JP6456565B1 - 流体シリンダ - Google Patents

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Abstract

特に、電力消費の低減及びコンパクト化を図りつつ、高精度に回転させながらストロークが可能な流体シリンダを提供することを目的とする。本発明の流体シリンダ(1)は、シリンダ本体(2)と、前記シリンダ本体内に支持された軸部材(3)と、を有する流体シリンダであって、流体の作用により、前記軸部材を回転させながら、軸方向へのストロークを可能としたことを特徴する。前記流体による回転圧に基づいて前記軸部材を回転させる回転駆動部(10)と、前記流体によるシリンダ制御圧に基づいて前記軸部材をストロークさせるストローク駆動部(11)とが、前記シリンダ本体内に区画して設けられている。

Description

本発明は、エアベアリング式シリンダ等の流体シリンダに関する。
下記特許文献には、エアベアリング式シリンダに関する発明が記載されている。エアベアリング式シリンダは、シリンダ本体と、シリンダ本体内に収容された軸部材と、軸部材の外周面に設けられたエアベアリングと、を有して構成される。
エアベアリングからエアが噴出されることで、軸部材は、シリンダ本体内で浮いた状態を保つ。また、シリンダ本体と軸部材との間にはシリンダ室が設けられており、シリンダ室へのエアの給排に基づいて、軸部材を軸方向にストロークさせることを可能としている。
従来のエアシリンダでは、例えば、特許文献1のように、回転駆動モータを用いて軸部材を回転させていた。なお、特許文献2には、軸部材の回転機構について開示されていない。
特開2011−69384号公報 特開2012−57718号公報
しかしながら、従来のように、軸部材をモータで回転させる構成では、消費電力の増大や、コンパクト化を適切に図ることができない問題があった。すなわち、モータを使用することで、熱の発生により、消費電力が増大しやすい。また、機械的に軸部材を回転させるため、回転機構が煩雑化し、コンパクト化を適切に図ることができない。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、特に、電力消費の低減及びコンパクト化を図りつつ、高精度に回転させながらストロークが可能な流体シリンダを提供することを目的とする。
本発明は、シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に支持された軸部材と、を有する流体シリンダであって、流体の作用により、前記軸部材を回転させながら、軸方向へのストロークを可能とし、前記軸部材には、回転羽根が取り付けられており、前記回転羽根に対する前記流体の作用により、前記回転羽根を備える前記軸部材を回転させることを特徴とする。
本発明では、前記軸部材は、前記シリンダ本体内で浮いた状態で支持されていることが好ましい。
本発明では、前記軸部材には、回転羽根が取り付けられており、前記回転羽根に対する前記流体の作用により、前記回転羽根を備える前記軸部材の全体を回転させながら、軸方向へのストロークを可能としたことが好ましい。
本発明では、前記シリンダ本体には、前記回転羽根を配置する回転駆動室が設けられており、前記回転駆動室は、前記回転羽根の軸方向へのストロークを許容する空間を備えることが好ましい。
本発明では、前記回転駆動室は、前記回転駆動室内に前記流体を供給するポートと、前記流体を外部へ排出する排出口と、を有することが好ましい。
本発明では、前記軸部材は、前記シリンダ本体から前方へ突出するストロークが許容されており、前記軸部材の後端に、前記回転羽根が取り付けられていることが好ましい。
本発明は、シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に支持された軸部材と、を有する流体シリンダであって、流体の作用により、前記軸部材を回転させながら、軸方向へのストロークを可能とし、前記軸部材は、回転駆動体を備え、前記軸部材の軸方向への位置を測定可能な位置センサが、前記軸部材に非接触で配置されており、前記軸部材は、前記シリンダ本体から前方へ突出するストロークが許容されており、前記軸部材には、軸中心に沿って後端面に開口する孔が形成されており、前記孔内に、前記回転駆動体と非接触の前記位置センサが配置されることを特徴とする
本発明では、前記軸部材は、エアベアリングを備えており、前記シリンダ本体には、前記エアベアリングにエアを噴出するエア供給口が設けられていることが好ましい。
本発明の流体シリンダによれば、電力消費の低減及びコンパクト化を図りつつ、高精度に回転させながらストロークを可能とする。
本実施形態の流体シリンダの外観図である。 本実施形態の流体シリンダの断面図である。 本実施形態の流体シリンダの前方へのストローク状態を示す断面図である。
以下、本発明の一実施の形態(以下、「実施形態」と略記する。)について、詳細に説明する。
図1〜図3に示す流体シリンダ1は、シリンダ本体2と、シリンダ本体内に支持された軸部材3と、を有して構成される。
本実施形態の流体シリンダ1は、流体の作用により、軸部材3を回転させながら、軸方向へのストロークを可能とする。「回転」とは、軸部材3の軸中心O(図2参照)を回転中心として回転することを指す。「ストローク」とは、軸部材3が、図2に示すX1−X2方向へ移動することを指す。なお、X1方向は、流体シリンダ1の前方側であり、X2方向は、流体シリンダ1の後方側である。図3のストローク状態は、軸部材3が、図2の状態から前方に移動した状態を示している。
このように、本実施形態では、流体の作用で、軸部材3の回転と、軸部材3のストロークとの双方を可能とする点に特徴がある。すなわち、従来では、軸部材3の回転と、軸部材3のストロークとの双方を流体の作用で制御している流体シリンダは存在しなかった。本実施形態では、流体の作用で、軸部材3を回転させながらストロークさせることができるため、例えば、従来のように、軸部材の回転をモータ駆動で制御する構成に比べて、消費電力の低減とコンパクト化を図りながら、高精度な回転ストロークを行なうことが可能である。
以下、本実施形態の流体シリンダ1の具体的構成について説明する。なお、本実施形態では、「流体」は、空気(エア)に限らず、液体であってもよく、また、軸部材3の回転と、軸部材3のストロークとを異なる種類の流体の作用で制御することも可能であるが、以下の実施形態では、エアの作用で、軸部材3を回転させながらストロークを可能とするエアベアリング式シリンダについて説明する。
本実施形態の軸部材3は、所定の径で形成され且つ、X1―X2方向に所定の長さ寸法L1(図2参照)で形成されたピストン4と、ピストン4の前端面に設けられ、ピストン4よりも径の小さい第1ピストンロッド5と、ピストン4の後端面に設けられ、ピストン4よりも径の小さい第2ピストンロッド6と、を有して構成される。図2に示すように、ピストン4、第1ピストンロッド5及び第2ピストンロッド6は、一体化されている。図2に示すように、ピストン4、第1ピストンロッド5及び第2ピストンロッド6の軸中心は一直線上に揃っている。この実施形態では、第1ピストンロッド5の径と、第2ピストンロッド6の径とが同じ大きさであるが、異なっていてもよい。
図2に示すように、軸部材3の第2ピストンロッド6の後端側には、回転駆動体7が取り付けられている。回転駆動体7の構造を限定するものではないが、図2では、回転駆動体7は、例えば、複数の羽根7aが等角度で配置された回転羽根(タービン)で形成されている。なお、回転駆動体7は、流体の作用で回転可能な構成であれば、回転羽根以外であってもよい。
図2に示すように、回転駆動体7の軸中心から、第2ピストンロッド6の後端内部にかけて、孔8が形成されている。
図2に示すシリンダ本体2内には、エアの回転圧に基づいて軸部材3を回転させる回転駆動部10と、エアのシリンダ制御圧に基づいて軸部材3をストロークさせるストローク駆動部11とが区画して設けられている。ストローク駆動部11は、シリンダ本体2の前方側(X1)に、回転駆動部10は、シリンダ本体2の後方側(X2)に夫々設けられている。このように、回転駆動部10とストローク駆動部11とを区画して設けることで、回転駆動部10とストローク駆動部11に同時にエアを作用させても互いに混ざりあうことなく、高精度に軸部材3を回転させながらストロークさせることができる。
ストローク駆動部11は、シリンダ本体2内に位置し、軸部材3のピストン4を挿通可能なシリンダ室11aと、シリンダ本体2の外周面からシリンダ室11aにまで通じるエアポート16、17と、を有して構成される。
回転駆動部10は、シリンダ本体2内に位置する回転駆動室10aと、シリンダ本体2の後端面2bから回転駆動室10a内に通じるエアポート30、31と、を有して構成される。
図2に示すように、シリンダ本体2内には、前記したシリンダ室11aからシリンダ本体2の前端面2aにまで貫通し、第1ピストンロッド5を挿通可能な第1連通部28、及び、シリンダ室11aから後端側(X2)に向けて延出し、第2ピストンロッド6を挿通可能な第2連通部29が、シリンダ室11aと連続した空間として形成されている。
シリンダ室11aは、ピストン4の径よりもやや大きい径を有する略円筒空間であり、X1―X2方向への長さ寸法L2を備える。この長さ寸法L2は、ピストン4の長さ寸法L1よりも長い。シリンダ室11aには、X1−X2方向への長さ寸法L2の中央に、更に大径の中央エアベアリング空間13が設けられている。この中央エアベアリング空間13は、ピストン4がシリンダ室11a内をX1−X2方向への限界にまで移動しても、ピストン4から外れない位置に設けられている。すなわち、ピストン4の一部は、常に、中央エアベアリング空間13内に配置されている。
図2に示すように、シリンダ本体2には、シリンダ室11aの前方側(X1)にて、シリンダ本体2の外周面からシリンダ室11aにまで通じるエアポート16が設けられている。また、シリンダ本体2には、シリンダ室11aの後方側(X2)にて、シリンダ本体2の外周面からシリンダ室11aにまで通じるエアポート17が設けられている。エアポート16、17の中心間隔は、ピストン4の長さ寸法L1よりも長く形成されている。
図2に示すように、シリンダ本体2には、エアポート16とエアポート17との間であって、シリンダ本体2の外周面から中央エアベアリング空間13にまで通じるエアベアリング加圧ポート18が設けられている。
図2に示すように、第1連通部28には、シリンダ室11aよりも前方(X1)に離れた位置に前方エアベアリング空間14が設けられている。また、図2に示すように、第2連通部29には、シリンダ室11aよりも後方(X2)に離れた位置に後方エアベアリング空間15が設けられている。
図2に示すように、シリンダ本体2の外周面から前方エアベアリング空間14にまで通じるエアベアリング加圧ポート19が設けられている。また、図2に示すように、シリンダ本体2の外周面から後方エアベアリング空間15にまで通じるエアベアリング加圧ポート20が設けられている。
図2に示すように、エアベアリング21が、中央エアベアリング空間13内であって、ピストン4の外周を囲むように配置されている。また、図2に示すように、エアベアリング22が、前方エアベアリング空間14内であって、第1ピストンロッド5の外周を囲むように配置されている。また、図2に示すように、エアベアリング23が、後方エアベアリング空間15内であって、第2ピストンロッド6の外周を囲むように配置されている。
各エアベアリング21〜23は、限定されるものではないが、例えば、焼結金属やカーボンを用いた多孔質材をリング状に形成したもの、或いは、オリフィス絞りタイプのもの等を使用できる。
圧縮エアを、各エアベアリング加圧ポート18〜20に供給することで、圧縮エアが、各エアベアリング21〜23を通じてピストン4、第1ピストンロッド5及び第2ピストンロッド6の表面に均一に吹き出す。これにより、ピストン4、第1ピストンロッド5及び第2ピストンロッド6が、夫々シリンダ室11a内、第1挿通部11b内、及び第2挿通部11c内で浮いた状態にて支持される。かかる状態で、シリンダ室11aに通じるエアポート16及びエアポート17からのエアの給排を利用し、シリンダ室11a内に差圧を生じさせて、シリンダ制御圧を調圧し、これにより、ピストン4を軸方向にストロークさせることができる。図示しないが、エアポート16、17に通じるサーボバルブにより、シリンダ制御圧を適切に調圧することができる。図2では、ピストン4が、シリンダ室11a内にて最も後退した位置(最もX2側の位置)にある。このため、図2に示すように、ピストン4の前方に、シリンダ室11aの空間の一部が空いている。図2の状態から、シリンダ室11a内部のエアを、サーボバルブによりエアポート16を通じて吸引し、一方、サーボバルブによりエアポート17を通じて圧縮エアをシリンダ室11a内部に供給することで、シリンダ室11a内で差圧が生じ、図3に示すように、ピストン4を前方(X1)に移動させることができる。これにより、第1ピストンロッド5をシリンダ本体2の前端面2aから前方に突出させることができる。また、図3のストローク状態から、サーボバルブによりエアポート17を通じてシリンダ室11a内のエアを吸引し、一方、サーボバルブによりエアポート16を通じてシリンダ室11a内に圧縮エアを供給することで、ピストン4を後方(X2)に移動させることができる。
このとき、軸部材3は、シリンダ本体2内で浮いた状態を保ってストロークするため、ストロークの際、摺動抵抗ゼロを実現することができ、高精度なストロークが可能になる。
図2、図3に示すように、シリンダ本体2のシリンダ室11aと第1挿通部11bの間には前方壁25が設けられている。前方壁25は、ピストン4の前方(X1)への移動を規制する規制面であり、ピストン4は、前方壁25よりも前方に移動することはできない。また、図2、図3に示すように、シリンダ本体2のシリンダ室11aと第2挿通部11cとの間には後方壁26が設けられている。後方壁26は、ピストン4の後方(X2)への移動を規制する規制面であり、ピストン4は、後方壁26よりも後方に移動することはできない。後方壁26は、ストローク駆動部11と回転駆動部10とを区画する。
図2、図3に示すように、前方壁25には弾性リング27が設けられており、弾性リング27は、ピストン4が前方壁25に接触したときの緩衝材として作用する。なお、弾性リングは、後方壁26にも同様に設けることができる。
図2、図3に示すように、シリンダ本体2の後方側(X2)に設けられた回転駆動部10は、第2ピストンロッド6の後端部に取り付けられた回転駆動体7を配置可能な回転駆動室10aを備える。第2ピストンロッド6の後端部は、回転駆動室10aにまで延出しており、回転駆動室10a内には、第2ピストンロッド6の後端部と回転駆動体7とが配置されている。また、回転駆動部10には、シリンダ本体2の後端面2bから回転駆動室10a内に圧縮エアを供給するエアポート30、31を備える。エアポート30、31から圧縮エアを回転駆動室10a内に供給し、回転駆動体7に回転圧を与えることで、回転駆動体7を回転させることができる。この結果、回転駆動体7を備える軸部材3全体を軸回転させることができる。なお、図1に示すように、回転駆動室10aの外周面には、エア排出口32が設けられている。
図2、図3に示すように、回転駆動体7の軸中心から、第2ピストンロッド6の後端内部にかけて形成された孔8内には、位置センサ(ストロークセンサ)40が、回転駆動体7及び第2ピストンロッド6に非接触にて設けられている。図2、図3に示す実施形態では、ピストン4の位置測定を、孔8内に配置された位置センサ40にて回転駆動体7の位置、或いは、孔8内における第2ピストンロッド6の後端位置を測定することで、間接的に測定することができる。位置センサ40には、既存のセンサを適用することができ、例えば、磁気式センサや、過電流式センサ、光学式センサ等を用いることができる。
ピストン4のX1−X2方向への移動範囲内にて、位置測定が可能なように、孔8の深さや位置センサ40の配置が決められている。図2、図3に示すように、位置センサ40にて測定された位置情報は、ケーブル41を通じて図示しない制御部に送信される。
位置センサ40にて測定された位置情報に基づいて、シリンダ室11a内のシリンダ制御圧を調圧し、第1ピストンロッド5の突出量を制御することができる。
なお、本発明は上記の実施形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記の実施形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
例えば、本実施形態の軸部材3は、ピストン4と、ピストン4の前方に一体に形成された第1ピストンロッド5と、ピストン4の後方に一体に形成された第2ピストンロッド6と、を有して構成されるが、軸部材3の形状は、これに限定されるものではない。
ただし、ピストン4の両端にピストンロッド5、6を配置した構成とすることで、ピストン4に対する位置制御にてストローク量を適切に調節することができると共に、第1ピストンロッド5をシリンダ本体2の前端面2aから進退自在に支持されたシャフト部分として用いることができ、また、第2ピストンロッド6側に、回転駆動体7を取り付けることができる。
もっとも本実施形態では、回転駆動体7を第2ピストンロッド6に取り付けることに限定されるものではないが、回転駆動体7を第2ピストンロッド6の後端側に取り付けることで、コンパクト化を促進できると共に、高精度な回転ストロークを実現することができる。
また、位置センサ40の位置も、図2、図3の配置に限定されるものではなく、位置センサ40を第1ピストンロッド5やピストン4の位置を直接測定できるように配置してもよい。また、位置センサ40を、回転駆動体7の軸中心から第2ピストンロッド6の後端内部にかけて形成された孔8内に配置せず、回転駆動室10a内にて、第2ピストンロッド6や回転駆動体7の位置を測定できるように配置してもよい。
ただし、図2、図3のように、位置センサ40を、回転駆動体7の軸中心から第2ピストンロッド6の後端内部にかけて形成された孔8内に配置することで、位置センサ40を無理なく配置できると共にコンパクト化を促進でき、また位置測定の精度を向上させることができる。
シリンダ本体2は、図1に示すように、複数に分割したものを組み立てて形成されてもよいし、一体化したものであってもよい。
なお、シリンダ本体2や軸部材3は、例えば、アルミ合金等で形成されるが、材質を限定するものではなく、使用用途や設置場所等で種々変更可能である。
上記したように、本実施形態では、流体シリンダ1として、エアベアリング式シリンダのみならず、エア以外の流体の作用により駆動させることもでき、例えば、油圧シリンダを例示することができる。
本発明によれば、流体の作用により、回転させながらストロークが可能な流体シリンダを実現することができる。本発明によれば、従来のボールベアリングより、がたつきを小さくでき、高精度な回転ストロークを実現できると共に、全て流体の作用で駆動させるため、消費電力が小さく、且つコンパクト化を実現できる。したがって、回転ストロークの高い精度が求められる用途等に、本発明の流体シリンダを適用することで、高い精度と合わせて消費電力の低減且つコンパクト化を促進することができる。
1 :流体シリンダ
2 :シリンダ室
3 :軸部材
4 :ピストン
5 :第1ピストンロッド
6 :第2ピストンロッド
7 :回転駆動体
8 :孔
10 :回転駆動部
10a :回転駆動室
11 :ストローク駆動部
11a :シリンダ室
11b :第1挿通部
11c :第2挿通部
13 :中央エアベアリング空間
14 :前方エアベアリング空間
15 :後方エアベアリング空間
16、17、30、31 :エアポート
18〜20 :エアベアリング加圧ポート
21〜23 :エアベアリング
28 :第1連通部
29 :第2連通部
40 :位置センサ
O :軸中心

Claims (7)

  1. シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に支持された軸部材と、を有する流体シリンダであって、
    流体の作用により、前記軸部材を回転させながら、軸方向へのストロークを可能とし
    前記軸部材には、回転羽根が取り付けられており、前記回転羽根に対する前記流体の作用により、前記回転羽根を備える前記軸部材を回転させることを特徴とする流体シリンダ。
  2. 前記軸部材は、前記シリンダ本体内で浮いた状態で支持されていることを特徴とする請求項1に記載の流体シリンダ。
  3. 前記シリンダ本体には、前記回転羽根を配置する回転駆動室が設けられており、前記回転駆動室は、前記回転羽根の軸方向へのストロークを許容する空間を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の流体シリンダ。
  4. 前記回転駆動室は、前記回転駆動室内に前記流体を供給するポートと、前記流体を外部へ排出する排出口と、を有することを特徴とする請求項に記載の流体シリンダ。
  5. 前記軸部材は、前記シリンダ本体から前方へ突出するストロークが許容されており、前記軸部材の後端に、前記回転羽根が取り付けられていることを特徴とする請求項から請求項のいずれかに記載の流体シリンダ。
  6. シリンダ本体と、前記シリンダ本体内に支持された軸部材と、を有する流体シリンダであって、
    流体の作用により、前記軸部材を回転させながら、軸方向へのストロークを可能とし、
    前記軸部材は、回転駆動体を備え、
    前記軸部材の軸方向への位置を測定可能な位置センサが、前記軸部材に非接触で配置されており、
    前記軸部材は、前記シリンダ本体から前方へ突出するストロークが許容されており、前記軸部材には、軸中心に沿って後端面に開口する孔が形成されており、前記孔内に、前記回転駆動体と非接触の前記位置センサが配置されることを特徴とする流体シリンダ。
  7. 前記軸部材は、エアベアリングを備えており、前記シリンダ本体には、前記エアベアリングにエアを噴出するエア供給口が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項のいずれかに記載の流体シリンダ。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7490366B2 (ja) * 2020-01-06 2024-05-27 住友重機械工業株式会社 アクチュエータ

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3212636A1 (de) * 1982-04-05 1983-10-06 Hermann Post Druckmittelbetaetigter schwenkmotor
JPH08232910A (ja) * 1994-12-28 1996-09-10 Ckd Corp 複合アクチュエータ
JP2005127486A (ja) * 2003-10-27 2005-05-19 Smc Corp 直進/回転駆動可能な複合アクチュエータ
EP3062427A2 (de) * 2015-02-20 2016-08-31 Fertigungsgerätebau A. Steinbach GmbH & Co. KG Aktor
JP2017009068A (ja) * 2015-06-24 2017-01-12 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. 流体圧アクチュエータ
JP2017133593A (ja) * 2016-01-27 2017-08-03 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. 流体圧アクチュエータ

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57200707A (en) * 1981-06-03 1982-12-09 Torukaa:Kk Swing/linear movement type actuator
JPS59190505A (ja) * 1983-04-11 1984-10-29 Hitachi Constr Mach Co Ltd クランプ用シリンダ装置
JPS59194107A (ja) * 1983-04-18 1984-11-02 Hitachi Constr Mach Co Ltd クランプ用シリンダ装置
US4493245A (en) * 1983-04-22 1985-01-15 Rimrock Corporation Rotary and linear actuating device
US4508015A (en) * 1983-07-29 1985-04-02 Weihwang Lin Hydraulic cylinder
US4665558A (en) * 1984-12-28 1987-05-12 Burke David W Fluid-operated, linear-rotary, robot-like, actuator
CN2102402U (zh) * 1990-12-22 1992-04-22 陈申平 液压马达缸
DE4229989A1 (de) * 1992-09-08 1994-03-10 Festo Kg Dreh-Linear-Einheit
DE29719015U1 (de) 1997-10-25 1997-12-11 Festo AG & Co, 73734 Esslingen Dreh-Linear-Einheit
JP2011069384A (ja) 2009-09-24 2011-04-07 Ne Kk エアベアリングシリンダ
JP5702094B2 (ja) 2010-09-09 2015-04-15 藤倉ゴム工業株式会社 エアベアリング式エアシリンダ装置
US9726204B2 (en) * 2013-12-09 2017-08-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Fluid pressure actuator

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3212636A1 (de) * 1982-04-05 1983-10-06 Hermann Post Druckmittelbetaetigter schwenkmotor
JPH08232910A (ja) * 1994-12-28 1996-09-10 Ckd Corp 複合アクチュエータ
JP2005127486A (ja) * 2003-10-27 2005-05-19 Smc Corp 直進/回転駆動可能な複合アクチュエータ
EP3062427A2 (de) * 2015-02-20 2016-08-31 Fertigungsgerätebau A. Steinbach GmbH & Co. KG Aktor
JP2017009068A (ja) * 2015-06-24 2017-01-12 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. 流体圧アクチュエータ
JP2017133593A (ja) * 2016-01-27 2017-08-03 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. 流体圧アクチュエータ

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