JP6422317B2 - 小型製造装置 - Google Patents
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Description
図1乃至図6には、本発明の実施の形態1を示す。
なお、上述した実施の形態1では、第1搬送工程において、右側の半導体製造装置2Aの容器把持部材26に把持されたウェハ搬送容器10がX方向における基準位置に位置決めされたか否かを検出するのに、中央の半導体製造装置2BのX方向位置決め機構4XのX方向停止スイッチ30および送信機を用いる場合について説明した。しかし、この検出動作を右側の半導体製造装置2A自身が行うようにしてもよい。この場合、右側の半導体製造装置2Aと中央の半導体製造装置2Bとの間で信号をやり取りする必要がなくなる利点がある。このことは、第2搬送工程についても同様である。
2……半導体製造装置(小型製造装置)
3……筐体
4……位置決め機構
5……処理室
6……装置前室
7……凹部
8……仮置きトレイ
9……容器載置台
10……ウェハ搬送容器(基板搬送容器)
11……底板
12……容器搬送手段
13……位置決め手段
14……容器搬送経路
22……X軸モータ(アーム駆動装置)
26……容器把持部材
27……搬送アーム
30……X方向停止スイッチ
40……コイルスプリング(トレイ揺動手段)
41……ガイド部材
50……Z方向停止スイッチ
Claims (7)
- 処理室および装置前室が筐体の内部に配設され、
前記筐体に凹部が形成され、
この凹部に、処理基板が収容された基板搬送容器を載置するための容器載置台が設けられ、
前記処理基板を処理する際には、この処理基板が、前記容器載置台から搬入されて前記装置前室を経て前記処理室に搬送され、この処理室で処理された後、この処理室から前記装置前室を経て前記容器載置台に戻されて搬出される小型製造装置であって、
前記凹部には、前記基板搬送容器を一時的に保持する仮置きトレイと、この仮置きトレイと前記容器載置台との間で前記基板搬送容器を搬送する容器搬送手段とが設けられ、
前記容器搬送手段は、前記小型製造装置が複数並設されたときに、任意の小型製造装置の前記容器載置台と当該小型製造装置に隣接する小型製造装置の前記仮置きトレイとの間で前記基板搬送容器を搬送しうるように構成され、
前記容器搬送手段によって前記基板搬送容器が前記仮置きトレイに載置されるときに、当該基板搬送容器を当該仮置きトレイ上の基準位置に位置決めする位置決め機構が組み込まれていることを特徴とする小型製造装置。 - 前記位置決め機構は、前記基板搬送容器が、前記筐体の幅方向であるX方向における前記仮置きトレイ上の基準位置に位置決めされたか否かを検出するX方向停止スイッチと、このX方向停止スイッチによって前記基板搬送容器がX方向における前記仮置きトレイ上の基準位置に位置決めされたと検出された場合に、その旨の信号を送信する送信機と、前記基板搬送容器がX方向における前記仮置きトレイ上の基準位置に位置決めされた旨の信号を受信する受信機と、この受信機からの信号に基づいて前記容器搬送手段による前記基板搬送容器の搬送動作を停止させる停止制御装置とからなるX方向位置決め機構を含んでいることを特徴とする請求項1に記載の小型製造装置。
- 前記容器搬送手段は、前記筐体に対してX方向に移動自在に取り付けられた搬送アームと、この搬送アームをX方向に駆動するアーム駆動装置と、前記搬送アームに対してX方向に移動自在に取り付けられ、前記基板搬送容器を着脱自在に把持する容器把持部材とを有することを特徴とする請求項1または2に記載の小型製造装置。
- 前記容器把持部材は、前記搬送アームのX方向の移動に連動してX方向に移動するように構成され、
前記搬送アームと前記容器把持部材との間には、当該搬送アームのX方向の移動を増速して当該容器把持部材に伝える増速機構が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の小型製造装置。 - 前記容器搬送手段は、前記筐体に定荷重ばねを介して昇降自在に支持されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の小型製造装置。
- 前記位置決め機構は、前記筐体の奥行き方向であるY方向における筐体上の基準位置を中心として前記仮置きトレイをY方向に弾性的に揺動させるトレイ揺動手段と、前記容器搬送手段によって前記基板搬送容器を前記仮置きトレイに載置するときに、当該仮置きトレイをY方向にガイドして当該基板搬送容器を当該仮置きトレイ上の基準位置に位置決めするガイド部材とからなるY方向位置決め機構を含んでいることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の小型製造装置。
- 前記位置決め機構は、前記基板搬送容器が、前記筐体の高さ方向であるZ方向における前記仮置きトレイ上の基準位置に位置決めされたか否かを検出するZ方向停止スイッチと、このZ方向停止スイッチによって前記基板搬送容器がZ方向における前記仮置きトレイ上の基準位置に位置決めされたと検出された場合に、その旨の信号を送信する送信機と、前記基板搬送容器がZ方向における前記仮置きトレイ上の基準位置に位置決めされた旨の信号を受信する受信機と、この受信機からの信号に基づいて前記容器搬送手段による前記基板搬送容器の搬送動作を停止させる停止制御装置とからなるZ方向位置決め機構を含んでいることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の小型製造装置。
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