JP6428160B2 - 直動テーブル装置 - Google Patents
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Description
特許文献1に示す直動テーブル装置は、被搭載物を搭載する、略鉛直方向に移動可能なメインテーブルと、メインテーブルに対して鉛直方向下方に配置され、略鉛直方向に移動可能なウエイトとを備え、メインテーブル及びウエイトは、同軸の駆動ねじ軸によって駆動されるようになっている。そして、メインテーブルは、駆動ねじ軸の鉛直方向の上部で右ねじナットと結合され、ウエイトは、駆動ねじ軸の鉛直方向の下部で左ねじナットに結合されている。そして、右ねじナット及び左ねじナットは、モータから伝達される駆動ねじ軸の回転によりそれぞれ上下逆方向に移動し、これにより、メインテーブル及びウエイトは上下逆方向に移動するようになっている。
そして、メインテーブル側にかかるトルクとウエイト側にかかるトルクとを同等としてバランスさせることにより、両トルクを相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
(第1実施形態)
第1実施形態の直動テーブル装置は、図1及び図2に示されており、この直動テーブル装置は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
このベース2の上面には、水平方向の左右(図1における左右)において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第1軸受13及びメインテーブル側第2軸受14が取り付けられている。メインテーブル側第1軸受13は、ベース2の水平方向左端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第2軸受14は、ベース2の水平方向中央部よりやや右側の位置に取り付けられている。
そして、外周に右ねじ溝を形成したメインテーブル用駆動ねじ軸11の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のメインテーブル側第1軸受13及びメインテーブル側第2軸受14に回転可能に軸支されている。
ここで、ウエイトテーブル側第1軸受33は、メインテーブル側第1軸受13に対して鉛直方向の下側に位置し、ウエイトテーブル側第2軸受34は、メインテーブル側第2軸受14に対して鉛直方向下側に位置しているから、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸31は、メインテーブル用駆動ねじ軸11に対して鉛直方向の下側に位置している。このため、メインテーブル用駆動ねじ軸11及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸31は、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されていることになる。
メインテーブル駆動モータ18の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸11が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット12は、メインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って水平方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット12がメインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って水平方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット12に固定されたメインテーブル10がメインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って水平方向の一方向に移動する。
ここで、ベース2に作用するメインテーブル10側の慣性力F1は次の(1)式で表すことができる。
F1=M1×α1 ・・・(1)
ここで、M1はメインテーブル10側の被搭載物の質量を含む総質量、α1はメインテーブル10側の加速度である。
F2=M2×α2 ・・・(2)
ここで、M2はウエイトテーブル30側の総質量、α2はウエイトテーブル30側の加速度である。
そして、両慣性力F1、F2を同等としてバランスさせるために、次の(3)式が成立しなければならない。
F1=M1×α1≒M2×α2=F2 ・・・(3)
また、メインテーブル10の長手方向の一端下面は、第1直動案内装置17aのスライダ16a上に取り付けられ、メインテーブル10の長手方向の他端下面は、第2直動案内装置17bのスライダ16b上に取り付けられている。このため、メインテーブル10がメインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って水平方向の一方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第1実施形態においては、直動テーブル装置1の諸元として、メインテーブル駆動モータ18の回転数は、450〜3000(rpm)、メインテーブル10の送り速度は、36〜60(m/min)、メインテーブル用駆動ねじ軸11のリードは20〜40(mm)である。
このため、この場合、メインテーブル10の上部あるはメインテーブル用ナット12に図示しない錘を付加して、メインテーブル10側の総質量M1を増加させ、メインテーブル10側の慣性力F1とウエイトテーブル30側の慣性力F2とをバランスさせ、メインテーブル駆動モータ18の回転数をもとに戻す。
この場合、メインテーブル10に搭載した被搭載物の質量が重くなり、メインテーブル10側の総質量M1が重くなるため、メインテーブル10の送り速度が遅くなり、メインテーブル10側の加速度α1が減少し、メインテーブル10側の慣性力F1とウエイトテーブル30側の慣性力F2とのバランスが不均衡となりウエイトテーブル駆動モータ38の回転数に変化が生じるとともに直動テーブル装置1全体に振動が発生する。
このため、この場合、ウエイトテーブル30またはウエイトテーブル用ナット32に錘を付加して、ウエイトテーブル30側の総質量M2を増加させ、メインテーブル10側の慣性力F1とウエイトテーブル30側の慣性力F2とをバランスさせ、ウエイトテーブル駆動モータ38の回転数をもとに戻す。
次に、本発明の第2実施形態の直動テーブル装置について、図3及び図4を参照して説明する。図3及び図4において、図1及び図2に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第2実施形態の直動テーブル装置は、図3及び図4に示されており、この直動テーブル装置は、図1及び図2に示す直動テーブル装置1と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、図1及び図2に示す直動テーブル装置1と異なり、工作物などの被搭載物を垂直方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
このベース2の右側面(図3における右面)には、鉛直方向上下において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第1軸受13及びメインテーブル側第2軸受14が取り付けられている。メインテーブル側第1軸受13は、ベース2の鉛直方向下端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第2軸受14は、ベース2の鉛直方向中央部よりやや上側の位置に取り付けられている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸11には、メインテーブル用ナット12が外装されている。メインテーブル用駆動ねじ軸11の外周に形成された右ねじ溝とメインテーブル用ナット12の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体(ボール又はローラ)が備えられ、メインテーブル用ナット12は、メインテーブル用駆動ねじ軸11が回転することによりメインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って鉛直方向に移動するようになっている。
ここで、ウエイトテーブル側第1軸受33は、ベース2の鉛直方向において、メインテーブル側第1軸受13とメインテーブル側第2軸受14との略中間の位置に取り付けられ、ウエイトテーブル側第2軸受34は、ベース2の鉛直方向において、メインテーブル側第2軸受14と同じ位置に取り付けられているから、メインテーブル用駆動ねじ軸11及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸31は、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向の左右において並列配置されていることになる。
メインテーブル駆動モータ18の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸11が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット12は、メインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って鉛直方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット12がメインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って鉛直方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット12に固定されたメインテーブル10がメインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って鉛直方向の一方向に移動する。
そして、両慣性力F1、F2を同等としてバランスさせるために、前述と同様に、次の(3)式が成立しなければならない。
F1=M1×α1≒M2×α2=F2 ・・・(3)
また、メインテーブル10の長手方向の一端側面は、第1直動案内装置17aのスライダ16a上に取り付けられ、メインテーブル10の長手方向の他端側面は、第2直動案内装置17bのスライダ16b上に取り付けられている。このため、メインテーブル10がメインテーブル用駆動ねじ軸11に沿って鉛直方向の一方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第2実施形態においても、第1実施形態の直動テーブル装置1と同様に、直動テーブル装置1の諸元として、メインテーブル駆動モータ18の回転数は、450〜3000(rpm)、メインテーブル10の送り速度は、36〜60(m/min)、メインテーブル用駆動ねじ軸11のリードは20〜40(mm)である。
このため、この場合、メインテーブル10の上部あるはメインテーブル用ナット12に図示しない錘を付加して、メインテーブル10側の総質量M1を増加させ、メインテーブル10側の慣性力F1とウエイトテーブル30側の慣性力F2とをバランスさせ、メインテーブル駆動モータ18の回転数をもとに戻す。
この場合、メインテーブル10に搭載した被搭載物の質量が重くなり、メインテーブル10側の総質量M1が重くなるため、メインテーブル10の送り速度が遅くなり、メインテーブル10側の加速度α1が減少し、メインテーブル10側の慣性力F1とウエイトテーブル30側の慣性力F2とのバランスが不均衡となりウエイトテーブル駆動モータ38の回転数に変化が生じるとともに直動テーブル装置1全体に振動が発生する。
このため、この場合、ウエイトテーブル30またはウエイトテーブル用ナット32に錘を付加して、ウエイトテーブル30側の総質量M2を増加させ、メインテーブル10側の慣性力F1とウエイトテーブル30側の慣性力F2とをバランスさせ、ウエイトテーブル駆動モータ38の回転数をもとに戻す。
次に、本発明の第3実施形態の直動テーブル装置について、図5乃至図7を参照して説明する。図5乃至図7において、図1乃至図4に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第3実施形態の直動テーブル装置は、図5乃至図7に示されており、この直動テーブル装置は、第1実施形態の直動テーブル装置1と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
そして、第3実施形態の直動テーブル装置1は、第1実施形態の直動テーブル装置1と基本構成は同様であるが、ウエイトテーブル30の構成が異なっている。
また、直動テーブル装置1においては、図7に示すように、水平方向に移動するメインテーブル10上の被搭載物60及びウエイトテーブル30上の被搭載物60の双方を加工することが可能な工具50が設置されている。工具50は、工具50の動作を制御する工具制御部51に接続されている。工具制御部51には、エンコーダ21(図6参照)からメインテーブル10の水平方向の位置及びエンコーダ41(図6参照)からウエイトテーブル30の水平方向の位置が入力されるとともに、図示しない上位コンピュータから加工するメインテーブル10上及びウエイトテーブル30上の被搭載物60の最終形状が入力される。工具制御部51は、これらの情報を基に工具50を移動させて、メインテーブル10上の被搭載物60及びウエイトテーブル30上の被搭載物60の双方を加工可能である。工具制御部51に、メインテーブル10上の被搭載物60の最終形状とウエイトテーブル30上の被搭載物60の最終形状とを同じにする情報を入力することにより、両テーブル10、30上で同じ形状の製品を製造することができる。
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、第1実施形態及び第2実施形態の直動テーブル装置1において、メインテーブル用駆動ねじ軸11及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸31のそれぞれは外周に右ねじ溝を形成してあるが、それぞれ左ねじ溝を形成してもよいし、一方に右ねじ溝、他方に左ねじ溝を形成してもよい。一方に右ねじ溝、他方に左ねじ溝を形成した場合、メインテーブル駆動モータ18の回転方向とウエイトテーブル駆動モータ38の回転方向とを同一方向とする。
また、第3実施形態の直動テーブル装置1においては、第1実施形態の直動テーブル装置1と同様に、メインテーブル10及びウエイトテーブル30が水平方向に移動するようになっているが、第2実施形態の直動テーブル装置1同様に、インテーブル10及びウエイトテーブル30が鉛直方向に移動するようになっっていてもよい。
2 ベース
10 メインテーブル
11 メインテーブル用駆動ねじ軸
12 メインテーブル用ナット
13 メインテーブル側第1軸受
14 メインテーブル側第2軸受
15a,15b レール
16a,16b スライダ
17a 第1直動案内装置
17b 第2直動案内装置
18 メインテーブル駆動モータ
30 ウエイトテーブル
31 ウエイトテーブル用駆動ねじ軸
32 ウエイトテーブル用ナット
33 ウエイトテーブル側第1軸受
34 ウエイトテーブル側第2軸受
35a,35b レール
36a,36b スライダ
37a 第3直動案内装置
37b 第4直動案内装置
38 ウエイトテーブル駆動モータ
60 被搭載物
Claims (5)
- 水平方向に延びるように設置されるベースと、
該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第1軸受及びメインテーブル側第2軸受と、
前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第1軸受及びウエイトテーブル側第2軸受と、
軸方向が水平方向となるように前記一対のメインテーブル側第1軸受及びメインテーブル側第2軸受にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸及び軸方向が水平方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第1軸受及びウエイトテーブル側第2軸受にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナット及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、
前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するメインテーブル駆動モータ及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するウエイトテーブル駆動モータと、
前記メインテーブル駆動モータの回転数を検出するエンコーダ及び前記ウエイトテーブル駆動モータの回転数を検出するエンコーダとを備え、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されているとともに、右ねじのみで構成され、
前記メインテーブル側の総質量が変化した場合に、前記ウエイトテーブル側の加速度を調整することで、前記メインテーブル側の慣性力及び前記ウエイトテーブル側の慣性力を同等とすることを特徴とする直動テーブル装置。 - 鉛直方向に延びるように設置されるベースと、
該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第1軸受及びメインテーブル側第2軸受と、
前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第1軸受及びウエイトテーブル側第2軸受と、
軸方向が鉛直方向となるように前記一対のメインテーブル側第1軸受及びメインテーブル側第2軸受にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸及び軸方向が鉛直方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第1軸受及びウエイトテーブル側第2軸受にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナット及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、
前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するメインテーブル駆動モータ及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するウエイトテーブル駆動モータと、
前記メインテーブル駆動モータの回転数を検出するエンコーダ及び前記ウエイトテーブル駆動モータの回転数を検出するエンコーダとを備え、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向の左右において並列配置されているとともに、右ねじのみで構成され、
前記メインテーブル側の総質量が変化した場合に、前記ウエイトテーブル側の加速度を調整することで、前記メインテーブル側の慣性力及び前記ウエイトテーブル側の慣性力を同等とすることを特徴とする直動テーブル装置。 - 前記メインテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記メインテーブル用駆動軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の直動テーブル装置。
- 前記ウエイトテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記ウエイトテーブル用駆動軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載の直動テーブル装置。
- 前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸のリードを前記メインテーブル用駆動ねじ軸のリードよりも小さくしたことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載の直動テーブル装置。
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