JP6420731B2 - 回路モジュール - Google Patents
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Description
(1)T1≧40nm
(2)T2≦10μm
(3)T1/T2≦0.05
図1及び図2を参照し、回路モジュール10について説明する。図2は、図1の部分拡大図であり、電極4と絶縁層8が積層されている部分を示している。回路モジュール10は、回路基板6と、絶縁層8と、配線12を備えている。電極4は、回路基板6の表面に配置されている。回路基板6は、シリコン基板内に回路(図示省略)を作りこんだものである。電極4は、第1金属層20と第2金属層22を含む積層電極である。第1金属層20の材料はアルミニウムである。第1金属層20は、回路基板6に形成されている回路に接続している。第1金属層20の厚みT20は1μmである。アルミニウムは、特許請求の範囲に記載の難還元性金属の一例である。第2金属層22の材料はニッケルである。第2金属層22の厚みT22は60nmである。
図3に示すように、回路モジュール10aでは、第1金属層20と第2金属層22の間に、第3金属層24が設けられている。第3金属層24の材料はタンタルである。また、第3金属層24の厚みは100nmである。回路モジュール10aでは、第1金属層20,第2金属層22及び第3金属層24によって、電極42が形成されている。第3金属層24を設けることにより、配線12(図1を参照)に含まれる銅が第1金属層(アルミニウム層)20に拡散することを抑制することができる。なお、第3金属層24の材料として、窒化タンタルを用いることもできる。窒化タンタルを用いる場合、第3金属層24の厚みを変更してもよい(例えば30nm)。窒化タンタルを用いることにより、第1金属層20と第2金属層22の密着性が向上するとともに、配線12に含まれる銅が第1金属層20に拡散することを抑制することができる。
図4に示す回路モジュール10bは、回路モジュール10aの変形例である。回路モジュール10bは、第1金属層20と第2金属層22と第3金属層26によって、電極44が形成されている。第3金属層26は、第1層26aと第2層26bを有している。すなわち、回路モジュール10bは、第3金属層26の構造が回路モジュール10aの第3金属層24と異なる。第1層26aの材料はタンタルであり、第2層の材料は窒化タンタルである。回路モジュール10bは、第1金属層20と第2金属層22の密着性が向上するとともに、配線12に含まれる銅が第1金属層20に拡散することを抑制することができる。
回路モジュールについて、電極の構造が異なる試料を作製し、配線と電極の接触抵抗の測定を行った。なお、接触抵抗は、クロスブリッジケルビン抵抗法を用いて測定した。以下、測定した試料の特徴を記す。
試料1:回路モジュール10と同一(第2金属層の厚み60nm)。
試料2:試料1の第2金属層の厚みを10nmに変更した。
試料3:試料1の第2金属層の厚みを40nmに変更した。
試料4:試料1の第2金属層の厚みを300nmに変更した。
試料5:試料1の第2金属層の厚みを500nmに変更した。
試料6:試料1の第2金属層の厚みを1000nmに変更した。
試料7:回路モジュール10aと同一(第3金属層が厚み100nmのタンタル)。
試料8:試料7の第3金属層の材料を窒化タンタル、厚みを30nmに変更した。
試料9:試料1に対して、第2金属層を省略し、第1金属層と配線を直接接触させた。
試料10:試料7に対して、第2金属層を省略し、第3金属層と配線を直接接触させた。
試料11:試料8に対して、第2金属層を省略し、第3金属層と配線を直接接触させた。
試料12:試料1の第2金属層の材料をチタンに変更した。
試料13:試料1の第2金属層の材料を窒化チタンに変更した。
6:回路基板
8:絶縁層
10:回路モジュール
20:第1金属層
22:第2金属層
Claims (3)
- 表面に電極が配置されている回路基板と、
前記回路基板上に配置されているとともに表面から裏面に向けて伸びる貫通孔が設けられており、前記電極の表面の一部と接触している絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられている配線と、
前記貫通孔内に充填されているとともに前記電極と前記配線を接続している導電体と、を備えており、
前記電極は、前記回路に接続しているとともに難還元性金属を含む第1金属層と、その第1金属層上に配置されているとともにニッケルを含む第2金属層と、を有し、
前記導電体は、銅を含み、
前記第2金属層の厚みをT1とし、前記絶縁層の厚みをT2としたときに、下記式(1)から(3)を満たす回路モジュール。
(1)T1≧40nm
(2)T2≦10μm
(3)T1/T2≦0.05 - 前記第1金属層は、アルミニウムを含む請求項1に記載の回路モジュール。
- 前記第1金属層と前記第2金属層の間に、タンタルを含む第3金属層が設けられている請求項1又は2に記載の回路モジュール。
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