JP6353227B2 - ガスセンサ制御装置及び赤外線分析式ガス濃度検出装置 - Google Patents

ガスセンサ制御装置及び赤外線分析式ガス濃度検出装置 Download PDF

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Description

本発明は、呼気中の特定ガスの濃度検知、空調管理、工業プロセスの雰囲気の管理、種々の気体の漏洩検知などに用いることができる非分散型ガスセンサに接続されるガスセンサ制御装置、及びこのガスセンサを有する赤外線分析式ガス濃度検出装置に関する。
非分散型赤外ガスセンサ(Non- dispersive Infrared Gas Anaryzer;NDIR)は、赤外線を放射する光源と、赤外線の光量を検知する赤外線検出部との間に測定対象ガスを通過させ、赤外線が測定対象ガス中の分子によって吸収されることを利用してガス濃度を測定するものである。又、赤外線検出部の前には波長選択用の光学フィルタが配置され、ガス分子(CO、CO2等)の分子構造によって決まる特定波長の赤外線のみを透過させ、ガス種を判別するようになっている。なお、測定対象ガスを筒(セル)中に流す「クローズ・パス配置形式」と、セルを用いずに光源と赤外線検出部との間がガスを流通させる開放空間となっている「オープン・パス配置形式」とがある。
ところが、あらゆる物体は自身の温度に応じて赤外線を放射するため、測定環境の周囲の温度が変化すると、非分散型赤外ガスセンサを構成する各種部材(例えばクローズ・パス配置形式の場合、筒表面)からの赤外線放射量も変化し、ガス濃度が変化していないにも関わらず赤外線検出部の検出出力が変化し、検出精度が低下するドリフト現象が生じる。
そこで、光源オンのときの検出出力と、光源を一時的にオフさせたときの検出出力の差分をとることで、ガス濃度の感度を補正する技術が開示されている(特許文献1参照)。そして、この差分をガス濃度の検出値として用いることで、測定環境の周囲の温度変化の影響をキャンセルしてドリフトを補正することができる。つまり、図17に示すように、光源を一時的にオフさせたときの検出出力V0は、周囲の温度を反映したバックグラウンドとしての赤外線放射を表しているので、光源オンのときの検出出力VHからV0を差し引くことで、測定環境の周囲の温度変化の影響を除いた真の検出出力ΔV(=VH−V0)が得られる。
特開平8−233810号公報(図2、図5)
ところで、上記図17に示すように、検出出力VH1の検出時刻T1と、検出出力V0(1)の検出時刻T2とは異なり、検出タイミングにずれが生じている。この場合、測定環境の周囲の温度が時間と共に変化しなければ、V0も時間と共に変化せず、V0(1)=V0(2)=V0(3)・・・となるので、VHとV0の検出タイミングのずれによる影響を考慮しなくてもドリフト補正が行える。
しかしながら、測定環境の周囲の温度が時間と共に変化する場合、図18に示すように、検出出力VH、V0自身が時間と共に変化するため、検出タイミングのずれに起因してΔVが正確に得られなくなるという問題がある。つまり、図18に示すように、検出出力VH1の検出時刻T1における本来のV0の値はV0(0)であるのに、検出時刻T2ではV0(1)に変わってしまう。このため、真のΔV=VH1−V0(0)であるところ、誤った値であるΔV'=VH1−V0(1)を算出することになる。
特に、水分を多く含むガスを測定する場合、非分散型赤外ガスセンサ自身をヒータにより加熱して結露を防止する必要があり、ヒータ加熱によって周囲の温度が時間と共に上昇することがある。又、測定中にガス流量が時間と共に変化する場合も周囲の温度が変化する。
そこで、本発明は、非分散型赤外ガスセンサの測定環境の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制した、ガスセンサ制御装置及び赤外線分析式ガス濃度検出装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明のガスセンサ制御装置は、測定対象ガスに赤外線を放射する光源と、前記赤外線を検出する赤外線検出部と、を備えたガスセンサに接続され、前記光源から放射される前記赤外線の光量が、第1周期時間にわたり第1設定光量となるように、かつ、第2周期時間にわたり前記第1設定光量と異なると共に前記光源をオフせずに所定の値の光量をなす第2設定光量となるように交互に切り替える制御を行う光源制御部と、前記赤外線検出部の検出信号から、前記測定対象ガスの濃度を演算するガス濃度演算部と、を備え、前記第1周期時間において前記赤外線検出部が検出した検出信号を第1検出信号、前記第2周期時間において前記赤外線検出部が検出した検出信号を第2検出信号とし、前記ガス濃度演算部は、時間的に連続する2つの前記第1周期時間にそれぞれ検出された第1検出信号の値を平均した第1平均信号、及び前記2つの第1周期時間の間の第2周期時間に検出された第2検出信号からなる第1情報群に基づいて、又は、時間的に連続する2つの前記第2周期時間にそれぞれ検出された第2検出信号の値を平均した第2平均信号、及び前記2つの第2周期時間の間の第1周期時間に検出された第1検出信号からなる第2情報群に基づいて、前記測定対象ガスの濃度を演算する。


非分散型赤外ガスセンサによる測定の際、測定環境の周囲の温度やガス流量等の変化に伴って非分散型赤外ガスセンサを構成する各種部材の温度が変化し、これら部材から放射される赤外線量も変化するため、ガス濃度が変化していないにも関わらず赤外線検出部の検出信号が変化するドリフト現象が生じる。そこで、赤外線の光量を2つの設定光量の間で切り替え、各光量における検出信号に基づいてガス濃度を演算することで、測定環境の変化によるドリフトをキャンセルしている。ところが、温度等が時間と共に変化する、つまり温度等の変動量が時間に対して一定でない場合には、光量の切り替えに伴って各光量における検出タイミングにずれが生じ、ガス濃度の検出精度が低下する。
このようなことから、本発明のガスセンサ制御装置では、第1平均信号又は第2平均信号を用いることで、これに対応する第2検出信号又は第1検出信号と検出タイミングを仮想的に一致させることができ、周囲の測定環境の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制することができる。
さらに、本発明のガスセンサ制御装置において、前記第1平均信号は、前記時間的に連続する2つの前記第1周期時間にそれぞれ検出された第1検出信号の値を加重平均したものであり、前記第2平均信号は、前記時間的に連続する2つの前記第2周期時間にそれぞれ検出された第2検出信号の値を加重平均したものであってもよい。
周囲の測定環境の時間的変化自体が時間と共に変化する、つまり測定環境の時間的変化が単調増加又は単調減少でない場合には、第1平均信号を算出する際、単純平均でなく、当該測定環境の時間的変化の状態に応じて2つの第1検出信号の値を重み付けした加重平均を採ることで、ガス濃度の検出精度の低下をさらに抑制することができる。
第2平均信号を算出する際も同様に、単純平均でなく、当該測定環境の時間的変化の状態に応じて2つの第2検出信号の値を重み付けした加重平均を採ることで、ガス濃度の検出精度の低下をさらに抑制することができる。
さらに、本発明のガスセンサ制御装置において、前記ガス濃度演算部は、前記ガスセンサの外部に設けられた外部温度測定部によって測定された外部温度に基づき、前記加重平均に用いる重み係数を決定してもよい。
このガスセンサ制御装置によれば、加重平均に用いる重み係数を、外部温度を反映した値とすることで、ガス濃度の検出精度の低下をさらに抑制することができる。
さらに、本発明のガスセンサ制御装置において、前記ガス濃度演算部は、前記赤外線検出部の近傍に設けられた赤外線検出部温度測定部によって測定された前記赤外線検出部の温度に基づき、前記加重平均に用いる重み係数を決定してもよい。
このガスセンサ制御装置によれば、加重平均に用いる重み係数を、赤外線検出部の温度を反映した値とすることで、ガス濃度の検出精度の低下をさらに抑制することができる。
さらに、本発明の赤外ガスセンサ制御装置において、前記第1周期時間及び前記第2周期時間は2秒以下であってもよい。
上記した温度等の測定環境の時間的変化による検出信号のドリフトは、通常は4秒以上の時定数を持っており、この間に第1の情報群と第2の情報群を1つずつ、合計2セット以上取得できれば、ガス濃度を精度よく算出することができる。そこで、このガスセンサ制御装置においては、各周期時間を2秒以下と規定する。
本発明の赤外線分析式ガス濃度検出装置は、前記ガスセンサ制御装置と、前記ガスセンサ制御装置に接続され、測定対象ガスに赤外線を放射する光源と、前記赤外線を検出する赤外線検出部と、を備えたガスセンサと、を有する。
本発明の赤外線分析式ガス濃度検出装置は、さらに、前記ガスセンサの外部に設けられ、前記ガスセンサの外部温度を測定する外部温度測定部を備えてもよい。
本発明の赤外線分析式ガス濃度検出装置は、さらに、前記赤外線検出部の近傍に設けられ、前記赤外線検出部の温度を測定する赤外線検出部温度測定部を備えてもよい。
この発明によれば、ガスセンサの測定環境の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制した、ガスセンサ制御装置及び赤外線分析式ガス濃度検出装置が得られる。
本発明の第1の実施形態に係る赤外線分析式ガス濃度検出装置の全体構成図である。 ガス濃度演算処理により、検出信号ΔVを求める方法の概略を示す図である。 第1の実施形態において、VH及びVLの取得タイミングを示すタイムチャート、光源の第1設定光量(CH),第2設定光量(CL)を示すタイムチャートを表す図である。 第1の実施形態において、VH、VLの取得処理のフローチャートを示す図である。 第1の実施形態において、第1平均信号VH'、及び第2平均信号VL'を用いたガス濃度演算処理のフローチャートを示す図である。 第2の実施形態において、VH及びVLの取得タイミングを示すタイムチャート、光源の第1設定光量(CH),第2設定光量(CL)を示すタイムチャートを表す図である。 第2の実施形態において、VH、VLの取得処理のフローチャートを示す図である。 第2の実施形態において、第1平均信号VH'、及び第2平均信号VL'を用いたガス濃度演算処理のフローチャートを示す図である。 第3の実施形態において、ガス濃度演算処理により、検出信号ΔVを求める方法の概略を示す図である。 図9のVH(1)とVH(2)の近傍における部分拡大図である。 第3の実施形態において、VH及びVLの取得タイミングを示すタイムチャート、光源の第1設定光量(CH),第2設定光量(CL)を示すタイムチャート、並びに外部温度及び赤外線検出素子の温度を示すタイムチャートを表す図である。 第3の実施形態において、第1平均信号VH'、及び第2平均信号VL'を用いたガス濃度演算処理のフローチャートを示す図である。 VH及びVLの時間変化を推定する方法の一例を示す図である。 VH及びVLの時間変化に対応した重み係数A、Bのテーブルの一例を示す図である。 周囲温度を変化させてVH、VLの変化を生じさせたときの実際の検出信号ΔVの時間変化を示す図である。 測定対象ガスの流量を変化させてVH、VLの変化を生じさせたときの実際の検出信号ΔVの時間変化を示す図である。 検出出力VH1と、光源オフによる検出出力V0の差分であるΔVを算出する従来のタイムチャートを表す図である。 測定環境の周囲温度が時間変化した場合に、検出出力VH1と、光源オフによる検出出力V0の差分であるΔVを算出する従来のタイムチャートを表す図である。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る赤外線分析式ガス濃度検出装置1の全体構成図である。赤外線分析式ガス濃度検出装置1は、非分散型赤外ガスセンサ(ガスセンサ)100と、非分散型赤外ガスセンサ100に接続される赤外ガスセンサ制御装置(ガスセンサ制御装置)60とを有する。なお、図1において、非分散型赤外ガスセンサ100の長さ方向に沿う断面構造を示す。
非分散型赤外ガスセンサ100は、円筒状の鏡筒102、鏡筒102の両端に互いに対向して配置された赤外線を放射する光源121及び赤外線検出部(赤外線検出素子)122を有する。赤外線検出素子122の受光面側には赤外線波長選択フィルタ(バンドパスフィルタ)110が配置されている。そして、鏡筒102側面に設けた導入口103から測定対象ガスGが導入され、鏡筒102側面に設けた出口104から測定対象ガスGが外部に排出される。そして、鏡筒102内で光源121から赤外線検出素子122に向かって照射された赤外線が測定対象ガスG中を通過する際、特定波長の赤外線が吸収されることを利用し、赤外線検出素子122の出力に基づいて測定対象ガスG中に含まれる特定ガスの濃度を測定する。
なお、非分散型赤外ガスセンサ100は、測定対象ガスを閉鎖空間である鏡筒102内の測定空間102sに導入させる「クローズ・パス配置形式」で構成され、鏡筒102の光源121側の内面は球面状の反射鏡102aになっていて、光源121から放射された赤外線を赤外線検出素子122に向けるようになっている。又、鏡筒102のその他の内面102bも赤外線を反射するように鏡面加工が施され、赤外線を赤外線検出素子122に到達させるようになっている。
さらに、呼気のような多量の水分を含むガスを測定する際に鏡筒102の内面102a、102bに結露が生じると、赤外線検出素子122の検出出力が低下して測定が不正確になるため、結露を防止するためのヒータ130を内蔵する断熱ジャケット131が鏡筒102の外側に被せられている。
又、断熱ジャケット131の外側には、非分散型赤外ガスセンサ100の外部の温度を測定する外部温度測定部(温度センサ)141が設けられている。同様に、赤外線検出素子122の近傍には、赤外線検出素子122の温度を測定する赤外線検出部温度測定部(温度センサ)142が設けられている。ここで、非分散型赤外ガスセンサ100の「外部」とは、光源121から放射された赤外線が赤外線検出素子122へ到達する空間(上記例では測定空間102s)の外部をいう。
光源121としては、例えばタングステンランプ等の電球や、ヒータ等の発熱抵抗体からなる白色光源が挙げられる。
鏡筒102は、例えばプラスチック又は金属で構成することができ、鏡筒102がプラスチックの場合、内面には赤外線の反射率が高い金属(アルミニウム、クロムなど)の膜を被覆するとよい。
赤外線検出素子122としては、例えばサーモパイル素子(TP)、焦電素子、フォトダイオード(PD)が挙げられる。なお、赤外線検出素子122の検出信号(検出出力)は、通常は電圧であるがこれに限定されない。
赤外線波長選択フィルタ110としては、例えば波長選択フィルタ、回折格子、ファブリペローフィルタ等が挙げられる。波長選択フィルタは、例えばサファイヤ、石英ガラス、シリコン、ゲルマニウム、セレン化亜鉛などの赤外線透過材料からなる基板の表面に複数の透明膜を積層させることによって形成される。
非分散型赤外ガスセンサ100は、赤外ガスセンサ制御装置60に接続されている。赤外ガスセンサ制御装置60は、マイコン50及び電源回路61が基板上に実装された制御回路である。
マイコン50は、光源121の光量制御やガス濃度演算処理等を実行するための各種のプログラムやデータを格納する記憶装置55(ROM,RAM等)、この記憶装置55に記憶されたプログラムを実行するCPU51、各種信号を入出力するためのIOポート、計時用タイマー等を備えた周知のものである。
マイコン50がガス濃度演算部の一例に相当し、マイコン50及び電源回路61が光源制御部の一例に相当する。ガス濃度演算部は赤外線検出素子122の検出信号から、測定対象ガスの濃度を演算すると共に、温度センサ141、142の温度情報から後述する重み係数を求める処理を行う。
光源制御部は、マイコン50によって制御される電源回路61を介し、光源121から放射される赤外線の光量を、所定の周期時間毎に予め設定された2つの設定光量の間で切り替える制御を行う。より詳しくは、第1周期時間にわたり第1設定光量となるように、かつ、第2周期時間にわたり前記第1設定光量と異なる第2設定光量となるように交互に連続して切り替える制御を行う。ここで、本実施形態では、設定光量のうち大きい側を第1設定光量、小さい側を第2設定光量となるように設定される。第2設定光量は、光源制御部が制御する所定の値の光量の他、光源制御部が光源121をオフしたときの値(理想的には0であるが、測定環境の周囲の各種部材から不可避的に放射される赤外線を反映した微小な光量)でもよい。つまり、電源回路61は、必要な測定周期に応じて光量を調整する回路であってもよく、光源121をオンオフできるように間欠駆動(点滅)してもよい。又、光源121をオンオフする場合は、電源回路61の代わりに、光源121と赤外線検出部122との間にチョッパーを設けてもよい。
なお、マイコン50は、所定の起動スイッチがオンされることによって直流電源から給電が開始されると起動して、マイコン50の各部を初期化後、各種処理を開始する。
ここで、第1設定光量CHの時に赤外線検出素子122により検出される検出信号の信号レベルを第1検出信号VH、第2設定光量CL時に検出される検出信号の信号レベルを第2検出信号VLというものとする。
そして、記憶装置55には、第1検出信号VHと第2検出信号VLの差分であるΔV(=VH−VL)と測定対象のガス濃度との相関関係を表す濃度換算データ、及び、温度センサ141、142の温度情報と後述する重み係数との相関関係を表す重み係数換算データが少なくとも記憶されている。なお、各換算データは、具体的には、換算用マップデータ(テーブル)や換算用計算式等で構成されており、実験等により得られたデータに基づいて予め作成されたものである。
[第1の実施形態におけるガス濃度演算処理]
次に、図2〜図5を参照し、本発明の第1の実施形態に係る赤外ガスセンサ制御装置のガス濃度演算処理について説明する。なお、以下の説明において、検出信号は電圧を示す。
図2は、赤外ガスセンサ制御装置60のガス濃度演算処理により、検出信号ΔVを求める方法の概略を示す。なお、本発明では、VH、VLの差分であるΔV=VH−VLをガス濃度の演算に用いることで、測定環境の周囲の温度変化をキャンセルしてドリフト補正するものである。又、図2の例では、測定環境の周囲の温度が時間と共にほぼ一定の割合で増加し、ガス濃度が変化しないにも関わらず、第1検出信号VHと第2検出信号VLが時間と共にほぼ一定の割合で増加している。
ここで、VH1の検出時刻である第1周期時間TW1と、VL1の検出時刻である第2周期時間TW2とは異なっており、第2周期時間TW2におけるVH1'は、第1周期時間TW1におけるVH1から変化している。そこで、VL1と同一の検出タイミング(TW2)におけるVHの予測値(第1平均信号VH1')を推定することで、同一の検出タイミングでVH、VLが精度よく得られ、周囲温度の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制することができる。
具体的には、第1周期時間TW1、TW3で時間的に連続する2つのVH1、VH2の値を平均して第1平均信号VH1'を求める。なお、VH1は、第1周期時間TW1内で光量が安定する所定の経過時刻で検出されるが、「第1周期時間TW1」で代表することとする。他のVH、VLの検出時刻も同様である。
同様に、VH2と同一の検出タイミング(TW3)におけるVLの予測値(第2平均信号VL1')を推定し、同一の検出タイミングでΔVを求める。
以下、図3〜図5を参照してガス濃度演算処理の詳細を説明する。
図3は、それぞれVH及びVLの取得タイミングを示すタイムチャート(図3(a)、(b))、及び光源121の第1設定光量(CH),第2設定光量(CL)を示すタイムチャート(図3(c))を表す。又、図4はVH、VLの取得処理のフローチャート、図5は第1平均信号VH'、及び第2平均信号VL'を用いたガス濃度演算処理のフローチャートである。
検出中に周囲温度が上昇した場合、VH及びVLは時間と共に増加するため(図3(a)、(b))、最初の第1周期時間TW1にてVH1を検出した後、次の第2周期時間TW2にてVL1を検出すると、VH1と同一のタイミング(第1周期時間TW1)で検出した場合に比べて第2検出信号の値が大きくなる。そこで、第1の実施形態においては、第1周期時間TW1、TW3で時間的に連続する2つのVH1、VH2の値を平均した第1平均信号VH1'と、VH1、VH2の間の第2周期時間TW2におけるVL1との関係(これを「第1の情報群」という)に基づいてガス濃度の演算を行う。ここで、第1の情報群に用いるVH、VLを図3中に逆三角形の領域R1で図示する。
このように、第2検出信号(VL1)と同一の検出タイミング(第2周期時間TW2)における第1検出信号の予測値(第1平均信号VH1')を、他の第1周期時間TW1、TW3での第1検出信号(VH1、VH2)から推定するため、同一の検出タイミングでVH、VL、ひいてはΔVが得られ、周囲温度の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制することができる。つまり、第1の実施形態に係るガス濃度演算処理では、時間的に連続する2つの第1検出信号VH1,VH2の値を平均した第1平均信号VH1'、及び、2つの第1検出信号VH1,VH2の間の第2周期時間TW2における第2検出信号VL1からなる第1情報群に基づいて、ガス濃度の演算を行うのである。
なお、図3において、第1検出信号(VH)の添え字1,2,3の順に、時系列で第1検出信号が検出され、同様に第2検出信号(VL)の添え字1,2,3の順に、時系列で第2検出信号が検出される。
さらに、第1の実施形態においては、上述のように第1周期時間TW3で第1の情報群を算出した後、第1の情報群の算出に用いた第2検出信号VL1と、次の第2周期時間TW4に検出される第2検出信号VL2とを平均して第2平均信号VL1'を算出する。そして、VL1'と、VL1、VL2の間の周期時間TW3におけるVH2との関係(これを「第2の情報群」という)に基づいてガス濃度の演算を行う。ここで、第2の情報群に用いるVH、VLを図3中に三角形の領域R2で図示する。
第2の情報群においても、第1検出信号(VH2)と同一の検出タイミング(第1周期時間TW3)における第2検出信号の予測値(第2平均信号VL1')を、他の第2周期時間TW2、TW4での第2検出信号(VL1、VL2)から推定するため、同一の検出タイミングでVH、VLの電圧差及び電圧比が得られ、周囲温度の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制することができる。つまり、第1の実施形態に係るガス濃度演算処理では、時間的に連続する2つの第2検出信号VL1,VL2の値を平均した第2平均信号VL1'、及び、2つの第2検出信号VL1,VL2の間の第1周期時間TW3における第1検出信号VH2からなる第2情報群に基づいても、ガス濃度の演算を行うものでもある。
なお、上述のように第2周期時間TW4で第2の情報群を算出した後、第2の情報群の算出に用いた第1検出信号VH2と、次の第1周期時間TW5に検出される第1検出信号VH3とを用い、上記と同様にして第1の情報群を算出する。このように、第1の情報群と第2の情報群とを交互に算出することで、第1周期時間TW3以降、第2周期時間TW4、第1周期時間TW5・・・毎に同一の検出タイミングでVH、VL、ひいてはΔVが得られるので、ガス濃度の検出精度がさらに向上する。これに対し、後述する第2の実施形態のように、第1の情報群と第2の情報群のいずれか一方のみを算出する場合、その算出タイミングは周期時間の2倍となる(図6参照)。
次に、図4、図5を参照し、マイコン50のCPUが実行するVH、VLの取得処理、及びガス濃度演算処理を説明する。なお、ガス濃度Xを求める演算では、第1検出信号VHと第2検出信号VLの差分である上述のΔVから、濃度換算データを用いてガス濃度Xを求める。
図4に示すように、VH、VLの取得処理において、まずステップS102では、CPUは光源121を高光量側(第1設定光量(CH)側)へ切り替え、赤外線を放射させる。具体的には、電源回路61により光源121の光量を、所定の周期時間TWの間、第1設定光量CHに保持する制御を行う。
次に、S104で、CPUは、温度センサ141,142から、非分散型赤外ガスセンサ100の外部温度及び赤外線検出素子122の少なくとも一方の温度を取得する。なお、S104及び後述するS118で取得した温度データは、第1の実施形態では使用しないが、後述する第3の実施形態で使用するものである。又、図3(c)は光源121の光量を示すタイムチャートである。添え字m、後述する添え字nは自然数であり、1,2,3の順に時系列で取得されることを示す(以下も同様)。
次に、S106で、CPUは、第1検出信号(VHm)の取得が初回、つまり、VH1であるか否かを判定し、Noであれば濃度演算フラグに1を割り当てると共に(S108)、演算判定フラグに1を割り当てる(S110)。さらにS110からS112へ移行する。一方、S106でYesであれば、そのままS112へ移行する。
なお、濃度演算フラグ=1は、VHmが複数回取得されたことを意味し、図3で説明したように連続する2つのVHm-1、VHmの値を平均して第1平均信号VHm-1'を算出可能となったことを示す。又、演算判定フラグは、後述する図5のフローで第1平均信号VHm-1'と第2平均信号VLn-1'のいずれを算出するかを判定するフラグであり、演算判定フラグ=1の場合、第1平均信号VHm-1'を算出する処理を行う。
次に、S112で、CPUは、光源121の第1検出信号(VHm)を取得し、周期時間TWが経過したか否かを判定する(S114)。S114でYesであればS116へ移行し、NoであればS114に戻って周期時間TWが経過するのを待つ。なお、図4、図5の例では、TW=200msecである。
次に、S116で、CPUは、光源121を低光量側(第2設定光量(CL)側)へ切り替え、赤外線を放射させる。次に、S118で、CPUは、温度センサ141,142から、非分散型赤外ガスセンサ100の外部温度及び赤外線検出素子122の少なくとも一方の温度を取得する。
次に、S120で、CPUは、第2検出信号(VLn)の取得が初回、つまり、VL1であるか否かを判定し、YesであればS124へ移行し、Noであれば演算判定フラグに0を割り当てる(S122)。演算判定フラグ=0の場合、図3で説明したように連続する2つのVLn-1、VLnの値を平均して第2平均信号VLn-1'を算出可能となっており、第2平均信号VLn-1'を算出する処理を行う。さらにS122の処理後、S124へ移行する。
次に、S124で、CPUは、光源121の第2検出信号(VLn)を取得し、周期時間TWが経過したか否かを判定する(S126)。S126でYesであればS128へ移行し、NoであればS126に戻って周期時間TWが経過するのを待つ。
S128で、CPUは、光源121を高光量側(第1設定光量(CH)側)へ切り替えて赤外線を放射し、S104へ戻る。
以上のようにして取得されたVHm、VLnは、濃度演算フラグ及び演算判定フラグと関連付けて記憶装置55(RAM)に記憶され、以下のガス濃度演算処理で読み出される。
次に、図5を参照し、ガス濃度演算処理を説明する。なお、ガス濃度演算処理は、上記した周期時間TW毎に行う。すなわち、図4のS104〜S114の区間が周期時間TWで処理されるので、S114が経過した時点でS110の演算判定フラグを読み取ったガス濃度演算処理が行われる。さらにS116〜S126の区間が次の周期時間TWで処理され、S126が経過した時点でもS122の演算判定フラグを読み取った次のガス濃度演算処理が行われることとなる。
図5において、まずステップS202では、CPUは濃度演算フラグが1であるか否かを判定する。S202でYesであればS204へ移行し、Noであれば本ガス濃度演算処理を終了し、次回に備える。次にS204で、CPUは、演算判定フラグが1であるか否かを判定する。S204でYesであれば(つまり、図4のS104〜S114で時間的に連続する2つの第1検出信号VHm-1、VHmの取得処理がされた場合に)S206へ移行し、VHm-1、VHm、VLnを取得する。ここで、m=2,n=1の場合が図3のR1に相当し、第1平均信号VHm-1'、及び、第2検出信号VLnからなる第1情報群に基づいてのガス濃度の演算処理となる。一方、S204でNoであれば、第2平均信号VLn-1'、及び第1検出信号VHmからなる第2情報群に基づいてのガス濃度の演算処理に移行する。
次に、S208では、CPUは第1平均信号VHm-1'を算出する。具体的には、S206で取得したVHm-1、VHmを次式(1)の入力値としてVHm−1'を算出する。つまり、VHm-1'をVHm-1、VHmの単純平均により算出する。
VHm-1'=(VHm-1+VHm)/2・・・(1)
そして、S210では、CPUは、S206にて取得したVLnと、S208で算出したVHm-1'を次式(2)の入力値として、ΔVを算出する。
ΔV=VHm−1'−VLn・・・(2)
次いで、S212では、S210で算出したΔVと、濃度換算データとに基づいて、ガス濃度Xを算出し、本ガス濃度演算処理の最初に戻る。
一方、S204でNoの場合(つまり、図4のS116〜S126で時間的に連続する2つの第2検出信号VLn-1、VLnの取得処理がされた場合)には、S230へ移行し、VLn-1、VLn、VHmを取得する。ここで、m=2、n=2の場合が図3のR2に相当する。
次に、S232では、CPUは第2平均信号VLn-1'を算出する。具体的には、S230で取得したVLn-1、VLnを次式(3)の入力値としてVLn+1'を算出する。つまり、VLn-1'をVLn-1、VLnの単純平均により算出する。
VLn-1'=(VLn-1+VLn)/2・・・(3)
そして、S234では、CPUは、S230にて取得したVHmと、S232で算出したVLn-1'を次式(4)の入力値として、ΔVを算出する。
ΔV=VHm−VLn-1'・・・(4)
そして、S236では、S234で算出したΔVと、濃度換算データとに基づいて、ガス濃度Xを算出し、ガス濃度演算処理の最初に戻る。
このように、図4、図5の処理では、周期時間TW毎に光源121の光量を切り替え、これにより第1検出信号VHm−1、VHm,第2検出信号VLn−1,VLnを取得する。
さらには、第2検出信号VLnと同一の検出タイミング(周期時間)における第1検出信号の予測値(第1平均信号VHm−1')を、他の周期時間での第1検出信号(VHm−1、VHm)から推定し、第1検出信号VHm−1'と第2検出信号VLnの差分であるΔVから、ガス濃度Xを演算する。
そのため、同一の検出タイミングでのΔVが得られ、周囲温度の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制することができる。
なお、第1周期時間及び第2周期時間は、それぞれ2秒以下であることが好ましい。上記した温度等の測定環境の時間的に伴うVH、VLの変化(ドリフト)は、通常は4秒以上の時定数を持っており、この間に第1の情報群と第2の情報群を1つずつ、合計2セット(図3の領域R1、R2に相当)取得できれば、ΔVを精度よく算出し、ガス濃度Xを演算することができる。そこで、周期時間を2秒以下と規定する。
[第2の実施形態におけるガス濃度演算処理]
次に、図6〜図8を参照し、本発明の第2の実施形態に係る赤外ガスセンサ制御装置のガス濃度演算処理について説明する。
図6は、VH及びVLの取得タイミングを示すタイムチャート(それぞれ図6(a)、(b))、及び光源121の第1設定光量(CH),第2設定光量(CL)を示すタイムチャート(図6(c))を表す。又、図7はVH、VLの取得処理のフローチャート、図8は第1平均信号VH'を用いたガス濃度演算処理のフローチャートである。
検出中に周囲温度が上昇すると、図6に示すように、VH及びVLは時間と共に増加するため(図6(a)、(b))、最初の第1周期時間TW1にてVH1を検出した後、次の第2周期時間TW2にてVL1を検出すると、VH1と同一のタイミング(第1周期時間TW1)で検出した場合に比べて第2検出信号の値が大きくなる。そこで、第2の実施形態においては、第1の実施形態と同様に第1周期時間TW1、TW3で時間的に連続する2つのVH1、VH2の値を平均した第1平均信号VH1'と、VH1、VH2の間の第2周期時間TW2におけるVL1との第1の情報群に基づいてガス濃度の演算を行う。ここで、第1の情報群に用いるVH、VLを図6中に逆三角形の領域R1で図示する。
このように、第2検出信号(VL1)と同一の検出タイミング(第2周期時間TW2)における第1検出信号の予測値(第1平均信号VH1')を、他の第1周期時間TW1、TW3での第1検出信号(VH1、VH2)から推定するため、同一の検出タイミングでVH、VLが得られ、周囲温度の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制することができる。つまり、第2の実施形態に係るガス濃度演算処理では、時間的に連続する2つの第1検出信号VH1,VH2の値を平均した第1平均信号VH1'、2つの第1検出信号VH1,VH2の間の第2周期時間TW2における第2検出信号VL1からなる第1情報群に基づいて、ガス濃度の演算を行うのである。
但し、第2の実施形態においては、第1周期時間TW3で第1の情報群を算出した後、次に第1の情報群を算出するタイミングは2周期遅れた第1周期時間TW5となる。ここで、2回目に算出する第1の関係に用いるVH、VLを図6中に逆三角形の領域R3で図示する。このように、第1の情報群と第2の情報群の一方のみを算出する場合、周期時間TWの2倍で第1の情報群、つまり同一の検出タイミングでのVH、VLを算出することになるので、ガス濃度の検出精度は第1の実施形態よりは劣るが、マイコンの処理負担が軽減するという利点がある。
次に、図7、図8を参照し、マイコン50のCPUが実行するVH、VLの取得処理、及びガス濃度演算処理を説明する。
図7に示すように、VH、VLの取得処理において、まずステップS302では、CPUは光源121を高光量側(第1設定光量(CH)側)へ切り替え、赤外線を放射させる。具体的には、電源回路61により光源121の光量を、所定の周期時間TWの間、第1設定光量CHに保持する制御を行う。
次に、S306で、CPUは、第1検出信号(VHm)の取得が初回、つまり、VH1であるか否かを判定し、Noであれば濃度演算フラグに1を割り当て(S308)、S312へ移行する。S306でYesであればS312へ移行する。なお、第2の実施形態では、第2平均信号VLn-1'を算出しないので、演算判定フラグは用いない。
次に、S312で、CPUは、第1検出信号(VHm)を取得し、周期時間TWが経過したか否かを判定する(S314)。S314でYesであればS316へ移行し、NoであればS314に戻ってTWが経過するのを待つ。なお、図6、図7の例では、TW=200msecである。
次に、S316で、CPUは、光源121を低光量側(第2設定光量(CL)側)へ切り替え、赤外線を放射させる。
次に、S324で、CPUは、第2検出信号(VLn)を取得し、周期時間TWが経過したか否かを判定する(S326)。S326でYesであればS328へ移行し、NoであればS326に戻ってTWが経過するのを待つ。
S328で、CPUは、光源121を高光量側(第1設定光量(CH)側)へ切り替えて赤外線を放射し、S306へ戻る。
以上のようにして取得されたVHm、VLnは、濃度演算フラグと関連付けて記憶装置55(RAM)に記憶され、以下のガス濃度演算処理で読み出される。
次に、図8を参照し、ガス濃度演算処理を説明する。なお、ガス濃度演算処理は、上記した周期時間TW毎に行う。すなわち、図7のS306〜S314の区間が周期時間TWで処理されるので、S314が経過した時点でガス濃度演算処理(主に第1平均信号VHm-1'の算出)が行われ、さらに次の周期時間TWで処理されるS316〜S326の区間でもガス濃度演算処理(主にVLnの取得)が行われることとなる。
但し、図8の処理は、ステップS204が無く、S202から直ちにS206に移行すること以外は、図5で述べた処理のS206〜S226と同一であるので、同一のステップ番号を付して説明を省略する。
[第3の実施形態におけるガス濃度演算処理]
次に、図9〜図11を参照し、本発明の第3の実施形態に係る赤外ガスセンサ制御装置のガス濃度演算処理について説明する。
図9は、赤外ガスセンサ制御装置60のガス濃度演算処理により、検出信号ΔVを求める方法の概略を示す。図9の例では、図2の場合と異なり、測定環境の周囲の温度が時間と共に増加量が減少しつつ上昇し、VH及びVLが時間に対して上に凸の曲線となる場合を示している。
図10は、図9のVH1とVH2の近傍における部分拡大図である。第1の実施形態においては、VHが時間に対してほぼ直線L1に沿って単純に増加するため、VH1,VH2の値を単純平均して第1平均信号VH1'の値であるAV1を求めた。具体的には、第1周期時間TW1、TW3における検出時刻T1,T3の中点である検出時刻T2における直線L1上のVHの値であるAV1をVH1'として算出した。
一方、図9の例では、VHが時間に対して上に凸の曲線L2で増加するため、検出時刻T1,T3の中点である検出時刻T2において、曲線L2上のVHの値であるAV2はAV1よりも大きい。
そこで、第3の実施形態においては、VH1,VH2の値を平均してAV2を求める際、時間の経過と共にVHの増加量が小さくなることから、よりAV2の値に寄与するVH1を多く重み付けした加重平均により、AV2を求める。
具体的には、VH1'を次式5により算出し、ここで重み係数A>Bとすることで、VH1を多く重み付けすることができる。
VHm-1'={A×(VH1)+B×(VH2)}/(A+B)・・・(5)
図11は、それぞれVH及びVLの取得タイミングを示すタイムチャート(図11(a)、(b))、光源121の第1設定光量(CH),第2設定光量(CL)を示すタイムチャート(図11(c))、並びに外部温度及び赤外線検出素子の温度を示すタイムチャート(図11(d))を表す。
なお、図11(d)のタイムチャートは、図4のステップS104,S118で交互に取得した温度によるものであり、各周期時間TW1、TW2・・・で取得した温度をそれぞれTH1、TH2・・・とする。又、各温度TH1、TH2・・・は、正確にはVH、VLの検出時刻における温度であるが、「周期時間TW」で代表することとする。
図11は、VH及びVLの時間変化の曲線が異なること以外は、第1の実施形態の図3と同一であるので説明を省略する。
又、図12は第1平均信号VH'、及び第2平均信号VL'を用いたガス濃度演算処理のフローチャートである。なお、VH、VLの取得処理のフローチャートは第1の実施形態の図4と同一であるので、説明及び図示を省略する。
次に、図12を参照し、ガス濃度演算処理を説明する。但し、図12の処理は、ステップS206の後に、S208に代えてS407及びS408の処理を行い、同様にステップS230の後に、S232に代えてS431及びS432の処理を行うこと以外は、図5で述べた処理と同一であるので、図5と同一処理については同一のステップ番号を付して説明を省略する。
図12において、S206でVHm-1、VHm、VLnを取得した後、重み係数A、Bを取得する(ステップS407)。ステップS407の具体的な処理の一例については後述する。
次に、S408では、CPUは第1平均信号VHm-1'を算出する。具体的には、S206で取得したVHm-1、VHm、及びS407で取得したA,Bを、次式(6)の入力値としてVHm−1'を算出する。つまり、VHm-1'をVHm-1、VHmの加重平均により算出する。
VHm-1'={A×(VHm-1)+B×(VHm)}/(A+B)・・・(6)
そして、S210でΔVを算出し、S212では、S210で算出したΔVと、濃度換算データとに基づいて、ガス濃度Xを算出し、本ガス濃度演算処理を終了する。
同様に、S230でVLn-1、VLn、VHmを取得した後、重み係数A、Bを取得する(ステップS431)。S431の処理内容はS407と同様である。
次に、S432では、CPUは第2平均信号VLn-1'を算出する。具体的には、S230で取得したVLn-1、VLn、及びS431で取得したA,Bを、次式(7)の入力値としてVLn+1'を算出する。つまり、VLn-1'をVLn-1、VLnの加重平均により算出する。
VLn-1'={A×(VLn-1)+B×(VLn)}/(A+B)・・・(7)
そして、S234でΔVを算出し、S236では、S234で算出したΔVと、濃度換算データとに基づいて、ガス濃度Xを算出し、ガス濃度演算処理の最初に戻る。
次に、図13、図14を参照し、ステップS407、S431における重み係数A、Bの取得の具体的な処理の一例を説明する。図13は、VH及びVLの時間変化を推定する方法の一例を示し、図14はVH及びVLの時間変化に対応した重み係数A、Bのテーブルの一例を示す。
図13において、CPUは、時間的に連続する2つの第1周期時間TW1,第2周期時間TW2(正確には上記した時刻T1、T2)における温度TH1、TH2を通る直線L1を算出する。そして、CPUは、次の第1周期時間TW3における温度TH3と、第1周期時間TW3における直線L1上の仮想温度TH3'との大小関係、つまりΔT=TH3'−TH3の値を算出する。
ΔT=0であれば、VH及びVLは時間に対して直線Lに沿って変化するとみなす。一方、ΔT<0であれば、VH及びVLが時間に対して上の凸の曲線L2に沿って変化するとみなす。同様に、ΔT>0であれば、VH及びVLが時間に対して下の凸の曲線L3に沿って変化するとみなす。
なお、上記したステップS118等で、温度センサ141から、非分散型赤外ガスセンサ100の外部温度を取得し、後述する重み係数を変更すると、ガスセンサ100の使用環境(外部温度)を反映した重み係数とすることができ、ガス濃度の検出精度の低下をさらに抑制することができる。ここで、温度センサ141に基づいて重み係数を変更する場合、例えば、外部温度が−40℃のときと、25℃のときとで異なる重み係数を用いるが、外部温度によってはヒータ130による保温が安定し、重み係数が不要となることもあるので、外部温度が連続的に変化しても重み係数は連続的に変化しない場合が多い。
又、上記したステップS118等で、温度センサ142にて赤外線検出素子122の温度から重み係数を変更すると、赤外線検出素子122の温度を反映した重み係数とすることができ、ガス濃度の検出精度の低下をさらに抑制することができる。ここで、赤外線検出素子122に基づいて重み係数を変更する場合、第3の実施形態のように重み係数は連続的に変化する。
以上のように、温度センサ141、142の少なくとも一方の温度を用いて重み係数を変更すればよい。但し、上記した例では、温度センサ141、142のいずれか一方の温度を用いて重み係数を変更しており、温度センサ141、142の両方の温度を用いる場合には、当該両方の温度と重み係数との関係に基づく数式やテーブル等に基づいて重み係数を変更することになる。
次に、CPUは、図14に示すテーブル55tを参照し、ΔTの値に対応した重み係数A、Bの組を取得し、ステップS407、S431の処理を行う。テーブル55tには、ΔTの各種値に関連付けて、重み係数A、Bの組が記録されている。
なお、図13の例では、第1周期時間TW3を経過した時に、VH及びVLの時間変化を判定し、図14に示すテーブル55tを参照し、ステップS407に相当する重み係数A、Bの組を取得する。そして、次の第2周期時間TW4を経過した時には、温度TH2、TH3を通る直線L1と、第2周期時間TW4における温度TH4とに基づいてΔTを算出し、ステップS431に相当する重み係数A、Bの組を取得する。このようにして、CPUは最新の3つの周期時間TWを順次用いて重み係数A、Bの組を取得する。
なお、例えば、ΔTの絶対値が一定の値以下の区間(例えば図14のテーブル55tではΔTの絶対値が1以下の区間S1)では、VH及びVLが時間に対してほぼ直線Lに沿って変化するとみなし、A=B、つまり第1の実施形態と同様の単純平均により第1平均信号VH'、及び第2平均信号VL'を算出してもよい。このようにすると、各ΔTの値に応じて逐一テーブル55tから重み係数A、Bの組を取得する場合に比べ、CPUの処理負担が軽減される。
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。例えば、マイコン50における各処理を実行するための各種のプログラムやデータを記憶するための装置は、マイコン50の内部に備えられる記憶装置55に限られることはなく、マイコン50との間で情報伝達が可能なあらゆる形態の外部記憶装置や記録媒体でもよい。この場合、マイコン50は、外部記憶装置や記録媒体から読み込んだ各種のプログラムやデータを用いて各処理を実行する。記録媒体としては、例えば、持ち運び可能な半導体メモリ(例えば、USBメモリ、メモリカード(登録商標)など)、CD−ROMやDVDなどの光ディスク、磁気ディスク等が含まれる。
非分散型赤外ガスセンサ100としては、アルコールセンサ、CO2センサ、COセンサ、HCガスセンサ、NOxガスセンサ、NH3ガスセンサ、アセトンガスセンサ等、赤外線光量を用いて物理量を検知するセンサが挙げられる。
さらに、上記実施形態では「クローズ・パス配置形式」の非分散型赤外ガスセンサを例示したが、これに限られず、反射部と、赤外線検出部(及び波長選択手段)を配置する基台とを長軸方向に離間させ、測定対象ガスを筒(セル)を用いずに光源と赤外線検出部との間がガスを流通させる開放空間とする「オープン・パス配置形式」で構成してもよい。
又、重み係数A、Bの組を取得する方法も上記に限られず、例えば所定の計算式によって求めてもよい。
なお、温度、VH及びVLが時間と共に低下する場合は、上記した直線L1,曲線L2及びL3は、図13と上下方向が逆となる。
又、赤外線検出素子122としては、特定波長を吸収する赤外線波長選択フィルタ110を介して特定波長の赤外線を検出するようにしたが、別途他の第2の波長を吸収する第2の赤外線波長選択フィルタを設けた第2の赤外線検出素子を配置してもよい。第2の波長(例えば3.9μm)としてガス分子による吸収がない波長の赤外線を選択すれば、例えば光源121が劣化したり、反射鏡102aの反射率が低下して赤外線検出素子122の検出出力が低下しても、この影響を補正することができる。
図1に示す赤外線分析式ガス濃度検出装置1を用い、周囲の温度及びガス流量を変化させてVH、VLの変化(ドリフト)を生じさせたときの検出信号ΔVの時間変化を測定した。
非分散型赤外ガスセンサ100の光源121として電球を、赤外線検出素子122としてサーモパイルを、赤外線波長選択フィルタ110として選択波長4.3μmのバンドパスフィルタを用い、鏡筒102をアルミニウム製とし、ヒータ130の制御温度を約50℃とした。
図15は、周囲温度を変化させてVH、VLの変化(サーマルドリフト)を生じさせたときの検出信号ΔVの時間変化を示す。実施例は上記第3の実施形態に係る加重平均を用いたΔVの算出法によるものとし、比較例は上記図17に示す従来の技術によるΔVの算出法による(VHとVLの検出タイミングにずれがある)ものとした。但し、図17のV0をVLに読み替えた。又、周囲温度は、温度センサ142で測定した。
図15から明らかなように、第1平均信号VH'及び第2平均信号VL'を予測し、同一の検出タイミングでVH、VLの差分であるΔVを算出した実施例の場合、VHとVLの検出タイミングにずれがある比較例に比べ、周囲温度が変化しても正しいΔVが比較的短時間で得られ、周囲温度の時間的変化によるVH、VLのドリフトの影響を速やかに補正し、周囲温度の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制できることが判明した。
図16は、導入口103に導入される測定対象ガスGの流量を変化させてVH、VLの変化(ドリフト)を生じさせたときの検出信号ΔVの時間変化を示す。なお、時間と共にガス流量が低下すると周囲の温度が増加し、時間と共にガス流量が増加すると周囲の温度が低下する傾向にある。
図16から明らかなように、同一の検出タイミングでVH、VLの差分であるΔVを算出した実施例の場合、VHとVLの検出タイミングにずれがある比較例に比べ、測定対象ガスGの流量変化に伴う周囲温度の変化に対して正しいΔVが比較的短時間で得られ、周囲のガス流量、の時間的変化によるVH、VLのドリフトの影響を速やかに補正し、ガス流量(周囲温度)の時間的変化に伴うガス濃度の検出精度の低下を抑制できることが判明した。
1 赤外線分析式ガス濃度検出装置
50 ガス濃度演算部
50,61 光源制御部
60 赤外ガスセンサ制御装置
100 非分散型赤外ガスセンサ
121 光源
122 赤外線検出部(赤外線検出素子)
141 外部温度測定部
142 赤外線検出部温度測定部
CH 第1設定光量
CL 第2設定光量
VH 第1検出信号
VH' 第1平均信号
VL 第2検出信号
VL' 第2平均信号
TW1、TW3 第1周期時間
TW2、TW4 第2周期時間
A、B 重み係数

Claims (8)

  1. 測定対象ガスに赤外線を放射する光源と、前記赤外線を検出する赤外線検出部と、を備えたガスセンサに接続されるガスセンサ制御装置であって、
    前記光源から放射される前記赤外線の光量が、第1周期時間にわたり第1設定光量となるように、かつ、第2周期時間にわたり前記第1設定光量と異なると共に前記光源をオフせずに所定の値の光量をなす第2設定光量となるように交互に切り替える制御を行う光源制御部と、
    前記赤外線検出部の検出信号から、前記測定対象ガスの濃度を演算するガス濃度演算部と、を備え、
    前記第1周期時間において前記赤外線検出部が検出した検出信号を第1検出信号、前記第2周期時間において前記赤外線検出部が検出した検出信号を第2検出信号とし、
    前記ガス濃度演算部は、時間的に連続する2つの前記第1周期時間にそれぞれ検出された第1検出信号の値を平均した第1平均信号、及び前記2つの第1周期時間の間の第2周期時間に検出された第2検出信号からなる第1情報群に基づいて、
    又は、時間的に連続する2つの前記第2周期時間にそれぞれ検出された第2検出信号の値を平均した第2平均信号、及び前記2つの第2周期時間の間の第1周期時間に検出された第1検出信号からなる第2情報群に基づいて、前記測定対象ガスの濃度を演算する、
    ガスセンサ制御装置。
  2. 前記第1平均信号は、前記時間的に連続する2つの前記第1周期時間にそれぞれ検出された第1検出信号の値を加重平均したものであり、
    前記第2平均信号は、前記時間的に連続する2つの前記第2周期時間にそれぞれ検出された第2検出信号の値を加重平均したものである請求項1に記載のガスセンサ制御装置。
  3. 請求項2に記載のガスセンサ制御装置であって、
    前記ガス濃度演算部は、前記ガスセンサの外部に設けられた外部温度測定部によって測定された外部温度に基づき、前記加重平均に用いる重み係数を決定するガスセンサ制御装置。
  4. 請求項2又は3に記載のガスセンサ制御装置であって、
    前記ガス濃度演算部は、前記赤外線検出部の近傍に設けられた赤外線検出部温度測定部によって測定された前記赤外線検出部の温度に基づき、前記加重平均に用いる重み係数を決定するガスセンサ制御装置。
  5. 請求項1〜4のいずれかに記載のガスセンサ制御装置であって、
    前記第1周期時間及び前記第2周期時間は2秒以下であるガスセンサ制御装置。
  6. 請求項1〜5のいずれかに記載のガスセンサ制御装置と、
    前記ガスセンサ制御装置に接続され、測定対象ガスに赤外線を放射する光源と、前記赤外線を検出する赤外線検出部と、を備えたガスセンサと、
    を有する赤外線分析式ガス濃度検出装置。
  7. 請求項6に記載の赤外線分析式ガス濃度検出装置であって、
    さらに、前記ガスセンサの外部に設けられ、前記ガスセンサの外部温度を測定する外部温度測定部を備える赤外線分析式ガス濃度検出装置。
  8. 請求項6又は7に記載の赤外線分析式ガス濃度検出装置であって、
    さらに、前記赤外線検出部の近傍に設けられ、前記赤外線検出部の温度を測定する赤外線検出部温度測定部を備える赤外線分析式ガス濃度検出装置。
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