JP6409701B2 - 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、及び有機半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
以下に、本発明の一実施形態の蒸着マスク100について具体的に説明する。
図1に示すように、樹脂マスク20には、複数の開口部25が設けられている。図1は、一実施形態の蒸着マスクを金属マスク側から見た正面図である。そして、本発明は、図2〜図5に示すように、樹脂マスク20の開口部25を構成するための内壁面は、厚み方向断面において少なくとも1つの屈折点(S1)を有しており、当該厚み方向断面において、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない側の面である第1面と内壁面との交点を第1交点(Q1)とし、樹脂マスク20の金属マスク10と接する側の面である第2面と内壁面との交点を第2交点(Q2)とし、屈折点のうち第1交点(Q1)から第2交点(Q2)にむかって最初に位置する第1屈折点(S1)としたときに、第1交点(Q1)と第1屈折点(S1)を結ぶ直線(T1)と第1面とのなす角(θ1)は、第1屈折点(S1)と第2交点(Q2)を結ぶ直線(T2)と第2面とのなす角(θ2)よりも大きく、内壁面は、厚み方向断面において第1面から第2面側に向かって広がりをもつ形状であることを特徴としている。なお、図2〜図5は、図1のA−A部分概略断面図であり、開口部25の内壁面の断面形状を説明するための図である。本願明細書で言う「開口部を構成するための内壁面」とは、樹脂マスク20を厚さ方向に貫通する開口部において、当該開口部そのものを形作っている樹脂マスクの面、換言すれば、開口部内の空間に面している面のことをいう。
図7に示すように、樹脂マスク20の一方の上には、金属マスク10が積層されている。金属マスク10は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びるスリット15が配置されている。スリット15は開口と同義である。スリットの配置例について特に限定はなく、図2に示すように縦方向、及び横方向に延びるスリットが、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びるスリットが、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びるスリットが縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に1列のみ配置されていてもよい。なお、図7は、図1で示される蒸着マスクのB−B断面であり、横方向に対向する内壁面の厚み方向断面が、それぞれ図2〜図5等で例示した形状を呈している。
図8に示すように、本発明の第1実施形態の蒸着マスク100は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、樹脂マスク20の一方の面上に、複数のスリット15が設けられた金属マスク10が積層されてなり、樹脂マスク20には、複数画面を構成するために必要な開口部25が設けられ、各スリット15が、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする。さらに、第1実施形態の蒸着マスク100は、樹脂マスク20の開口部25を構成するための内壁面が、厚み方向断面において少なくとも1つの屈折点(S1)を有しており、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない側の面である第1面と内壁面との交点を第1交点(Q1)とし、樹脂マスク20の金属マスク10と接する側の面である第2面と内壁面との交点を第2交点(Q2)とし、屈折点のうち第1交点(Q1)から第2交点(Q2)にむかって最初に位置する第1屈折点(S1)としたときに、第1交点(Q1)と第1屈折点(S1)を結ぶ直線(T1)と第1面とのなす角(θ1)は、第1屈折点(S1)と第2交点(Q2)を結ぶ直線(T2)と第2面とのなす角(θ2)よりも大きく、内壁面は、厚み方向断面において第1面から第2面側に向かって広がりをもつ形状であることを特徴としている。
次に第2実施形態の蒸着マスクについて説明する。図12に示すように、第2実施形態の蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応した開口部25が複数設けられた樹脂マスク20の一方の面上に、1つのスリット(1つの貫通孔16)が設けられた金属マスク10が積層されてなり、当該複数の開口部25の全てが、金属マスク10に設けられた1つの貫通孔と重なる位置に設けられている点を特徴とする。さらに、第2実施形態の蒸着マスクにおいても、樹脂マスク20の開口部25を構成するための内壁面が、厚み方向断面において少なくとも1つの屈折点(S1)を有しており、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない側の面である第1面と内壁面との交点を第1交点(Q1)とし、樹脂マスク20の金属マスク10と接する側の面である第2面と内壁面との交点を第2交点(Q2)とし、屈折点のうち第1交点(Q1)から第2交点(Q2)にむかって最初に位置する第1屈折点(S1)としたときに、第1交点(Q1)と第1屈折点(S1)を結ぶ直線(T1)と第1面とのなす角(θ1)は、第1屈折点(S1)と第2交点(Q2)を結ぶ直線(T2)と第2面とのなす角(θ2)よりも大きく、内壁面は、厚み方向断面において第1面から第2面側に向かって広がりをもつ形状であることを特徴としている。
第2実施形態の蒸着マスクにおける樹脂マスク20は、樹脂から構成され、図12に示すように、1つの貫通孔16と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25が複数設けられている。開口部25は、蒸着作製するパターンに対応しており、蒸着源から放出された蒸着材が開口部25を通過することで、蒸着対象物には、開口部25に対応する蒸着パターンが形成される。なお、図示する形態では、開口部が縦横に複数列配置された例を挙げて説明をしているが、縦方向、或いは横方向にのみ配置されていてもよい。
第2実施形態の蒸着マスク100における金属マスク10は、金属から構成され1つの貫通孔16を有している。そして、本発明では、当該1つの貫通孔16は、金属マスク10の正面からみたときに、全ての開口部25と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク20に配置された全ての開口部25がみえる位置に配置されている。
次に、本発明の一実施形態の蒸着マスクの製造方法の一例を説明する。
次に、本発明の一実施形態の有機半導体素子の製造方法について説明する。本発明の一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程を有し、当該有機半導体素子を形成する工程において以下のフレーム付き蒸着マスクが用いられる点に特徴を有する。フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法についていかなる限定もされることはなく、例えば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法等の物理的気相成長法(Physical Vapor Deposition)、熱CVD、プラズマCVD、光CVD法等の化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition)等を挙げることができる。
次に、本発明の一実施形態のフレーム付き蒸着マスクについて説明する。本発明の一実施形態のフレーム付き蒸着マスク200は、図15、図16に示すように、フレーム60に蒸着マスク100が固定されてなり、フレームに固定される蒸着マスク100が、上記で説明した蒸着マスク100であることを特徴としている。つまりは、フレーム60に固定される蒸着マスクとして、蒸着作製するパターンに対応する開口部25が設けられた樹脂マスク20の一方の面上に、開口部25と重なるスリット15が設けられた金属マスク10が積層され、さらに、樹脂マスク20の開口部25を構成するための内壁面が、厚み方向断面において少なくとも1つの屈折点(S1)を有しており、当該厚み方向断面において、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない側の面である第1面と内壁面との交点を第1交点(Q1)とし、樹脂マスク20の金属マスク10と接する側の面である第2面と内壁面との交点を第2交点(Q2)とし、屈折点のうち第1交点(Q1)から第2交点(Q2)にむかって最初に位置する第1屈折点(S1)としたときに、第1交点(Q1)と第1屈折点(S1)を結ぶ直線(T1)と第1面とのなす角(θ1)は、第1屈折点(S1)と第2交点(Q2)を結ぶ直線(T2)と第2面とのなす角(θ2)よりも大きく、内壁面は、厚み方向断面において第1面から第2面側に向かって広がりをもつ形状であることを特徴としている。
100…蒸着マスク
10…金属マスク
15…スリット
16…貫通孔
20…樹脂マスク
25…開口部
30…樹脂板
50…樹脂板付き金属マスク
60…フレーム
Claims (27)
- 開口部を有する樹脂マスクを含む蒸着マスクの製造方法であって、
樹脂板を準備する工程と、
前記樹脂板にレーザーを照射して前記開口部を形成する工程と、を含み、
前記開口部を形成する工程においては、
樹脂板の一方の面を第1面、他方の面を第2面とした場合において、
前記開口部を構成するための内壁面が、厚み方向断面において少なくとも1つの屈折点を有しており、
前記厚み方向断面において、前記第1面と前記内壁面の交点を第1交点とし、前記第2面と前記内壁面との交点を第2交点とし、前記屈折点のうち前記第1交点から第2交点にむかって最初に位置する屈折点を第1屈折点としたときに、
前記第1交点と前記第1屈折点を結ぶ直線と前記第1面とのなす角(θ1)が、前記第1屈折点と前記第2交点を結ぶ直線と前記第2面とのなす角(θ2)よりも大きくなり、且つ、前記内壁面が、厚み方向断面において前記第1面から前記第2面側に向かって広がりをもつ形状となるように、
前記開口部を形成する、蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記第1交点から第1屈折点までの距離が、前記第1屈折点から第2交点までの距離よりも短くなるように、前記開口部を形成する、
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記屈折点が2つ以上存在し、前記屈折点のうち、前記第1交点から第2交点にむかって最初に位置する屈折点を第1屈折点とし、前記第1屈折点の次に位置する屈折点を第2屈折点としたときに、
前記第1交点から第1屈折点までの距離が、前記第1屈折点から第2屈折点までの距離よりも長くなるように、前記開口部を形成する、
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記屈折点が2つ以上存在し、前記屈折点のうち、前記第1交点から第2交点にむかって最初に位置する屈折点を第1屈折点とし、前記第1屈折点の次に位置する屈折点を第2屈折点としたときに、
前記第1交点から第1屈折点までの距離が、前記第1屈折点から第2屈折点までの距離よりも短くなるように、前記開口部を形成する、
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記屈折点が4つ以上存在し、前記屈折点のうち、前記第1交点から第2交点にむかって最初に位置する屈折点を第1屈折点としたときに、
前記第1交点から第1屈折点までの厚み方向の距離が、前記第1屈折点から第2交点までの厚み方向の距離よりも短くなるように、前記開口部を形成する、
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記屈折点が2つ以上存在し、前記屈折点のうち、前記第1交点から第2交点にむかって最初に位置する屈折点を第1屈折点としたときに、
前記第1屈折点以外の屈折点が、前記第1屈折点と前記第2交点を結ぶ直線よりも第1面側に位置するように、前記開口部を形成する、
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記第2交点から前記第1面へ垂線をひいたときに、
前記第1交点から前記垂線と前記第一面との交点までの距離が、前記第2交点から前記垂線と前記第一面との交点までの距離よりも短くなるように、前記開口部を形成する、
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記第2交点から前記第1面へ垂線をひいたときに、
前記第1交点から前記垂線と前記第一面との交点までの距離が、前記第2交点から前記垂線と前記第一面との交点までの距離よりも長くなるように、前記開口部を形成する、
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記第1屈折点と前記第1交点を結ぶ直線と前記第1面とのなす角(θ1)が60°〜90°の範囲内となるように、前記開口部を形成する、
請求項1乃至8の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記第1屈折点と前記第2交点を結ぶ直線と前記第2面とのなす角(θ2)が30°〜70°の範囲内となるように、前記開口部を形成する、
請求項1乃至9の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂板として、第2面側に金属部分が設けられた樹脂板を用いる、
請求項1乃至10の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂板として、コーティングにより形成された樹脂板を用いる、
請求項1乃至11の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂板として、フレームに樹脂板が固定されたフレーム付き樹脂板を用いる、
請求項1乃至12の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程の後に、
フレームに、前記開口部が形成された樹脂板を固定する工程をさらに含む、
請求項1乃至12の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
複数の前記開口部を形成する、
請求項1乃至14の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
複数の前記開口部が、縦方向、及び横方向の両方に並ぶように形成する、
請求項15に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
複数の前記開口部が、縦方向、及び横方向の何れか一方にのみに並ぶように形成する、
請求項15に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
複数の前記開口部が、縦方向に並んで複数列あり、隣り合う列同士の開口部が、互いに縦方向にずれて配置されるように、又は、横方向に並んで複数行あり、隣り合う行同士の開口部が、互いに横方向にずれて配置されるように、複数の前記開口部を形成する、
請求項15に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
1画面分の蒸着パターンを形成するために必要な、前記開口部を形成する、
請求項1乃至18の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
複数の画面分の蒸着パターンを形成するために必要な、前記開口部を形成する、
請求項1乃至18の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
1画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部と、他の1画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部との間の距離のうちその距離が最も短くなるものを画面間の距離としたときに、前記画面間の距離が、1画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部において隣接する各開口部間の距離よりも長くなるように、前記開口部を形成する、
請求項20に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記画面間の距離が、1mm以上で100mm以下の範囲となるように、前記開口部を形成する、
請求項21に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂板として、溝が形成された樹脂板を用いる、
請求項1乃至22の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂板として、厚みが4μm以上で8μm以下の樹脂板を用いる、
請求項1乃至23の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記開口部を形成する工程において、
前記開口部の大きさが、500μm 2 以上で1000μm 2 以下の範囲となるように、前記開口部を形成する、
請求項1乃至24の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 蒸着で作製されるパターンの形成方法であって、
請求項1乃至25の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクを用いる、
パターンの形成方法。 - 有機半導体素子の製造方法であって、
請求項1乃至25の何れか1項に記載の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクを用いる、
有機半導体素子の製造方法。
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