JP6343154B2 - 窓箔保護ユニット及び電子線照射装置の整備方法 - Google Patents
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Description
使用例1は、例えば、短期間での整備作業で済む場合や、電子線透過ユニット50を電子線照射装置1から取り外す必要がない場合である。
使用例2は、例えば、電子線透過ユニット50とチャンバ30との接続部の確認など、電子線透過ユニット50を電子線照射装置1から取り外す必要がある場合である。
使用例3は、例えば、整備作業の長期化が見込まれる等によって、電子線透過ユニット50と蓋部101との間に形成される密閉空間S1を長時間、所望の陽圧に保持しておくことが困難であることが予想された場合である。
Claims (5)
- 電子線を発生する電子線発生部と、
前記電子線発生部を収容する筐体部と、
前記電子線を前記筐体部の内部から前記筐体部の外部に透過させる窓箔、及び前記窓箔を保持する枠体を有する電子線透過窓部と、を備える電子線照射装置に使用される窓箔保護ユニットであって、
電子線出射側から前記窓箔を覆うように前記枠体に取り付けられ、前記窓箔の電子線出射側に第1の密閉空間を形成する蓋部と、
前記第1の密閉空間の内外を連通する第1の連通部と、
前記第1の密閉空間内の気圧を計測する圧力計と、を備え、
前記蓋部の少なくとも一部は、透明となっている、窓箔保護ユニット。 - 前記蓋部は、本体部、及び本体部と前記枠体との間に挟まれる気密部材を有する、請求項1記載の窓箔保護ユニット。
- 前記気密部材の形状は、前記本体部及び前記枠体に対して面接触する平板状である、請求項2記載の窓箔保護ユニット。
- 電子線出射側と反対側から前記窓箔を覆うように前記枠体に取り付けられ、前記窓箔の電子線出射側と反対側に第2の密閉空間を形成する台座部と、
前記第2の密閉空間の内外を連通する第2の連通部と、を更に備える、請求項1〜3のいずれか一項記載の窓箔保護ユニット。 - 電子線を発生する電子線発生部と、
前記電子線発生部を収容する筐体部と、
前記電子線を前記筐体部の内部から前記筐体部の外部に透過させる窓箔、及び前記窓箔を保持する枠体を有する電子線透過窓部と、を備え、前記筐体部の内部の真空引き及び外部雰囲気への開放が可能な電子線照射装置の整備方法であって、
前記筐体部の内部が真空引きされた状態で前記窓箔の電子線出射側の空間を前記筐体部の外部雰囲気よりも陽圧の陽圧雰囲気に保持する第1の工程と、
前記第1の工程の後に、前記筐体部の内部を前記外部雰囲気に開放し、前記電子線照射装置の整備を行う第2の工程と、
前記第2の工程の後に、前記筐体部の内部を真空引きする第3の工程と、
前記第3の工程の後に、前記窓箔の電子線出射側の前記空間を前記外部雰囲気に開放する第4の工程と、を備え、
前記第1の工程では、
電子線出射側から前記窓箔を覆うように前記枠体に取り付けられ、前記窓箔の電子線出射側に密閉空間を形成する蓋部と、前記密閉空間の内外を連通する連通部と、前記密閉空間内の気圧を計測する圧力計と、を備え、前記蓋部の少なくとも一部が、透明となっている窓箔保護ユニットを用いて、前記窓箔の電子線出射側の前記空間を前記陽圧雰囲気に保持する、電子線照射装置の整備方法。
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