JP6443784B2 - 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び移動体駆動方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図16(B)を用いて説明する。
次に第2の実施形態について図17を用いて説明する。本第2の実施形態の構成は、マスクエンコーダシステム148の一部の構成を除き、上記第1の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態について図18を用いて説明する。本第3の実施形態の構成は、基板エンコーダシステム150の一部の構成を除き、上記第1の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (19)
- 互いに直交する第1及び第2方向を含む所定の2次元平面に沿って移動可能な第1移動体と、
前記第1方向に沿って前記第1移動体に同期して移動可能な第2移動体と、
スケール及びヘッドの一方が前記第1移動体に設けられるとともに前記スケールと前記ヘッドの他方が前記第2移動体に設けられる第1エンコーダシステムを含み、前記ヘッドの出力に基づいて少なくとも前記第2方向に関する前記第1移動体の位置情報を求める第1計測系と、
前記第2移動体の前記第1方向に関する位置情報を求める第2計測系と、
前記第1及び第2計測系の出力に基づいて、前記第1移動体の前記2次元平面内の位置制御を行う位置制御系と、を備える移動体装置。 - 前記第2計測系は、スケール及びヘッドの一方が前記第2移動体に設けられ、他方が所定の固定部材に設けられた第2エンコーダシステムを含む請求項1に記載の移動体装置。
- 前記第1計測系の前記第1エンコーダシステムは、前記第1及び第2方向に関する前記第1移動体の位置情報を求めることが可能であり、
前記位置制御系は、前記第2計測系により求められた前記第2移動体の前記第1方向に関する位置情報と、前記第1計測系により求められた前記第2移動体に対する前記第1移動体の前記第1方向に関する相対位置情報とに基づいて、前記第1移動体の前記第1方向に関する位置制御を行う請求項1又は2に記載の移動体装置。 - 前記第2移動体は、前記第1移動体と独立に前記第1方向に駆動される請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2移動体が前記第1方向に所定間隔で複数設けられ、
前記複数の第2移動体のそれぞれに設けられた前記スケール及びヘッドの他方と、該スケール及びヘッドの他方に対応して前記第1移動体に設けられた前記スケール及びヘッドの一方とによって第1エンコーダシステムが複数設けられる請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第1エンコーダシステムは、前記第1方向に互いに離間して配置された複数のスケールと、前記第1方向に互いに離間して配置された複数のヘッドとを含み、
前記第1移動体と前記第2移動体とは、前記複数のヘッドのすべてが前記第1方向の最も一側のスケールに対向する位置と、前記複数のヘッドのすべてが前記第1方向の最も他側のスケールに対向する位置との間を、前記第1方向に沿って相対移動する請求項1〜5のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 隣接する一対の前記ヘッド間の間隔が隣接する一対の前記スケール間の間隔よりも広い請求項6に記載の移動体装置。
- 前記スケールは、前記第1方向に沿って所定間隔で少なくとも3つ設けられる請求項6又は7に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体は、前記2次元平面に交差する方向に移動可能に設けられ、
前記第1移動体の前記交差する方向への位置変化量に応じて、前記第1エンコーダシステムのヘッドの前記2次元平面に交差する方向に駆動する請求項1〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 第1方向へ移動可能な第1移動体と、
前記第1移動体に対向して配置され、前記第1方向と交差する第2方向へ移動可能な第2移動体と、
前記第2方向に関する前記第1移動体の動きに対応して前記第2移動体を前記第2方向へ移動させる駆動系と、
計測ビームを発するヘッドおよび前記計測ビームが照射されるスケールの一方が前記第1移動体に配置され、前記ヘッドおよび前記スケールの他方が前記第2移動体に配置される第1エンコーダシステムを含み、前記スケールを介した前記計測ビームを受光する前記ヘッドの出力に基づいて前記第1移動体と前記第2移動体との間の相対的な位置情報を求める第1計測系と、
前記相対的な位置情報とは異なる前記第2移動体の位置情報を求める第2計測系と、
前記第1及び第2計測系の出力に基づいて、前記第1移動体の位置制御を行う位置制御系と、
を備える移動体装置。 - 前記第2計測系は、前記第1及び第2移動体とは異なる部材に設けられた部材に対する前記第2移動体の位置情報を求める請求項10に記載の移動体装置。
- 所定の物体が前記第1移動体に保持される請求項1〜11のいずれか一項に記載の移動体装置と、
所定のパターンを保持するパターン保持体を前記第1移動体に同期して前記第2方向に駆動しつつ、エネルギビームを用いて前記パターン保持体を介して前記物体に前記パターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 所定の固定部材に設けられたヘッドの出力に基づいて前記パターン保持体の少なくとも前記第2方向の位置情報を求めるための第3エンコーダシステムを含む第3計測系と、
前記第3エンコーダシステムのヘッドと、前記第1エンコーダシステムのスケールとの相対位置情報を計測する第4計測系と、を更に備える請求項12に記載の露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項12又は13に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項14に記載の露光装置。
- 請求項14又は15に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項12〜15のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 互いに直交する第1及び第2方向を含む所定の2次元平面に沿って移動体を駆動する移動体の駆動方法であって、
第1移動体と、該第1移動体に対向して配置された第2移動体との一方にヘッドが設けられるとともに、前記第1及び第2移動体の他方にスケールが設けられるエンコーダシステムの出力に基づいて、前記第1移動体を前記第2方向に駆動することと、
前記第1移動体を前記第1方向に駆動することと、
前記第1移動体が前記第1方向に移動する際に、前記第2移動体を前記第1移動体と同期して前記第1方向に駆動することと、
前記エンコーダシステムの出力から求められる前記第1移動体の前記第2方向の位置情報と、前記第2移動体の前記第1方向の位置情報とに基づいて、前記第1移動体の前記2次元平面内の位置制御を行うことと、を含む移動体駆動方法。 - 前記エンコーダシステムは、前記第1及び第2方向に関する前記第1移動体の位置情報を求めることが可能であり、
前記位置制御することでは、前記第2移動体の前記第1方向の位置情報と、前記エンコーダシステムの出力から求められる前記第2移動体に対する前記第1移動体の前記第1方向に関する相対位置情報とに基づいて、前記第1移動体の前記第1方向に関する位置制御を行う請求項18に記載の移動体駆動方法。
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