JP6370768B2 - 磁界検出センサ - Google Patents
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Description
10 :磁気インピーダンス素子
11 :非磁性基板
12 :磁性薄膜(磁性膜)
13,14:電極
20 :磁石(磁界発生手段)
30 :バスバ
100 :プリント基板
100a :電極
100b :電極
Claims (2)
- 磁気インピーダンス効果を利用した磁気インピーダンス素子に交流電流を印加して得られる出力から外部磁界を検出する磁界検出センサであって、
前記磁気インピーダンス素子は、非磁性基板と、前記非磁性基板の表面に形成された磁性膜と、を有し、当該磁性膜の長手方向が外部磁界の検出方向とされ、前記磁性膜の磁化容易軸が前記外部磁界の検出方向と同方向となるように磁気異方性がつけられており、
さらに、前記磁性膜の厚み方向に磁界を発生させてゼロ磁界におけるインピーダンス特性のピークを先鋭化させる磁界発生手段を備える
ことを特徴とする磁界検出センサ。 - 前記磁気インピーダンス素子に対してバイアス磁界を印加するためのバイアスコイルと、
前記磁性膜の厚み方向と直交する平面上の方向であって、前記外部磁界の検出方向と直交する方向に電流が流れる金属の板部材であるバスバと、をさらに備え、
前記磁気インピーダンス素子は、前記バスバの一面に取り付けられ、
前記磁界発生手段は、磁石であって前記バスバの他面に前記磁気インピーダンス素子から所定距離離間して取り付けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁界検出センサ。
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