JP6353249B2 - 表示素子及び表示装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の表示装置を構成する表示素子100の平面図である。同図において101はシリコン、ガラス板等の精密加工が容易な薄板であり、材料が透明である場合には光が透過しないように表面を金属薄膜、セラミック薄膜などで被覆した遮蔽板である。遮蔽板101には、光を透過させるアパーチャ(窓)102a1、102a2・・・、102b1、102b2・・・、102c1、102c2・・・が開けられており、これらのアパーチャを光が通過する。103a1、103a2・・・、103b1、103b2・・・、103c1、103c2・・・はシャッタであり、実際には遮蔽板101の後ろに存在しているので見えていないが、ここでは動作をわかりやすくするため透過して表示している。104a1−1、104a1−2、104a1−3、104a1−4・・・はPZT、PLZT、PLT、ZnOなどの圧電薄膜(圧電材料)で形成されたマイクロ・エレクトリカル・メカニカルシステム素子を利用する圧電駆動部である。ここでは、アパーチャ102a1とシャッタ103a1を取り囲む箇所のみ記号を記入しているが、アパーチャ103a2とシャッタ103a2、アパーチャ103b1とシャッタ103b1、・・・などを取り囲む箇所にも同様に記号を付与する。アパーチャ102a1、シャッタ103a1、圧電駆動部104a1−1、104a1−2、104a1−3、104a1−4で一つのユニット(表示素子)を構成し、このユニットが表示装置の画素に対応している。つまり、表示装置の画素数だけユニットが遮蔽板101に形成される。105a1、105b1・・・などは振動的に分離するためのスリットで、図1にはわかりやすさのため一部にのみ符号を付与しており、同図に示された縦方向の各ユニットを分離している。
図5は別の本発明の表示装置を構成するのに用いられる表示素子200の平面図である。同図において201はシリコン、ガラス板等の精密加工が可能な薄板であり、光を透過する材料の場合は光が透過しないように表面を金属薄膜、セラミック薄膜などで被覆した遮蔽板である。遮蔽板201にはアパーチャ(窓)202a1、202a2・・・、202b1、202b2・・・、202c1、202c2・・・が開けられており、これらのアパーチャを光が通過する。203a1、203a2・・・、203b1、203b2・・・、203c1、203c2・・・はシャッタであり、アパーチャを開閉する。シャッタは実際には遮蔽板201の後ろに存在しているので見えていないが、ここでは動作をわかりやすくするため透過して表示している。204a1−1、204a1−2、204a1−3、204a1−4、・・・は、それぞれ突起部205a1−1、205a1−2、205a1−3、205a1−4、・・・に形成されたPZT、PLZT、PLT、ZnOなどの圧電薄膜で形成された圧電駆動部である。ここでは、図を見やすくするため一部にのみ記号を付与している。アパーチャ202a1、シャッタ203a1、突起部205a1−1、205a1−2、205a1−3、205a1−4と圧電駆動部204a1−1、204a1−2、204a1−3、204a1−4で一つのユニットを構成し、このユニットが表示素子あるいは表示装置の画素に対応している。つまり、表示装置の画素数だけユニットが遮蔽板201に形成される。
101 遮蔽板
102a1、102a2、・・・ アパーチャ(窓)
103a1、103a2、・・・ シャッタ
104a1−1、104a1−2、・・・ 圧電薄膜
105a1、104b1、・・・ スリット
110 角棒部
111 切り欠き部
200 表示素子
201 遮蔽板
202a1、202a2、・・・ アパーチャ(窓)
203a1、203a2、・・・ シャッタ
204a1−1、204a1−2、・・・ 圧電薄膜
205a1−1、205a1−2、・・・ 突起
Claims (5)
- 光を透過させない遮蔽板と、
上記遮蔽板に設けられて光を通過させるアパーチャと、
上記アパーチャを開閉させるシャッタと、
圧電材料を駆動材料とするマイクロ・エレクトリカル・メカニカルシステム素子を利用する圧電駆動部とを有する表示素子であって、
上記シャッタに傾けて接した突起部を構成し、
前記圧電駆動部は、上記突起部に、交流電圧を印加することにより弾性定在波を励振し、上記弾性定在波で上記シャッタを移動させることにより上記アパーチャを開閉させ、上記アパーチャを通過する光を制御するように構成されていることを特徴とする表示素子。 - 上記突起部は上記シャッタの片側にのみ少なくとも2つ、もしくは両側に片側2つの少なくとも4つ接するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の表示素子。
- 上記突起部を上記シャッタの片側に接するように構成し、上記圧電駆動部の一つの片側に駆動交流電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載の表示素子。
- 上記突起部を上記シャッタの両側に接するように構成し、上記シャッタの移動方向の同じ側にある上記圧電駆動部の2つの片側に駆動交流電圧を印加することを特徴する請求項1に記載の表示素子。
- 請求項1、2、3または4に記載の表示素子を含む表示装置。
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