JP6404654B2 - 塗布方法および塗布装置 - Google Patents
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Claims (6)
- 塗布針の先端部に液状材料を付着させ、対象物の上方の予め定められた位置に前記塗布針を配置し、前記塗布針を下降および上昇させて前記対象物に前記液状材料を塗布し、前記液状材料からなる液状材料層を形成する工程を複数回実行し、複数の前記液状材料層を積層する塗布方法において、
実行した前記工程の回数が増大するに従って、前記予め定められた位置から前記対象物に向けて前記塗布針を下降させる距離を減少させる、塗布方法。 - 今回の前記工程において前記塗布針を下降させる距離は、前回の前記工程において前記塗布針を下降させた距離よりも前回の前記工程で形成された前記液状材料層の厚さ分だけ小さい、請求項1に記載の塗布方法。
- その底に孔が開口され、前記液状材料が注入された容器と、
その先端部が前記孔と略同じ径を有する前記塗布針とを備え、
前記塗布針を下降させ、前記塗布針の先端部を前記孔から突出させて前記先端部に前記液状材料を付着させるとともに前記塗布針を前記予め定められた位置に配置する、請求項1または請求項2に記載の塗布方法。 - 塗布針の先端部に液状材料を付着させる塗布ユニットと、
前記塗布ユニットと対象物を相対移動させて前記対象物の上方の予め定められた位置に前記塗布針の先端を配置する位置決め装置と、
前記塗布針を下降および上昇させる第1の駆動装置と、
前記塗布ユニットおよび前記第1の駆動装置を制御して前記対象物に前記液状材料を塗布し、前記液状材料からなる液状材料層を形成する工程を複数回実行し、複数の前記液状材料層を積層する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記第1の駆動装置を制御し、実行した前記工程の回数が増大するに従って、前記予め定められた位置から前記対象物に向けて前記塗布針を下降させる距離を減少させる、塗布装置。 - 前記制御装置は、今回の前記工程において前記塗布針を下降させる距離を、前回の前記工程において前記塗布針を下降させた距離よりも前回の前記工程で形成された前記液状材料層の厚さ分だけ減少させる、請求項4に記載の塗布装置。
- 前記塗布ユニットは、
その底に孔が開口され、前記液状材料が注入された容器と、
その先端部が前記孔と略同じ径を有する前記塗布針と、
前記塗布針を下降および上昇させる第2の駆動装置とを含み、
前記制御装置は、前記第2の駆動装置を制御して前記塗布針を下降させ、前記塗布針の先端部を前記孔から突出させて前記先端部に前記液状材料を付着させる、請求項4または請求項5に記載の塗布装置。
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