JP6420802B2 - リソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
本出願は、2011年3月22日出願の先のドイツ特許出願第10 2011 055 885.0号に基づくものであり、かつその優先権の利益を主張し、その全ての内容は、引用によって本明細書に組み込まれる。
図1は、第1の例示的な実施形態によるリソグラフィ装置100の概略図を示している。リソグラフィ装置100は、少なくとも1つの光学要素130を装着するための保持フレーム120と、センサ装置200を装着するための測定フレーム140とがその上に設けられた底板110を含む。リソグラフィ装置100は、典型的には複数の光学要素を含む。しかし、図1には、リソグラフィ装置100の機能を概略的に解説するために、一例として光学要素130を1つしか示していない。
図6は、第2の例示的な実施形態によるリソグラフィ装置のセンサ装置200の平面図を示している。下記では、第1の例示的な実施形態の要素と構造的又は機能的に同一である要素を同じ参照符号に示し、詳細に説明しない。特に、図6に示すセンサ装置200は、図1のリソグラフィ装置100内で位置センサとして使用することができる。
図7は、第3の例示的な実施形態によるリソグラフィ装置のセンサ装置200の平面図を示している。下記では、第1の例示的な実施形態の要素と構造的又は機能的に同一である要素を同じ参照符号に示し、詳細に説明しない。特に、図7に示すセンサ装置200は、図1のリソグラフィ装置100内で光学要素130の位置を検出するための位置センサとして使用することができる。
110 底板
120 保持フレーム
130 光学要素
132 エンコーダパターン
134 パターン領域
140 測定フレーム
160 ウェーハレセプタクル
170 ウェーハ
180 照明装置
190 マスク
200 センサ装置
210 センサレセプタクル
211 底板
213 板バネ
215 肥厚部
216a...216d 膨張線
217 温度不変点
220、220a、220b センサ
225、225a、225b 検出領域
230 評価デバイス
240 アクチュエータ
250 センサ
Claims (11)
- リソグラフィ装置(100)であって、
構造要素(140)と、
第1の検出方向の物理量を検出するための第1の検出領域(225a)を有する第1のセンサ(220a)と、
第2の検出方向の物理量を検出するための第2の検出領域(225b)を有する第2のセンサ(220b)と、
前記第1及び第2のセンサ(220a,220b)を前記構造要素(140)に装着するためのセンサレセプタクル(210)と、
を含み、
前記第1のセンサ(220a)の配置は、前記センサレセプタクル(210)の所定の温度変化値による温度の変化時に、前記第1の検出方向の前記第1のセンサ(220a)の前記第1の検出領域(225a)の最大変位が、その配置に対して直交して前記第1のセンサ(220a)が配置された場合の前記第1の検出方向の前記第1のセンサ(220a)の前記第1の検出領域(225a)の最大変位よりも大きくないように配置され、
前記第2のセンサ(220b)の配置は、前記センサレセプタクル(210)の所定の温度変化値による温度の変化時に、前記第2の検出方向の前記第2のセンサ(220b)の前記第2の検出領域(225b)の最大変位が、その配置に対して直交して前記第2のセンサ(220b)が配置された場合の前記第2の検出方向の前記第2のセンサ(220b)の前記第2の検出領域(225b)の最大変位よりも大きくないように配置される、
ことを特徴とするリソグラフィ装置(100)。 - 前記第1及び第2のセンサ(220a,220b)は、該第1及び第2のセンサ(220a,220b)の前記第1及び第2の検出方向が、前記センサレセプタクル(210)の温度の変化時の該第1及び第2のセンサ(220a,220b)の前記第1及び第2の検出領域(225a,225b)での該センサレセプタクル(210)の熱膨張方向に対して実質的に直交するように配置されることを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記第1の検出方向と前記第2の検出方向は、互いに対して実質的に直交することを特徴とする請求項2に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記第1及び/又は前記第2のセンサ(220a,220b)は、所定の温度変化値による温度の変化時に、前記構造要素(140)に対していかなる方向にも所定の絶対膨張値を超えて変位しない前記センサレセプタクル(210)の領域に配置されることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記第1及び第2のセンサ(220a,220b)は、前記センサレセプタクル(210)の10mK、好ましくは100mK、特に好ましくは1Kの温度の変化時に、前記第1及び第2の検出領域(225a,225b)が、前記構造要素(140)に対して前記検出方向に100nm、好ましくは10nm、特に好ましくは1nmを超えずに変位するように配置されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記センサレセプタクル(210)は、前記構造要素(140)よりも大きい熱膨張係数を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記センサレセプタクル(210)は、バネ要素を用いて前記構造要素(140)に固定されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記センサレセプタクル(210)は、前記構造要素(140)から熱的に分離されることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記構造要素(140)は、測定フレームであることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記第1及び第2のセンサ(220a,220b)は、リソグラフィ装置(100)の光学要素(130)の位置を検出するようになっていることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置(100)。
- 前記第1及び第2のセンサ(220a,220b)は、少なくとも1つの光検出器を含むことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置(100)。
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