale disks 304 are alternately arranged at positions where the central angles at the rotation centers are 90 degrees. Since the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are not arranged adjacent to each other, it is possible to avoid optical interference between the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 in advance. Although the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are separated by 90 degrees in the circumferential direction, they are arranged adjacent to each other. Since they are not arranged adjacent to each other in the radial direction, there is little optical interference between the origin sensor 301 and the incremental sensor 302.

また、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302は、図4における発光素子501と受光素子502とが、スケールディスク304の外周部の同一円周上に隣接して配置されている。これにより、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。原点センサ301を、インクリメンタルセンサ302と同じように外周部に配置することで、受光量の立ち上がりを急峻にしている。   In the origin sensor 301 and the incremental sensor 302, the light emitting element 501 and the light receiving element 502 in FIG. 4 are arranged adjacent to each other on the same circumference of the outer peripheral portion of the scale disk 304. As a result, the rising of the received light amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy can be improved. Similar to the incremental sensor 302, the origin sensor 301 is arranged on the outer periphery, so that the rising of the amount of received light is made steep.

図10は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cのスケールの他の構成を示す模式図である。図10に示すように、インクリメンタルスケール部81と、原点スケール部84とは、スケールディスク304の外周部の同一円周上に配置されている。図10でもインクリメンタルスケール部81は左右対称の形状をしており、それぞれスケールディスク304の回転中心の中心角が90度になる位置に配置されている。   FIG. 10 is a schematic diagram showing another configuration of the scale of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 10, the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are arranged on the same circumference of the outer peripheral portion of the scale disk 304. Also in FIG. 10, the incremental scale portion 81 has a symmetrical shape, and is arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 90 degrees.

例えば図10では、原点スケール部84を反射部として設けている。インクリメンタルスケール部81は、反射部と非反射部とが同一円周上で交互に形成されている。インクリメンタルスケール部81の中央と原点スケール部84とが、スケールディスク304の回転中心の中心角が90度になる位置に配置されている。   For example, in FIG. 10, the origin scale part 84 is provided as a reflection part. In the incremental scale portion 81, the reflection portions and the non-reflection portions are alternately formed on the same circumference. The center of the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are arranged at a position where the center angle of the rotation center of the scale disk 304 is 90 degrees.

原点スケール部84とインクリメンタルスケール部81との間は、非反射部83が連続して形成されている。つまり、原点スケール部84の周囲では原点位置信号以外の出力信号は検出されることがないので、確実に原点位置信号を検知することができる。   A non-reflective portion 83 is continuously formed between the origin scale portion 84 and the incremental scale portion 81. That is, since the output signal other than the origin position signal is not detected around the origin scale section 84, the origin position signal can be reliably detected.

さらに、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302を、スケールディスク304の回転中心を挟んで互いに対向する位置、すなわちスケールディスク304の回転中心の中心角が180度になる位置に1個ずつ配置しても良い。図11は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cの原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302の他の配置例を示す模式図である。図11は、プリント基板303上での原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302の配置例を示しており、図11(a)は、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302が配置されたプリント基板303の平面図を、図11(b)は、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302が配置されたプリント基板303の側面図を、それぞれ示している。   Further, the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 may be arranged one by one at a position facing each other across the rotation center of the scale disk 304, that is, a position where the center angle of the rotation center of the scale disk 304 is 180 degrees. . FIG. 11 is a schematic diagram showing another arrangement example of the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. FIG. 11 shows an arrangement example of the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 on the printed board 303, and FIG. 11A is a plan view of the printed board 303 on which the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged. FIG. 11B is a side view of the printed circuit board 303 on which the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged.

図11に示すように、本実施の形態では、原点センサ301とインクリメンタルセンサ302とは、スケールディスク304の外周部において回転中心を挟んで互いに対向する位置、すなわち円板状のプリント基板303の同一円周上であって、スケールディスク304の回転中心における中心角が180度となる位置に配置されている。原点センサ301とインクリメンタルセンサ302とが大きく離隔して配置されているので、原点センサ301とインクリメンタルセンサ302との間に光学的干渉が生じることを未然に回避することが可能となる。   As shown in FIG. 11, in the present embodiment, the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are positioned opposite to each other across the center of rotation on the outer periphery of the scale disk 304, that is, the same on the disc-shaped printed board 303. On the circumference, the scale disk 304 is arranged at a position where the central angle at the rotation center is 180 degrees. Since the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged at a large distance, it is possible to avoid optical interference between the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 in advance.

また、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302は、図4における発光素子501と受光素子502とが、同一円周上に隣接して配置されている。これにより、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。   Further, in the origin sensor 301 and the incremental sensor 302, the light emitting element 501 and the light receiving element 502 in FIG. 4 are arranged adjacent to each other on the same circumference. As a result, the rising of the received light amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy can be improved.

図12は、本発明の実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ224c、226cのスケールの他の構成を示す模式図である。図12(a)に示すように、インクリメンタルスケール部81と、原点スケール部84とは、スケールディスク304の外周部の同一円周上に配置されている。図12(a)では、インクリメンタルスケール部81は、左右いずれか一方において、スケールディスク304の回転中心の中心角が180度になる位置に配置されている。   FIG. 12 is a schematic diagram showing another configuration of the scale of the optical rotary encoders 224c and 226c according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 12A, the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are arranged on the same circumference of the outer peripheral portion of the scale disk 304. In FIG. 12A, the incremental scale unit 81 is arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 180 degrees on either the left or right side.

図12(a)では、原点スケール部84を、反射部82と非反射部83との境界としている。原点位置信号の立ち上がりを確実に検知することができるからである。もちろん、スケールディスク304の外周部では、原点センサ301及びインクリメンタルセンサ302がスケールディスク304と対向するように配置されているので、同一円周上で反射部82と非反射部83とが隣接するように配置されていれば原点スケール部84として機能する。   In FIG. 12A, the origin scale portion 84 is the boundary between the reflecting portion 82 and the non-reflecting portion 83. This is because the rise of the origin position signal can be reliably detected. Of course, since the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 are arranged on the outer periphery of the scale disk 304 so as to face the scale disk 304, the reflecting part 82 and the non-reflecting part 83 are adjacent to each other on the same circumference. If it is arranged at, it functions as the origin scale portion 84.

インクリメンタルスケール部81は、反射部82と非反射部83とが同一円周上で交互に形成されている。図12(a)の例では、インクリメンタルスケール部81の中央と原点スケール部84とが、スケールディスク304の回転中心の中心角が180度になる位置に配置されている。そして、原点スケール部84を境界として、反射部82又は非反射部83のいずれかが連続して形成されている。   In the incremental scale portion 81, the reflection portions 82 and the non-reflection portions 83 are alternately formed on the same circumference. In the example of FIG. 12A, the center of the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 180 degrees. Then, either the reflective part 82 or the non-reflective part 83 is continuously formed with the origin scale part 84 as a boundary.

また、図12(b)に示すように、原点スケール部84を反射部82として設けても良い。この場合、インクリメンタルスケール部81は、図12(a)と同様に、反射部(原点スケール部84)82と非反射部83とが同一円周上で交互に形成されている。そして、インクリメンタルスケール部81の中央と原点スケール部84とが、スケールディスク304の回転中心の中心角が180度になる位置に配置されている。   Further, as shown in FIG. 12B, the origin scale portion 84 may be provided as the reflection portion 82. In this case, in the incremental scale portion 81, as in FIG. 12A, the reflection portions (origin scale portions 84) 82 and the non-reflection portions 83 are alternately formed on the same circumference. The center of the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are disposed at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 180 degrees.

原点スケール部84とインクリメンタルスケール部81との間は、非反射部83が連続して形成されている。つまり、原点スケール部84の周囲では原点位置信号以外の出力信号が検出されることがないので、確実に原点位置信号を検知することができる。   A non-reflective portion 83 is continuously formed between the origin scale portion 84 and the incremental scale portion 81. That is, since the output signal other than the origin position signal is not detected around the origin scale section 84, the origin position signal can be reliably detected.

以上のように本実施の形態によれば、インクリメンタルスケール部81の中央と原点スケール部84とを離して配置することができ、インクリメンタルセンサ302と原点センサ301との間で光学的干渉が生じることを未然に回避することが可能となる。また、インクリメンタルスケール部81と原点スケール部84とが、スケールディスク304の外周部の同一円周上に配置されており、しかもスケールディスク304の回転中心の中心角が90度以上になる位置に配置されていることから、原点位置信号の受光量の立ち上がりが急峻となり、原点位置の検出精度を向上させることが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, the center of the incremental scale unit 81 and the origin scale unit 84 can be arranged apart from each other, and optical interference occurs between the incremental sensor 302 and the origin sensor 301. Can be avoided in advance. Further, the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84 are disposed on the same circumference of the outer peripheral portion of the scale disk 304, and are disposed at positions where the central angle of the rotation center of the scale disk 304 is 90 degrees or more. Therefore, the rising of the received light amount of the origin position signal becomes steep, and the origin position detection accuracy can be improved.

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変更、改良等が可能である。例えば原点センサ301とインクリメンタルセンサ302との位置関係は、同一円周上で離隔していれば良いので、インクリメンタルスケール部81の中央と原点スケール部84とが、スケールディスク304の回転中心の中心角が90度以上180度以下となる位置に配置されていれば、特に限定されるものではない。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and improvements can be made within the scope of the present invention. For example, since the positional relationship between the origin sensor 301 and the incremental sensor 302 only needs to be separated on the same circumference, the center angle of the rotation center of the scale disk 304 is the center of the incremental scale portion 81 and the origin scale portion 84. If it is arrange | positioned in the position used as 90 degrees or more and 180 degrees or less, it will not specifically limit.

1 マーキングヘッド
2 コントローラ
3 印字データ生成装置
4 外部機器
10 レーザマーキング装置
81 インクリメンタルスケール部
84 原点スケール部
224c、226c 光学式ロータリーエンコーダ
301 原点センサ(原点位置信号出力センサ)
302 インクリメンタルセンサ(インクリメンタル信号出力センサ)
304 スケールディスク
501 発光素子(発光部)
502 受光素子(受光部)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Marking head 2 Controller 3 Print data generation apparatus 4 External apparatus 10 Laser marking apparatus 81 Incremental scale part 84 Origin scale part 224c, 226c Optical rotary encoder 301 Origin sensor (origin position signal output sensor)
302 Incremental sensor (Incremental signal output sensor)
304 Scale disk 501 Light emitting element (light emitting part)
502 Light receiving element (light receiving part)

Claims (4)

光学式ロータリーエンコーダにおいて、
反射部と非反射部とで構成されたスケールを備えるスケールディスクと、
発光部と受光部とを備えるセンサと
を有しており、
前記センサは、インクリメンタル信号を出力するインクリメンタル信号出力センサ、及び原点位置信号を出力する原点位置信号出力センサであり、
前記スケールは、前記インクリメンタル信号出力センサの検知対象となるインクリメンタルスケール部と、前記原点位置信号出力センサの検知対象となる原点スケール部とで構成されており、
前記インクリメンタルスケール部の中央と前記原点スケール部とは、前記スケールディスクの外周部の同一円周上であって、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度以上になる位置に配置されており、
前記インクリメンタルスケール部は、第1のインクリメンタルスケール部と第2のインクリメンタルスケール部とを有し、
前記原点スケール部は、第1の原点スケール部と第2の原点スケール部とを有し、
前記第1のインクリメンタルスケール部の中央と前記第1の原点スケール部とは、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置され、
前記第1の原点スケール部と前記第2のインクリメンタルスケール部とは、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置され、
前記第2のインクリメンタルスケール部の中央と前記第2の原点スケール部とは、前記スケールディスクの回転中心の中心角が90度になる位置に配置されていることを特徴とする光学式ロータリーエンコーダ。
In optical rotary encoder,
A scale disk having a scale composed of a reflective part and a non-reflective part;
A sensor having a light emitting part and a light receiving part,
The sensor is an incremental signal output sensor that outputs an incremental signal, and an origin position signal output sensor that outputs an origin position signal,
The scale is composed of an incremental scale part to be detected by the incremental signal output sensor and an origin scale part to be detected by the origin position signal output sensor,
Wherein the central and the origin scale section of the incremental scale portion, wherein a same circumference of the outer peripheral portion of the scale disc, the central angle of the rotation center of the scale disc is disposed at a position equal to or greater than 90 degrees ,
The incremental scale portion has a first incremental scale portion and a second incremental scale portion,
The origin scale part has a first origin scale part and a second origin scale part,
The center of the first incremental scale part and the first origin scale part are arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees,
The first origin scale part and the second incremental scale part are arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees,
The optical rotary encoder , wherein the center of the second incremental scale part and the second origin scale part are arranged at a position where the central angle of the rotation center of the scale disk is 90 degrees .
前記スケールは、前記反射部と前記非反射部とが同一円周上で交互に形成され、
前記スケールは、前記反射部と前記非反射部との境界を前記原点スケール部とし、
前記原点スケール部と前記インクリメンタルスケール部との間は、前記反射部又は前記非反射部のいずれかが連続して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光学式ロータリーエンコーダ。
In the scale, the reflective portion and the non-reflective portion are alternately formed on the same circumference,
The scale has a boundary between the reflective part and the non-reflective part as the origin scale part,
2. The optical rotary encoder according to claim 1, wherein either the reflective portion or the non-reflective portion is continuously formed between the origin scale portion and the incremental scale portion.
前記スケールは、前記反射部と前記非反射部とが同一円周上で交互に形成され、
前記スケールの前記インクリメンタルスケール部と前記原点スケール部とを除く部分は、前記反射部又は前記非反射部のいずれかとなるよう形成されていることを特徴とする請求項2に記載の光学式ロータリーエンコーダ。
In the scale, the reflective portion and the non-reflective portion are alternately formed on the same circumference,
3. The optical rotary encoder according to claim 2, wherein a portion of the scale excluding the incremental scale portion and the origin scale portion is formed to be either the reflective portion or the non-reflective portion. .
前記センサは、前記発光部と前記受光部とが、前記スケールディスクの外周部の同一円周上に隣接して配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光学式ロータリーエンコーダ。 The said sensor WHEREIN: The said light emission part and the said light-receiving part are arrange | positioned adjacent to the same circumference of the outer peripheral part of the said scale disk, The Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned. Optical rotary encoder.
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