JP6362058B2 - 被検物の計測装置および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
測装置および物品の製造方法に関する。
図1は第1実施形態における被検物170を計測する計測装置10の概略図である。計測装置10は、被検物170の3次元測定を行い、高さ(z)データと縦横(x、y)の2次元データとを含む3次元データを出力する3次元測定部120を有する。計測装置10の3次元測定部120は光切断法の原理を利用する測定ユニットである。3次元測定部120は、ライン状に被検物170を照明するライン照明ユニット101、撮像部(光検出部)102と算出部108で構成される。ライン照明ユニット101によりライン状に被検物170を照明し、被検物170の形状によって生じた照明ラインの歪みを撮像部102で測定して、算出部108が、測定データから被検物170の3次元形状を算出する。
図4は第2実施形態の計測装置20の概略図である。第1実施形態と重複する部材については説明を省略する。
図5は第3実施形態の計測装置30の概略図である。前述の実施形態と重複する部材については説明を省略する。
図6は第4実施形態の計測装置40の概略図である。前述の実施形態と重複する部材については説明を省略する。
本実施形態における物品の製造方法は、例えば、ギアなどの金属部品や光学素子等の物品を製造するために用いられる。本実施形態の物品の製造方法は、上記の計測装置を用いて、上記物品である被検物の寸法などの形状情報を計測する工程と、かかる工程における計測結果に基づいて被検物を加工する工程とを含む。例えば、被検物の形状を計測装置を用いて計測し、その計測結果に基づいて、被検物の形状が設計値など所望の形状になるように当該被検物を加工する。上記計測装置により高精度に被検物の形状を計測できるため、本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、少なくとも物品の加工精度の点で有利である。
Claims (10)
- 被検物を計測する計測装置であって、
前記被検物を撮像する撮像素子と、前記被検物からの光を前記撮像素子へ導く光学系とを用いて、前記被検物の第1画像を取得する2次元測定部と、
前記被検物へ光を投影し、前記被検物で反射された光を前記光学系によって撮像素子へ導いて検出される第2画像から前記被検物の3次元データを取得する3次元測定部と、
前記3次元データを用いて前記被検物の仮エッジを検出し、検出された仮エッジを前記第1画像に重ね合わせることにより前記第1画像におけるエッジ検出範囲を設定し、前記第1画像を用いて前記エッジ検出範囲において前記被検物のエッジを検出することにより前記被検物の形状情報を算出する算出部とを有しており、
ここで、前記第1画像は前記3次元データより解像度が高いことを特徴とする計測装置。 - 前記2次元測定部の撮像素子と前記3次元測定部の撮像素子は同一であることを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記2次元測定部の撮像素子と前記3次元測定部の撮像素子は異なり、
前記2次元測定部と前記3次元測定部は互いに異なる波長の光を出射し、
波長フィルターによって、前記2次元測定部の波長の光を前記2次元測定部の撮像素子に導き、前記3次元測定部の波長の光を前記3次元測定部の撮像素子に導くことを特徴とする請求項1に記載の計測装置。 - 前記3次元測定部は、前記被検物に光のパターンを投影して、前記被検物によって生じた光のパターンの歪みを測定するパターン投影法を用いて前記被検物を測定することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の計測装置。
- 前記算出部は、前記2次元画像データと前記3次元データとを位置合わせした後に、前記被検物の仮エッジを前記2次元画像に重ね合わせることによって、前記2次元画像におけるエッジ検出範囲を設定することを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の計測装置。
- 前記算出部は、予め得られた前記2次元画像データと前記3次元データとの対応関係に基づいて、前記2次元画像データと前記3次元データとの位置合わせを行うことを特徴とする請求項5に記載の計測装置。
- 前記算出部は、前記2次元画像におけるエッジ検出範囲を前記仮エッジを囲むように設定することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の計測装置。
- 前記2次元測定部による測定におけるフォーカス位置を調整するフォーカス調整部を有し、
前記フォーカス調整部は、前記3次元データを用いて算出されたフォーカス位置を用いて前記フォーカス位置を調整することを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の計測装置。 - 前記被検物の形状情報は、前記被検物の寸法であることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の計測装置。
- 請求項1乃至9に記載の計測装置を用いて物品の形状情報を計測する計測工程と、
前記計測工程による計測結果に基づいて前記物品を加工する工程とを有することを特徴とする物品の製造方法。
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