JP6431128B2 - ウェハのメッキおよび/または研磨のための装置および方法 - Google Patents
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Claims (2)
- ウェハのメッキおよび/または研磨のための装置であって、
ウェハを保持して位置付けるために水平方向に移動可能でありかつ回転可能であるウェハチャックと、
導電性金属からなりかつ電極として利用される供給パイプを有する副ノズル装置とを備え、
上記供給パイプは、上記ウェハの外側縁部を覆うように電解液を供給するための複数のノズルを規定し、
導電体および絶縁ノズルヘッドを有する主ノズル装置を備え、
上記導電体は、固定部および収容部を有し、
上記絶縁ノズルヘッドは、カバーおよびチューブを有し、
上記チューブは、上記ウェハの表面に電解液を供給するために上記収容部に収容されかつ上記収容部を貫通し、
上記収容部の内周面と上記チューブの外周面との間に第1ギャップが形成され、
上記カバーは、上記固定部の上方に配置され、
上記カバーと上記固定部との間に第2ギャップが形成されている
ことを特徴とする装置。 - 請求項1において、
上記ウェハチャックが、上記ウェハの外側縁部を囲む金属リングを有し、
上記副ノズル装置が、上記ウェハの外側縁部から上記ウェハチャックの上記金属リングまでの領域を覆うために電解液を供給するように構成されている
ことを特徴とする装置。
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