JP6469205B2

JP6469205B2 - Vacuum pump

Info

Publication number: JP6469205B2
Application number: JP2017230365A
Authority: JP
Inventors: ヘルベルト・シュタムラー; ゼンケ・ギルブリヒ
Original assignee: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Priority date: 2016-12-22
Filing date: 2017-11-30
Publication date: 2019-02-13
Anticipated expiration: 2037-11-30
Also published as: EP3339652A1; EP3339652B1; JP2018109401A

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、流体、特にプロセスガス又は空気の為の少なくとも一つのインレットを有し、このインレットにレシーバーが接続可能であり、そして流体の為の少なくとも一つのアウトレットを有するハウジングを有し、そして、ハウジング内に設けられた、流体、特にレシーバーからの流体を真空ポンプを通してインレットからアウトレットへと搬送するためのポンプ段を有し、その際、ハウジング内に、特にアウトレット内に開口する好ましくは真空ポンプの吐出領域を形成するチャンバーが形成されているものに関する。 The present invention is a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, having at least one inlet for a fluid, in particular process gas or air, to which a receiver can be connected and at least one for the fluid. And a pump stage provided in the housing for transporting fluid, in particular fluid from the receiver, through the vacuum pump from the inlet to the outlet, in the housing In particular, the present invention relates to a chamber in which a chamber for forming a discharge region of a vacuum pump which is opened in an outlet is formed.

真空ポンプは、ターボ分子ポンプのようなものであり、様々な技術領域で使用される。各プロセスに必要な真空を達成するためである。その際、ポンプによってポンピングされる真空ポンプ内の流体からの、例えばプロセス汚染、粒子、及び／又は流体かすのような堆積が、そこに、特にその予真空領域に集中する、又は堆積する、又は堆積するという問題が生じ得る。これら、場合によっては腐食性の、及び毒性の堆積は、メンテナンスの際に、特に機械的、物理的、及び／又は化学的な洗浄によって部分的に高コストでもって、又は高い労力を払って除去される必要がある。真空ポンプのハウジングと、ハウジングの予真空領域を取り囲む下部分は、場合によっては、そこに場合によっては配置される構成グループ（電気的構成グループ、精密部品構成グループ、シール等）とともに洗浄を困難とする。というのは、例えば高温上記、洗浄媒体などが有害作用を有する可能性があるからである。 Vacuum pumps are like turbomolecular pumps and are used in various technical areas. This is to achieve the vacuum necessary for each process. In so doing, deposits such as process contamination, particles and / or fluid debris from the fluid in the vacuum pump pumped by the pump are concentrated or deposited there, particularly in the pre-vacuum region, or The problem of deposition can arise. These, in some cases, corrosive and toxic deposits are removed during maintenance, in particular by mechanical, physical and / or chemical cleaning, in part at high costs or with great effort. Need to be done. The housing of the vacuum pump and the lower part surrounding the pre-vacuum area of the housing can be difficult to clean with the component groups (electrical component groups, precision component component groups, seals, etc.) that are optionally arranged there. To do. This is because, for example, high temperatures, cleaning media, etc. can have harmful effects.

欧州特許出願公開第３０７０３３５Ａ１号European Patent Application Publication No. 3 070 335 A1 欧州特許出願公開第２７４０９５６Ａ２号European Patent Application Publication No. 2 740 956 A2 欧州特許出願公開第２０６０７９４Ａ２号European Patent Application Publication No. 2 060 794 A2 欧州特許出願公開第２８０１７２５Ａ２号European Patent Application Publication No. 2 801 725 A2 欧州特許出願公開第１８４３０４３Ａ２号European Patent Application Publication No. 1 843 043 A2

このような背景から、本発明は、簡単に洗浄されることが可能である真空ポンプを提供することを課題とする。特に、堆積は、真空ポンプの予真空領域から簡単に取り除かれることが可能である。 From such a background, an object of the present invention is to provide a vacuum pump that can be easily cleaned. In particular, the deposition can be easily removed from the pre-vacuum region of the vacuum pump.

この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプによって解決される。本発明の好ましい実施形及び発展形は、従属請求項に記載される。 This problem is solved by a vacuum pump having the features of claim 1. Preferred embodiments and developments of the invention are described in the dependent claims.

発明に係る真空ポンプ、特にターボ分子ポンプは、流体、特にプロセスガス、又は空気の為の少なくとも一つのインレット及びアウトレットを有し、その際インレットにはレシーバーが接続可能である。発明に係る真空ポンプは、その上、ハウジング内に配置された、特にレシーバーから真空ポンプのインレットからアウトレットへの流体の搬送の為の少なくとも一つのポンプ段を有する。その際、ハウジング内には、更に一つのチャンバーが形成されている。そしてその際、チャンバー内には、チャンバーを画成する少なくとも一つの面を覆う堆積の受け入れ・摂取の為の少なくとも一つの中敷きが形成されている。 The vacuum pump according to the invention, in particular a turbomolecular pump, has at least one inlet and outlet for a fluid, in particular process gas or air, to which a receiver can be connected. The vacuum pump according to the invention additionally has at least one pump stage arranged in the housing, in particular for the transfer of fluid from the receiver to the inlet of the vacuum pump to the outlet. At that time, one more chamber is formed in the housing. At that time, at least one insole for receiving and ingesting the deposit covering at least one surface defining the chamber is formed in the chamber.

チャンバーは、好ましくはアウトレット内へと開口しており、そして好ましくは真空ポンプの吐出領域を形成する。チャンバーは、よって、好ましくはポンプの予真空領域に位置している。チャンバーは、好ましくは、ポンプ方向で見てハウジング内の予真空に最も近いポンプ段に対して後配置されている。真空ポンプを通って推移するポンプチャネル（これを通って流体がポンプ内を流れる）は、チャンバーを通って推移している。ポンプによって吸引される、流体内に含まれる堆積は、よって中敷きの上に堆積する。ポンプから中敷きを取り出すことによって、堆積が取り出されることが可能である。中敷きは、好ましくは、例えばポンプのメンテナンスの枠内でチャンバーから取り出されることが可能であるようにチャンバー内に配置されていることが可能である。取り出された中敷きは、ポンプの外で洗浄され、引き続いて再びポンプ内に挿入されることが可能である。代替として、汚染した中敷きは、新しい中敷きと交換されることが可能である。チャンバーの体積の洗浄の労力・コストは、中敷きの使用によって抑えられ、又は理想的な場合、完全に切りつめられることが可能である。これによって、予真空領域における敏感な構成グループの損傷のリスクも抑えられることが可能である。 The chamber is preferably open into the outlet and preferably forms the discharge area of the vacuum pump. The chamber is therefore preferably located in the pre-vacuum region of the pump. The chamber is preferably arranged after the pump stage closest to the pre-vacuum in the housing as seen in the pump direction. A pump channel that travels through the vacuum pump (through which fluid flows through the pump) travels through the chamber. Deposits contained in the fluid that are aspirated by the pump thus deposit on the insole. By removing the insole from the pump, the deposit can be removed. The insole can preferably be arranged in the chamber so that it can be removed from the chamber, for example within the maintenance frame of the pump. The removed insole can be cleaned outside the pump and subsequently inserted back into the pump. Alternatively, the contaminated insole can be replaced with a new insole. The effort and cost of cleaning the chamber volume can be reduced by the use of an insole or, in the ideal case, completely trimmed. This can also reduce the risk of damage to sensitive constituent groups in the pre-vacuum region.

「堆積」の概念は、広く解され、そして真空ポンプによって搬送される流体中に含まれ、そして真空ポンプ内で、例えば付着、凝縮、再昇華、凝固、又は化学反応によって「鎮座」することが可能である例えば粒子、流体、ガス、又は、プラズマや原子状のガスのエキゾチックな状態のようなあらゆる種類の物質を含み得る。 The concept of “deposition” is widely understood and is contained in the fluid carried by the vacuum pump and can be “sedated” within the vacuum pump, for example by adhesion, condensation, resublimation, solidification, or chemical reaction. It can include all kinds of substances that are possible, such as particles, fluids, gases, or exotic states of plasmas or atomic gases.

中敷きが少なくとも部分的に覆うチャンバーを画成する面は、チャンバーの側方の壁部、及び／又は底部であることが可能である。中敷きは、チャンバーの、又はチャンバー壁部の可能な限り大きな面積を覆うよう形成されていることが可能である。よって、できる限り多くの堆積が、中敷き上に堆積し、チャンバー表面には堆積しない。 The surface defining the chamber at least partially covered by the insole can be the side wall and / or the bottom of the chamber. The insole can be formed to cover the largest possible area of the chamber or chamber wall. Thus, as much deposition as possible is deposited on the insole and not on the chamber surface.

中敷きは、シェル状、円筒状、又は容器状に形成されていることが可能である。よって中敷きは、外からアクセス可能な容積を有する、又は定義することが可能である。この中に堆積が堆積し、そして溜まることが可能である。 The insole can be formed in a shell shape, a cylindrical shape, or a container shape. Thus, the insole can have or be defined by an externally accessible volume. In this, deposits can accumulate and accumulate.

中敷きは、チャンバーの底部、及び／又は、チャンバーを半径方向外側に向かって画成する側壁部、及び／又は、チャンバーを半径方向内側に向かって画成する側壁部を、特に、少なくともほぼ完全に覆うよう形成されていることが可能である。 The insole is at least substantially completely, in particular, the bottom of the chamber and / or the side wall defining the chamber radially outward and / or the side wall defining the chamber radially inward. It can be formed to cover.

好ましくは、中敷きは、特にその底部及び側壁部が、ある容積を取り囲む。その際、中敷きの少なくとも一つの面、特に中敷きの上面には、少なくとも一つの開口部が設けられているので、開口部を通して容積内へと堆積が集められることが可能である。開口部は、中敷きが、相応する面において壁部を有さないように形成されていることが可能である。開口部は代替として、壁部内に、一又は複数の突破部、例えばスリットが設けられるように形成されていることが可能である。よって中敷きは、その、底部から引き離されて位置する上面において、完全に、又は少なくとも部分的に開かれていることが可能であるので、積層は、上から容積内へと集中可能である。 Preferably, the insole surrounds a volume, in particular its bottom and side walls. In this case, since at least one opening is provided in at least one surface of the insole, particularly the upper surface of the insole, it is possible to collect deposits into the volume through the opening. The opening can be formed such that the insole does not have a wall on the corresponding surface. Alternatively, the opening can be formed in the wall so that one or more breakthroughs, eg slits, are provided. The insole can thus be fully or at least partially opened on its upper surface, which is located away from the bottom, so that the stacking can be concentrated from above into the volume.

好ましくは、中敷きは、少なくとも一つの開口部が、チャンバーの前に配置されたポンプ段の方に向けられているよう形成されている、及び／又はチャンバー内に組み込まれることが可能である。ポンプ段によって吸引され、そしてアウトレットの方へと搬送される堆積は、よって、直接中敷きの容積内へと至り、そしてそこで集められることが可能である。堆積によるチャンバー壁部の可能なコンタミネーションは、これによって大幅に減少されることが可能である。 Preferably, the insole is configured such that at least one opening is directed toward a pump stage disposed in front of the chamber and / or can be incorporated into the chamber. The deposits sucked by the pump stage and transported towards the outlet can thus go directly into the insole volume and be collected there. The possible contamination of the chamber wall due to deposition can thereby be greatly reduced.

中敷きは、好ましくはシェルとして形成されている。その形状は、特にチャンバーの形状に合わせられている。シェル形状によって、プロセス汚染、堆積、および他の物質及び粒子が、特に良好に補足され、そしてシェルによって定義される容積内に蓄えられることが可能である。シェルは、好ましくは、一方の面で少なくとも部分的に開かれており、特に、意図される組込み位置で、前に設置されるポンプ段の方向に向けられている面において少なくとも部分的に開かれている。堆積は、よって特別良好に、シェルによって形成される容積内に集められることが可能である。 The insole is preferably formed as a shell. Its shape is particularly adapted to the shape of the chamber. By virtue of the shell shape, process contamination, deposits and other substances and particles can be captured particularly well and stored in the volume defined by the shell. The shell is preferably at least partly open on one side, in particular at least partly on the side facing the previously installed pump stage in the intended installation position. ing. The deposit can thus be collected particularly well in the volume formed by the shell.

チャンバーは、特にポンプ段の下に、真空ポンプの中央の軸、特にポンプ段のローターの回転軸を中心としてリング状に延在していることが可能である。チャンバーは、ポンプ段の下でリング空間の形式を形成する。この事は、特にポンプ段の吸引能力に有利に作用する。 The chamber can extend in the form of a ring, especially under the pump stage, around the central axis of the vacuum pump, in particular the rotational axis of the rotor of the pump stage. The chamber forms a form of ring space under the pump stage. This has an advantageous effect on the suction capacity of the pump stage.

チャンバーは、好ましくは、少なくとも近似的に長方形の断面を有する。この断面形状は、製造技術的に、特に簡単に実現されることが可能である。 The chamber preferably has an at least approximately rectangular cross section. This cross-sectional shape can be realized particularly simply in terms of manufacturing technology.

中敷きは、チャンバーに対応して形成された、その上面において少なくとも部分的に開かれた、好ましくはリング形状のシェルとして形成されていることが可能である。このシェルは、底部を有し、そして好ましくは底部に対して、特に上に向かって推移する、半径方向内側に位置する、又は半径方向外側に位置する側壁部を有し形成されていることが可能である。よって中敷きは、リング形状に形成されたチャンバー内に、特にちょうどこれに合うように挿入されることが可能である。その際、好ましくはシェルは（チャンバーも）、少なくとも近似的に長方形の断面を有することができる。 The insole can be formed as a shell, preferably ring-shaped, formed corresponding to the chamber and at least partially open on its upper surface. The shell has a bottom and is preferably formed with a side wall that is located inwardly, radially inwardly or radially outwardly, preferably moving upwards relative to the bottom. Is possible. Thus, the insole can be inserted into a ring-shaped chamber, particularly just so as to fit. In this case, preferably the shell (also the chamber) can have at least a substantially rectangular cross section.

中敷きは、少なくとも一つの固定部によってチャンバー内に固定されている、又は固定可能であることが可能である。固定部は、例えば少なくとも一つのスクリューを有することができる。スクリューは、例えば上から、中敷きの底部内へ、そしてその下に位置するチャンバー底部内へとねじ込まれることが可能である、又はねじ込まれていることが可能である。好ましくは、その際、大型のヘッドを有するスクリュー、例えばレンズヘッドスクリュー（独語：Ｌｉｎｓｅｎｋｏｐｆｓｃｈｒａｕｂｅ）、又はヘキサゴンスクリューが使用される。といのは、そのようなスクリューは、堆積によって覆われた底部においても簡単に場所を特定されることができ、そしてツールで解除されることが可能だからである。 The insole can be fixed or fixable in the chamber by at least one fixing part. The fixing part can have at least one screw, for example. The screw can be screwed, for example, from the top, into the bottom of the insole and into the bottom of the chamber located below it. Preferably, a screw having a large head, for example a lens head screw (German: Linsenkopfschrubbe) or a hexagon screw, is used here. This is because such screws can be easily located even at the bottom covered by deposition and can be released with a tool.

中敷きは、これが、結束状態でチャンバーの上に位置するポンプ段のステーターパケットとチャンバー内で固定されることが可能であるようにも形成されている、及び／又は構成されていることが可能である。つまり、上述したステーターパケットは、中敷きに対する固定部の形式で使用されることが可能である。 The insole can also be configured and / or configured so that it can be secured in the chamber with the stator packet of the pump stage located above the chamber in a bundled state. is there. That is, the above-described stator packet can be used in the form of a fixed portion for the insole.

中敷きは、特に中敷きへの押圧によって、第一の形状から第二の形状へと変更可能であることが可能である。その際、中敷きは、第二の形状において第一の形状に対してより大きな外直径、及び／又はより小さな内直径を有し、及び／又は、その際、中敷きは第二の形状において第一の形状に対して可塑的な、及び／又は弾性的な形状変化を有する。中敷きは、よって第一の形状でチャンバー内に挿入されることが可能である。そして特に中敷きへの押圧によって、又は、中敷きをチャンバー内へと挿入することによって、これは特に第二の形状とされることができる。これによって中敷きの外直径、及び／又は内直径は、すくなくともわずかに変化し、又はこれによって中敷きの可塑的形状変化、及び／又は弾性的形状変化が生じる。形状変化によって、中敷きはチャンバー内でいわば「締め付け」られることが可能であるので、中敷きはチャンバー内で固定されることができる。 The insole can be changeable from the first shape to the second shape, particularly by pressing on the insole. In that case, the insole has a larger outer diameter and / or a smaller inner diameter relative to the first shape in the second shape, and / or wherein the insole is the first in the second shape. It has a plastic and / or elastic shape change with respect to its shape. The insole can thus be inserted into the chamber in a first shape. And this can in particular be of a second shape, in particular by pressing on the insole or by inserting the insole into the chamber. As a result, the outer diameter and / or inner diameter of the insole changes at least slightly, or this causes a plastic shape change and / or an elastic shape change of the insole. Due to the shape change, the insole can be “tightened” in the chamber, so that the insole can be fixed in the chamber.

中敷きの形状変化は、可逆的であることが可能である。中敷きの取り出しのため、又は中敷きの取り出しの後、よって、これらは再び第一の形状とされることが可能である。 The insole shape change can be reversible. For the removal of the insole or after the removal of the insole, these can thus be brought back to the first shape.

形状変化は、中敷きの少なくとも一つの面、特に中敷きの半径方向外側の側壁部が、例えば中敷きの押圧によって当該面の形状幾何、特にその半径方向のサイズが変更可能であるよう形成されていることによって可能とされることができる。形状変化は、中敷きの少なくとも一つの面、特に中敷きの半径方向外側の側壁部が、例えば中敷きの押圧によって、当該面の形状幾何、特にその軸方向のサイズが変更可能であるよう形成されていることによっても可能とされることができる。これは、例えば、側壁部が、（複数の）変形要素と空所部を有し、周回する少なくとも一つの変形領域によって軸方向において接続されている少なくとも二つの部分領域から成り、そして、中敷きの押圧によって少なくとも一つの変形要素が弾性的に、又は可塑的に変形され、その際、少なくとも一つの空所部が縮小され、そして側壁部の軸方向のサイズがこれによって同様に縮小されることによって実現されることが可能である。 The shape change is such that at least one surface of the insole, particularly the radially outer side wall of the insole, is formed such that the shape geometry of the surface, in particular the radial size thereof, can be changed by pressing the insole, for example. Can be enabled by. The shape change is such that at least one surface of the insole, particularly the side wall portion on the radially outer side of the insole, can be changed in shape geometry, in particular its axial size, by pressing the insole, for example. Can also be made possible. For example, the side wall portion comprises at least two partial regions having a deformation element (s) and a void portion and connected in an axial direction by at least one deformation region that circulates, and the insole By pressing, at least one deformation element is elastically or plastically deformed, whereby at least one cavity is reduced and the axial size of the side wall is thereby reduced as well. Can be realized.

中敷きが、特に中敷きへの押圧によって第一の形状から第二の形状へと変化可能であり、この第二の形状において中敷きが、特に半径方向外側の側壁部が、第一の形状に対してより高い、又はより低い軸方向の高さを有することも意図され得る。中敷きの軸方向のサイズは、よって調整可能であることができる。 The insole can be changed from the first shape to the second shape, in particular by pressing against the insole, in which the insole, in particular the radially outer side wall, is relative to the first shape It may also be contemplated to have a higher or lower axial height. The axial size of the insole can thus be adjustable.

好ましくは、中敷きの外側面とチャンバーの側壁部の間に少なくとも一つのシールが設けられている。中敷きの外側面の後ろに位置するチャンバー壁部は、これによって効果的に堆積から保護されることが可能である。シールは、更に、中敷きのチャンバー内での挟み込みを実施することができ、よって固定部として作用可能である。シールは、好ましくは中敷きの上方の縁部と、その下に位置するチャンバーの側壁部の間にはめ込まれているが、更に、圧力分配機構として作用することができ、そして場合によっては存在する公差、又は発生する力、特に軸方向公差、又は軸方向力を、一方では中実機がチャンバー内でしっかりと固定されているように、そして他方ではチャンバーの前に置かれるステーターパケットが確実に挟まれているように分配する。 Preferably, at least one seal is provided between the outer surface of the insole and the side wall of the chamber. The chamber wall located behind the outside surface of the insole can thereby be effectively protected from deposition. The seal can also be sandwiched in an insole chamber and thus can act as a fixture. The seal is preferably fitted between the upper edge of the insole and the side wall of the underlying chamber, but it can also act as a pressure distribution mechanism and in some cases there are tolerances present Or generate forces, in particular axial tolerances or axial forces, so that the solid machine is firmly clamped in the chamber on the one hand and on the other hand the stator packet placed in front of the chamber is securely pinched Distribute as you are.

中敷きは、特に真空ポンプのハウジングにおけるアウトレットと位置合わせ可能であるアウトレット開口部を有する。流体は、よって、中敷きの容積を通って中敷きのアウトレット開口部へと至り、そして更に真空ポンプのアウトレットへと至る。アウトレット開口部が、少なくとも基本的に、真空ポンプのアウトレットの直径に相当する直径を有することが可能である。アウトレット開口部は、例えば、中敷きからの材料の除去、特に切り出しによって形成されることが可能である。 The insole has an outlet opening that is particularly alignable with an outlet in the housing of the vacuum pump. The fluid thus passes through the insole volume to the insole outlet opening and further to the outlet of the vacuum pump. It is possible for the outlet opening to have a diameter at least essentially corresponding to the diameter of the outlet of the vacuum pump. The outlet opening can be formed, for example, by removing material from the insole, in particular by cutting out.

真空ポンプのアウトレットは、予真空短管を有することが可能である。この中に、チャンバーが開口している。そして中敷きは、開口部部分を有する。これは、予真空短管の中に持ち込むことが可能であり、又は持ち込まれている。開口部部分は、少なくとも部分的に、予真空短管の内壁を覆い、よってこれを堆積から保護することができる。 The outlet of the vacuum pump can have a pre-vacuum short tube. In this, a chamber is opened. The insole has an opening portion. This can or is brought into the pre-vacuum short tube. The opening portion can at least partially cover the inner wall of the pre-vacuum short tube and thus protect it from deposition.

開口部部分は、好ましくは中敷き材料の部分により形成されており、これは、アウトレット開口部の形成の為に中敷きから除去される、又は切り出される。その際、開口部部分は、好ましくは中敷きと一体に接続されている。よって、開口部部分のために追加的な材料が必要とされない。むしろ、アウトレット開口部の形成によって「リリースされた（独語：ｆｒｅｉｇｅｗｏｒｄｅｎ）」中敷きの材料のみが使用される。 The opening portion is preferably formed by a portion of insole material, which is removed or cut from the insole to form an outlet opening. At that time, the opening portion is preferably connected integrally with the insole. Thus, no additional material is required for the opening portion. Rather, only insole material that has been "released" (German) by the formation of the outlet opening is used.

開口部部分は、特にシェル状の中敷きに対して独立した部材として形成されていることが可能である。開口部部分は、予真空短管内に挿入可能であることが可能である。開口部部分は、その際、予真空短管に合わせて形成されていることが可能である。開口部部分の外直径は、よって基本的に、予真空短管の内直径に相当し得る。更に、開口部部分の軸方向の長さは、予真空短管の軸方向の長さに合わせられていることが可能である。予真空短管内に挿入され、合わせられた開口部部分は、よって予真空短管を効果的に堆積から保護することができる。 The opening portion can be formed as a separate member, in particular for the shell-like insole. The opening portion can be insertable into the pre-vacuum short tube. The opening part can then be formed in accordance with the pre-vacuum short tube. The outer diameter of the opening portion can thus basically correspond to the inner diameter of the pre-vacuum short tube. Furthermore, the axial length of the opening can be matched to the axial length of the pre-vacuum short tube. The mated opening portion inserted into the pre-vacuum short tube can thus effectively protect the pre-vacuum short tube from deposition.

中敷きは、金属から、特に薄板又はフィルムとして、又は好ましくは不活性のプラスチック、例えばＰＴＦＥとして形成されていることが可能である。ＰＴＦＥは、その際、ポリテトラフルオロエチレン（独語：Ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｅｔｈｙｌｅｎ）である。 The insole can be formed from metal, in particular as a sheet or film, or preferably as an inert plastic, for example PTFE. In this case, PTFE is polytetrafluoroethylene (German: Polytetrafluoroethylene).

中敷きは、少なくとも一つのコーティングを有する。これは特に、例えばニッケル又はＰＴＦＥによる付着防止層、及び／又はフィルム状の層である。中敷きの表面は、これによって例えば腐食性の堆積から保護されることが可能である。コーティングは、これが、洗浄剤によって、特に堆積と共に除去され、そして特にチャンバーから外へと洗い出されることが可能であるように形成されていることが可能である。 The insole has at least one coating. This is in particular an anti-adhesion layer, for example with nickel or PTFE, and / or a film-like layer. The insole surface can thereby be protected, for example, from corrosive deposits. The coating can be formed in such a way that it can be removed with a cleaning agent, in particular with deposition, and in particular washed out of the chamber.

中敷きは、スプレーフィルム等の少なくとも一つの層の、覆うべき面へのスプレー又は塗布によって形成されている、又は作られることが可能である。層は、特にこの上に集められる堆積とともに、チャンバー壁部から引きはがされることが可能である。層は、これが、洗浄剤によって、特に堆積とともに除去され、特にチャンバーから外へと洗い出されることが可能であるように形成されていることが可能である。よって、新たなスプレー、又は塗布によって、新しい層が形成されることが可能である。 The insole can be formed or made by spraying or applying at least one layer, such as a spray film, to the surface to be covered. The layer can be peeled away from the chamber wall, particularly with the deposition collected thereon. The layer can be formed in such a way that it can be removed by the cleaning agent, in particular with deposition, and in particular washed out of the chamber. Thus, a new layer can be formed by a new spray or application.

中敷きは、一部材式、又は多部材式に形成されていることが可能である。ハウジングのアウトレットには、予真空ポンプ、例えばロータリーベーンポンプが接続されることが可能である。 The insole can be formed in a single member type or a multi-member type. A pre-vacuum pump, for example a rotary vane pump, can be connected to the outlet of the housing.

本発明は、更に、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、流体、特にプロセスガス、又は空気の為の少なくとも一つのインレットを有するハウジングを有するものに関する。インレットにはレシーバーが接続可能である。真空ポンプは、更に、流体の為の少なくとも一つのアウトレットと、流体を特にレシーバーから真空ポンプを通してインレットからアウトレットへと搬送するための、ハウジング内に配置されるポンプ段を有している。その際、ハウジング内には、特にアウトレット内へと開口する、好ましくは真空ポンプの吐出領域を形成するチャンバーが形成されている。そして、その際、チャンバーは、少なくとも一つの加熱装置によって加熱可能である。チャンバーは、よって堆積をチャンバーから除去するために加熱されることが可能である。 The invention further relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, having a housing with at least one inlet for a fluid, in particular a process gas or air. A receiver can be connected to the inlet. The vacuum pump further comprises at least one outlet for the fluid and a pump stage arranged in the housing for transporting the fluid from the receiver, in particular through the vacuum pump, from the inlet to the outlet. In that case, a chamber is formed in the housing, in particular opening into the outlet, preferably forming the discharge area of the vacuum pump. At that time, the chamber can be heated by at least one heating device. The chamber can thus be heated to remove the deposit from the chamber.

以下に本発明を添付の図面を参照しつつ例示的に説明する。 The present invention will now be described by way of example with reference to the accompanying drawings.

真空ポンプの斜視図Perspective view of vacuum pump 図１の真空ポンプの断面図Sectional view of the vacuum pump of FIG. 真空ポンプ内に配置された中敷きを有する図２の断面図2 is a cross-sectional view of FIG. 2 with an insole disposed within the vacuum pump 中敷きの一つのバリエーションの一部が断面図として見て取れる図３の断面図の一部Part of the cross-sectional view of FIG. 中敷きの別のバリエーションの一部が断面図として見て取れる図３の断面図の一部Part of the cross-sectional view of Fig. 3 showing a part of another variation of the insole 中敷きの別のバリエーションの一部が断面図として見て取れる図３の断面図の一部Part of the cross-sectional view of Fig. 3 showing a part of another variation of the insole 中敷きの別のバリエーションの一部が断面図として見て取れる図３の断面図の一部Part of the cross-sectional view of Fig. 3 showing a part of another variation of the insole 中敷きの一つのバリエーションの一部が断面図として見て取れる図３の断面図の一部Part of the cross-sectional view of FIG. 中敷きの一つのバリエーションの一部が断面図として見て取れる図３の断面図の一部Part of the cross-sectional view of FIG.

図１及び２に示された真空ポンプ１０は、インレットフランジ１２によって取り囲まれたポンプインレット１４を有するハウジング１６を有しており、ハウジング１６内には、ポンプインレット１４に及ぶガスをハウジングの下部分９０に設けられるポンプアウトレット７４へと搬送する為の複数のポンプ段を有する。下部分９０とハウジング１６の間にはシール８１が設けられている。真空ポンプ１０は、ハウジング１６内、又は下部分９０内に、ステーターとローターを有する。ローターは回転軸１８を中心として回転可能に支承されたローターシャフト２０を有している。 The vacuum pump 10 shown in FIGS. 1 and 2 has a housing 16 having a pump inlet 14 surrounded by an inlet flange 12, within which gas extending to the pump inlet 14 is passed through the lower portion of the housing. A plurality of pump stages for transporting to a pump outlet 74 provided at 90; A seal 81 is provided between the lower portion 90 and the housing 16. The vacuum pump 10 has a stator and a rotor in the housing 16 or in the lower part 90. The rotor has a rotor shaft 20 that is rotatably supported about a rotation shaft 18.

真空ポンプ１０は、ターボ分子ポンプとして形成されており、ポンプ効果を奏するよう互いに直列に接続された複数のターボ分子ポンプ段を有している。これらポンプ段は、ローターシャフト２０と接続される複数のターボ分子ローターディスク２２を有し、かつ、ローターディスク２２の間に配置され、そしてハウジング１６内に固定された複数のターボ分子ステーターディスク２４を有する。これらは、スペーサーリング２６によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。ターボ分子ポンプ段によって実現されるポンプ効果を発するシステムは、よって、ローターディスク２２とステーターディスク２４の周期的な交互関係により構築される。その際、視認上の理由から、示された構成部材のいくつかのみに符号が付されている。ローターディスク２２とステーターディスク２４は、吸込み領域２８において、矢印３０の方向に向けられた軸方向のポンプ作用を提供する。 The vacuum pump 10 is formed as a turbo molecular pump, and has a plurality of turbo molecular pump stages connected in series with each other to produce a pumping effect. These pump stages have a plurality of turbomolecular rotor disks 22 connected to the rotor shaft 20 and a plurality of turbomolecular stator disks 24 arranged between the rotor disks 22 and fixed in the housing 16. Have. These are held at a desired axial distance from each other by the spacer ring 26. The pumping system realized by the turbomolecular pump stage is thus constructed by a periodic alternating relationship between the rotor disk 22 and the stator disk 24. In this case, only some of the constituent members shown are marked for visual reasons. The rotor disk 22 and the stator disk 24 provide an axial pumping action in the direction of the arrow 30 in the suction area 28.

真空ポンプ３０は、オプションとして、ターボ分子ポンプ段の後ろに配置される一又は複数のホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段自体は公知であり、図示されていない。例えば、半径方向に互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ効果を奏するよう互いにシリアルに接続された三つのホルベックポンプ段が設けられていることが可能である。ホルベックポンプ段のローター側の部分は、その際、ローターシャフト２０と接続される一つのローターハブと、ローターハブに固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状のホルベックロータースリーブを有する。これらは、ローター軸１８と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、一、二、又は三のシリンダー側面形状のホルベックステータースリーブが設けられていることが可能である。これらは、同様に、回転軸１８と同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、狭い半径方向のホルベック間隙を形成しつつ互いに向き合っている、変形方向の側面（各ホルベックロータースリーブとホルベックステータースリーブの側面）によって形成されている。その際、其々、ポンプ効果を発する側面の一方、特にホルベックロータースリーブの側面と、向かい合ったポンプ効果を発する表面、特にホルベックステータースリーブの側面が、回転軸１８の周りをねじ線形状に回って軸方向に推移する溝を有する構造化部を有している。溝の中では、ローターの回転によってガスが駆動促進され、これによってポンピングが行われる。ただし、表された真空ポンプ１０においては、ホルベックポンプ段は設けられていない。 The vacuum pump 30 optionally has one or more Holbeck pump stages located behind the turbomolecular pump stage. The Holbeck pump stage itself is known and not shown. For example, it is possible to provide three Holbeck pump stages that are arranged nested in each other in the radial direction and that are serially connected to each other to produce a pumping effect. The rotor-side part of the Holbeck pump stage then has a rotor hub connected to the rotor shaft 20 and a cylinder-sided Holbeck rotor sleeve fixed to and carried by the rotor hub. They are oriented coaxially with the rotor shaft 18 and are nested together in the radial direction. Furthermore, one, two or three cylinder side-shaped holbek stator sleeves can be provided. They are likewise oriented coaxially with the rotary shaft 18 and are connected in a telescopic manner in the radial direction. The pumping surface of the Holbeck pump stage is formed by deformation side surfaces (side surfaces of each Holbeck rotor sleeve and Holbeck stator sleeve) facing each other while forming a narrow radial Holbeck gap. . At that time, one side of the pumping effect, particularly the side of the Holbeck rotor sleeve, and the other side of the pumping effect facing the pumping effect, particularly the side of the Holbeck stator sleeve, are screwed around the rotating shaft 18. It has a structured part with a groove that turns and moves axially. In the groove, the driving of the gas is promoted by the rotation of the rotor, thereby pumping. However, the represented vacuum pump 10 is not provided with a Holbeck pump stage.

シール領域３４は、特別な、この場合では非対称に形成されたステーターディスク２４によって形成される。このステーターディスクは、ローターディスク２２に対し残される中間空間を最小に保ち、第一及び第二のポンプ段の間での望まれない逆流に対するより良好なシール性を得ることを図る。 The sealing area 34 is formed by a special, in this case asymmetrically formed stator disk 24. This stator disk keeps the intermediate space left for the rotor disk 22 to a minimum and seeks to obtain a better sealing against unwanted back flow between the first and second pump stages.

予負荷兼シールリング３２は、ハウジング１６の内壁と、ターボ分子ポンプ段の間、特に二つのスペーサーリング２６の間に設けられている。予負荷兼シールリング３２は、複数のスペーサーリング２６からなる公差を有する積層部が、ハウジング１６と下部分９０の間で確実に予負荷を与えられることに供する。更に、これは、スペーサーリング２６の積層部とハウジング１６の壁部の間の間隙を、予真空領域／排出領域から高真空領域／吸引領域への望まれない逆流に対しても追加的にシールを行う。 A preload and seal ring 32 is provided between the inner wall of the housing 16 and the turbomolecular pump stage, in particular between the two spacer rings 26. The preload / seal ring 32 serves to ensure that a laminated portion having a tolerance composed of a plurality of spacer rings 26 is reliably preloaded between the housing 16 and the lower portion 90. In addition, this additionally seals the gap between the stack of spacer rings 26 and the wall of the housing 16 against unwanted backflow from the pre-vacuum / evacuation zone to the high vacuum / suction zone. I do.

ハウジング１６には、フラッドガスインレット（独語：Ｆｌｕｔｇａｓｅｉｎｌａｓｓ）３６が設けられている。フラッドガスインレット３６は、好ましくは、ポンプ流下流、又は予負荷兼シールリング３２の下に位置している。接続部の高さに位置するスペーサーリング２６は、好ましくは、その側面上に、全周にわたってチャネル、又は切欠き部を設けられているので、フラッドガス（独語：Ｆｌｕｔｇａｓ）は、まず全リングチャネルに良好なコンダクタンス（独語：Ｌｅｉｔｗｅｒｔ）で分配され、そしてその後、周囲にわたって可能な限り均等にステーター積層部内の間隙へと、又は空所部へとより低いコンダクタンスで侵入し、そして真空近くのフラッド（氾濫、注気、独語：Ｆｌｕｔｅｎ）に対して機械的に安定した予真空近傍のポンプ段に達する。 The housing 16 is provided with a flood gas inlet (German). The flood gas inlet 36 is preferably located downstream of the pump flow or under the preload and seal ring 32. The spacer ring 26 located at the height of the connecting portion is preferably provided with a channel or a notch on the entire side thereof, so that flood gas (German: Flutgas) Distributed with good conductance (German: Leitwert) and then penetrates into the gaps in the stator stack as evenly as possible around the periphery or into the void with lower conductance, and a flood near vacuum ( It reaches a pump stage near the pre-vacuum that is mechanically stable against flooding, insufflation, German.

下部分９０には、冷却媒体インレット３８と冷却媒体アウトレット４０が設けられている。これらの間には、少なくとも一つの冷却媒体管７６によって形成される冷却媒体配管が推移している。これは、下部分９０の周りを周回して案内されている。冷却媒体インレット３８と、冷却媒体アウトレット４０には、冷却媒体ポンプが接続されることが可能である。これによって冷却流体が冷却媒体配管を通してポンピングされることが可能である。真空ポンプ１０が冷却する為である。 The lower portion 90 is provided with a cooling medium inlet 38 and a cooling medium outlet 40. Between these, the cooling medium pipe formed by at least one cooling medium pipe 76 changes. This is guided around the lower part 90. A cooling medium pump can be connected to the cooling medium inlet 38 and the cooling medium outlet 40. This allows the cooling fluid to be pumped through the cooling medium piping. This is because the vacuum pump 10 is cooled.

冷却媒体管７６は、下部分９０の、予形成された空所部内へと例えば、特許文献１に従い圧入されていることが可能である。管端部は、例えばカット・クランプ・スクリュー、又は特別な差込み接続部によって、インレット３８又はアウトレット４０に接続されるために、各管部分として任意の角度でポンプ１０の輪郭から突き出していることが可能である。 The cooling medium tube 76 can be press-fitted in accordance with, for example, US Pat. The tube ends may protrude from the contour of the pump 10 at any angle as each tube portion to be connected to the inlet 38 or outlet 40 by, for example, a cut-clamp screw or a special plug connection. Is possible.

管端部は、接続ブロック内に収容されることが可能である。接続ブロックは、インレット３８またはアウトレット４０を形成し、そしてそれらの側で下部分９０に形成されている。その際、管７６と接続ブロック３８，４０の密な接続は、種々の方法で形成されることが可能である。これは例えば、ロウ付け、はんだ付け、クランプ／プレス／ストレッチ又はエクスパンド（独語：Ｄｅｈｎｅｎ）により、又は独立したしいーる要素、例えば（カッティング）シールリング、またはシールバンド、又は統合されたシールシステムを有する特別な差込み接続による。 The tube end can be accommodated in a connection block. The connecting block forms an inlet 38 or outlet 40 and is formed in the lower portion 90 on their sides. In this case, the close connection between the tube 76 and the connection blocks 38, 40 can be formed in various ways. This can be done, for example, by brazing, soldering, clamping / pressing / stretching or expanding (German: Dehnen) or by independent elements such as (cutting) sealing rings or sealing bands or integrated sealing systems. By special plug-in connection.

冷却媒体配管が表されている。これは、インレット３８から始まって、完全ならせん形状に三周して設けられる下部分９０の巻き付け部（独語：Ｕｍｓｃｈｌｉｎｇｕｎｇｅｎ）を有し、その後アウトレット４０で終了している。代替として、任意の数量、又は部材の巻き付け部が、一又は複数の異なる半径で、及び／又は、回転軸１８の異なる軸方向高さで交差していることが可能であり、
または、その周回方向において、一回又は複数回逆戻りすることが可能である。これは、例えばＵ字形状の曲折部、又は、設けられた転向ブロックによって行われる。曲折部、又は転向ブロックは、接続ブロック同様、二つの管部分端部を収容し、そしてそれらの間の接続を形成する。そのような接続ブロック、及び転向ブロックは、一つのバルブも含むことが可能である。このバルブは、冷却媒体流を制御し、又は必要に応じて中断することができる。代替として、任意のブロックが、別の一つの接続部を有することが可能である。これに、例えば、追加的な、特に平行な冷却媒体ストランド、又は、一若しくは複数のバルブ（冷却媒体流の転向又は分配の為のもの）が、必要とされる場合に応じて、冷却媒体管システムの異なる分岐に存在している。これらは、バイパスとして、又は迂回路として使用されることが可能である。 The cooling medium piping is shown. This starts with an inlet 38 and has a lower portion 90 wrapping portion (German: Uschlingungen) provided around the complete spiral shape, and then ends at the outlet 40. Alternatively, any number or number of member wraps may intersect at one or more different radii and / or at different axial heights of the rotational axis 18;
Alternatively, it is possible to go back one or more times in the circumferential direction. This is performed, for example, by a U-shaped bend or a turning block provided. The bend, or turning block, like the connection block, accommodates the two tube portion ends and forms a connection between them. Such connection blocks and turning blocks can also include a single valve. This valve can control the coolant flow or can be interrupted if necessary. Alternatively, any block can have another single connection. To this, for example, additional, particularly parallel cooling medium strands, or one or more valves (for cooling medium flow diversion or distribution), if necessary, cooling medium tubes Exists on different branches of the system. They can be used as a bypass or as a bypass.

ローターシャフト３０の回転可能な支承は、ポンプアウトレット７４の領域のローラー支承部４２と、ポンプインレット４４の領域の永久磁石支承部４４によって行われる。 The rotatable bearing of the rotor shaft 30 is effected by a roller bearing 42 in the area of the pump outlet 74 and a permanent magnet bearing 44 in the area of the pump inlet 44.

永久磁石支承部４４は、永久磁石支承部４４は、ローター側の支承半部４６とステーター側の支承半部４８を有する。これらは、其々、リング積層部を有する。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング５０，５２から成っている。その際、マグネットリング５０，５２は、半径方向の支承間隙５４を形成しつつ互いに向かい合っている。 The permanent magnet bearing 44 has a rotor-side bearing half 46 and a stator-side bearing half 48. Each of these has a ring stack. The ring laminated portion is composed of a plurality of rings 50 and 52 of permanent magnets laminated together in the axial direction. At this time, the magnet rings 50 and 52 face each other while forming a radial support gap 54.

永久磁石支承部４４の内部には、緊急用、又は案税用支承部５６が設けられている。これは潤滑されていないローラー支承部として形成されており、そして真空ポンプの通常の運転では非接触で空転し、そしてローターが半径方向に過剰に偏向した際に初めてステーターと係合・介入・接触するに至る。ローターの半径方向のストッパーを形成するためである。ストッパーは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止する。緊急用、又は安全用支承部５６は、インサートを介して独立して保持されており、よって永久磁石支承部４４と独立して交換されることが可能である。 Inside the permanent magnet support 44, an emergency or tax support 56 is provided. It is designed as a non-lubricated roller bearing, and in normal operation of the vacuum pump, it slips non-contactingly and engages, intervenes, contacts with the stator only when the rotor is excessively deflected in the radial direction It leads to. This is to form a stopper in the radial direction of the rotor. The stopper prevents the rotor-side structure from colliding with the stator-side structure. The emergency or safety support 56 is held independently via the insert and can thus be replaced independently of the permanent magnet support 44.

ローラー支承部４２は、リングホルダーによって保持される。リングホルダーは、自身の側ではエラストマー要素によって軸方向も半径方向もローラー支承部ホルダー又はローラー支承部懸架部６４に連結されている。これは、下部部分９０に確実に固定されている。機械的なストッパーは、リングホルダーとローラー支承部懸架部８４の間の可能な相対動作を制限する。 The roller support 42 is held by a ring holder. The ring holder is connected to the roller bearing holder or the roller bearing suspension 64 in the axial and radial direction on its own side by means of an elastomer element. This is securely fixed to the lower part 90. The mechanical stopper limits the possible relative movement between the ring holder and the roller bearing suspension 84.

ローラー支承部４２の領域内には、ローターシャフト２０に円すい形のスプラッシュナット５８が設けられている。これは、ローラー支承部４２の方に向かって増大する外直径を有している。スプラッシュナットは、潤滑剤チャネル６０によって供給される作動媒体、特に潤滑剤を収容し、そしてローラー支承部へと供給することができる。スプラッシュナット５８は、好ましくは特許文献２に従い形成されていることが可能である。 A conical splash nut 58 is provided on the rotor shaft 20 in the region of the roller support 42. This has an outer diameter that increases towards the roller bearing 42. The splash nut contains the working medium supplied by the lubricant channel 60, in particular the lubricant, and can be supplied to the roller bearing. The splash nut 58 can preferably be formed according to US Pat.

作動媒体は、潤滑剤ポンプ７８によって循環させられる。潤滑剤ポンプ７８は、好ましくは特許文献３に従い構成されている。これは、特に潤滑剤搬送チャネルを提供することができる。これは、少なくとも、特許文献４に記載のセグメント内に、Ｏ−Ｒｉｎｇシールされた円形チャネルとして構成されている。 The working medium is circulated by a lubricant pump 78. The lubricant pump 78 is preferably configured according to Patent Document 3. This can in particular provide a lubricant transport channel. This is at least configured as an O-Ring sealed circular channel in the segment described in US Pat.

潤滑剤ポンプ７８によって、能動的に制御される作動媒体きょうくうが実現されることが可能である。 With the lubricant pump 78, an actively controlled working medium can be realized.

真空ポンプ１０は、ローターの回転駆動の為の駆動モーター６２を有する。その回転子は、ローターシャフト２０によって形成されている。制御ユニット６４は、駆動モーター６２を駆動・制御する。電気的な接続部６６を介して、真空ポンプ１０と、特に制御ユニット６４及び駆動モーター６２は電流を供給されることが可能である。制御ユニット７４は、ハウジングの下側の領域を形成し、そしてカバー８０によって封されている。制御ユニット６４は、カバー８０により下部分を封する。実施形に応じて、制御ユニット６４、カバー８９及び／又は下部分９０の間には、一又は複数のシール７７が周回して設けられる、又は他のシール媒体、例えば流体シール媒体、接着剤、又は特に適合可能なモールドシールによって、相応する移行部が封されることが可能である。メディア、及び／又は汚染物が侵入することに対する安全性を獲得する為である。少なくとも一つの電気的な展開部６８によって、電流がカバー８０を通ってハウジング内へと案内され、そして特に駆動モーター６２へと供給されることが可能である。 The vacuum pump 10 has a drive motor 62 for rotating the rotor. The rotor is formed by the rotor shaft 20. The control unit 64 drives and controls the drive motor 62. Via the electrical connection 66, the vacuum pump 10 and in particular the control unit 64 and the drive motor 62 can be supplied with current. The control unit 74 forms a lower area of the housing and is sealed by a cover 80. The control unit 64 seals the lower part with a cover 80. Depending on the implementation, one or more seals 77 are provided between the control unit 64, the cover 89 and / or the lower part 90, or other sealing media, such as fluid sealing media, adhesives, Or, the corresponding transition can be sealed by a particularly adaptable mold seal. This is to obtain safety against the intrusion of media and / or contaminants. With at least one electrical deployment 68, current can be guided through the cover 80 into the housing and in particular to the drive motor 62.

真空展開部８６は、特許文献５に従い形成されていることが可能である。その際、ここで記載されている例においては、基板は複数のシールリングによって分離され、異なる電圧電位及び信号を互いに分離してポンプ内部から、つまり真空領域から、外へと、つまり「大気中（独語：Ａｔｍｏｓｐｈａｅｒｅ）」へと、そして特に制御ユニット６４へと案内する。 The vacuum developing section 86 can be formed according to Patent Document 5. In that case, in the example described here, the substrate is separated by a plurality of seal rings, separating different voltage potentials and signals from each other and from the inside of the pump, ie from the vacuum region, ie, “atmospheric”. (German: Atmosphere), and in particular to the control unit 64.

適用ケースに応じて、制御ユニット６４によっても、駆動モーター６２によっても、又はポンプ効果を発する構成要素によっても、ハウジング１６を介して主として望まれない熱がポンプ内へと運ばれることが可能である。制御ユニット６４は最も低い温度に保持される必要があるので、冷却媒体、例えば水が、好ましくはインレット３８からアウトレット４０へと流れる。 Depending on the application case, mainly undesired heat can be carried into the pump via the housing 16, either by the control unit 64, by the drive motor 62, or by components that produce a pumping effect. . Since the control unit 64 needs to be kept at the lowest temperature, a cooling medium, such as water, preferably flows from the inlet 38 to the outlet 40.

下部分９０の半径方向外側には、被覆８８が設けられていることが可能である。被覆８８（この被覆は、側面形状に、ポンプ１０の回転軸１８に沿ってスリット形成された薄板スリーブとして形成されていることが可能である）は、ポンプ１０の外側面では、好ましくは、表されていない。その下に位置する解決策へのより良好な視認性を得るためである。被覆８８は、一又は複数の覗き窓又は切り取り部を有する。下部分９０の任意の接続部、例えばシールガスインレット６８を外に向かって貫通案内するため、又はポンプ１０の形式データ（形式表示、又は刻印）（これらは下部分に取外し不能に取り付けられている）を見ることを可能とするためである。 A coating 88 can be provided on the radially outer side of the lower portion 90. The coating 88 (which can be formed as a thin sleeve that is slit in the shape of a side surface along the axis of rotation 18 of the pump 10) is preferably on the outer surface of the pump 10. It has not been. This is to obtain better visibility into the underlying solution. The covering 88 has one or more viewing windows or cutouts. Any connecting part of the lower part 90, for example to guide the sealing gas inlet 68 through outward, or the type data (type indication or inscription) of the pump 10 (these are permanently attached to the lower part) This is to make it possible to see.

シールガスインレット６８は、洗浄ガス接続部とも称される。シールガスインレット６８を介して、モーター６２の保護の為の洗浄ガスが、モーター室（この中にモーター６２が収納されている）内へと搬送されることが可能である。シールガスインレット６８を介してモーターの領域に導入されたガスは、下部分９０内に存在する構成要素を腐食から保護し、及び／又は、堆積するメディア（これらは、適用ケースに応じてポンプシステム中に発生する可能性がある）から保護する。モーターキャリア８２と下部分９０間には、シール８３が設けられるので、ラビリンスシール７２は、唯一残された通路として一方ではその低いコンダクタンスでもって、モーター領域およびローラー支承部領域内へと流れ込むメディアに対する遮断部を意味、そして更に、ローラー支承部領域、及びモーター領域のシールガス／不活性ガスにより高められた飽和状態を防止する。 The seal gas inlet 68 is also referred to as a cleaning gas connection. A cleaning gas for protecting the motor 62 can be conveyed into the motor chamber (in which the motor 62 is housed) via the seal gas inlet 68. The gas introduced into the area of the motor via the seal gas inlet 68 protects the components present in the lower part 90 from corrosion and / or deposits media (these are pump systems depending on the application case). That may occur during A seal 83 is provided between the motor carrier 82 and the lower portion 90 so that the labyrinth seal 72 is against the media flowing into the motor area and the roller bearing area with its low conductance as the only remaining passage. Means a shut-off and further prevents saturation caused by the seal / inert gas in the roller bearing area and in the motor area.

モーター室を上に向かって画成するモーターキャリア８２と、下側のローターディスク２２の間には、ラビリンスシール７２が設けられている。電気的な駆動モーター６２は、有利には注入要素（独語：Ｖｅｒｇｕｓｓｍａｓｓｅ）によって腐食に対して保護されている。表された実施形においては、モーターキャリア８２は、駆動モーターと共に統合的に共通して鋳出されているので、モーターキャリアと一体に形成されるラビリンスシール７２のスターター側を含む全ユニットは、一つのステップで下部分９０と理想的に整向され、又は中心出しされて接続されることが可能である。 A labyrinth seal 72 is provided between the motor carrier 82 that defines the motor chamber upward and the lower rotor disk 22. The electric drive motor 62 is preferably protected against corrosion by an injection element (German: Vergus mass). In the illustrated embodiment, the motor carrier 82 is integrally cast together with the drive motor so that all units including the starter side of the labyrinth seal 72 formed integrally with the motor carrier are It can be ideally oriented or centered and connected with the lower portion 90 in one step.

ラビリンスシール７２の半径方向外側、かつターボ分子ポンプ段の下側には、予真空領域が存在している。この中に、特に、回転軸１８を中心としてリング形状に周回するチャンバー７０が形成されている。これは、図２及び３に見て取ることができるように、基本的に長方形の断面を有している。ただしこの断面形状は、例として見られるのみであるので、他の断面形状、例えば正方形、又は円形の断面も実現されていることが可能である。チャンバー７０は、ハウジング１６内、又は下部分９０内の他の箇所に設けられていることも可能である。好ましくは、チャンバー７０は、ほとんどの堆積が発生する箇所、つまり典型的には予真空領域内に位置している。特に好ましくは、チャンバー７０は、よって最後のポンプ段とポンプインレット７４の間に一している。 A pre-vacuum region exists outside the labyrinth seal 72 in the radial direction and below the turbo molecular pump stage. In particular, a chamber 70 that circulates in a ring shape around the rotation shaft 18 is formed. This has a basically rectangular cross section, as can be seen in FIGS. However, since this cross-sectional shape is only seen as an example, other cross-sectional shapes such as square or circular cross-sections can also be realized. The chamber 70 can also be provided elsewhere in the housing 16 or in the lower portion 90. Preferably, chamber 70 is located where most of the deposition occurs, typically in the pre-vacuum region. Particularly preferably, the chamber 70 is therefore contiguous between the last pump stage and the pump inlet 74.

表されているバリエーションでは、チャンバー７０はポンプアウトレット７４へと開口している。チャンバー７０は、よって真空ポンプ１０によってインレットから搬送されるガスの為の吐出領域を形成する。これは、ポンプインレット７４を介して、これに接続される予真空ポンプ（図示せず）へと至ることができる。予真空ポンプは、ガスを更に、例えば排ガスの為の配管（通常圧下にある）内へと搬送することができる。 In the illustrated variation, the chamber 70 opens to the pump outlet 74. The chamber 70 thus forms a discharge area for the gas carried from the inlet by the vacuum pump 10. This can lead via a pump inlet 74 to a pre-vacuum pump (not shown) connected to it. The pre-vacuum pump can carry the gas further into, for example, a pipe for exhaust gas (normally under pressure).

図３の断面図は、図２の断面図に相当する。その際、図３に従いチャンバー７０内に、中敷き（又は封入物、独語：Ｅｉｎｌａｇｅ）９２が設けられている。この上に堆積が堆積する、又は蓄積することが可能である。堆積は、ポンプ１０によって吸引されるガスを介してポンプ１０内へと至り、そして経験に従い主としてチャンバー７０内に堆積する。中敷き９２によって、堆積（例えば素材、粒子、及び／又は流体滴のようなもの）は、中敷き９２によってカバーされる、又は覆われるチャンバー７０の壁部上に直接堆積せず、中敷き９２上に堆積する。中敷き９２は、例えば、ポンプ１０のメンテナンスの際にチャンバー７０から外にとり出され、そして洗浄され、又は新しい中敷き９２と交換されることが可能である。堆積は、よって簡単にポンプ１０から取り除かれることが可能である。 The cross-sectional view of FIG. 3 corresponds to the cross-sectional view of FIG. At that time, an insole (or an enclosure, German: Einage) 92 is provided in the chamber 70 according to FIG. On top of this, a deposit can be deposited or accumulated. Deposition reaches the pump 10 via the gas sucked by the pump 10 and deposits mainly in the chamber 70 according to experience. With the insole 92, deposition (such as material, particles, and / or fluid droplets) does not deposit directly on the walls of the chamber 70 covered or covered by the insole 92, but on the insole 92. To do. The insole 92 can be removed from the chamber 70 during maintenance of the pump 10 and cleaned or replaced with a new insole 92, for example. Deposition can thus be easily removed from the pump 10.

表された実施例においては、中敷き９２は基本的にチャンバー７０の形状に合わせて形成されている。中敷き９２は、よってぴったりとチャンバー７０内に入れられることが可能である。中敷き９２は、その際、カバーすべきチャンバー編基部の直前に位置することが可能である。中敷き９２は、チャンバー７０のように、半径方向でみて基本的に長方形の断面を有する円形状である。 In the illustrated embodiment, the insole 92 is basically formed to match the shape of the chamber 70. The insole 92 can thus fit snugly into the chamber 70. The insole 92 can then be positioned immediately before the chamber knitting base to be covered. Like the chamber 70, the insole 92 has a circular shape having a basically rectangular cross section when viewed in the radial direction.

中敷き９２は、このましくは金属薄板から形成されている。但しこれは、他の材料、例えばプラスチック、特にＰＴＦＥから形成されいてることも可能である。 The insole 92 is preferably formed of a thin metal plate. However, it can also be formed from other materials, such as plastic, in particular PTFE.

中敷き９２は、底部９４、半径方向内側に位置する側壁部９６、及び半径方向外側に位置する側壁部９８を有する。これらは、近似的に、又は完全に垂直方向へ底部９４から離れる方向へ上に向かって推移している。例えば中敷き９２が少なくとも部分的に変形されて、又は予成形されて製造されるとき、一、又は複数の要素が、好ましくはテーパーを有することが可能である。底部９４と側壁部９６，９８は、上に開かれた容積１００を取り囲む。中敷き９２は、よって円環形状のシェル、又は一般的に表すと円環状の容器の形状を有する。 The insole 92 has a bottom portion 94, a side wall portion 96 located on the radially inner side, and a side wall portion 98 located on the radially outer side. These are moving upwards in a direction away from the bottom 94 approximately or completely vertically. For example, when the insole 92 is manufactured at least partially deformed or preformed, one or more elements can preferably have a taper. The bottom 94 and the side walls 96, 98 surround a volume 100 that is open upward. The insole 92 thus has the shape of an annular shell, or generally an annular container.

図３の中敷き９２は、前配置されたポンプ段の方に向けられた上側の面が開いている。ポンプ段によって吐き出されるガスは、よって、壁部等によってブロックされること無しに、容積１００内へと至ることが可能であるので、堆積は、特別良く容積１００内に集積する可能性がある。 The insole 92 in FIG. 3 is open on the upper side facing the pump stage arranged in front. The gas expelled by the pump stage can thus reach into the volume 100 without being blocked by walls or the like, so that deposition can accumulate in the volume 100 particularly well.

中敷き９２は、更にアウトレット開口部１０２を有する（図４及び５参照）。その断面は好ましくは、ポンプアウトレット７４の断面に相当する。中敷き９２は、その際、アウトレット開口部１０２がポンプアウトレット７４と整列するよう、チャンバー７０内に設けられる。ガスは、よって、アウトレット開口部１０２を通ってポンプアウトレット７４内屁と、そしてひいてはポンプ１０から外へと流れることが可能である。アウトレット開口部１０２は、特に、中敷き９２から切り出される、又は他の方法で分離摘出されることによって形成されることが可能である。 The insole 92 further has an outlet opening 102 (see FIGS. 4 and 5). The cross section preferably corresponds to the cross section of the pump outlet 74. The insole 92 is then provided in the chamber 70 so that the outlet opening 102 is aligned with the pump outlet 74. The gas can thus flow through the outlet opening 102 and into the pump outlet 74, and thus out of the pump 10. The outlet opening 102 can be formed in particular by being cut out from the insole 92 or otherwise separated and extracted.

中敷き９２は、チャンバー７０内に固定されており、より詳細には、好ましくは少なくとも一つの固定部によって固定されている。中敷き９２は、例えば複数のステーターディスク２４の一群に挟まれた状態で固定されることが可能である。図３に示されているように、半径方向外側に位置する側壁部９８は、はるかに上へと向かって推移しているので、その上側の端部は、最も下のステーターディスク２４に当接する。中敷き９２は、よって最も下のステーターディスク２４によってチャンバー７０内に固定されることが可能である。 The insole 92 is fixed in the chamber 70, and more specifically, is preferably fixed by at least one fixing portion. For example, the insole 92 can be fixed while being sandwiched between a group of a plurality of stator disks 24. As shown in FIG. 3, the side wall portion 98 located on the radially outer side moves far upward, so that its upper end abuts against the lowermost stator disk 24. . The insole 92 can thus be secured within the chamber 70 by the lowermost stator disk 24.

図３に示すように、半径方向内側に位置する側壁部９６の上側の端部は、半径方向内側に向けられていることが可能である。しかし好ましくは（図と反対に）、側壁部９６の上側の端部と、そこに位置する下側のローターディスク２２の間に狭い間隙が存在する結果、ローターディスク２２が側壁部９６における駆動部無しに回転軸１８の周りを回転することが可能である。 As shown in FIG. 3, the upper end portion of the side wall portion 96 located radially inward can be directed radially inward. However, preferably (as opposed to the figure), there is a narrow gap between the upper end of the side wall 96 and the lower rotor disk 22 located there, so that the rotor disk 22 is driven on the side wall 96. Without rotation, it is possible to rotate around the rotation axis 18.

図４は、図３の断面図の部分図を示す。この中に、中敷き９２の一つのバリエーションの一部分が断面で見て取ることができる。中敷き９２の当該部分は、その際、ポンプアウトレット７４の領域に存在し、そして既に上述したアウトレット開口部１０２を有する。 FIG. 4 shows a partial view of the cross-sectional view of FIG. In this, a part of one variation of the insole 92 can be seen in cross section. This part of the insole 92 is then present in the region of the pump outlet 74 and has the outlet opening 102 already described above.

図４は更に、ポンプアウトレット７４を有するポンプ１０の予真空短管１０４内に開口部部分１０６が延在することを示す。開口部部分１０６は、基本的に、予真空短管１０４の内直径に相当する独立した部分、特に管形状の部分として形成されていることが可能である。開口部部分１０６は、予真空短管１０４内に導入されていることが可能である。開口部部分１０６によって形成されるチャネル１０８は、その際、中敷き９２のアウトレット開口部１０２へと接続することができる。開口部部分１０６は、中敷き９２と一体に形成されていることも可能である。 FIG. 4 further illustrates the opening portion 106 extending into the pre-vacuum short tube 104 of the pump 10 having a pump outlet 74. The opening part 106 can basically be formed as an independent part corresponding to the inner diameter of the pre-vacuum short tube 104, in particular as a tubular part. The opening portion 106 can be introduced into the pre-vacuum short tube 104. The channel 108 formed by the opening portion 106 can then be connected to the outlet opening 102 of the insole 92. The opening portion 106 can be formed integrally with the insole 92.

図５は、図３の断面図の部分図を示す。この中に再び、中敷き９２の部分が断面で見て取ることができる。この部分は、ポンプアウトレット７４の領域に存在し、そしてアウトレット開口部１０２を有する。図５に示された中敷き９２は、変化バリエーションを示す。このバリエーションにおいて、開口部部分１０６は、アウトレット開口部１０２の切り取りによって獲得される材料によって形成される。 FIG. 5 shows a partial view of the cross-sectional view of FIG. Again, the part of the insole 92 can be seen in cross section. This portion is in the region of the pump outlet 74 and has an outlet opening 102. The insole 92 shown in FIG. 5 shows a variation variation. In this variation, the opening portion 106 is formed of a material obtained by cutting out the outlet opening 102.

表されているように、開口部部分１０６は、三角形の材料編１１０により形成されることが可能である。これらは、アウトレット開口部の星形の開口、又は切り出しによって形成される。材料片１１０は、中敷き９２と接続されたままである。材料片１１０は、予真空短管１０４内へと押圧され、そして特に予真空短管１０４の内壁部と当接させられる。短管１０４のカバーされる内壁部領域は、よって堆積から保護されている。 As depicted, the opening portion 106 can be formed by a triangular material knitting 110. These are formed by star-shaped openings or cutouts of the outlet openings. The piece of material 110 remains connected to the insole 92. The piece of material 110 is pressed into the pre-vacuum short tube 104 and in particular is brought into contact with the inner wall of the pre-vacuum short tube 104. The covered inner wall region of the short tube 104 is thus protected from deposition.

図６は、図３の断面図の一部を示す。この中で、中敷き９２の更に別のバリエーションの一部が断面図として見て取ることができる。表されているように、中敷き９２の底部９４内の孔内に、及びその下に位置する、チャンバー７０の底部の孔内に、ディスク１１２がねじ込まれていることが可能である。中敷き９２を固定するためである。ねじ１１２は、表されているように、好ましくはレンズヘッドネジであるので、底部９４が堆積によって覆われると、容易に見つけ出すことが可能である。回転軸１８の回転方向（図３参照）で見て、中敷き９２を固定するための複数のネジ１１２は、互いにずらされて中敷き９２の底部９４内に、又はチャンバー底部内にねじ込まれていることが可能である。 FIG. 6 shows a part of the cross-sectional view of FIG. Among them, a part of still another variation of the insole 92 can be seen as a cross-sectional view. As shown, the disk 112 can be screwed into a hole in the bottom 94 of the insole 92 and into a hole in the bottom of the chamber 70 located below it. This is for fixing the insole 92. The screw 112, as shown, is preferably a lens head screw so that it can be easily found once the bottom 94 is covered by deposition. A plurality of screws 112 for fixing the insole 92 as viewed in the rotation direction of the rotary shaft 18 (see FIG. 3) are shifted from each other and screwed into the bottom 94 of the insole 92 or into the chamber bottom. Is possible.

図７は、図３の断面図の一部を示す。この中では、中敷き９２の更に別のバリエーションの一部が断面図として見て取ることができる。これは、図６のバリエーションと比較して、固定の為のねじ１１２を有さない。このバリエーションでは、中敷き９２は、その上側面１１４においてここでも開放している。しかも側壁部９８内では、側壁部９８の周囲方向に沿って互いにずらされて位置する、長さ方向の連続した複数の開口部１１６、特にスリット又は突破部が設けられている。複数の開口部１１６は、図７に表されているように、側壁部９８の上側の縁部の領域に設けられている。側壁部９８の上側の縁部は、複数の開口部１１６に基づいて一つの波形状の構造を有する。 FIG. 7 shows a part of the cross-sectional view of FIG. Among them, a part of still another variation of the insole 92 can be seen as a sectional view. This does not have a screw 112 for fixing compared to the variation of FIG. In this variation, the insole 92 is still open on its upper side 114. Moreover, a plurality of continuous openings 116 in the longitudinal direction, particularly slits or breakthroughs, are provided in the side wall 98, which are shifted from each other along the peripheral direction of the side wall 98. As shown in FIG. 7, the plurality of openings 116 are provided in the region of the upper edge portion of the side wall portion 98. The upper edge portion of the side wall portion 98 has a single wavy structure based on the plurality of openings 116.

中敷き９２は、特に側壁部９８への上からの押圧によって、第一の形状から第二の形状へと移行させられることが可能である。その際、中敷き９２は第二の形状において軸方向で見て縮小されている、又は圧縮されている。複数の開口部１１６を有する側壁部９８の上側の縁部は、その際、周回する変形領域を形成している。側壁部９８への押圧によって、開口部１１６は、可塑的に、又は弾性的に変形し、及び縮小されることが可能であるので、側壁部の軸方向のサイズは縮小され、そして中敷き９２はこれにより軸方向において、圧縮される。開口部１１４は、よって、全高の変更の為、側壁部９８の軸方向の短縮変形（独語：Ｅｉｎｆｅｄｅｒｎ）を許す。中敷き９２は、その際、渦巻きばねの形式のもののようにふるまい、よって最も下のステーターディスク２４とチャンバー底部の間に挟み込まれることが可能である。 The insole 92 can be shifted from the first shape to the second shape, particularly by pressing the side wall portion 98 from above. At that time, the insole 92 is reduced or compressed in the second shape when viewed in the axial direction. The upper edge portion of the side wall portion 98 having the plurality of openings 116 forms a deformation region that circulates at that time. By pressing against the side wall 98, the opening 116 can be plastically or elastically deformed and reduced so that the axial size of the side wall is reduced and the insole 92 is This compresses in the axial direction. The opening 114 thus allows for a shortened deformation (German: Einfedern) in the axial direction of the side wall 98 for changing the overall height. The insole 92 then behaves like a spiral spring and can therefore be sandwiched between the lowermost stator disk 24 and the chamber bottom.

中敷き９２の「ねじ込み」によって少なくともわずかに外側の側壁部９８が半径方向外側に向かって動かされ、及び／又は内側の側壁部９６が半径方向内側に向かって動かされることが可能であり、その結果、これらが内側又は外側のチャンバー壁部と当接する、というように中敷き９２が形成されていることが可能である。中敷き９２は、これによって同様にチャンバー７０内において固定され、又はテンションがけされることが可能である。これは、例えば、側壁部９８が、周囲方向に互いにずらされて位置する、連続する複数の開口部１１６を有し、これが、側壁部の上方の縁部から出発して、少なくとも基本的に軸方向で下に向かって推移する（図示せず）ことによって可能であることができる。側壁部９８は、これによってその上方の縁部に、周囲方向に互いにずらされて位置する複数の連結部を有する。これらは、例えば、半径方向外側に向かって傾斜していることが可能である。中敷き９８をチャンバー７０内で挟み込むためである。 By “screwing” the insole 92, at least slightly the outer sidewall 98 can be moved radially outward and / or the inner sidewall 96 can be moved radially inward, as a result. An insole 92 can be formed such that they abut against the inner or outer chamber wall. The insole 92 can likewise be fixed in the chamber 70 or tensioned. This includes, for example, a plurality of successive openings 116 in which the side wall 98 is positioned offset from one another in the circumferential direction, starting from the upper edge of the side wall, at least essentially in the axis. It can be possible by moving downwards in a direction (not shown). Thus, the side wall 98 has a plurality of connecting portions located on the upper edge thereof and being shifted from each other in the circumferential direction. These can, for example, be inclined radially outward. This is because the insole 98 is sandwiched in the chamber 70.

図７に更に示されるように、半径方向外側に位置するチャンバー７０の壁部内には、側壁部９８の周囲方向、又は回転軸１８の回転方向に周回する溝１１８が形成されていることが可能である。溝１１８内には、半径方向外側に向けられた、側壁部９８の上方の端部が介入することができる。これによって、中敷き９２の固定がチャンバー７０内で更に改善されることが可能である。溝１１８は、好ましくは、最も下のステーターディスク２４の直下を推移する。半径方向外側の側壁部９８は、このため更に、軽くエルボー状に持ち上げられた（独語：ｇｅｋｒｏｅｐｆｔ）縁部を有する。これは、軸方向で第一の、又は最も下のステーターディスク２４にあたっており、そして軸方向の圧力下にある（圧力を受ける）。 As further shown in FIG. 7, a groove 118 that circulates in the circumferential direction of the side wall 98 or the rotational direction of the rotary shaft 18 may be formed in the wall of the chamber 70 located radially outward. It is. In the groove 118, the upper end of the side wall 98, which is directed radially outwards, can intervene. Thereby, the fixing of the insole 92 can be further improved in the chamber 70. The groove 118 preferably transitions directly below the lowermost stator disk 24. The radially outer side wall 98 further has a lightly elbowed edge for this purpose (German: gecroepft). This hits the first or lowest stator disk 24 in the axial direction and is under axial pressure (under pressure).

図８は、図３の断面図の一部を示す。この中に、中敷き９２のバリエーションの一部が見て取ることができる。その際、中敷き９２の半径方向外側の側壁部９８と、チャンバー７０の外側の壁部の間には、回転軸１８を中心として周回するシール１２０が設けられている。シール１２０は、好ましくは、周回する溝１１８内に埋め込まれている。この溝は、外側の側壁部９８内に設けられている。チャンバー７０の半径方向内側の壁部と、半径方向内側の側壁部９６の間には、回転軸１８の周りを周回するシール１２２が挿入されている。シール１２０と１２２は、圧力分配器の形式として作用し、チャンバー７０内での中敷き９２の固定を行う。その上、これらは、中敷き９２の各側壁部９６、９８と、その後ろに位置する各チャンバー壁部の間のシール作用を提供する。 FIG. 8 shows a part of the cross-sectional view of FIG. In this, some variations of the insole 92 can be seen. At this time, a seal 120 is provided between the radially outer side wall portion 98 of the insole 92 and the outer wall portion of the chamber 70 so as to go around the rotation shaft 18. The seal 120 is preferably embedded in the circumferential groove 118. This groove is provided in the outer side wall portion 98. A seal 122 that circulates around the rotation shaft 18 is inserted between the radially inner wall portion of the chamber 70 and the radially inner side wall portion 96. Seals 120 and 122 act as a form of pressure distributor and secure insole 92 within chamber 70. Moreover, they provide a sealing action between each side wall 96, 98 of the insole 92 and each chamber wall located behind it.

図９は、図３の断面図の更に（別の）一部を示す。この中に、中敷き９２の一つのバリエーションの一部が断面図で見て取ることができる。側壁部９８の外側かつ上方の端部と、チャンバー７０又は最も下のステーターディスク２４の間には、回転軸１８の周囲を周回するシール１２４が挿入されている。これによって中敷き９２がチャンバー７０内で固定される。 FIG. 9 shows a further (another) part of the cross-sectional view of FIG. In this, a part of one variation of the insole 92 can be seen in a sectional view. A seal 124 that circulates around the rotary shaft 18 is inserted between the outer and upper end of the side wall 98 and the chamber 70 or the lowermost stator disk 24. As a result, the insole 92 is fixed in the chamber 70.

図８及び９に示されるシール１２０、１２２及び１２４は、好ましくはＯリングシールとして形成されている。 The seals 120, 122 and 124 shown in FIGS. 8 and 9 are preferably formed as O-ring seals.

１０真空ポンプ
１２インレットフランジ
１４ポンプインレット
１６ハウジング
１８回転軸
２０ローターシャフト
２２ローターディスク
２４ステーターディスク
２６スペーサーリング
２８吸込み領域
３０矢印
３２予負荷兼シールリング
３４シーリング領域
３６フラッドガスインレット
３８冷却媒体インレット
４０冷却媒体アウトレット
４２ローラー支承部
４４永久磁石支承部
４６ローター側の支承半部
４８ステーター側の支承半部
５０永久磁石のリング
５２永久磁石のリング
５４半径方向の支承間隙
５６緊急用、又は安全用支承部
５８円すい形のスプラッシュナット
６０潤滑剤チャネル
６２駆動モーター
６４制御ユニット
６６電気接続部
６８シールガスインレット
７０吐出領域、チャンバー
７２ラビリンスシール
７４ポンプアウトレット
７６冷却媒体管
７７シール
７８潤滑剤ポンプ
８０カバー
８１シール
８２モーターキャリア
８３シール
８４ローラー支承部懸架部
８６電気展開部
８８被覆
９０下部分
９２中敷き
９４底部
９６側壁部
９８側壁部
１００容積
１０２アウトレット開口部
１０４予真空短管
１０６開口部部分
１０８チャネル
１１０材料片
１１２ねじ
１１４上側
１１６開口部
１１８溝
１２０シール
１２２シール
１２４シール DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vacuum pump 12 Inlet flange 14 Pump inlet 16 Housing 18 Rotating shaft 20 Rotor shaft 22 Rotor disk 24 Stator disk 26 Spacer ring 28 Suction area 30 Arrow 32 Preload and seal ring 34 Sealing area 36 Flood gas inlet 38 Cooling medium inlet 40 Cooling Medium outlet 42 Roller bearing portion 44 Permanent magnet bearing portion 46 Rotor side bearing half portion 48 Stator side bearing half portion 50 Permanent magnet ring 52 Permanent magnet ring 54 Radial bearing gap 56 Emergency or safety bearing portion 58 Conical Splash Nut 60 Lubricant Channel 62 Drive Motor 64 Control Unit 66 Electrical Connection 68 Seal Gas Inlet 70 Discharge Area, Chamber 72 Labyrinth Seal 74 Port Poulet 76 Cooling medium pipe 77 Seal 78 Lubricant pump 80 Cover 81 Seal 82 Motor carrier 83 Seal 84 Roller support portion Suspension portion 86 Electrical deployment portion 88 Cover 90 Lower portion 92 Insole 94 Bottom portion 96 Side wall portion 98 Side wall portion 100 Volume 102 Outlet Opening 104 Prevacuum short tube 106 Opening portion 108 Channel 110 Material piece 112 Screw 114 Upper 116 Opening 118 Groove 120 Seal 122 Seal 124 Seal

Claims

真空ポンプ、又はターボ分子ポンプであって、
レシーバーが接続可能である、流体、プロセスガス、又は空気の為の少なくとも一つのインレット（１４）と、流体の為の少なくとも一つのアウトレット（７４）を有するハウジング（１６，９０）を有し、そして、
流体を真空ポンプ（１０）を通してインレット（１４）からアウトレット（７４）へ搬送するための、ハウジング（１６，９０）内に設けられた少なくとも一つのポンプ段を有し、
その際、ハウジング（１６，９０）内に、チャンバー（７０）が形成されている真空ポンプにおいて、
チャンバー（７０）内に、堆積の収容の為の少なくとも一つの中敷き（９２）が設けられており、これが、チャンバーを画成するチャンバーの少なくとも一つの面を覆っており、
中敷き（９２）が、第一の形状から第二の形状へと変化可能であり、この形状において、中敷き（９２）が、第一の形状に対して、より大きな外直径、及び／又はより小さな内直径を有し、及び／又は、この形状において、中敷き（９２）が、可塑的、及び／又は弾性的な形状変化を有し、及び／又は、中敷き（９２）が、第一の形状に対してより高い軸方向高さ、又はより低い軸方向高さを有することと特徴とする真空ポンプ。 A vacuum pump or a turbo molecular pump,
Receiver can be connected, a fluid, up Rosesugasu, or with at least one inlet (14) for air, a housing (16,90) having at least one outlet (74) for the fluid, and ,
The flow body through a vacuum pump (10) from the inlet (14) for conveying to the outlet (74) has at least one pump stage provided in the housing (16,90),
At that time, in the vacuum pump in which the chamber (70) is formed in the housing (16, 90),
In the chamber (70), there is provided at least one insole (92) for containing the deposit, which covers at least one surface of the chamber defining the chamber ,
The insole (92) can vary from a first shape to a second shape, wherein the insole (92) has a larger outer diameter and / or smaller than the first shape. And / or in this shape, the insole (92) has a plastic and / or elastic shape change and / or the insole (92) is in the first shape. A vacuum pump characterized by having a higher axial height or a lower axial height .

中敷き（９２）が、チャンバー（７０）の底部、及び／又はチャンバー（７０）を半径方向外側に向かって画成するチャンバー（７０）の側壁部、及び／又は、チャンバー（７０）を半径方向内側に向かって画成するチャンバー（７０）の側壁部を覆うことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。 An insole (92) defines the bottom of the chamber (70) and / or the sidewall of the chamber (70) that defines the chamber (70) radially outward and / or the chamber (70) radially inward. vacuum pump according to claim 1, wherein Flooding the side wall of the chamber (70) defining toward.

中敷き（９２）が、容積（１００）を少なくとも部分的に取り囲んでおり、そして少なくとも一方の側に、少なくとも一つの開口部を有し、又は当該側において完全に開かれていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。 Insole (92) is, surrounds a volume (100) at least partially and at least one side, has at least one opening, or characterized in that it is fully opened in the side The vacuum pump according to claim 1 or 2.

中敷き（９２）が、当該側が、ポンプ段の方に向けられているようチャンバー内に設置可能であることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。 4. Vacuum pump according to claim 3, characterized in that the insole (92) can be installed in the chamber such that the side is directed towards the pump stage.

特にシェルとして形成される中敷き（９２）の形状が、少なくとも基本的にチャンバー（７０）の形状に合わせられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 5. A vacuum pump according to any one of the preceding claims, characterized in that the shape of the insole (92) formed as a shell is at least essentially matched to the shape of the chamber (70).

チャンバー（７０）が、ポンプ段の下側において、真空ポンプの中央の軸を中心としてリング形状に延在し、ポンプ（１０）のローターシャフト（２０）の回転軸（１８）を中心としてリング形状に延在し、その際好ましくは、チャンバー（７０）が、少なくとも近似的に長方形の断面を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Chamber (70) is, at the lower side of the pump stage, extends in a ring shape around the central axis of the vacuum pump, pump (10) the axis of rotation of the rotor shaft (20) of (18) as the center 6. A vacuum pump according to any one of the preceding claims, characterized in that it extends in the shape of a ring, in which case the chamber (70) preferably has an at least approximately rectangular cross section.

中敷き（９２）が、チャンバー（７０）に対応して形成され、上が少なくとも部分的に開かれ、好ましくはリング形状のシェルであって、底部（９４）と、底部（９４）に対して好ましくは垂直に推移する、半径方向内側、または半径方向外側に位置する側壁部（９６，９８）を有するシェルとして形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 An insole (92) is formed corresponding to the chamber (70) and is at least partially open on the top, preferably a ring-shaped shell, preferably with respect to the bottom (94) and the bottom (94) 7 as a shell according to any one of the preceding claims, characterized in that it is formed as a shell having a side wall (96, 98) located vertically inward or radially outward. Vacuum pump.

中敷き（９２）が、少なくとも一つの固定部（１１２，１２０，１２２，１２４）によってチャンバー（７０）内に固定され、及び／又は固定可能であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 The insole (92) is fixed and / or securable in the chamber (70) by at least one fixing part (112, 120, 122, 124). The vacuum pump according to one item.

少なくとも一つのシール（１２０，１２２，１２４）が、中敷き（９２）の一つの壁部（９４，９６，９８）と、チャンバー（７０）の一つの壁部の間に設けられていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 At least one seal (120, 122, 124) is provided between one wall (94, 96, 98) of the insole (92) and one wall of the chamber (70). The vacuum pump according to any one of claims 1 to 8 .

中敷き（９２）が、真空ポンプ（１０）のハウジング（１６，９０）におけるアウトレット（７４）と位置合わせ可能であるアウトレット開口部（１０２）を有することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Insole (92) is one of claims 1, characterized in that it comprises an outlet (74) alignable at a outlet opening (102) in the housing (16,90) of the vacuum pump (10) 9 A vacuum pump according to claim 1 .

ポンプ（１０）のアウトレット（７４）が、予真空短管（１０４）を有し、この中にチャンバー（７０）が開口しており、そして、中敷き（９２）が、少なくとも一つの開口部部分（１０６）を有し、これが、予真空短管（１０４）内に設置可能、又は設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の真空ポンプ。 The outlet (74) of the pump (10) has a pre-vacuum short tube (104) in which the chamber (70) is open and the insole (92) has at least one opening portion ( The vacuum pump according to claim 10 , wherein the vacuum pump can be installed in or provided in a pre-vacuum short tube (104).

開口部部分（１０６）が、アウトレット開口部（１０２）の形成のため、中敷き（９２）から摘出分離された中敷き（９２）の材料の部材によって形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ。 Opening portions (106), for the formation of A Utoretto opening (102), according to claim 11, characterized in that it is formed by the material of member insole (92) from the excised isolated insole (92) The vacuum pump described in 1.

中敷き（９２）が、薄板、又はフィルムの形式で金属から形成され、又は、プラスチックから形成されていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Insole (92) is formed from a metal thin plate, or film format or pump according to claim 1, any one of 12, characterized in that it is formed from plastic.

中敷き（９２）が、少なくとも一つのコーティングを有し、つまり付着防止層、フィルム状の層、又はスプレーフィルムによって形成される層を有することを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 Insole (92) has at least one coating, i.e. anti-adhesion layer, a film-like layer, or in any one of claims 1 to 13, characterized by having a layer formed by spraying a film The vacuum pump described.