JP6419000B2 - 膜厚推定装置、塗布装置、膜厚推定方法、およびスリットノズル調整方法 - Google Patents
膜厚推定装置、塗布装置、膜厚推定方法、およびスリットノズル調整方法 Download PDFInfo
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Description
1…フレーム
2…上流側コンベア
3…中流側コンベア
4…下流側コンベア
5…スリットノズル
5S…スリット
6…支持部材
21,31,41…ローラ
50…調整機構
51…調整ネジ
100…塗布コントローラ部
400,400A,400B…膜厚推定装置
200…移動機構
201…土台
202…レール
203…ガイド
205…第1支持部材
206…モータ
207…ガイド機構
210…第2支持部材
211…ガイド機構
213…付勢部材
220…第3支持部材
221…側面カムフォロア
222…上面カムフォロア
230…プローブ
231…検出素子
250,250A…カバー
300…情報処理部
301…制御部
302…表示部
303…記憶部
304…検出部
305…モータ制御部
700…塗布液供給経路
710…圧縮エア供給経路
Claims (11)
- スリットノズルのスリットから吐出される塗布液によってワーク上に形成される塗膜の厚みのばらつきを推定する膜厚推定装置であって、
所定の定圧の気体が供給される前記スリットノズルに対し、前記スリットから吐出方向に所定距離離れた複数の検出位置であって、前記スリットの長手方向に並ぶ複数の検出位置において、前記スリットから吐出された気体の特徴量を検出する検出手段と、
前記検出手段が検出した各検出位置の前記特徴量に基づいて、各検出位置に対応する各位置の塗膜の厚みのばらつきを推定する推定手段と、
を備える膜厚推定装置。 - 前記検出手段は、
検出素子と、
前記長手方向に前記検出素子を移動させる移動手段と、
を有する請求項1に記載の膜厚推定装置。 - 前記移動手段は、
前記吐出方向に平行な軸周りに回転自在であり、外周面の一部が前記吐出方向及び前記長手方向に平行な前記スリットノズルの第1面に当接する第1ローラと、
前記スリットの短手方向に平行な軸周りに回転自在であり、外周面の一部が前記長手方向及び前記短手方向に平行な前記スリットノズルの第2面に当接する第2ローラと、
前記第1ローラ及び前記第2ローラを回転自在に支持し、前記検出素子を前記スリットから吐出方向に所定距離離れた位置に支持する支持部材と、
前記支持部材を前記長手方向に移動させる駆動部と、
を有する請求項2に記載の膜厚推定装置。 - 前記検出手段は、各検出位置に配置される複数の検出素子を有する、
請求項1に記載の膜厚推定装置。 - 前記検出手段は、前記スリットの短手方向に前記検出素子を移動させる第2移動手段を有する、
請求項2〜4のいずれかに記載の膜厚推定装置。 - 前記検出手段は、前記短手方向に前記検出素子を移動させつつ、前記特徴量を検出し、
前記推定手段は、前記検出手段が検出した複数の前記特徴量から最大値となる特徴量に基づいて、各位置の塗膜の厚みのばらつきを推定する、
請求項5に記載の膜厚推定装置。 - 前記検出手段は、前記検出素子のカバーであって、前記スリットの短手方向が法線方向となる壁を有するカバーを備える、
請求項2〜6のいずれかに記載の膜厚推定装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の膜厚推定装置と、
前記スリットノズルと、
前記スリットノズルに塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記推定手段が推定したばらつきの度合いを表示する表示部と、
を備え、
前記スリットノズルは、前記長手方向に並ぶ複数の調整位置において、前記スリットの開口幅を調整する調整機構を有する、
塗布装置。 - 前記検出手段の各検出位置は、前記調整機構の各調整位置に対応する、
請求項8に記載の塗布装置。 - スリットノズルのスリットから吐出される塗布液によってワーク上に形成される塗膜の厚みのばらつきを推定する膜厚推定方法であって、
所定の定圧の気体を前記スリットノズルに供給する供給ステップと、
前記スリットから吐出方向に所定距離離れた複数の検出位置であって、前記スリットの長手方向に並ぶ複数の検出位置において、前記スリットから吐出された気体の特徴量を検出する検出ステップと、
前記検出ステップによって検出された各検出位置の前記特徴量に基づいて、各検出位置に対応する各位置の塗膜の厚みのばらつきを推定する推定ステップと、
を有する膜厚推定方法。 - 請求項10に記載の膜厚推定方法を利用するスリットノズル調整方法であって、
前記推定ステップが推定した各位置の塗膜の厚みに基づいて、前記スリットの開口幅を調整する調整ステップと、
を有するスリットノズル調整方法。
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