JP6382644B2 - 低反射部材 - Google Patents
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Description
なくとも0.4重量%のMgと、着色剤と、1%以下の不純物を含む着色セラミック焼結体
から成り、前記基板を支持する多数のピンと前記多数のピンを少なくとも部分的に囲むリムが砥粒によるショットブラストにより前記上面に形成され、球形粒子によるショットピーニングが前記上面全体に施されたセラミック真空チャックが提案されている。
*b*色空間における明度指数L*の測定方法は、反射率の測定時と同様に、分光測色計(例えば、コニカミノルタ製 CM-3700A)を用い、光源をCIE標準光源D65、視野角を10°、照明径を5mm×7mmに設定して測定すればよい。
制することができることから、機械的強度を向上させることができる。なお、粒界に、Al2TiO5結晶を含むか否かについては、XRDを用いて測定し、得られた2θの値よりJCPDSカードを用いて同定すればよい。
金属成分の含有量からそれぞれ酸化物に換算することにより確認することができる。例えば、FeであればFe2O3に換算すればよい。
分散剤とを秤量して準備し、1次原料粉末とともに攪拌機内に入れて混合・攪拌してスラリーを得る。
換算、MgをMgO換算、SiをSiO2換算した合計で1.5質量%となるように秤量し
た。また、着色成分は、FeをFe2O3換算、CoをCoO換算、NiをNiO換算した値の合計で15質量%となるように秤量した。そして、残部をアルミナ粉末とし、秤量した各粉末を1次原料粉末とした。なお、以下に示す、比較例との差異を明確にするため、ここで得られた1次原料を試料No.1原料粉末と記載する。
、1質量部のPVAと、100質量部の溶媒と、0.2質量部の分散剤とを秤量し、それぞれ攪拌機内に入れて混合・攪拌してスラリーとした。その後、噴霧造粒装置を用いてスラリーを噴霧造粒することにより顆粒を得た。
換算することにより、焼結助剤および着色成分の含有量を確認した。その結果、Ca、M
g、Siをそれぞれ酸化物換算した合計の含有量はいずれも1.5質量%であった。そして
、試料No.1については、FeがFe2O3換算で4質量%であり、CoがCoO換算で8質量%であり、NiがNiO換算で3質量%であり、比較例については、FeがFe2O3換算で7質量%であり、CoがCoO換算で8質量%であった。
kV、プローブ電流1.0×10−7Aの条件で、Al2O3結晶の粒界に、Fe、Co、N
i、AlおよびOのカラーマッピングを得た後、分布状態を確認し、Fe、Co、Ni、AlおよびOが重なる領域があることを確認した。
.1における反射率は5.9%であった。
Paであったのに対し、粒界にAl2TiO5結晶を含む試料No.2の3点曲げ強度は、325MPaであり、粒界にAl2TiO5結晶を含むことにより、機械的強度が向上す
ることがわかった。
末と、酸化ニッケル粉末とを所定量秤量した後、1100℃以上1300℃以下の温度域で仮焼し、ボールミルを用いて所望の平均粒径となるまで粉砕したRAl2O3を用いた。
率を有しつつ、300MPa以上の高い機械的特性を有するものとなることがわかった。
Claims (2)
- 明度指数が45以下のアルミナ質焼結体からなり、Al2O3結晶間である粒界にRAl2O4結晶(R:Fe,Co,Ni)を含み、リートベルト解析により求められた含有量において、前記Al 2 O 3 結晶が52質量%以上80質量%以下であり、前記RAl 2 O 4 結晶が19質量%以上47質量%以下であることを特徴とする低反射部材。
- 前記粒界にAl2TiO5結晶を含み、リートベルト解析により求められた含有量において、前記Al 2 TiO 5 結晶が1質量%以上5質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の低反射部材。
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JP2014175764A JP6382644B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 低反射部材 |
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