JP6390479B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、生成物堆積が生じやすいガスの排気に適したターボ分子ポンプに関する。

従来、半導体製造装置や液晶製造装置等のチャンバ排気にはターボ分子ポンプ等の真空ポンプが用いられている。近年、半導体製造装置や液晶製造装置のエッチングプロセスにおいて、真空ポンプへの生成物の堆積が発生して、真空ポンプのロータが生成物と接触するというトラブルの増加や、装置稼働後に短期間でオーバーホールが必要となるなどの問題が生じている。

生成物の凝固及び堆積はその蒸気圧に依存しており、より低圧で、より高温な環境においては凝固及び堆積が抑制される傾向がある。そのため、固定翼および回転翼で構成されるタービン翼ポンプ部と、円筒状のロータおよびステータを有するネジ溝ポンプ部とを備えるターボ分子ポンプにおいては、ポンプ内において相対的に圧力の高いネジ溝ポンプ部やポンプ排気口等で堆積量が多くなる傾向がある。そのため、この部分の堆積抑制対策として、ネジ溝ポンプ部のステータおよび排気口が設けられたベースの周囲や排気口にヒータを取り付ける構造や、ネジ溝ポンプ部のステータをヒータで直接加熱する構造（例えば、特許文献１参照）が提案されている。

特開２０１１−８０４０７号公報

ところで、ネジ溝ポンプ部よりも排気上流側に設けられたタービン翼ポンプ部においても、例えば、回転翼と対向するスペーサ内周面において、生成物の付着および堆積が発生する。スペーサ内周面に生成物が堆積すると、その生成物と回転翼先端とが接触するおそれがある。

本発明の第１の態様によるターボ分子ポンプは、環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、前記スペーサは、貫通溝又は非貫通溝によって径方向に互いに隔てられた内周部及び外周部と、前記内周部と前記外周部とを径方向に連結し、ポンプ軸方向の長さが前記貫通溝又は前記非貫通溝の前記ポンプ軸方向の長さ以下である連結部とを有し、前記内周部から前記外周部への熱移動が前記連結部を通して行われることにより、前記内周部から前記外周部への熱移動を抑制するよう構成されている。
本発明の第２の態様によるターボ分子ポンプは、環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、前記スペーサには、該スペーサの内周側から外周側への熱移動を抑制する熱抵抗部が設けられ、前記熱抵抗部は、径の異なる環状の非貫通溝が前記スペーサの表裏面に交互に形成されたラビリンス構造を有している。
本発明の第３の態様によるターボ分子ポンプは、環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、前記スペーサは、アルミ系の材料で形成され、前記スペーサの内周面のみにアルマイト処理が施され、前記スペーサの前記内周面以外の領域にはアルマイト処理が施されていないことで、前記スペーサの前記内周面が、前記スペーサの前記内周面以外の領域よりも熱伝導率が小さく設定されており、前記スペーサの内周側から外周側への熱移動を抑制するように構成されている。
本発明の第４の態様によるターボ分子ポンプは、環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、前記スペーサには、該スペーサの内周側から外周側への熱移動を抑制する熱抵抗部が設けられ、前記スペーサは、環状の外周部と、前記外周部の内周側に固定され、前記外周部よりも熱伝導率の小さな材料で形成された環状の前記熱抵抗部とを備える。

本発明によれば、スペーサ内周面への生成物の堆積を抑制することができる。

図１は、本発明に係るターボ分子ポンプの第１の実施の形態を示す図である。 図２は、スペーサの一例を示す図である。 図３は、積層状態における固定翼およびスペーサを示す図である。 図４は、本発明に係るターボ分子ポンプの第２の実施の形態を説明する図である。 図５は、本発明に係るターボ分子ポンプの第３の実施の形態を説明する図である。 図６は、積層状態における固定翼およびスペーサを示す図である。 図７は、本発明に係るターボ分子ポンプの第４の実施の形態を説明する図である。 図８は、本発明に係るターボ分子ポンプの第５の実施の形態を説明する図である。 図９は、スペーサの変形例を示す図である。 図１０は、第５の実施の形態の他の例を示す図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は本発明に係るターボ分子ポンプの第１の実施の形態を示す断面図である。ターボ分子ポンプ１は、複数段の回転翼１２およびロータ円筒部１３が形成されたロータ１０を備える。ロータ１０にはロータシャフト１１が固定されている。ロータシャフト１１はラジアル磁気軸受３２およびアキシャル磁気軸受３３により支持され、モータ３４によって回転駆動される。

磁気軸受３２，３３が非動作時には、ロータシャフト１１はメカニカルベアリング３５ａ，３５ｂによって支持される。ラジアル磁気軸受３２，アキシャル磁気軸受３３，モータ３４およびメカニカルベアリング３５ｂは、ハウジング２０に固定されるベース３０に収納されている。なお、本実施の形態では、ハウジング２０とベース３０とが別体であるが、ハウジング２０とベース３０とが一体に形成されるような構成であっても良い。

ポンプケーシング２３の内側には、複数段の回転翼１２に対応して複数段の固定翼２１がポンプ軸方向に配置されている。各段の回転翼１２および固定翼２１には、周方向に配置された複数のタービン翼が設けられている。複数段の固定翼２１は、環状のスペーサ２９を介してそれぞれ積層されている。その積層体はハウジング２０上に配置される。ターボ分子ポンプ１において、複数段の回転翼１２および固定翼２１はタービン翼ポンプ部ＴＰを構成している。図１に示す例では、図示下側から数えて１段目から４段目までのスペーサ２９に、スペーサ２９の内周側から外周側への熱移動を抑制する熱抵抗部２９０が設けられている。ただし、熱抵抗部２９０は、全てのスペーサ２９に設けても良いし、任意のスペーサ２９に選択的に設けても良い。

なお、本実施の形態では、熱抵抗部２９０が設けられている下から１〜４段目までのスペーサを符号２９Ｂで表し、熱抵抗部２９０が設けられていない５〜７段目までのスペーサを符号２９Ａで表すことにする。

ロータ円筒部１３の外周側には、円筒形状のステータ２２が隙間を介して配置されている。ステータ２２は、ボルト２２２によってハウジング２０に固定されている。ロータ円筒部１３の外周面またはステータ２２の内周面のいずれか一方にはネジ溝が形成されており、ロータ円筒部１３とステータ２２とでネジ溝ポンプ部ＳＰを構成している。なお、図１に示す例では、ステータ２２にネジ溝が形成されている。

ロータ１０が高速回転されると、ポンプケーシング２３の吸気口２３０から流入したガスはタービン翼ポンプ部ＴＰ（回転翼１２および固定翼２１）により排気された後、ネジ溝ポンプ部ＳＰ（ロータ円筒部１３およびステータ２２）によりさらに圧縮される。そして、最終的には、ハウジング２０に設けられた排気管２６から排出される。排気管２６には、バックポンプ（不図示）が接続される。

生成物が堆積しやすいガスを用いるプロセスの排気を行う場合、ポンプ内のネジ溝ポンプ部ＳＰに生成物が堆積しやすい。そのため、ハウジング２０に加熱用のヒータ２００および冷却液パイプ２２３を設け、ヒータのオンオフと冷却液のオンオフとを制御して、ステータ２２を所定温度に維持するようにしている。

（熱抵抗部の説明）
図２は、スペーサ２９Ｂの一例を示す図である。図２（ａ）はスペーサ２９Ｂの平面図であり、図２（ｂ）はＡ１−Ａ１断面図である。また、図３（ａ）は積層された固定翼２１およびスペーサ２９Ｂの拡大図である。図３においては、図示上側が吸気口側になる。

図２に示すように、スペーサ２９Ｂの半径ｒ１から半径ｒ２までの環状領域が熱抵抗部２９０である。熱抵抗部２９０には、周方向に形成された円弧状の貫通溝２９０ａと、その貫通溝２９０ａと隣接する貫通溝２９０ａとの間の連結部２９０ｂとが設けられている。スペーサ２９Ｂの表面２９５側（図示上面側）には係合部２９３が突出し、裏面２９６側には係合溝２９４が形成されている。図３（ａ）に示すように固定翼２１とスペーサ２９Ｂとを交互に積層すると、下側のスペーサ２９Ｂの係合部２９３が、上側のスペーサ２９Ｂの係合溝２９４に係合する。

図３（ａ）に示すように、固定翼２１には、円弧状プレートを成すリブ部２１１が外周側に設けられている。固定翼２１に設けられた複数のタービン翼２１０は、リブ部２１１によって支持されている。リブ部２１１は、下側のスペーサ２９Ｂの表面２９５と、上側のスペーサ２９Ｂの裏面２９６との間に挟持される。

ターボ分子ポンプによってガスを排気すると、ガス排気に伴うポンプ発熱によってロータ温度が上昇する。その結果、回転翼１２の温度は固定翼２１の温度よりも高くなり、輻射熱Ｑとして回転翼１２から固定翼２１に熱が流入する。スペーサ２９Ａのように熱抵抗部を設けない場合には、スペーサ２９Ａの内周面から入射した熱は、スペーサ２９Ａの外側へと移動し、さらに積層体を下側へと移動してハウジング２０に放熱される。

上述のように、本実施の形態では、生成物が堆積しやすい排気下流側のスペーサ２９（具体的には、下から１段目から４段目までのスペーサ２９Ｂ）に熱抵抗部２９０を設けた。熱抵抗部２９０は、スペーサ２９Ｂの内周部２９１と外周部２９２との間に介在する。そのため、スペーサ２９Ｂの内周側から外周側への熱移動が抑制され、内周部２９１と外周部２９２との間の温度差は、熱抵抗部２９０を設けない場合（熱抵抗部２９０の領域に貫通溝２９０ａを形成しない場合）に比べてより大きくなる。その結果、スペーサ２９Ｂの内周面の温度が従来よりも高くなり、スペーサ内周面への生成物堆積が抑制される。

例えば、内周部２９１の熱抵抗をＲth1（℃／Ｗ）、熱抵抗部２９０の熱抵抗をＲth0とし、熱流量をＱ（Ｗ）とした場合、熱抵抗部２９０と外周部２９２との境界の温度とスペーサ内周面の温度との差ΔＴ１は、ΔＴ１＝（Ｒth1＋Ｒth0）×Ｑとなる。一方、貫通溝２９０ａを形成しない従来のスペーサの場合の温度差ΔＴ２は、ΔＴ２＝（Ｒth1＋Ｒth2）×Ｑとなる。Ｒth2は、貫通溝２９０ａを設けない場合の同位置における熱抵抗である。ΔＴ１＝ΔＴ２＋（Ｒth0−Ｒth2）×Ｑなので、熱抵抗部２９０を設けた場合、スペーサ内周面の温度は（Ｒth0−Ｒth2）×Ｑだけ高くなることになる。

図２に示すスペーサ２９Ｂの場合、熱抵抗部２９０として空隙である貫通溝２９０ａが設けられ、熱抵抗部２９０を介した内周部２９１から外周部２９２への熱伝達は、主に、断面積の小さな連結部２９０ｂを通して行われる。その結果、半径ｒ１から半径ｒ２までの熱抵抗は、貫通溝２９０ａを設けない従来の構成に比べて大きくなり、スペーサ内周面（内周部２９１の内周面）の温度は従来よりも高くなる。

図３（ｂ）は、スペーサ２９Ｂの変形例を示す図である。変形例では、内周部２９１の表面２９５および裏面２９６に凹部２９５ａ，２９５ｂを形成した。その他の形状は図３（ａ）に示したスペーサ２９Ｂと同様である。なお、凹部２９５ａ，２９５ｂは貫通溝２９０ａおよび連結部２９０ｂの一部にもかかっている。

図３（ａ）に示す構造の場合には、内周部２９１の表裏面がリブ部２１１に接触している。そのため、リブ部２１１を介して、「内周部２９１→リブ部２１１→外周部２９２」のように破線矢印で示すような熱移動が避けられない。一方、図３（ｂ）に示すスペーサ２９Ｂの場合には、凹部２９５ａ，２９５ｂを形成して、内周部２９１の表裏面がリブ部２１１に接触しないような構成としたので、「内周部２９１→リブ部２１１→外周部２９２」という熱移動を防止することができる。

なお、上述した第１の実施の形態では、図３（ａ）に示したように、スペーサ２９Ｂは固定翼２１のリブ部２１１のみを挟持する構成とした。しかし、図９（ａ）に示すスペーサ２９Ｃのように、裏面２９６の一部が固定翼２１のタービン翼２１０に対向するような構成の場合、その対向部分に貫通溝２９０ａを形成するとポンプ排気性能への影響が懸念される。

そこで、図９（ａ）に示す例のように、貫通溝２９０ａ内に充填材（例えば、樹脂充填材）７９０を充填することで、ガスが貫通溝２９０ａを流通してポンプ排気性能が悪化するのを、防止することができる。この場合、充填材７９０の材料には、スペーサ２９Ｂを構成する材料よりも熱伝導率が小さな材料を選択する。そうすることで、半径ｒ１〜ｒ２の領域を熱抵抗部として機能させることができ、スペーサ２９Ｃの内周面の温度を従来よりも高く保持することができる。

また、貫通溝２９０ａに充填材７９０を充填する代わりに、図９（ｂ）に示すように、リング状の遮蔽材８９０をスペーサ２９Ｃと固定翼２１との間に介在させるようにしても良い。この場合も、遮蔽材８９０の熱伝導率をスペーサ２９Ｃの熱伝導率よりも小さく設定するのが好ましい。

−第２の実施の形態−
図４は、本発明に係るターボ分子ポンプの第２の実施の形態を説明する図である。図４は第１の実施の形態の図２に対応する図であり、図４（ａ）はスペーサ２９Ｂの平面図、図４（ｂ）はＡ２−Ａ２断面図である。第２の実施の形態では、スペーサ２９Ｂの半径ｒ１から半径ｒ２までの環状領域が熱抵抗部３９０である。熱抵抗部３９０は、リング状の非貫通溝３９０ａと溝底面を構成する連結部３９０ｂとを備えている。スペーサ２９Ｂの表面２９５および裏面２９６には、内周部２９１と固定翼２１のリブ部２１１とが非接触となるように、凹部２９５ａ，２９６ａが形成されている。

第２の実施の形態では、熱抵抗部３９０として非貫通溝３９０ａを設けたことにより、内周部２９１と外周部２９２とは断面積の小さな連結部３９０ｂによってのみ連結されている。その結果、熱抵抗部２９０を介した内周部２９１から外周部２９２への熱伝達は、主に、断面積の小さな連結部３９０ｂを通して行われる。その結果、内周部２９１の内周面の温度を従来よりも高く保つことができ、生成物の堆積が抑制される。

なお、図４に示す例では、図３（ｂ）の場合と同様に表裏面２９５，２９６に凹部２９５ａ，２９６ａを形成しているので、内周部２９１の表裏面がリブ部２１１に接触しない。その結果、リブ部２１１を介した「内周部２９１→リブ部２１１→外周部２９２」という熱移動を防止することができる。もちろん、図３（ａ）の場合と同様に内周部２９１の表裏面がリブ部２１１に接触する構造であっても、内周部２９１の内周面の温度を従来よりも高く保つことができ、生成物の堆積を抑制することができる。

−第３の実施の形態−
図５，６は、本発明に係るターボ分子ポンプの第３の実施の形態を説明する図である。図５は第１の実施の形態の図２に対応する図であり、図５（ａ）はスペーサ２９Ｂの平面図、図５（ｂ）はＡ３−Ａ３断面図である。スペーサ２９Ｂの半径ｒ１から半径ｒ２までの環状領域が熱抵抗部４９０である。熱抵抗部４９０は、半径の異なる３つのリング状非貫通溝４９０ａ〜４９０ｃを備えたラビリンス構造を有している。非貫通溝４９０ａおよび４９０ｃは表面２９５の側に設けられており、非貫通溝４９０ｂは裏面２９６の側に設けられている。その他の構成は、図２に示したスペーサ２９Ｂと同様である。なお、非貫通溝の数は３つに限定されない。

図６（ａ）は、固定翼２１をスペーサ２９Ｂで挟持した状態における断面を示す図である。固定翼２１のリブ部２１１は、上下に配置されたスペーサ２９Ｂの裏面２９６および表面２９５の間に挟持される。スペーサ２９Ｂの内周部２９１と外周部２９２とを接続している熱抵抗部４９０はラビリンス構造となっているので、第２の実施の形態（図４参照）のように非貫通溝３９０ａを１箇所設ける場合に比べて熱伝達経路の経路長がより長くなる。そのため、熱抵抗部４９０を挟んだ内周部２９１と外周部２９２との温度差がより大きくなり、図４の場合に比べてスペーサ内周面の温度をより高温とすることができる。その結果、スペーサ内周面への生成物の堆積を抑制する効果がより高くなる。

図６（ｂ）は、スペーサ２９Ｂの表裏面２９５，２９６に凹部２９５ａ，２９６ｂを設けた場合を示す図である。凹部２９５ａ，２９６ｂを設けることにより、内周部２９１および熱抵抗部４９０はリブ部２１１と非接触状態となるので、リブ部２１１を介した「内周部２９１→リブ部２１１→外周部２９２」という熱移動を防止することができる。その結果、図６（ａ）の場合と比べて、スペーサ内周面の温度をより高めることができる。

−第４の実施の形態−
図７は、本発明に係るターボ分子ポンプの第４の実施の形態を説明する図である。図７（ａ）は、固定翼２１をスペーサ２９Ｂで挟持した状態における断面を示す図である。スペーサ２９には一般的にアルミ合金が用いられるが、第４の実施の形態では、アルミ合金で形成されたスペーサ２９Ｂの内周面にアルマイト処理を施した。符号５９０で示す部分は、アルマイト処理層を示す。アルマイト処理層５９０は、アルミ合金の部分に比べて熱伝導率が小さいので、熱抵抗部として機能する。すなわち、アルマイト処理層５９０を設けることにより、スペーサ内周面の温度がアルマイト処理層５９０を設けない場合に比べて高くなる。その結果、スペーサ内周面への生成物堆積を抑制することができる。

図７（ｂ）は、スペーサ２９Ｂの表裏面２９５，２９６に凹部２９５ａ，２９６ｂを設けた場合を示す。凹部２９５ａ，２９６ｂを設けることにより、アルマイト処理層５９０はリブ部２１１と非接触状態となる。その結果、リブ部２１１を介した「アルマイト処理層５９０→リブ部２１１→スペーサ外周部（アルミ合金部分）」という熱移動を防止することができる。その結果、図７（ａ）の場合と比べて、スペーサ内周面の温度をより高くすることができ、生成物の堆積を抑制する効果が向上する。

−第５の実施の形態−
図８，１０は、本発明に係るターボ分子ポンプの第５の実施の形態を説明する図である。第５の実施の形態では、スペーサ２９Ｂの内周部６９１と外周部６９２とを個別に形成して、熱抵抗部を形成するような構成とした。図８においては、内周部６９１を、外周部６９２よりも熱伝導率の小さな材料が形成した。例えば、外周部６９２がアルミ合金である場合には、内周部６９１をステンレス鋼とする。もちろん、金属以外の材料を用いても構わない。内周部６９１は、ボルト６９３によって外周部６９２に固定されている。

この場合、回転翼１２と対向する内周部６９１が外周部６９２よりも熱伝導率の小さな材料で形成されているので、内周部６９１が熱抵抗部として機能する。その結果、内周部６９１が外周部６９２と一体で形成される従来の場合と比較して、スペーサ内周面（すなわち、内周部６９１の内周面）の温度をより高くすることができ、スペーサ内周面への生成物の堆積を抑制することができる。

なお、図８に示す例では、内周部６９１の厚さ寸法は、内周部６９１の上面６９１ａが外周部６９２の上面６９２ａよりも窪んだ状態となり、内周部６９１の底面６９１ｂが外周部６９２の底面６９２ｂよりも窪んだ状態となるように設定されている。リブ部２１１は、上側のスペーサ２９Ｂの外周部６９２と下側のスペーサ２９Ｂの外周部６９２とで挟持される。そのため、内周部６９１の上面６９１ａおよび底面６９１ｂとリブ部２１１とが接触せず、破線矢印で示すような、「内周部６９１→リブ部２１１→外周部６９２」という熱移動を防止することができる。その結果、上面６９１ａおよび底面６９１ｂとリブ部２１１とが接触する構成の場合よりも、スペーサ内周面の温度をより高く保つことができる。もちろん、内周部６９１の上面６９１ａおよび底面６９１ｂがリブ部２１１と接触していても構わない。

図１０は、内周部６９１および外周部６９２を同一材料（例えば、アルミ合金）で形成した場合を示す例である。図１０に示す構成では、内周部６９１と外周部６９２との間の接続構造を工夫することにより、内周部６９１と外周部６９２との間の熱抵抗を大きくするようにした。具体的には、内周部６９１と外周部６９２との間に隙間６９５ａ，６９５ｂを形成し、内周部６９１と外周部６９２との間の接触面積を小さくした。これらの隙間６９５ａ，６９５ｂが熱抵抗部として機能することで、内周部６９１と外周部６９２との間の熱抵抗が大きくなる。その結果、内周部６９１の内周面の温度を従来よりも高くすることができる。

以上説明したように、ターボ分子ポンプ１は、例えば、図３に示すように、環状のスペーサ２９Ｂを介して積層された複数の固定翼２１と、複数の固定翼２１に対して回転する複数の回転翼１２と、を備え、スペーサ２９Ｂには、図２に示すように、スペーサ２９Ｂの内周側（内周部２９１）から外周側（外周部２９２）への熱移動を抑制する熱抵抗部２９０（貫通溝２９０ａおよび連結部２９０ｂ）が設けられている。その結果、熱抵抗部２９０を設けない構成のスペーサに比べてスペーサ内周面の温度が高くなり、スペーサ内周面への生成物の堆積を抑制することができる。

熱抵抗部としては、図２に示すように貫通溝２９０ａが形成された熱抵抗部２９０であっても良いし、図４に示すように非貫通溝３９０ａが形成された熱抵抗部３９０であっても良い。また、図５に示すように、径の異なる環状の非貫通溝４９０ａ〜４９０ｃがスペーサ２９Ｂの表裏面に交互に形成されたラビリンス構造を、熱抵抗部４９０として備えるようにしても良い。

さらにまた、図７に示すように、スペーサ２９Ｂをアルミ系（例えば、アルミ合金）の材料で形成し、スペーサ２９Ｂの内周面にアルマイト処理層５９０を形成して熱抵抗部としても良い。

また、図８に示すように、スペーサ２９Ｂは、環状の外周部６９２と、外周部６９２の内周側に固定され、外周部６９２よりも熱伝導率の小さな材料で形成された環状の内周部６９１とを備え、その内周部６９１を熱抵抗部として機能させる構成であっても良い。

なお、上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。例えば、上述した実施の形態ではタービン翼ポンプ部ＴＰとネジ溝ポンプ部ＳＰとを備えたターボ分子ポンプを例に説明したが、タービン翼ポンプ部ＴＰのみを備えたターボ分子ポンプにも適用できる。

１…ターボ分子ポンプ、１０…ロータ、１２…回転翼、１３…ロータ円筒部、２１…固定翼、２２…ステータ、２９，２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃ…スペーサ、２９０，３９０，４９０…熱抵抗部、２９０ａ…貫通溝、２９０ｂ，３９０ｂ…連結部、２９１，６９１…内周部、２９２，６９２…外周部、３９０ａ，４９０ａ，４９０ｂ，４９０ｃ…非貫通溝、５９０…アルマイト処理層、７９０…充填材、８９０…遮蔽材、ＳＰ…ネジ溝ポンプ部、ＴＰ…タービン翼ポンプ部

Claims (4)

1. 環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、
   前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、
   前記スペーサは、
   貫通溝又は非貫通溝によって径方向に互いに隔てられた内周部及び外周部と、
   前記内周部と前記外周部とを径方向に連結し、ポンプ軸方向の長さが前記貫通溝又は前記非貫通溝の前記ポンプ軸方向の長さ以下である連結部とを有し、
   前記内周部から前記外周部への熱移動が前記連結部を通して行われることにより、前記内周部から前記外周部への熱移動を抑制するよう構成されている、ターボ分子ポンプ。
2. 環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、
   前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、
   前記スペーサには、該スペーサの内周側から外周側への熱移動を抑制する熱抵抗部が設けられ、
   前記熱抵抗部は、径の異なる環状の非貫通溝が前記スペーサの表裏面に交互に形成されたラビリンス構造を有している、ターボ分子ポンプ。
3. 環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、
   前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、
   前記スペーサは、アルミ系の材料で形成され、
   前記スペーサの内周面のみにアルマイト処理が施され、前記スペーサの前記内周面以外の領域にはアルマイト処理が施されていないことで、前記スペーサの前記内周面が、前記スペーサの前記内周面以外の領域よりも熱伝導率が小さく設定されており、前記スペーサの内周側から外周側への熱移動を抑制するように構成されている、ターボ分子ポンプ。
4. 環状のスペーサを介して積層された複数の固定翼と、
   前記複数の固定翼に対して回転する複数の回転翼と、を備え、
   前記スペーサには、該スペーサの内周側から外周側への熱移動を抑制する熱抵抗部が設けられ、
   前記スペーサは、
   環状の外周部と、
   前記外周部の内周側に固定され、前記外周部よりも熱伝導率の小さな材料で形成された環状の前記熱抵抗部とを備える、ターボ分子ポンプ。
   

Images