JP6349581B2 - 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 139
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 107
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 102
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 18
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 144
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 38
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 37
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 35
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 32
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 16
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims description 11
- WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N sulfanylidenezinc Chemical compound [Zn]=S WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 157
- 239000010408 film Substances 0.000 description 117
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 87
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 82
- 239000000463 material Substances 0.000 description 72
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 29
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 22
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 20
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 15
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 4
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 4
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- -1 titanium halide Chemical class 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009043 WC-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002173 high-resolution transmission electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229920003196 poly(1,3-dioxolane) Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 102200082816 rs34868397 Human genes 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Milling, Broaching, Filing, Reaming, And Others (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
以下、実施形態について説明する。なお、実施形態の説明に用いられる図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
図1に、実施形態の切削工具の模式的な断面図を示す。図1に示すように、実施形態の切削工具は、基材11と、基材11上に設けられた被膜50とを備えている。被膜50は、下地膜20と、下地膜20上に設けられた硬質被膜30とを備えている。
図2に、図1に示す硬質被膜30の一例の模式的な拡大断面図を示す。図2に示すように、硬質被膜30は、2つの第1結晶相21と、隣り合う2つの第1結晶相21の間に配置された第2結晶相22とを含んでいる。本実施形態において、第1結晶相21と第2結晶相22との界面においては、第1結晶相21と第2結晶相22とが互いの相の原子を含まずに完全に分離していてもよく、第1結晶相21のTi原子の一部が第2結晶相22に含まれていてもよく、第2結晶相22のAl原子の一部が第1結晶相21に含まれていてもよい。なお、硬質被膜30は、第1結晶相21を少なくとも2つ含んでいればよく、第1結晶相21を3つ以上含んでいてもよい。
図3に、図2に示す1つの第1結晶相21の一例の模式的な拡大断面図を示す。図3に示すように、第1結晶相21は、塩化ナトリウム(NaCl)型の結晶構造を有するTi1-x1Alx1N相21aと、閃亜鉛鉱型の結晶構造を有するAlx2Ti1-x2N相21bとが交互に積層された構造を含んでいる。ここで、Ti1-x1Alx1N相21aのAl組成比x1は0.1≦x1≦0.7の関係を満たし、Alx2Ti1-x2N相21bのAl組成比x2は0.7<x2≦0.95の関係を満たしている。
第2結晶相22は、ウルツ鉱型の結晶構造を有するAlNを含んでいる。上述のようにウルツ鉱型の結晶構造を有するAlNは一般に低硬度であるが、本実施形態においては、ウルツ鉱型の結晶構造を有するAlNを含む第2結晶相22は硬質被膜30の耐摩耗性の向上に寄与する第1結晶相21の衝撃緩和の機能を発現させる。これが、硬質被膜30を切削工具に用いた場合の切削工具の長寿命化に寄与する。
<基材>
基材11としては、たとえば、炭化タングステン(WC)基超硬合金、サーメット、高速度鋼、セラミックス、立方晶型窒化ホウ素焼結体またはダイヤモンド焼結体などを用いることができるが、特にこれらに限定されるものではない。
下地膜20としては、基材11と硬質被膜30との接合強度を高くすることが可能な膜を用いることができ、たとえば、窒化チタン(TiN)膜、炭窒化チタン(TiCN)膜またはTiN膜とTiCN膜との積層膜などを用いることができる。
実施形態の切削工具としては、基材11と、基材11上の硬質被膜30とを含むものであれば特に限定されないが、たとえば、ドリル、エンドミル、ドリル用刃先交換型切削チップ、エンドミル用刃先交換型切削チップ、フライス加工用刃先交換型切削チップ、旋削加工用刃先交換型切削チップ、メタルソー、歯切工具、リーマまたはタップなどを挙げることができる。
図4に、実施の形態の切削工具の製造に用いられるCVD装置の一例の模式的な断面図を示す。図4に示すように、CVD装置10は、基材11を設置するための基材セット治具12の複数と、基材セット治具12を被覆する耐熱合金鋼製の反応容器13とを備えている。また、反応容器13の周囲には、反応容器13内の温度を制御するための調温装置14が設けられている。
噴出工程(S10)は、Tiのハロゲン化物ガスおよびAlのハロゲン化物ガスを含む第1ガスと、アンモニア(NH3)ガスを含む第2ガスとを基材11上に噴出することにより行われる。
噴出工程(S10)の後には第1冷却工程(S20)が行われる。第1冷却工程(S20)は、たとえば、調温装置14の設定温度を調節して、基材11を10℃/分よりも大きな冷却速度で650℃以上700℃未満の温度に冷却することにより行うことができる。
第1冷却工程(S20)の後には保持工程(S30)が行われる。保持工程(S30)は、たとえば、調温装置14の設定温度を調節して、基材11の温度を650℃以上700℃未満に保持することにより行うことができる。この保持工程(S30)において、AlyTi1-yNの相分離によって、Ti1-x1Alx1N相21aとAlx2Ti1-x2N相21bとの交互積層構造を有する第1結晶相21を形成し、成長させることができる。
保持工程(S30)の後には第2冷却工程(S40)が行われる。第2冷却工程(S40)は、たとえば、調温装置14の設定温度を調節して、基材11の温度を低下させることにより行うことができる。
≪押し込み硬さ≫
硬質被膜30のナノインデンテーション法による押し込み硬さは30GPa以上であることが好ましい。硬質被膜30のナノインデンテーション法による押し込み硬さが30GPa以上である場合には、硬質被膜30の耐摩耗性が向上し、特に硬質被膜30を備えた切削工具を用いて、耐熱合金などの難削材の切削加工を行う際に優れた性能を発揮することができる。
Alx2Ti1-x2N相21bの圧縮残留応力の絶対値は0.3GPa以上3GPa以下であることが好ましい。Alx2Ti1-x2N相21bの圧縮残留応力の絶対値が0.3GPa以上3GPa以下である場合には、硬質被膜30の耐摩耗性を高くすることができるため、耐チッピング性および耐欠損性を向上させることができる。なお、Alx2Ti1-x2N相21bの圧縮残留応力は、隣り合うTi1-x1Alx1N相21aの1つ当たりの厚さt1とAlx2Ti1-x2N相21bの1つ当たりの厚さt2との合計厚さt3を調節することによって、0.3GPa以上3GPa以下とすることができる。
硬質被膜30は、塩素(Cl)、酸素(O)および炭素(C)からなる群から選択された少なくとも1種の不純物を含んでいてもよく、含んでいなくてもよい。
図1に示す硬質被膜30の総厚T1は、1μm以上20μm以下であることが好ましい。硬質被膜30の総厚T1が1μm以上である場合には、硬質被膜30の特性が顕著に向上する傾向にある。硬質被膜30の総厚T1が20μm以下である場合には、硬質被膜30の特性の向上に大きな変化が見られる傾向にある。硬質被膜30の特性を向上させる観点からは、硬質被膜30の総厚T1は、2μm以上15μm以下であることがより好ましく、3μm以上10μm以下であることがさらに好ましい。
被膜50は、硬質被膜30以外の膜を含んでいてもよい。被膜50に含まれる硬質被膜30以外の膜としては、上述した下地膜20以外にも、たとえば、Ti、ZrおよびHfからなる群から選択された少なくとも1つと、N、O、C、B、CN、BN、COおよびNOからなる群から選択された少なくとも1つとの化合物からなる膜を含んでいてもよい。また、被膜50は、耐酸化膜として、α−Al2O3膜およびκ−Al2O3膜の少なくとも一方を含んでいてもよい。たとえば、被膜50は、最表面の最外膜として、硬質被膜30以外の他の膜を含んでいてもよい。また、被膜50は、下地膜20を含んでいなくてもよい。
実施形態の硬質被膜30は、NaCl型の結晶構造を有するTi1-x1Alx1N相21aと閃亜鉛鉱型の結晶構造を有するAlx2Ti1-x2N相21bとが交互に積層された構造の第1結晶相21を少なくとも2つ含んでいるとともに、2つの第1結晶相21の間に配置されたウルツ鉱型の結晶構造を有するAlNを含む第2結晶相22を含んでいる。
≪基材の準備≫
まず、被膜を形成させる対象となる基材として、以下の表1に示す基材Kおよび基材Lを準備する。具体的には、まず、表1に記載の配合組成(質量%)からなる原料粉末を均一に混合する。表1中の「残り」とは、WCが配合組成(質量%)の残部を占めることを示している。次に、この混合粉末を所定の形状に加圧成形した後に、1300〜1500℃で1〜2時間焼結することにより、超硬合金からなる基材K(基材形状:CNMG120408NUX)および基材L(基材形状:SEET13T3AGSN−G)を得る。
基材Kまたは基材Lの表面上に、表2の被膜の構成の欄に示される下地膜、硬質被膜および最外膜を形成することによって、基材Kまたは基材Lの表面上に被膜が形成して切削工具(試料No.1〜18)を作製する。なお、試料No.1〜14の切削工具が実施例であり、試料No.15〜18の切削工具が比較例である。
上記のようにして作製される試料No.1〜18の切削工具を用いて、以下の切削試験1〜4を行う。
試料No.1〜7、15および16の切削工具について、以下の切削試験1の切削条件により逃げ面摩耗量(Vb)が0.20mmとなるまでの切削時間を測定するとともに刃先の最終損傷形態を観察する。その結果を表7に示す。
被削材:SUJ2丸棒
周速:300m/min
送り速度:0.15mm/rev
切込み量:1.0mm
切削液:有り
試料No.1〜7、15および16の切削工具について、以下の切削試験2の切削条件により逃げ面摩耗量(Vb)が0.20mmとなるまでの切削時間を測定するとともに刃先の最終損傷形態を観察する。その結果を表8に示す。
被削材:SCM440
周速:250m/min
送り速度:0.15mm/rev
切込み量:1.0mm
切削液:有り
試料No.8〜14、17および18の切削工具について、以下の切削試験3の切削条件により逃げ面摩耗量(Vb)が0.20mmとなるまでの切削距離を測定するとともに刃先の最終損傷形態を観察する。その結果を表9に示す。
被削材:FCD700ブロック材
周速:350m/min
送り速度:0.3mm/s
切込み量:2.0mm
切削液:有り
カッタ:WGC4160R(住友電工ハードメタル株式会社製)
試料No.8〜14、17および18の切削工具について、以下の切削試験4の切削条件により逃げ面摩耗量(Vb)が0.20mmとなるまでの切削距離を測定するとともに刃先の最終損傷形態を観察する。その結果を表10に示す。
被削材:S45Cブロック材
周速:160m/min
送り速度:0.3mm/s
切込み量:2.0mm
切削液:なし
カッタ:WGC4160R(住友電工ハードメタル株式会社製)
11 基材
12 基材セット治具
13 反応容器
14 調温装置
15 第1ガス導入管
16 ガス導入管
17 第2ガス導入管
18 ガス排気管
19 ガス排出口
20 下地膜
21 第1結晶相
21a Ti1-x1Alx1N層
21b Alx2Ti1-x2N層
22 第2結晶相
30 硬質被膜
41 バイノーダル線
42 スピノーダル線
50 被膜
Claims (5)
- 2つの第1結晶相と、
前記2つの第1結晶相の間に配置された第2結晶相と、を含み、
前記2つの第1結晶相は、それぞれ独立に、塩化ナトリウム型の結晶構造を有するTi1-x1Alx1N相と閃亜鉛鉱型の結晶構造を有するAlx2Ti1-x2N相とが交互に積層された構造を含み、
前記Ti1-x1Alx1N相のAl組成比x1は、0.1≦x1≦0.7の関係を満たし、
前記Alx2Ti1-x2N相のAl組成比x2は、0.7<x2≦0.95の関係を満たし、
前記第2結晶相は、ウルツ鉱型の結晶構造を有するAlNを含む、硬質被膜。 - 隣り合う前記Ti1-x1Alx1N相の1相当たりの厚さと前記Alx2Ti1-x2N相の1相当たりの厚さとの合計厚さは、1nm以上50nm以下である、請求項1に記載の硬質被膜。
- 前記Alx2Ti1-x2N相の圧縮残留応力の絶対値が0.3GPa以上3GPa以下である、請求項1または請求項2に記載の硬質被膜。
- 前記硬質被膜のナノインデンテーション法による押し込み硬さが30GPa以上である、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の硬質被膜。
- 基材と、
前記基材上の請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の硬質被膜と、を含む、切削工具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015005297A JP6349581B2 (ja) | 2015-01-14 | 2015-01-14 | 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015005297A JP6349581B2 (ja) | 2015-01-14 | 2015-01-14 | 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016130344A JP2016130344A (ja) | 2016-07-21 |
JP6349581B2 true JP6349581B2 (ja) | 2018-07-04 |
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ID=56415288
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015005297A Active JP6349581B2 (ja) | 2015-01-14 | 2015-01-14 | 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6349581B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110769956B (zh) * | 2017-06-20 | 2021-02-26 | 京瓷株式会社 | 涂层刀具、切削工具以及切削加工物的制造方法 |
CN108165937B (zh) * | 2018-01-16 | 2020-12-01 | 浙江神钢赛欧科技有限公司 | 一种纳米复合交替涂层刀具及其制备方法 |
JP6565092B1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-08-28 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
JP6565091B1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-08-28 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
US11311945B2 (en) * | 2018-03-22 | 2022-04-26 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and method for manufacturing same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02194159A (ja) * | 1988-03-24 | 1990-07-31 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
JP2979921B2 (ja) * | 1993-09-30 | 1999-11-22 | 住友電気工業株式会社 | 超薄膜積層体 |
JP4939032B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2012-05-23 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜、および硬質皮膜の製造方法 |
JP5231859B2 (ja) * | 2008-04-30 | 2013-07-10 | 住友電気工業株式会社 | 表面被覆切削工具 |
JP5995087B2 (ja) * | 2013-01-08 | 2016-09-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐酸化性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
-
2015
- 2015-01-14 JP JP2015005297A patent/JP6349581B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016130344A (ja) | 2016-07-21 |
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