JP6372507B2 - エアフィルタ用濾材、エアフィルタユニット、およびエアフィルタ用濾材の製造方法 - Google Patents
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Description
図1に、本実施形態に係る5層構造のエアフィルタ用濾材1の概略断面図を示す。
第1の多孔膜31は、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が30Pa以上90Pa以下であり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が95%以上99.9%以下である。
繊維化し得るPTFEは、例えば、テトラフルオロエチレン(TFE)の乳化重合、または懸濁重合から得られた高分子量PTFEである。ここでいう高分子量とは、多孔膜作成時の延伸の際に繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られるものであって、標準比重(SSG)が、2.130〜2.230であり、溶融粘度が高いため実質的に溶融流動しない大きさの分子量をいう。繊維化し得るPTFEのSSGは、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、2.130〜2.190が好ましく、2.140〜2.170が更に好ましい。SSGが高すぎると、A〜Cの各成分の混合物の延伸性が悪化するおそれがあり、SSGが低すぎると、圧延性が悪化して、多孔膜の均質性が悪化し、多孔膜の圧力損失が高くなるおそれがある。また、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、乳化重合で得られたPTFEが好ましい。標準比重(SSG)は、ASTM D 4895に準拠して測定される。
式中、Rfは、パーフルオロ有機基を表す。
繊維化しない非熱溶融加工性成分は、主に結節部において非繊維状の粒子として偏在し、繊維化し得るPTFEが繊維化されるのを抑制する働きをする。
融点320℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分(以下、繊維化しない熱溶融加工可能な成分ともいう)は、溶融時に流動性を有することにより、多孔膜の製造時(延伸時)に溶融して結節部において固まることができ、多孔膜全体の強度を高めて、後工程で圧縮等されることがあってもフィルタ性能の劣化を抑えることができる。
RCF=CR2・・・(2)
(式中、Rはそれぞれ独立して、H、F、Cl、炭素原子1〜8個のアルキル、炭素原子6〜8個のアリール、炭素原子3〜10個の環状アルキル、炭素原子1〜8個のパーフルオロアルキルから選択される。この場合に、全てのRが同じであってもよく、また、いずれか2つのRが同じで残る1つのRがこれらと異なってもよく、全てのRが互いに異なってもよい。)で示される少なくとも1種のフッ素化エチレン性不飽和モノマー、好ましくは2種以上のモノマー、から誘導される共重合単位を含むフルオロポリマーが挙げられる。
上記一般式(1)および/または下記一般式(3)
R2C=CR2・・・(3)
(式中、Rは、それぞれ独立して、H、Cl、炭素原子1〜8個のアルキル基、炭素原子6〜8個のアリール基、炭素原子3〜10個の環状アルキル基から選択される。この場合に、全てのRが同じであってもよく、また、いずれか2以上のRが同じでこれら2以上のRと残る他のRとが異なってもよく、全てのRが互いに異なってもよい。前記他のRは、複数ある場合は互いに異なってよい。)で示される少なくとも1種の共重合性コモノマーとの共重合から誘導されるコポリマーも含み得る。
第1の多孔膜31および第2の多孔膜32は、次式に従って求まる充填率が1%以上20%以下であることが好ましく、2%以上10%以下であることがより好ましい。
第1の多孔膜31と第2の多孔膜32の各平均孔径は、1.6μmを超えることが好ましく、第1の多孔膜31の平均孔径が3.0μm以上3.9μm以下であり、第2の多孔膜32の平均孔径が1.6μmを超え3.0μm未満であることがより好ましい。これにより、第1の多孔膜31の保塵量を第2の多孔膜32の保塵量より大きくしやすくなり、濾材1全体の保塵量を向上させやすくなる。
上流通気性支持材21は、第1の多孔膜31の上流側に配置されており、第1の多孔膜31を支持する。このため第1の多孔膜31の膜厚が薄い等で自立が困難であっても、上流通気性支持材21の支持により第1の多孔膜31を立たせることが可能になる。
プレ捕集材10は、第1の多孔膜31よりも上流側(本実施形態では、上流通気性支持材21の上流側)に配置されており、気流中の塵の一部を捕集することができる。
(数式2) e=(1−t)×100
プレ捕集材10の目付は、特に限定されないが、例えば、50g/m2以上70g/m2以下とすることができ、55g/m2以上67g/m2以下であることが好ましい。
濾材1の圧力損失は、200Pa未満であることが好ましく、70Pa以上195Pa以下であることがより好ましい。濾材1の圧力損失は、このような範囲にあることで、ガラス濾材のみからなるHEPAフィルタと比べ低く抑えられる。
(6−1)
図2を参照して、本実施形態のエアフィルタ用濾材1の変形例について説明する。
上記エアフィルタ用濾材1では、気流の上流側から順に、プレ捕集材10と、任意の上流通気性支持材21と、第1の多孔膜31と、第2の多孔膜32と、任意の下流通気性支持材22と、を備えた5層構造の濾材の例を説明した。
上記エアフィルタ用濾材1では、気流の上流側から順に、プレ捕集材10と、任意の上流通気性支持材21と、第1の多孔膜31と、第2の多孔膜32と、任意の下流通気性支持材22と、を備えた5層構造の濾材の例を説明した。
上記エアフィルタ用濾材2では、気流の上流側から順に、プレ捕集材10と、任意の上流通気性支持材21と、第1の多孔膜31と、任意の中流通気性支持材23と、第2の多孔膜32と、任意の下流通気性支持材22と、を備えた6層構造の濾材の例を説明した。
エアフィルタ用濾材は、例えば次のような用途に用いられる。
凍結乾燥用の容器等の凍結乾燥用材料、電子回路やランプ向けの自動車用換気材料、容器キャップ向け等の容器用途、電子機器向け等の保護換気用途、医療用換気用途等の換気/内圧調整分野;
半導体液ろ過フィルタ(半導体製造用)、親水性フィルタ(半導体製造用)、化学薬品向けフィルタ(薬液処理用)、純水製造ライン用フィルタ(純水製造用)、逆洗型液ろ過フィルタ(産業排水処理用)等の液濾過分野。
次に、図6を参照して、本実施形態のフィルタパックについて説明する。
次に、図7を参照して、エアフィルタユニット60について説明する。
次に、本実施形態のエアフィルタ用濾材の製造方法について説明する。
(a)フッ素樹脂を主として含む、第1の多孔膜および第2の多孔膜を得るステップと、
(b)前記第1の多孔膜を前記第2の多孔膜よりも気流の上流側に配置するステップと、
(c)気流中の塵の一部を捕集するプレ捕集材を前記第1の多孔膜よりも気流の上流側に配置するステップと、
を備え、
前記第1の多孔膜および前記第2の多孔膜は、いずれも、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が30Pa以上90Pa以下であり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が95%以上99.9%以下であり、
前記プレ捕集材は、前記圧力損失が5Pa以上55Pa未満であり、前記捕集効率が15%以上85%未満であり、厚みが0.4mmより大きく、
前記第1の多孔膜と前記第2の多孔膜と前記プレ捕集材とが、熱ラミネートされることで一体化するステップをさらに備えている。
(i)A成分の水性分散液、B成分の水性分散液、およびC成分の水性分散液を混合した後に凝析する方法、
(ii)A成分、B成分、C成分のうちいずれか1つの成分の水性分散液に、残る2成分の粉末を添加した後に凝析する方法、
(iii)A成分、B成分、C成分のうちいずれか1つの成分の粉末を、残る2成分の水性分散液を混合した混合水性分散液に添加した後に凝析する方法、
(iv)予めA成分、B成分、C成分のうちいずれか2つの成分の各水性分散液を混合した後に凝析させて得られた2成分の混合粉末を、残る1成分の水性分散液に添加した後に凝析する方法、
が挙げられる。
SSGが2.160のPTFE水性分散体(PTFE−A)66.5重量%(ポリマー換算)、380℃におけるフローテスター法を用いて測定される溶融粘度が20000Pa・sの低分子量PTFE水性分散体(PTFE−B)28.5重量%(ポリマー換算)、および融点が215℃のFEP水性分散体5重量%(ポリマー換算)、を混合し、凝析剤として1%硝酸アルミニウム水溶液500mlを添加し、攪拌することにより共凝析を行った。そして、生成した粉をふるいを用いて水切りをした後、さらに、熱風乾燥炉で135℃で18時間乾燥し、上記3成分の混合粉末を得た。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が14Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が39.8%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.088%/μmであり、厚みが0.58mmであり、目付が59.0g/m2であるガラス繊維濾材を用いた点以外は、実施例1と同様である。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が32Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が56.0%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.183%/μmであり、厚みが0.45mmであり、目付が64.1g/m2であるガラス繊維濾材を用いた点以外は、実施例1と同様である。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が31Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が68.5%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.206%/μmであり、厚みが0.56mmであり、目付が64.9g/m2であるガラス繊維濾材を用いた点以外は、実施例1と同様である。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が40Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が74.0%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.290%/μmであり、厚みが0.46mmであり、目付が56.8g/m2であるガラス繊維濾材を用いた点以外は、実施例1と同様である。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、実施例4と同様の空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が31Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が68.5%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.206%/μmであり、厚みが0.56mmであり、目付が64.9g/m2であるガラス繊維濾材を用い、第1の多孔膜31と第2の多孔膜32として実施例1の第2の多孔膜32と同じ性質のものを用いた点以外は、実施例1と同様である。
実施例4の第1の多孔膜31と第2の多孔膜32との間に、中流通気性支持材23としてのスパンボンド不織布(平均繊維径20μm、目付40g/m2、厚さ0.2mm)をさらに設け、熱ラミネートさせた点(図2に示す濾材2の構成とした点)以外は、実施例4と同様である。
実施例6のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が30Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が68.0%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.124%/μmであり、厚みが0.92mmであり、目付が125.3g/m2であるガラス繊維濾材を用いた点以外は、実施例6と同様である。
実施例6のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が45Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が55.1%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.072%/μmであり、厚みが1.11mmであり、目付が158.5g/m2であるガラス繊維濾材を用いた点以外は、実施例6と同様である。
実施例1と同様の第1の多孔膜31、第2の多孔膜32、下流通気性支持材22を用い、さらに上流通気性支持材21を設けつつ、「第1の多孔膜31と第2の多孔膜32が重なった複層多孔膜」を、上流通気性支持材21としてのスパンボンド不織布と、下流通気性支持材22としてのスパンボンド不織布とで挟み、ラミネート装置を用いて熱融着により接合し、フッ素樹脂積層体を得た。
平均分子量650万のPTFEファインパウダー(ダイキン工業株式会社製「ポリフロンファインパウダーF106」)1kg当たり押出液状潤滑剤として炭化水素油(出光興産株式会社製「IPソルベント2028」)を20℃において33.5質量%加えて混合した。次に、得られた混合物をペースト押出装置を用いて押し出して丸棒形状の成形体を得た。この丸棒形状の成型体を70℃に加熱したカレンダーロールによりフィルム状に成形しPTFEフィルムを得た。このフィルムを250℃の熱風乾燥炉に通して炭化水素油を蒸発除去し、平均厚さ200μm、平均幅150mmの帯状の未焼成PTFEフィルムを得た。次に、未焼成PTFEフィルムを長手方向に延伸倍率5倍で延伸した。延伸温度は250℃であった。次に、延伸した未焼成フィルムを連続クリップできるテンターを用いて幅方向に延伸倍率32倍で延伸し、熱固定を行った。このときの延伸温度は290℃、熱固定温度は390℃であった。これにより、PTFE多孔膜(充填率が4.0%、平均繊維径が0.069μm、厚さ0.009mm)を得た。
比較例2のPTFE積層体に対して、実施例4と同様のプレ捕集材10をさらに設けた点以外は、比較例2と同様である。
ガラス濾材は、例えば、特開2007−7586号公報、特開平5−123513号公報、特許第3014440号公報に記載された方法を用いて製造することができる。
プレ捕集材10を設けておらず上流通気性支持材21および中流通気性支持材23が設けられている点以外は、実施例6と同様である。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が8Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が13.1%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.027%/μmであり、厚みが0.513mmであり、目付が65.4g/m2であるガラス繊維濾材を用い、さらに比較例1の上流通気性支持材21を用いた点以外は、実施例1と同様である。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が131Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が96.9%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.742%/μmであり、厚みが0.467mmであり、目付が71.8g/m2であるガラス繊維濾材を用い、さらに比較例1の上流通気性支持材21を用いた点以外は、実施例1と同様である。
実施例1のプレ捕集材10としてのガラス繊維濾材の代わりに、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が54Paであり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が68.0%であり、単位厚み当たりの粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が0.298%/μmであり、厚みが0.381mmであり、目付が48.0g/m2であるガラス繊維濾材を用い、さらに比較例1の上流通気性支持材21を用いた点以外は、実施例1と同様である。
濾材の測定サンプルを、直径100mmのフィルタホルダにセットし、コンプレッサで入口側を加圧し、流速計で空気の透過する流量を5.3cm/秒に調整した。そして、この時の圧力損失をマノメータで測定した。
JIS B9928 附属書5(規定)NaClエアロゾルの発生方法(加圧噴霧法)記載の方法に準じて、アトマイザーで発生させたNaCl粒子を、静電分級器(TSI社製)で、粒子径0.3μmに分級し、アメリシウム241を用いて粒子帯電を中和した後、透過する流量を5.3cm/秒に調整し、パーティクルカウンター(TSI社製、CNC)を用いて、測定試料である濾材の前後での粒子数を求め、次式により捕集効率を算出した。
CO=測定試料が捕集したNaCl 0.3μmの粒子数
CI=測定試料に供給されたNaCl 0.3μmの粒子数
(ポリアルファオレフィン粒子の保塵量)
ポリアルファオレフィン(PAO)粒子(液体粒子)透過時の圧力損失上昇試験で評価した。即ち、PAO粒子を含んだ空気を有効濾過面積50cm2のサンプル濾材に流速5.3cm/秒で連続通風したときの圧力損失を差圧計(U字管マノメータ)で経時的に測定し、圧力損失が250Pa分だけ上昇したときに、濾材に保持されているPAO粒子の濾材の単位面積当たりの重量である保塵量(g/m2)を求めた。なお、PAO粒子は、ラスキンノズルで発生させたPAO粒子(個数中位径0.25μm)を用い、PAO粒子の濃度は、約100万〜600万個/cm3とした。
NaCl粒子(固体粒子)透過時の圧力損失上昇試験で評価した。即ち、NaCl粒子を含んだ空気を有効濾過面積50cm2のサンプル濾材に流速5.3cm/秒で連続通風したときの圧力損失を差圧計(U字管マノメータ)で経時的に測定し、圧力損失が250Pa分だけ上昇したときに、濾材に保持されているNaCl粒子の濾材の単位面積当たりの重量である保塵量(g/m2)を求めた。なお、NaCl粒子は、アトマイザーで発生させたNaCl粒子(個数中位径0.1μm)を用い、NaCl粒子の濃度は、約500万〜700万個/cm3とした。
膜厚計(1D−110MH型、ミツトヨ社製)を使用し、測定対象を5枚重ねて全体の膜厚を測定し、その値を5で割った数値を1枚の膜厚とした。
ABSデジマチックインジケータ(ミツトヨ社製、ID−C112CX)をゲージスタンドに固定し、測定対象に0.3Nの荷重をかけたときの厚さの値を読み取った。
2 エアフィルタ用濾材
3 エアフィルタ用濾材
4 エアフィルタ用濾材
5 エアフィルタ用濾材
10 プレ捕集材
21 上流通気性支持材
22 下流通気性支持材
23 中流通気性支持材
31 第1の多孔膜
32 第2の多孔膜
40 フィルタパック
50 枠体
60 エアフィルタユニット
Claims (14)
- 気体中の塵を捕集するエアフィルタ用濾材であって、
フッ素樹脂を主として含む第1の多孔膜と、
フッ素樹脂を主として含み、前記第1の多孔膜よりも気流の下流側に配置されている第2の多孔膜と、
前記第1の多孔膜よりも気流の上流側に配置され、気流中の塵の一部を捕集するプレ捕集材と、
を備え、
前記第1の多孔膜および前記第2の多孔膜は、いずれも、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が30Pa以上90Pa以下であり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が95%以上99.9%以下であり、
前記プレ捕集材は、前記圧力損失が5Pa以上55Pa未満であり、前記捕集効率が15%以上85%未満であり、厚みが0.4mmより大きい、
エアフィルタ用濾材。 - 前記プレ捕集材は、ガラス繊維濾材により構成されている、
請求項1に記載のエアフィルタ用濾材。 - 前記プレ捕集材の厚みは、0.8mm以下である、
請求項1または2に記載のエアフィルタ用濾材。 - エアフィルタ用濾材は、
個数中位径0.25μmのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で連続通風し、圧力損失が250Pa分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が50g/m2以上であり、かつ、
個数中位径0.1μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で連続通風し、圧力損失が250Pa分だけ上昇したときの前記NaCl粒子の保塵量が5.0g/m2以上である、
請求項1から3のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材。 - 前記第1の多孔膜と前記第2の多孔膜は、いずれも
個数中位径0.25μmのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で連続通風し、圧力損失が250Pa分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が20g/m2以上35g/m2以下である、
請求項1から4のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材。 - 前記第1の多孔膜よりも気流の上流側に配置され、前記第1の多孔膜を支持する上流通気性支持材をさらに備えた、
請求項1から5のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材。 - 前記第2の多孔膜よりも気流の下流側に配置され、前記第2の多孔膜を支持する下流通気性支持材をさらに備えた、
請求項1から6のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材。 - 空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失は、前記第2の多孔膜よりも前記第1の多孔膜の方が小さく、
粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率は、前記第1の多孔膜よりも前記第2の多孔膜の方が高い、
請求項1から7のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材。 - 前記第1の多孔膜および前記第2の多孔膜は、繊維化し得るポリテトラフルオロエチレンと、繊維化しない非熱溶融加工性成分と、融点320℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分と、から主としてなる、
請求項1から8のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材。 - エアフィルタ用濾材は、
空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が200Pa未満であり、
粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が99.97%以上である、
請求項1から9のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材。 - 請求項1から10のいずれか1項に記載のエアフィルタ用濾材と、
前記エアフィルタ用濾材を保持する枠体と、
を備えたエアフィルタユニット。 - 気体中の塵を捕集するエアフィルタ用濾材の製造方法であって、
(a)フッ素樹脂を主として含む、第1の多孔膜および第2の多孔膜を得るステップと、
(b)前記第1の多孔膜を前記第2の多孔膜よりも気流の上流側に配置するステップと、
(c)気流中の塵の一部を捕集するプレ捕集材を前記第1の多孔膜よりも気流の上流側に配置するステップと、
を備え、
前記第1の多孔膜および前記第2の多孔膜は、いずれも、空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの圧力損失が30Pa以上90Pa以下であり、粒子径0.3μmのNaCl粒子を含む空気を流速5.3cm/秒で通過させたときの前記粒子の捕集効率が95%以上99.9%以下であり、
前記プレ捕集材は、前記圧力損失が5Pa以上55Pa未満であり、前記捕集効率が15%以上85%未満であり、厚みが0.4mmより大きく、
前記第1の多孔膜と前記第2の多孔膜と前記プレ捕集材とが、熱ラミネートされることで一体化するステップをさらに備えている、
エアフィルタ用濾材の製造方法。 - 前記第1の多孔膜を支持する上流通気性支持材を前記第1の多孔膜よりも気流の上流側に配置するステップをさらに備えた、
請求項12に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。 - 前記第2の多孔膜を支持する下流通気性支持材を前記第2の多孔膜よりも気流の下流側に配置するステップをさらに備えた、
請求項12または13に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。
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