JP6435036B2 - 回転保持装置及び基板洗浄装置 - Google Patents
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Description
12 ベース部材
13 下チャック部材
13a 上面
13b 下面
13c 基板保持面
14 上チャック部材
14a 上面
14b 下面
14c 基板保持面
15 上チャックベース
16 可動レール筒
17 可動板
18 調整ネジ
19 ばね(弾性手段)
20 破損防止リング
21 位置センサ
100 可動式ローラチャック(回転保持装置)
Claims (6)
- 基板を保持する基板保持装置であって、
回転する回転部材と、
前記回転部材により回転し、前記基板の縁部を基板の第1面から押さえるための第1チャック部材と、
前記回転部材により回転し、前記基板の縁部を基板の第2面から支持するための第2チャック部材と、
前記基板を保持する前記第1チャック部材と前記第2チャック部材との間の距離を変更して、前記基板の縁部を弾性的に保持するための弾性手段を有する可動機構と、
を備え、
前記第1チャック部材は、円錐の上側部分を切除して逆さにした形状を有し、斜めに傾斜したテーパ状の基板保持面が形成されており、
前記第2チャック部材は、円錐の上側部分を切除した形状を有し、斜めに傾斜したテーパ状の基板保持面が形成されていることを特徴とする基板保持装置。 - 前記第1チャック部材の基板の第1面に対する距離を検出する位置センサをさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記可動機構は、前記回転部材に固定され、前記第1チャック部材の移動を案内するための案内手段を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板保持装置。
- 前記第1チャック部材および前記第2チャック部材は、樹脂又はウレタンから構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板保持装置。
- 前記第1チャック部材および前記第2チャック部材の間には破損防止リングが設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の基板保持装置。
- 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の基板保持装置と、該基板保持装置に保持された基板を洗浄するための洗浄手段と、を備えた、基板洗浄装置。
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