JP6336369B2

JP6336369B2 - Cover glass laminating equipment

Info

Publication number: JP6336369B2
Application number: JP2014203641A
Authority: JP
Inventors: 大介薦田
Original assignee: CLIMB PRODUCTS CO.,LTD.
Current assignee: CLIMB PRODUCTS CO.,LTD.
Priority date: 2014-10-02
Filing date: 2014-10-02
Publication date: 2018-06-06
Anticipated expiration: 2034-10-02
Also published as: JP2016069264A

Description

本発明は、液晶基板、太陽電池基板、タッチパネル基板などのガラス基板に対して、カバーガラスを貼合するための貼合装置に関する。本発明に係るカバーガラスの貼合装置は、とくに大サイズで大面積のガラス基板とカバーガラスを貼合対象とする。 The present invention relates to a bonding apparatus for bonding a cover glass to a glass substrate such as a liquid crystal substrate, a solar cell substrate, or a touch panel substrate. The cover glass laminating apparatus according to the present invention is intended to bond a glass substrate and a cover glass having a large size and a large area.

この種の貼合装置は、本出願人の提案に係る特許文献１に見ることができる。そこでは、可動テーブルに吸着固定したガラス基板と、複数組の吸着体で吸着固定したベースガラスとを所定の上下隙間を間にして正対させ、ベースガラスを接着ローラーで貼合始端から貼合終端へ向かって押付けることによりガラス基板に貼合する。貼合過程では、接着ローラーの接着移動に先行して、吸着体を吸着位置から退避位置へ退避させながら、ベースガラスをガラス基板に貼合する。特許文献１の貼合装置は、貼合途中のベースガラスを、接着ローラーで押圧された位置と、接着ローラーに最も近い位置の吸着体で吸着された位置との間で緩やかに弾性変形させ、貼合面に挟み込まれようとする空気を接着ローラーで強制的に逃がしながら貼合する点に特長がある。 This type of pasting device can be found in Patent Document 1 according to the applicant's proposal. There, the glass substrate adsorbed and fixed on the movable table and the base glass adsorbed and fixed with multiple sets of adsorbents are placed facing each other with a predetermined vertical gap, and the base glass is bonded from the bonding start end with an adhesive roller. Bonding to the glass substrate by pressing toward the end. In the pasting process, the base glass is pasted to the glass substrate while the adsorbent is retracted from the suction position to the retracted position prior to the adhesion movement of the adhesive roller. The bonding apparatus of Patent Document 1 gently and elastically deforms a base glass in the middle of bonding between a position pressed by an adhesive roller and a position adsorbed by an adsorbent closest to the adhesive roller, It is characterized in that it is bonded while forcibly releasing air that is about to be sandwiched between the bonding surfaces with an adhesive roller.

本発明においては、カバーガラスを貼合する過程において、カバーガラスの貼合終端をガラス基板から離れた状態に保持し続けるが、このような貼合形態は、特許文献２の貼り合せ装置に開示されている。そこでは、第１板状部材（ガラス基板）を貼り合わせステージ上に載置して吸着固定し、第２板状部材（カバーガラス）の両端を昇降操作可能なピローおよびヘッドで支持して、第１板状部材と第２板状部材を６ｍｍの対向隙間を介して正対させる。この状態で、第２板状部材の上面をローラーで第１板状部材に押付け、貼り合わせステージをローラーに対して移動させることにより、両板状部材を貼合する。貼合が開始されてから貼合が終了する直前まで、第２板状部材の貼合終端はピローで支持されて、第１板状部材の接着層より上方に位置保持されており、これにより、貼合途中の第２板状部材の貼り合せ角度（反り角度）が５度未満になるのを防いでいる。 In the present invention, in the process of bonding the cover glass, the bonding end of the cover glass continues to be kept away from the glass substrate. Such a bonding form is disclosed in the bonding apparatus of Patent Document 2. Has been. There, the first plate member (glass substrate) is placed on the bonding stage and fixed by suction, and both ends of the second plate member (cover glass) are supported by pillows and heads that can be moved up and down, The first plate member and the second plate member are opposed to each other through a 6 mm facing gap. In this state, the upper surface of the second plate-like member is pressed against the first plate-like member with a roller, and the two plate-like members are bonded together by moving the bonding stage relative to the roller. The pasting end of the second plate-like member is supported by a pillow until the end of the pasting after the pasting is started, and the position is held above the adhesive layer of the first plate-like member. The bonding angle (warp angle) of the second plate-like member in the middle of bonding is prevented from becoming less than 5 degrees.

特許第４８７００４６号公報（段落番号００３１〜００３２、図１）Japanese Patent No. 4870046 (paragraph numbers 0031 to 0032, FIG. 1) 特許第４７１２８８６号公報（段落番号００３１〜００３７、図１）Japanese Patent No. 4712886 (paragraph numbers 0031 to 0037, FIG. 1)

特許文献１の貼合装置によれば、気泡の発生を伴うことなくベースガラスをガラス基板に貼合して、ガラス積層品の生産性を向上し、その生産コストを削減できる。しかし、ベースガラスの貼合終端側を支持する吸着体が退避姿勢に切換るのと同時に、それまで弾性変形していたベースガラスが、自己の弾性力で跳ね上がってガラス基板に密着するため、稀にではあっても、気泡のかみ込みや接着終端の位置ずれなどの貼合不良を生じるおそれがあった。とくに、近年の液晶基板の対角寸法は大形化する傾向があるが、ガラス基板が大形化するほど弾性変形時の変形応力が大きくなって貼合不良を生じやすく、貼合不良をなくすための対策が強く望まれている。また、貼合不良を生じたガラス積層品は、ベースガラスをガラス基板から剥離して再貼合する必要があるが、再貼合作業に多くの手間と時間がかかり、さらに、剥離時の破損などでベースガラスを再利用できなかった場合のコストが余分に必要となる点に問題があった。 According to the bonding apparatus of Patent Document 1, it is possible to bond the base glass to the glass substrate without generating bubbles, improve the productivity of the glass laminate, and reduce the production cost. However, since the adsorbent supporting the bonding end side of the base glass switches to the retracted position, the base glass that has been elastically deformed so far springs up by its own elastic force and adheres to the glass substrate. Even in this case, there was a risk of poor bonding such as entrapment of bubbles and misalignment of the end of adhesion. In particular, the diagonal dimensions of liquid crystal substrates in recent years tend to be larger, but the larger the glass substrate, the greater the deformation stress during elastic deformation, which tends to cause poor bonding and eliminate poor bonding. Measures for this are strongly desired. In addition, it is necessary to peel and re-bond the base glass from the glass substrate for the laminated glass product that has caused poor bonding, but it takes a lot of labor and time for the re-bonding work. There is a problem in that extra costs are required when the base glass cannot be reused.

その点、特許文献２の貼り合せ装置は、貼合が開始されてから貼合が終了する直前まで、第２板状部材の貼合終端をピローで支持しているので、第２板状部材が跳ね上がることは殆んどない。しかし、特許文献２の貼り合せ装置は、対角寸法が５ｉｎ（１２７ｍｍ）以下の第１板状部材を貼合対象としており、さらに、第２板状部材の両側端の下面のみをヘッドとピローで支持するので、大サイズのカバーガラスを貼合するのには適さない。 In that respect, the bonding apparatus of Patent Document 2 supports the bonding end of the second plate-shaped member with a pillow from the start of bonding to just before the bonding ends, so the second plate-shaped member. Hardly jumps up. However, the bonding apparatus of Patent Document 2 targets the first plate-like member having a diagonal dimension of 5 in (127 mm) or less, and further, only the lower surfaces of both side ends of the second plate-like member are attached to the head and the pillow. It is not suitable for laminating a large cover glass.

例えば、対角寸法が１７７８ｍｍ（７０ｉｎ）のハイビジョンテレビ用の液晶基板に対して、特許文献２の貼り合せ装置でカバーガラスを貼合する場合を考えてみる。ハイビジョン画面の縦横比は１６対９であるので、液晶基板の左右長さは１５５０ｍｍとなる。このような長寸のカバーガラスの両側端の下面をヘッドとピローで支持すると、カバーガラスの板面の中途部が自重で下突状に大きく湾曲する。そのため、カバーガラスを液晶基板に対して正確に位置決めすることが極めて困難となる。また、特許文献２の貼り合せ装置においては、カバーガラスの貼り合せ角度を５度以上に保持して貼合を行っているが、大サイズのカバーガラスを貼合始端において５度まで傾斜させるには、貼合前の液晶基板とカバーガラスの対向隙間を１３５ｍｍにした状態で、カバーガラスの貼合始端をローラーで液晶基板に押付ける必要がある。実際には、先のようにガラス板面の中途部が自重で下突状に大きく湾曲するため、先の対向隙間をさらに大きくする必要があり、カバーガラスを液晶基板に対して正確に貼合することは極めて困難となる。 For example, consider a case in which a cover glass is bonded to a liquid crystal substrate for a high-definition television having a diagonal dimension of 1778 mm (70 inches) with the bonding apparatus of Patent Document 2. Since the aspect ratio of the high-definition screen is 16: 9, the left and right length of the liquid crystal substrate is 1550 mm. When the lower surfaces of both side ends of such a long cover glass are supported by the head and the pillow, the middle part of the plate surface of the cover glass is greatly curved in a downward projecting shape by its own weight. For this reason, it is extremely difficult to accurately position the cover glass with respect to the liquid crystal substrate. Moreover, in the bonding apparatus of patent document 2, although the bonding angle of a cover glass is hold | maintained at 5 degree | times or more, bonding is performed, In order to incline a large size cover glass to 5 degree | times in the bonding start end. Needs to press the bonding start edge of the cover glass against the liquid crystal substrate with a roller in a state where the facing gap between the liquid crystal substrate and the cover glass before bonding is 135 mm. Actually, as the middle part of the glass plate surface is curved under its own weight as described above, it is necessary to further increase the facing gap, and the cover glass is accurately bonded to the liquid crystal substrate. It becomes extremely difficult to do.

カバーガラスの厚みを増すと、板面の中途部におけるたわみ変形量をある程度は減らすことができるが、その場合には、カバーガラスの重量とコストが増加するのを避けられない。また、現状におけるカバーガラスの厚みは０．５〜０．７ｍｍであるが、カバーガラスの厚みが０．７ｍｍを越えると、ベースガラスの変形応力が急激に増加するため、先のように、貼合前の液晶基板とカバーガラスの対向隙間を１３５ｍｍにした状態で貼合を適正に行うことは、実用上極めて困難となる。 Increasing the thickness of the cover glass can reduce the amount of deflection deformation in the middle of the plate surface to some extent, but in that case, it is inevitable that the weight and cost of the cover glass increase. In addition, the thickness of the cover glass at present is 0.5 to 0.7 mm, but if the thickness of the cover glass exceeds 0.7 mm, the deformation stress of the base glass increases rapidly. It is practically extremely difficult to perform the bonding appropriately in a state where the facing gap between the liquid crystal substrate and the cover glass before bonding is set to 135 mm.

本発明の目的は、貼合終端におけるカバーガラスの跳ね上がりを解消して、カバーガラスとガラス基板の貼合を、空気のかみ込みを伴うことなく適正に行って生産性を向上でき、とくに大サイズのガラス積層品に好適なカバーガラスの貼合装置を提供することにある。 The object of the present invention is to eliminate the jumping of the cover glass at the end of the bonding, and to properly perform the bonding of the cover glass and the glass substrate without entrainment of air, and particularly to improve the productivity. An object of the present invention is to provide a cover glass laminating apparatus suitable for glass laminates.

本発明に係る貼合装置は、ガラス基板Ａを吸着保持する可動テーブル３と、カバーガラスＢを支持する調整テーブル２と、カバーガラスＢをガラス基板Ａに押付け操作する貼合ローラー４とを備えている。可動テーブル３が貼合位置へ移動操作された状態において、可動テーブル３に吸着保持したガラス基板Ａと、調整テーブル２のバックアップ体５で支持したカバーガラスＢとは、上下隙間Ｅを介して上下に対向している。カバーガラスＢの貼合終端には、液晶基板Ａから外側方へはみ出すはみ出し部７１を形成し、カバーガラスＢのはみ出し部７１を受止める接触規制構造を、可動テーブル３に設ける。接触規制構造は、可動テーブル３で上下スライド可能に支持されて、前記はみ出し部７１の上面に接当する規制具２２と、可動テーブル３に固定されて、規制具２２を昇降操作するガス圧シリンダー２０とを含む。貼合時には、カバーガラスＢの重量をバックアップ体５で支持し、はみ出し部７１を規制具２２で受止めた状態で、カバーガラスＢの貼合始端を貼合ローラー４でガラス基板Ａに押付けて、貼合ローラー４とカバーガラスＢを相対移動させることによりカバーガラスＢをガラス基板Ａに貼合する。貼合終端において、はみ出し部７１と規制具２２を、貼合ローラー４でガス圧シリンダー２０の押圧力に抗して上方移動させて、はみ出し部７１を規制具２２と貼合ローラー４とで挟持しながらカバーガラスＢの貼合終端をガラス基板Ａに密着貼合することを特徴とする。 The bonding apparatus according to the present invention includes a movable table 3 that holds the glass substrate A by suction, an adjustment table 2 that supports the cover glass B, and a bonding roller 4 that presses the cover glass B against the glass substrate A. ing. In a state where the movable table 3 is moved to the bonding position, the glass substrate A sucked and held by the movable table 3 and the cover glass B supported by the backup body 5 of the adjustment table 2 are vertically moved via the vertical gap E. Opposite to. At the bonding end of the cover glass B, a protruding portion 71 that protrudes outward from the liquid crystal substrate A is formed, and a contact restricting structure that receives the protruding portion 71 of the cover glass B is provided on the movable table 3. The contact restricting structure is supported by the movable table 3 so as to be slidable up and down, and a restricting tool 22 that comes into contact with the upper surface of the protruding portion 71 and a gas pressure cylinder that is fixed to the movable table 3 and moves the restricting tool 22 up and down. 20 and so on. At the time of bonding, the weight of the cover glass B is supported by the backup body 5, and the bonding start end of the cover glass B is pressed against the glass substrate A by the bonding roller 4 in a state where the protruding portion 71 is received by the restricting tool 22. The cover glass B is bonded to the glass substrate A by relatively moving the bonding roller 4 and the cover glass B. At the bonding end, the protruding portion 71 and the restricting tool 22 are moved upward against the pressing force of the gas pressure cylinder 20 by the bonding roller 4, and the protruding portion 71 is sandwiched between the restricting tool 22 and the bonding roller 4. the bonding end of the cover glass B, characterized in that adhesion bonding to the glass substrate a while.

規制具２２は、ガイドブッシュ２１で上下スライド自在に支持されるピン３７と、ピン３７の下端に固定されてはみ出し部７１の上面に接当する弾性体３８を備えている。弾性体３８の上下厚みはガラス基板Ａの上下厚みと同じかこれより小さく設定する。 The restricting tool 22 includes a pin 37 that is slidably supported by the guide bush 21 and an elastic body 38 that is fixed to the lower end of the pin 37 and contacts the upper surface of the protruding portion 71. The vertical thickness of the elastic body 38 is set to be equal to or smaller than the vertical thickness of the glass substrate A.

固定台１の内部に、貼合ローラー４を貼合始端位置から貼合終端位置へ向かって移動操作する、ローラー駆動構造を設ける。貼合ローラー４は、ローラー本体４３と、同本体４３を支持するローラー台４４を備えている。ローラー駆動構造は、ローラー台４４を昇降自在に支持する往復台５０と、往復台５０を貼合始端位置と貼合終端位置との間で駆動操作する駆動機構を備えている。ローラー台４４と往復台５０との間に、貼合ローラー４を下方の待機位置と、上方の貼合位置とに変位操作する昇降機構を設ける。 A roller driving structure for moving the bonding roller 4 from the bonding start end position toward the bonding end position is provided inside the fixed base 1. The bonding roller 4 includes a roller body 43 and a roller base 44 that supports the body 43. The roller drive structure includes a carriage 50 that supports the roller base 44 so as to be movable up and down, and a drive mechanism that drives the carriage 50 between a bonding start end position and a bonding end position. Between the roller base 44 and the carriage 50, an elevating mechanism that displaces the bonding roller 4 to a lower standby position and an upper bonding position is provided.

複数のガス圧シリンダー２０をテーブル本体７に固定したブラケット１９に締結する。ガス圧シリンダー２０は、締結軸部２６を一体に備えたシリンダー本体２７と、シリンダー本体２７に対して昇降移動するピストンロッド２８を含む。締結軸部２６にねじ込んだ一対のロックナット３３でブラケット１９の締結枠２３を上下に挟持して、ガス圧シリンダー２０をブラケット１９に締結固定する。一対のロックナット３３の締付位置を調整して、ガス圧シリンダー２０の固定高さを変更調整できる。 A plurality of gas pressure cylinders 20 are fastened to a bracket 19 fixed to the table body 7. The gas pressure cylinder 20 includes a cylinder body 27 integrally provided with a fastening shaft portion 26 and a piston rod 28 that moves up and down relative to the cylinder body 27. The gas pressure cylinder 20 is fastened and fixed to the bracket 19 by sandwiching the fastening frame 23 of the bracket 19 up and down with a pair of lock nuts 33 screwed into the fastening shaft portion 26. The fixing height of the gas pressure cylinder 20 can be changed and adjusted by adjusting the tightening positions of the pair of lock nuts 33.

可動テーブル３の吸着板９で吸着したガラス基板Ａと、調整テーブル２のシルクスクリーン５で保持したカバーガラスＢの位置合わせを行うための位置調整構造を備えている。位置調整構造は、固定台１と調整テーブル２との間に設けた位置調整装置６３と、可動テーブル３の上方に配置した基準側カメラ６４と、調整テーブル２の上方に配置した調整側カメラ６５と、アライメントコントローラーを備えている。位置合わせ時には、基準側カメラ６４と調整側カメラ６５の映像をアライメントコントローラーで照合し、同コントローラーからの出力信号に基づき、位置調整装置６３を作動させて、カバーガラスＢのガラス基板Ａに対する位置ずれを調整操作する。 A position adjustment structure for aligning the glass substrate A sucked by the suction plate 9 of the movable table 3 and the cover glass B held by the silk screen 5 of the adjustment table 2 is provided. The position adjustment structure includes a position adjustment device 63 provided between the fixed base 1 and the adjustment table 2, a reference side camera 64 disposed above the movable table 3, and an adjustment side camera 65 disposed above the adjustment table 2. And an alignment controller. At the time of alignment, the images of the reference side camera 64 and the adjustment side camera 65 are collated by the alignment controller, and the position adjustment device 63 is operated based on the output signal from the controller to shift the position of the cover glass B relative to the glass substrate A. Adjust the operation.

本発明に係る別の貼合装置は、ガラス基板Ａを吸着保持する可動テーブル３と、カバーガラスＢを支持する調整テーブル２と、カバーガラスＢをガラス基板Ａに押付け操作する貼合ローラー４とを備えている。可動テーブル３が貼合位置へ移動操作された状態において、可動テーブル３に吸着保持したガラス基板Ａと、調整テーブル２のバックアップ体５で支持したカバーガラスＢとは、上下隙間Ｅを介して上下に対向している。カバーガラスＢの貼合終端には、液晶基板Ａから外側方へはみ出すはみ出し部７１を形成し、貼合位置において、カバーガラスＢのはみ出し部７１を受止める接触規制構造を、可動テーブル３に設ける。接触規制構造は、可動テーブル３で上下スライド可能に支持されて、前記はみ出し部７１の上面に接当する規制具２２と、可動テーブル３に固定されて、規制具２２を昇降操作する数値制御が可能なモーターを含む。
貼合時には、カバーガラスＢの重量をバックアップ体５で支持し、はみ出し部７１を規制具２２で受止めた状態で、カバーガラスＢの貼合始端を貼合ローラー４でガラス基板Ａに押付けて、貼合ローラー４とカバーガラスＢを相対移動させることによりカバーガラスＢをガラス基板Ａに貼合する。貼合終端において、はみ出し部７１と規制具２２を、数値制御が可能なモーターで貼合ローラー４の押圧力に同調して上方移動させて、はみ出し部７１を規制具２２と貼合ローラー４とで挟持しながらカバーガラスＢの貼合終端をガラス基板Ａに密着貼合することを特徴とする。 Another bonding apparatus according to the present invention includes a movable table 3 that holds the glass substrate A by suction, an adjustment table 2 that supports the cover glass B, and a bonding roller 4 that presses the cover glass B against the glass substrate A. It has. In a state where the movable table 3 is moved to the bonding position, the glass substrate A sucked and held by the movable table 3 and the cover glass B supported by the backup body 5 of the adjustment table 2 are vertically moved via the vertical gap E. Opposite to. A protruding portion 71 that protrudes outward from the liquid crystal substrate A is formed at the bonding end of the cover glass B, and a contact restricting structure that receives the protruding portion 71 of the cover glass B is provided on the movable table 3 at the bonding position. . The contact restricting structure is supported by the movable table 3 so as to be slidable up and down, and a restricting tool 22 that comes into contact with the upper surface of the protruding portion 71 and a numerical control that is fixed to the movable table 3 and moves up and down the restricting tool 22. Includes possible motors.
At the time of bonding, the weight of the cover glass B is supported by the backup body 5, and the bonding start end of the cover glass B is pressed against the glass substrate A by the bonding roller 4 in a state where the protruding portion 71 is received by the restricting tool 22. The cover glass B is bonded to the glass substrate A by relatively moving the bonding roller 4 and the cover glass B. At the bonding end, the protruding portion 71 and the restricting tool 22 are moved upward in synchronization with the pressing force of the bonding roller 4 with a motor capable of numerical control, and the protruding portion 71 is moved to the restricting tool 22 and the bonding roller 4. The bonding terminal of the cover glass B is closely bonded to the glass substrate A while being sandwiched between the two.

本発明に係る貼合装置では、ガラス基板Ａを吸着保持する可動テーブル３と、カバーガラスＢを支持する調整テーブル２を、上下隙間Ｅを介して上下に対向させるようにした。また、貼合時には、カバーガラスＢの重量をバックアップ体５で支持し、そのはみ出し部７１を規制具２２で受止めた状態で、カバーガラスＢの貼合始端を貼合ローラー４でガラス基板Ａに押付けて、貼合ローラー４とカバーガラスＢを相対移動させることにより、カバーガラスＢをガラス基板Ａに密着貼合した。 In the bonding apparatus according to the present invention, the movable table 3 that sucks and holds the glass substrate A and the adjustment table 2 that supports the cover glass B are vertically opposed via the vertical gap E. Moreover, at the time of bonding, the weight of the cover glass B is supported by the backup body 5, and the bonding start end of the cover glass B is bonded to the glass substrate A by the bonding roller 4 in a state where the protruding portion 71 is received by the restricting tool 22. The cover glass B was adhered and bonded to the glass substrate A by moving the bonding roller 4 and the cover glass B relative to each other.

上記のように、カバーガラスＢの重量をバックアップ体５で支持した状態で貼合を行うと、従来の貼合装置とは異なり、貼合途中のカバーガラスＢが自重で下突湾曲状に変形するのを防止しながら貼合を行える。とくに、大サイズのカバーガラスＢであっても、その全面をバックアップ体５で適正に支持した状態で貼合できる。また、貼合時には、カバーガラスＢのはみ出し部７１の上面を規制具２２で受止めて、カバーガラスＢが貼合ローラー４の押圧部分から規制具２２へ向かって下り傾斜する状態で貼合するので、貼合面に挟み込まれようとする空気を、貼合ローラー４の進行方向へ向かって強制的に逃がしながら貼合できる。従って、貼合面に気泡が封じ込まれるのを確実に防止しながら、カバーガラスＢをガラス基板Ａに貼合できる。さらに、貼合終端においては、はみ出し部７１と規制具２２を、貼合ローラー４でガス圧シリンダー２０の押圧力に抗して上方移動させて、カバーガラスＢの貼合終端をガラス基板Ａに密着貼合する。このように、はみ出し部７１を規制具２２と貼合ローラー４で挟持した状態のままで上方移動させると、カバーガラスＢの貼合終端が液晶基板Ａ側へ跳ね上がるのを確実に防止できる。従って、カバーガラスＢの跳ね上がりに伴う、気泡のかみ込みや接着終端の位置ずれなどの貼合不良を一掃して生産性を向上でき、とくに大サイズのガラス積層品に好適なカバーガラスの貼合装置を提供できる。 As described above, when bonding is performed in a state where the weight of the cover glass B is supported by the backup body 5, unlike the conventional bonding apparatus, the cover glass B in the middle of bonding is deformed into a downward projecting curve by its own weight. Bonding can be performed while preventing this. In particular, even a large cover glass B can be bonded in a state where the entire surface is properly supported by the backup body 5. Moreover, the upper surface of the protrusion part 71 of the cover glass B is received by the control tool 22 at the time of bonding, and it bonds in the state which the cover glass B inclines down from the press part of the bonding roller 4 toward the control tool 22. Therefore, the air that is about to be sandwiched between the bonding surfaces can be bonded while forcibly escaping in the traveling direction of the bonding roller 4. Therefore, the cover glass B can be bonded to the glass substrate A while reliably preventing air bubbles from being sealed in the bonding surface. Furthermore, at the bonding end, the protruding portion 71 and the restricting tool 22 are moved upward against the pressing force of the gas pressure cylinder 20 by the bonding roller 4, and the bonding end of the cover glass B is moved to the glass substrate A. Adhere closely. Thus, if the protrusion part 71 is moved upwards in the state clamped with the control tool 22 and the bonding roller 4, it can prevent reliably that the bonding termination | terminus of the cover glass B jumps up to the liquid crystal substrate A side. Accordingly, it is possible to improve the productivity by eliminating the defective bonding such as the entrapment of bubbles and the positional deviation of the bonding end due to the jumping of the cover glass B, and the bonding of the cover glass particularly suitable for a large-sized glass laminate. Equipment can be provided.

ピン３７の下端に弾性体３８を固定した規制具２２によれば、カバーガラスＢのはみ出し部７１を弾性体３８で受止めた状態において、弾性体３８が弾性変形することで、はみ出し部７１に作用する受止め反力を分散させることができる。また、規制具２２と貼合ローラー４の近接距離が変化するのに伴って、はみ出し部７１の変形姿勢が連続して変化するが、こうした姿勢の変化に追随して弾性体３８が弾性変形するので、はみ出し部７１に作用する受止め反力を分散させることができる。従って、受止め反力がはみ出し部７１の１個所に集中するのを解消して、貼合時のはみ出し部７１の破損や傷つきを良く防止できる。弾性体３８の上下厚みを、ガラス基板Ａの上下厚みと同じかこれより小さく設定するのは、カバーガラスＢの貼合終端をガラス基板Ａに押付けた状態において、カバーガラスＢをガラス基板Ａに確実に密着させて、適正に貼合を行うためである。因みに、弾性体３８の上下厚みがガラス基板Ａの上下厚みより大きいと、吸着面９ａに接当した弾性体３８ではみ出し部７１が押返されて、カバーガラスＢの貼合終端をガラス基板Ａに確実に貼合できなくなるうえ、はみ出し部７１に過剰な力が加わって破損するおそれがある。 According to the restricting tool 22 in which the elastic body 38 is fixed to the lower end of the pin 37, the elastic body 38 is elastically deformed in a state where the protruding portion 71 of the cover glass B is received by the elastic body 38. The receiving reaction force acting can be dispersed. Further, as the proximity distance between the restricting tool 22 and the bonding roller 4 changes, the deformation posture of the protruding portion 71 changes continuously, but the elastic body 38 elastically deforms following such a change in posture. Therefore, the receiving reaction force acting on the protruding portion 71 can be dispersed. Accordingly, it is possible to eliminate the concentration of the receiving reaction force on one portion of the protruding portion 71 and to prevent the protruding portion 71 from being damaged or damaged during bonding. The upper and lower thickness of the elastic body 38 is set to be equal to or smaller than the upper and lower thickness of the glass substrate A. The cover glass B is attached to the glass substrate A in a state where the bonding end of the cover glass B is pressed against the glass substrate A. It is for making it stick firmly and performing bonding appropriately. Incidentally, when the upper and lower thickness of the elastic body 38 is larger than the upper and lower thickness of the glass substrate A, the protruding portion 71 is pushed back by the elastic body 38 in contact with the suction surface 9a, and the pasting end of the cover glass B is made the glass substrate A. In addition, the sticking cannot be reliably performed, and excessive force may be applied to the protruding portion 71 to cause damage.

固定台１の内部に、貼合ローラー４を往復操作するローラー駆動構造を設けると、可動テーブル３をテーブル駆動構造で往復操作する場合に比べて、可動テーブル３に比べて小形の貼合ローラー４を往復駆動すればよいので、ローラー駆動構造の構造を簡素化し、低コスト化できる。また、ローラー台４４と往復台５０との間に設けた昇降機構で貼合ローラー４を移動操作して、貼合ローラー４を往復台５０とともに往復移動させるので、カバーガラスＢとガラス基板Ａを常に一定の速度で、しかも安定した状態で的確に貼合できる。 When a roller driving structure for reciprocating the bonding roller 4 is provided inside the fixed base 1, the bonding roller 4 is smaller than the movable table 3 compared to the case where the movable table 3 is reciprocated by the table driving structure. Can be driven reciprocally, the structure of the roller drive structure can be simplified and the cost can be reduced. Moreover, since the laminating roller 4 is moved and operated by the elevating mechanism provided between the roller base 44 and the carriage 50 and the laminating roller 4 is moved back and forth together with the carriage 50, the cover glass B and the glass substrate A are moved. It can always be bonded accurately at a constant speed and in a stable state.

締結軸部２６を備えたシリンダー本体２７とピストンロッド２８を備えたガス圧シリンダー２０を、締結軸部２６にねじ込んだ一対のロックナット３３でブラケット１９の締結枠２３に挟持固定すると、締結構造を利用してガス圧シリンダー２０の固定高さを変更調整することができる。例えば、ガス圧シリンダー２０をテーブル本体７に近付けた状態でブラケット１９に固定したい場合には、上側のロックナット３３を緩め、下側のロックナット３３を締込んだのち、上下のロックナット３３を同時に締めこむことにより、ガス圧シリンダー２０の固定高さを低くすることができる。従って、別途高さ調整構造を設ける場合に比べて、接触規制構造の構造を簡素化してコストを削減できる。 When the cylinder body 27 having the fastening shaft portion 26 and the gas pressure cylinder 20 having the piston rod 28 are sandwiched and fixed to the fastening frame 23 of the bracket 19 by a pair of lock nuts 33 screwed into the fastening shaft portion 26, the fastening structure is obtained. By utilizing this, the fixed height of the gas pressure cylinder 20 can be changed and adjusted. For example, when it is desired to fix the gas pressure cylinder 20 to the bracket 19 in the state of being close to the table body 7, the upper lock nut 33 is loosened, the lower lock nut 33 is tightened, and then the upper and lower lock nuts 33 are tightened. By tightening at the same time, the fixed height of the gas pressure cylinder 20 can be lowered. Therefore, compared with the case where a separate height adjustment structure is provided, the structure of the contact regulation structure can be simplified and the cost can be reduced.

位置調整装置６３と、基準側カメラ６４および調整側カメラ６５と、アライメントコントローラーを備えた位置調整構造が設けてあると、各カメラ６４・６５の映像をアライメントコントローラーで照合し、同コントローラーからの出力信号に基づき、位置調整装置６３を作動させて、カバーガラスＢのガラス基板Ａに対する位置合わせを精密に、しかも自動的に行うことができる。従って、カバーガラスＢとガラス基板Ａの貼合を、位置ずれのない状態で常に適正に行うことができ、得られたガラス積層品の位置ずれに基づく不良率を大幅に低下して生産性を向上できる。 If the position adjustment device 63, the reference camera 64, the adjustment camera 65, and the position adjustment structure provided with the alignment controller are provided, the images of the cameras 64 and 65 are collated by the alignment controller, and output from the controller Based on the signal, the position adjusting device 63 is operated to accurately and automatically align the cover glass B with the glass substrate A. Therefore, the bonding of the cover glass B and the glass substrate A can always be properly performed without any positional deviation, and the defective rate based on the positional deviation of the obtained glass laminated product is greatly reduced to increase productivity. It can be improved.

本発明に係る別の貼合装置では、接触規制構造のガス圧シリンダー２０に換えて、数値制御が可能なモーターを駆動源にした。また、貼合終端において、はみ出し部７１と規制具２２を、数値制御が可能なモーターで貼合ローラー４の押圧力に同調して上方移動させて、カバーガラスＢの貼合終端をガラス基板Ａに密着貼合できるようにした。こうした貼合装置によれば、先に説明した貼合装置と同様に、大きなサイズのカバーガラスＢを貼合する場合であっても、貼合終端におけるカバーガラスＢの跳ね上がりを解消して、気泡のかみ込みや接着終端の位置ずれなどの貼合不良を一掃して生産性を向上できる。さらに、貼合終端においてはみ出し部７１と規制具２２を、数値制御が可能なモーターで貼合ローラー４の押圧力に同調して上方移動させるので、はみ出し部７１に無理な力が作用するのを解消して、大きなサイズのカバーガラスＢをガラス基板Ａに対して常に確実に貼合できる。 In another bonding apparatus according to the present invention, a motor capable of numerical control is used as a drive source instead of the gas pressure cylinder 20 having a contact regulating structure. Moreover, in the bonding termination | terminus, the protrusion part 71 and the control tool 22 are moved upwards in synchronization with the pressing force of the bonding roller 4 with a motor capable of numerical control, and the bonding termination of the cover glass B is moved to the glass substrate A. It was made possible to adhere and stick to. According to such a bonding apparatus, similarly to the bonding apparatus described above, even when the cover glass B having a large size is bonded, the jumping of the cover glass B at the bonding end is eliminated, and the bubbles Productivity can be improved by eliminating poor bonding such as biting and misalignment at the end of adhesion. Furthermore, since the protruding portion 71 and the restricting tool 22 are moved upward in synchronization with the pressing force of the bonding roller 4 with a motor capable of numerical control at the bonding end, an excessive force acts on the protruding portion 71. This eliminates the problem that the cover glass B having a large size can always be securely bonded to the glass substrate A.

本発明に係る貼合装置の接触規制構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the contact control structure of the bonding apparatus which concerns on this invention. 可動テーブルを待機姿勢にした状態の貼合装置の縦断正面図である。It is a vertical front view of the bonding apparatus in a state where the movable table is in a standby posture. 調整テーブルおよびローラー駆動構造の平面図である。It is a top view of an adjustment table and a roller drive structure. 可動テーブルを貼合姿勢にした状態の貼合装置の縦断正面図である。It is a vertical front view of the bonding apparatus of the state which made the movable table the bonding attitude | position. 図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。It is CC sectional view taken on the line in FIG. 貼合過程を示す動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing which shows the bonding process. 貼合終端における貼合状況を示す動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing which shows the bonding condition in the bonding termination | terminus.

（実施例１）図１ないし図７は、本発明に係るカバーガラスの貼合装置の実施例を示す。貼合装置は、例えば液晶基板（ガラス基板）Ａと、その表示面側を覆うカバーガラスＢを貼合して一体化するために設けられており、とくに対角寸法が４０ｉｎ以上で、８０ｉｎを越える大サイズの液晶基板Ａに適合した貼合装置となっている。カバーガラスＢは液晶基板Ａよりさらにひとまわり大きく形成してあり、その厚みは０．５ｍｍである。 (Example 1) FIG. 1 thru | or FIG. 7 shows the Example of the bonding apparatus of the cover glass which concerns on this invention. The laminating apparatus is provided for laminating and integrating, for example, a liquid crystal substrate (glass substrate) A and a cover glass B covering the display surface side. Especially, the diagonal dimension is 40 inches or more and 80 inches. It is a bonding device suitable for a large liquid crystal substrate A that exceeds. The cover glass B is formed to be slightly larger than the liquid crystal substrate A, and its thickness is 0.5 mm.

図２および図３において貼合装置は、固定台１と、固定台１で位置調整可能に支持される調整テーブル２と、固定台１に対して揺動開閉可能に連結される可動テーブル３と、貼合ローラー４などで構成する。固定台１は、左右に長い四角枠状に形成されており、その内部に先の貼合ローラー４と、貼合ローラー４を往復駆動するローラー駆動構造と、貼合ローラー４を昇降操作する昇降機構などが設けてある。調整テーブル２は、固定台１より一回り小さな左右に長い四角枠状に形成されており、その上開口にカバーガラスＢを支持するシルクスクリーン（バックアップ体）５が張設してある。カバーガラスＢは、シルクスクリーン５の内部に作用させた真空圧で吸着保持されており、シルクスクリーン５でカバーガラスＢの全体を支持することにより、カバーガラスＢの左右中途部が自重で下突状に湾曲するのを確実に防止できる。調整テーブル２と固定台１との間には、カバーガラスＢの液晶基板Ａに対する位置ずれを調整操作する位置調整構造が設けてある。 2 and 3, the bonding apparatus includes a fixed base 1, an adjustment table 2 that is supported by the fixed base 1 so that the position can be adjusted, and a movable table 3 that is connected to the fixed base 1 so as to be swingable and openable. It is composed of a bonding roller 4 and the like. The fixed base 1 is formed in a rectangular frame shape that is long on the left and right sides, and the inside of the pasting roller 4, a roller driving structure that drives the pasting roller 4 back and forth, and an elevation that moves the pasting roller 4 up and down. A mechanism is provided. The adjustment table 2 is formed in a rectangular frame shape that is slightly smaller to the left and right than the fixed base 1, and a silk screen (backup body) 5 that supports the cover glass B is stretched on the upper opening thereof. The cover glass B is adsorbed and held by the vacuum pressure applied to the inside of the silk screen 5, and by supporting the entire cover glass B with the silk screen 5, the middle part of the left and right sides of the cover glass B is impacted by its own weight. Can be reliably prevented. Between the adjustment table 2 and the fixed base 1, there is provided a position adjustment structure for adjusting the positional deviation of the cover glass B with respect to the liquid crystal substrate A.

可動テーブル３は、調整テーブル２よりひとまわり小さな横長四角形状に形成されるテーブル本体７を有し、その内部に真空チャンバー８が凹み形成され、図１に示すように、真空チャンバー８の開口面の側には、液晶基板Ａを吸着固定する吸着板９が固定してある。真空チャンバー８は、図示していない真空源と制御バルブ群を介して接続されており、必要に応じて真空圧を真空チャンバー８に作用させて液晶基板Ａを吸着でき、あるいは真空チャンバー８に対する真空圧の作用を停止して液晶基板Ａを開放できる。吸着板９は、貼合ローラー４の押圧力を受けても弾性変形しない金属板材からなり、その板面には吸着穴１０の一群が、一定間隔おきに、しかも一定のパターンで形成してある。 The movable table 3 has a table body 7 that is formed in a horizontally-long rectangular shape that is slightly smaller than the adjustment table 2, and a vacuum chamber 8 is formed in the inside thereof. As shown in FIG. The suction plate 9 for sucking and fixing the liquid crystal substrate A is fixed to this side. The vacuum chamber 8 is connected to a vacuum source (not shown) via a control valve group, and a vacuum pressure can be applied to the vacuum chamber 8 as necessary to adsorb the liquid crystal substrate A, or the vacuum to the vacuum chamber 8 can be absorbed. The liquid crystal substrate A can be opened by stopping the action of the pressure. The suction plate 9 is made of a metal plate material that is not elastically deformed even when the pressing force of the bonding roller 4 is received, and a group of suction holes 10 are formed on the plate surface at regular intervals and in a constant pattern. .

先に説明したように、可動テーブル３は固定台１で揺動開閉可能に支持される。そのために、固定台１の左側端に前後一対のブラケット１３を固定し、可動テーブル３の側にＬ字状の前後一対の揺動アーム１４を固定し、これら両者１３・１４を揺動軸１５で連結している。揺動軸１５は、それぞれ前後の揺動アーム１４に固定してあり、揺動軸１５をブラケット１３に固定したギヤードモーター１６で回転操作することにより、可動テーブル３を待機位置と貼合位置に自動的に開閉できる。待機位置における可動テーブル３は、吸着板９が水平姿勢になって、その吸着面９ａが上向きになっている。また、可動テーブル３を貼合姿勢にした状態では、先の吸着面９ａが調整テーブル２と平行に正対して、固定台１に設けた位置決めピン１７で受止められている。 As described above, the movable table 3 is supported by the fixed base 1 so as to be swingable and openable. For this purpose, a pair of front and rear brackets 13 are fixed to the left end of the fixed base 1, and a pair of L-shaped front and rear swing arms 14 are fixed to the movable table 3 side. It is connected with. The swing shaft 15 is fixed to the front and rear swing arms 14, respectively. By rotating the swing shaft 15 with a geared motor 16 fixed to the bracket 13, the movable table 3 is moved to the standby position and the bonding position. It can be opened and closed automatically. The movable table 3 in the standby position has the suction plate 9 in a horizontal posture and the suction surface 9a facing upward. Further, in the state where the movable table 3 is in the bonding posture, the previous suction surface 9 a faces the parallel to the adjustment table 2 and is received by the positioning pins 17 provided on the fixed base 1.

図４に示すように、可動テーブル３の揺動先端側の上面には、貼合時にカバーガラスＢの貼合終端が跳ね動くのを規制する接触規制構造が設けてある。図１に示すように、接触規制構造は、テーブル本体７の外面に設けたブラケット１９で支持される１個以上のエアーシリンダー（ガス圧シリンダー）２０と、テーブル本体７に固定したガイドブッシュ２１で上下スライド自在に支持される規制具２２を備えている。この実施例では、ブラケット１９に５個のエアーシリンダー２０が配置してある場合を示している。ブラケット１９は、前後に長い樋体状の締結枠２３と、締結枠２３の左右側面を支持する複数組のＬ字状の支持脚２４とからなり、締結枠２３の底壁に先のエアーシリンダー２０が、一定間隔おきに締結固定してある。 As shown in FIG. 4, the upper surface of the movable table 3 on the swinging tip side is provided with a contact restricting structure that restricts the bonding end of the cover glass B from jumping during bonding. As shown in FIG. 1, the contact restricting structure includes one or more air cylinders (gas pressure cylinders) 20 supported by a bracket 19 provided on the outer surface of the table body 7 and a guide bush 21 fixed to the table body 7. A restricting tool 22 supported so as to be slidable up and down is provided. In this embodiment, a case where five air cylinders 20 are arranged on the bracket 19 is shown. The bracket 19 includes a frame-like fastening frame 23 that is long in the front and rear, and a plurality of sets of L-shaped support legs 24 that support the left and right side surfaces of the fastening frame 23. 20 is fastened and fixed at regular intervals.

図１において、エアーシリンダー２０は、締結軸部２６を一体に備えたシリンダー本体２７と、シリンダー本体２７に対して出退操作されるピストンロッド２８を備えたダブルアクション型のシリンダーからなり、ピストン２９で区分される作動室のそれぞれが、切換弁３０を介してポンプ３１に接続してある。シリンダー本体２７と切換弁３０を接続する通路には、それぞれ圧力調整弁３２が設けてある。締結軸部２６の周面には雄ねじが形成してあり、この軸部２６を締結枠２３の底壁に設けた締結穴に挿通し、締結軸部２６にねじ込まれた２個のロックナット３３で、先の底壁を挟持することにより、エアーシリンダー２０をブラケット１９に固定できる。締結軸部２６と、同軸部２６にねじ込んだロックナット３３は高さ調整構造を兼ねており、両ロックナット３３の締結軸部２６に対する固定位置を変更することにより、エアーシリンダー２０の可動テーブル３に対する固定高さを調整することができる。切換弁３０は電磁操作弁からなり、図１に示す切換え状態ではピストンロッド２８が進出移動し、逆の切換え状態ではピストンロッド２８が退入移動する。ピストンロッド２８の突端には、規制具２２のピン３７を連結するためのねじ軸３４が形成してある。 In FIG. 1, the air cylinder 20 includes a cylinder main body 27 integrally provided with a fastening shaft portion 26, and a double action type cylinder including a piston rod 28 that is operated with respect to the cylinder main body 27. Each of the working chambers divided by (1) is connected to the pump 31 via the switching valve 30. A pressure adjusting valve 32 is provided in each passage connecting the cylinder body 27 and the switching valve 30. A male screw is formed on the peripheral surface of the fastening shaft portion 26, and the shaft portion 26 is inserted into a fastening hole provided in the bottom wall of the fastening frame 23, and two lock nuts 33 screwed into the fastening shaft portion 26 are inserted. Thus, the air cylinder 20 can be fixed to the bracket 19 by sandwiching the bottom wall. The fastening shaft portion 26 and the lock nut 33 screwed into the coaxial portion 26 also serve as a height adjustment structure, and the movable table 3 of the air cylinder 20 is changed by changing the fixing position of the lock nuts 33 with respect to the fastening shaft portion 26. The fixed height with respect to can be adjusted. The switching valve 30 is an electromagnetically operated valve. In the switching state shown in FIG. 1, the piston rod 28 moves forward, and in the reverse switching state, the piston rod 28 moves back and forth. A screw shaft 34 for connecting the pin 37 of the restricting tool 22 is formed at the protruding end of the piston rod 28.

規制具２２は、ガイドブッシュ２１で上下スライド自在に支持される複数のピン３７と、ピン３７の下端に固定される弾性体３８とで構成してある。図１においてガイドブッシュ２１は、テーブル本体７の上壁に固定されて、真空チャンバー８を上下に貫いており、その下端は吸着板９を受止めている。ピン３７の上部にはねじ穴３９が形成してあり、このねじ穴３９にピストンロッド２８のねじ軸３４をねじ込んで、ロックナット４０で固定することにより、ピン３７がピストンロッド２８と同行移動可能に連結してある。この連結状態のピン３７は、ガイドブッシュ２１を上下に貫通して、弾性体３８が吸着板９の吸着面９ａより下方に突出している。弾性体３８は、硬質ゴムあるいは硬質のエラストマーを素材とする、カバーガラスＢの前後幅と同じか、これより僅かに長いフラットバーからなり、図示していないビスでピン３７の下面に固定してあり、所定の外力が作用して始めて弾性変形する。弾性体３８の上下厚みは、液晶基板Ａの上下厚みと同じかこれより小さく設定するが、その理由は後述する。 The restricting tool 22 includes a plurality of pins 37 that are supported by the guide bush 21 so as to be vertically slidable, and an elastic body 38 that is fixed to the lower end of the pins 37. In FIG. 1, the guide bush 21 is fixed to the upper wall of the table body 7 and penetrates the vacuum chamber 8 up and down, and the lower end receives the suction plate 9. A screw hole 39 is formed in the upper portion of the pin 37, and the screw shaft 34 of the piston rod 28 is screwed into the screw hole 39 and fixed with a lock nut 40, so that the pin 37 can move along with the piston rod 28. It is connected to. The pin 37 in the connected state penetrates the guide bush 21 up and down, and the elastic body 38 projects downward from the suction surface 9 a of the suction plate 9. The elastic body 38 is a flat bar made of hard rubber or hard elastomer and having the same width as the front and rear of the cover glass B or slightly longer than this, and is fixed to the lower surface of the pin 37 with a screw (not shown). Yes, elastic deformation occurs only when a predetermined external force is applied. The upper and lower thickness of the elastic body 38 is set equal to or smaller than the upper and lower thickness of the liquid crystal substrate A, and the reason will be described later.

図４において貼合ローラー４は、ローラー本体４３と、ローラー本体４３を支持するローラー台４４とを備えている。図１に示すように、ローラー本体４３は、金属製のローラー軸４５と、ローラー軸４５の外面を覆う硬質ゴム製のローラー筒４６とで構成してあり、ローラー軸４５の前後端が、ローラー台４４に設けた前後一対のローラーブラケット４７で回転自在に支持してある。貼合ローラー４を図４に示す貼合始端と、図４に向かって右端の貼合終端との間で往復駆動するためにローラー駆動構造を設けている。 In FIG. 4, the bonding roller 4 includes a roller main body 43 and a roller base 44 that supports the roller main body 43. As shown in FIG. 1, the roller body 43 includes a metal roller shaft 45 and a hard rubber roller cylinder 46 covering the outer surface of the roller shaft 45, and the front and rear ends of the roller shaft 45 are rollers. A pair of front and rear roller brackets 47 provided on the base 44 are rotatably supported. In order to reciprocate the bonding roller 4 between the bonding start end shown in FIG. 4 and the bonding end at the right end toward FIG. 4, a roller driving structure is provided.

ローラー駆動構造は、ローラー台４４をスライド軸４９を介して昇降自在に支持する往復台５０と、往復台５０を往復駆動操作する駆動機構とからなる。駆動機構は、固定台１の前後に配置される送りねじ軸５１と、往復台５０の下面に固定されて送りねじ軸５１と噛合う雌ねじ体５２と、固定台１に固定したギヤードモーター５３の回転動力を前後の送りねじ軸５１に伝導するタイミングベルト機構５４などで構成してある。ローラー台４４と往復台５０との間に、貼合ローラー４を昇降操作する昇降機構が設けてあり、昇降機構は前後一対のエアーシリンダー５６で構成されている。図４に示すように、エアーシリンダー５６のシリンダー本体５７は、往復台５０側のシリンダーブラケット５８に固定してあり、ピストンロッド５９はローラー台４４側のロッドブラケット６０に固定してある。従って、シリンダー本体５７に加圧空気を送給すると、ローラー台４４および貼合ローラー４を上昇移動させて貼合姿勢に切換えることができる。 The roller drive structure includes a carriage 50 that supports the roller base 44 so as to be movable up and down via a slide shaft 49, and a drive mechanism that drives the carriage 50 to reciprocate. The drive mechanism includes a feed screw shaft 51 arranged before and after the fixed base 1, a female screw body 52 fixed to the lower surface of the carriage 50 and meshing with the feed screw shaft 51, and a geared motor 53 fixed to the fixed base 1. A timing belt mechanism 54 that conducts rotational power to the front and rear feed screw shafts 51 is formed. Between the roller base 44 and the carriage 50, an elevating mechanism for elevating the bonding roller 4 is provided, and the elevating mechanism is composed of a pair of front and rear air cylinders 56. As shown in FIG. 4, the cylinder body 57 of the air cylinder 56 is fixed to the cylinder bracket 58 on the carriage 50 side, and the piston rod 59 is fixed to the rod bracket 60 on the roller table 44 side. Therefore, when pressurized air is supplied to the cylinder body 57, the roller base 44 and the bonding roller 4 can be moved up and switched to the bonding posture.

吸着板９で吸着された液晶基板Ａと、調整テーブル２のシルクスクリーン５で保持されたカバーガラスＢとは、おおまかに位置決めされているものの、両者の位置精度は十分ではない。液晶基板ＡとカバーガラスＢには、予め位置決め用のマークが表示してあり、これらのマークを位置基準にして、位置調整構造で位置合わせを行うことにより、貼合時の液晶基板ＡとカバーガラスＢの基準位置に対する位置ずれ量が、±５μｍの範囲内に収まるように高精度化している。位置調整構造は、固定台１と調整テーブル２との間に設けた前後一対の位置調整装置６３と、待機位置における可動テーブル３の上方の左右２個所に配置した基準側カメラ６４と、調整テーブル２の上方の左右２個所に配置した調整側カメラ６５と、アライメントコントローラーなどで構成してある。調整時には、基準側カメラ６４と調整側カメラ６５で取込んだ位置決めマークの映像をアライメントコントローラーで照合し、同コントローラーからの出力信号に基づき位置調整装置６３を作動させて、カバーガラスＢの液晶基板Ａに対する位置ずれを調整する。 Although the liquid crystal substrate A sucked by the suction plate 9 and the cover glass B held by the silk screen 5 of the adjustment table 2 are roughly positioned, the positional accuracy of both is not sufficient. Positioning marks are displayed in advance on the liquid crystal substrate A and the cover glass B. By aligning these marks with the position adjustment structure using the marks as a position reference, the liquid crystal substrate A and the cover at the time of bonding are used. The positional deviation amount of the glass B with respect to the reference position is increased so as to be within a range of ± 5 μm. The position adjustment structure includes a pair of front and rear position adjustment devices 63 provided between the fixed base 1 and the adjustment table 2, reference side cameras 64 disposed at two left and right positions above the movable table 3 at the standby position, and an adjustment table. 2 is composed of an adjustment-side camera 65 arranged at two positions on the left and right above 2, and an alignment controller. At the time of adjustment, the alignment mark image captured by the reference side camera 64 and the adjustment side camera 65 is collated by the alignment controller, and the position adjustment device 63 is operated based on the output signal from the controller, and the liquid crystal substrate of the cover glass B Adjust the misalignment with respect to A.

液晶基板ＡとカバーガラスＢは以下の手順で貼合する。まず、図２に示すように可動テーブル３を待機位置へ開放揺動して吸着板９の上面に液晶基板Ａを載置し、真空チャンバー８に真空圧を作用させて液晶基板Ａを吸着固定する。この状態で剥離紙を除去して、液晶基板Ａに設けた透明な接着材層７０を露出させる。硬化収縮に伴う表示むらを防ぐために、接着材層７０の厚みは０．５ｍｍとした。同様に、シルクスクリーン５の上面にカバーガラスＢを載置して位置決めする。この状態で、基準側カメラ６４と調整側カメラ６５によって液晶基板ＡおよびカバーガラスＢに設けた位置決めマークの映像を取込み、両マークの位置ずれ状況をアライメントコントローラーで照合し位置調整装置６３を作動させて、位置合わせ結果が適正であるか否かを、位置決めマークの位置合わせ状況から判定する。アライメントコントローラーによる照合と位置調整装置６３による位置調整を複数回行うことにより、カバーガラスＢと液晶基板Ａの位置決めを精密に行うことができる。 The liquid crystal substrate A and the cover glass B are bonded by the following procedure. First, as shown in FIG. 2, the movable table 3 is opened and swung to the standby position, the liquid crystal substrate A is placed on the upper surface of the suction plate 9, and the vacuum pressure is applied to the vacuum chamber 8 to fix the liquid crystal substrate A by suction. To do. In this state, the release paper is removed to expose the transparent adhesive layer 70 provided on the liquid crystal substrate A. In order to prevent display unevenness due to curing shrinkage, the thickness of the adhesive layer 70 was set to 0.5 mm. Similarly, the cover glass B is placed on the upper surface of the silk screen 5 and positioned. In this state, the reference-side camera 64 and the adjustment-side camera 65 capture the image of the positioning mark provided on the liquid crystal substrate A and the cover glass B, and the position adjustment device 63 is operated by collating the positional deviation status of both marks with the alignment controller. Whether or not the alignment result is appropriate is determined from the alignment state of the positioning mark. By performing the collation by the alignment controller and the position adjustment by the position adjusting device 63 a plurality of times, the cover glass B and the liquid crystal substrate A can be precisely positioned.

位置決めが終了したのち、可動テーブル３を貼合位置まで回動操作して、液晶基板ＡをカバーガラスＢに対して、上下隙間Ｅを介して上下に対向させる。上下隙間Ｅの値は、液晶基板Ａの対角寸法によって０．２〜０．５ｍｍの範囲で選定することができ、この実施例では０．３ｍｍとした。先に説明したように、カバーガラスＢは液晶基板Ａよりひとまわり大きく形成してあるため、貼合位置におけるカバーガラスＢの４辺縁は液晶基板Ａの周縁からはみ出している。このはみ出し部分のうち、液晶基板Ａの貼合終端の外側方へはみ出しているはみ出し部７１を、図６（ａ）に示すように、接触規制構造の規制具２２で受止める。詳しくは、可動テーブル３が貼合位置まで回動操作されたのち、エアーシリンダー２０を作動させて、ピストンロッド２８および規制具２２を下降操作して、弾性体３８をはみ出し部７１に接当させる。 After the positioning is completed, the movable table 3 is rotated to the bonding position so that the liquid crystal substrate A is opposed to the cover glass B in the vertical direction via the vertical gap E. The value of the vertical gap E can be selected in the range of 0.2 to 0.5 mm depending on the diagonal dimension of the liquid crystal substrate A, and is 0.3 mm in this embodiment. As described above, since the cover glass B is formed to be slightly larger than the liquid crystal substrate A, the four edges of the cover glass B at the bonding position protrude from the periphery of the liquid crystal substrate A. Out of the protruding portion, the protruding portion 71 protruding outside the bonding end of the liquid crystal substrate A is received by the restricting tool 22 of the contact restricting structure as shown in FIG. Specifically, after the movable table 3 is rotated to the bonding position, the air cylinder 20 is operated, the piston rod 28 and the restricting tool 22 are moved down, and the elastic body 38 is brought into contact with the protruding portion 71. .

上記の状態で、貼合ローラー４およびローラー台４４を、エアーシリンダー５６で下方の待機姿勢から上方の貼合姿勢に切換えて、図６（ｂ）に示すようにカバーガラスＢの貼合始端を液晶基板Ａに押付ける。同時に、ローラー駆動構造の送りねじ軸５１を回転駆動して、図６（ｃ）に示すように往復台５０、ローラー台４４、および貼合ローラー４を貼合終端へ向かって送り操作する。このとき、カバーガラスＢのはみ出し部７１は、依然として規制具２２で受止められているので、カバーガラスＢは、貼合ローラー４で押圧されている部分から弾性体３８へ向かって下り傾斜した弾性変形状態で貼合される。そのため、貼合面に挟み込まれようとする空気を、貼合ローラー４の進行方向へ向かって強制的に逃がすことができ、従って、貼合面に気泡が封じ込まれるのを確実に防止しながら、カバーガラスＢを液晶基板Ａに貼合できる。 In the above state, the laminating roller 4 and the roller base 44 are switched from the lower standby posture to the upper laminating posture by the air cylinder 56, and as shown in FIG. Press against the liquid crystal substrate A. At the same time, the feed screw shaft 51 of the roller driving structure is rotationally driven, and the carriage 50, the roller base 44, and the bonding roller 4 are fed toward the bonding end as shown in FIG. 6 (c). At this time, since the protruding portion 71 of the cover glass B is still received by the restricting tool 22, the cover glass B is elastically inclined downward from the portion pressed by the bonding roller 4 toward the elastic body 38. Bonded in a deformed state. Therefore, the air that is about to be sandwiched between the bonding surfaces can be forcibly released toward the traveling direction of the bonding roller 4, and thus reliably preventing bubbles from being trapped in the bonding surfaces. The cover glass B can be bonded to the liquid crystal substrate A.

貼合ローラー４が貼合終端の近傍にまで達した状態においても、図７（ａ）に示すように、カバーガラスＢのはみ出し部７１は規制具２２で受止められている。しかし、貼合ローラー４が液晶基板Ａの貼合終端に達したのちは、図７（ｂ）に示すように、はみ出し部７１と規制具２２が、貼合ローラー４でエアーシリンダー２０の押圧力に抗して上方移動されて、カバーガラスＢの貼合終端が液晶基板Ａに貼合される。また、貼合ローラー４が図７（ｂ）に示す位置まで移動したことを図示していないセンサーで検知して、切換弁３０を中立位置へ戻すことにより、エアーシリンダー２０の作動を停止させて、規制具２２に作用する押圧力を開放する。こののちに、昇降機構のエアーシリンダー５６を下降操作することにより、カバーガラスＢの貼合処理を終了する。このように、貼合処理が終了する直前の、接触規制構造のエアーシリンダー２０の作動停止タイミングを、昇降機構のエアーシリンダー５６の下降動作タイミングより僅かに先行させることにより、カバーガラスＢの貼合終端を液晶基板Ａに貼合したのちに、はみ出し部７１が規制具２２で押し戻されるのを確実に防止できる。上記のように、はみ出し部７１と規制具２２をエアーシリンダー２０の押圧力に抗して上方移動操作するために、貼合ローラー４を昇降操作するエアーシリンダー５６の操作力は、規制具２２を操作するエアーシリンダー２０の操作力より大きく設定してある。 Even in the state where the bonding roller 4 reaches the vicinity of the bonding end, the protruding portion 71 of the cover glass B is received by the restricting tool 22 as shown in FIG. However, after the bonding roller 4 reaches the bonding end of the liquid crystal substrate A, the protruding portion 71 and the regulating tool 22 are pressed by the air cylinder 20 with the bonding roller 4 as shown in FIG. And the bonding end of the cover glass B is bonded to the liquid crystal substrate A. Further, the operation of the air cylinder 20 is stopped by detecting that the bonding roller 4 has moved to the position shown in FIG. 7B by a sensor (not shown) and returning the switching valve 30 to the neutral position. The pressing force acting on the restricting tool 22 is released. Thereafter, the air cylinder 56 of the lifting mechanism is lowered to finish the cover glass B bonding process. Thus, bonding of the cover glass B is performed by slightly bringing the operation stop timing of the air cylinder 20 of the contact restriction structure just before the bonding process is finished earlier than the lowering operation timing of the air cylinder 56 of the lifting mechanism. After the end is bonded to the liquid crystal substrate A, the protruding portion 71 can be reliably prevented from being pushed back by the restricting tool 22. As described above, the operating force of the air cylinder 56 that moves the bonding roller 4 up and down in order to move the protruding portion 71 and the restricting tool 22 upward against the pressing force of the air cylinder 20 causes the restricting tool 22 to operate. It is set larger than the operating force of the air cylinder 20 to be operated.

図７（ｂ）に示すように、カバーガラスＢの貼合終端がガラス基板Ａに押付けられた状態では、はみ出し部７１が弾性体３８で受け止められている。この状態において、カバーガラスＢをガラス基板Ａに確実に密着させて、適正に貼合を行うために、弾性体３８の上下厚みをガラス基板Ａの上下厚みと同じかこれより小さく設定している。なお、弾性体３８の上下厚みが液晶基板Ａの上下厚みより大きいと、はみ出し部７１が吸着面９ａに接当した弾性体３８で押返されて、カバーガラスＢの貼合終端をガラス基板Ａに確実に貼合できなくなる。また、はみ出し部７１に過剰な力が加わって破損するおそれがある。 As shown in FIG. 7B, the protruding portion 71 is received by the elastic body 38 in the state where the bonding end of the cover glass B is pressed against the glass substrate A. In this state, the upper and lower thickness of the elastic body 38 is set to be equal to or smaller than the upper and lower thickness of the glass substrate A in order to securely adhere the cover glass B to the glass substrate A and perform proper bonding. . If the upper and lower thickness of the elastic body 38 is larger than the upper and lower thickness of the liquid crystal substrate A, the protruding portion 71 is pushed back by the elastic body 38 in contact with the suction surface 9a, and the bonding end of the cover glass B is made the glass substrate A. It will not be possible to securely bond. Further, an excessive force may be applied to the protruding portion 71 to cause damage.

カバーガラスＢの貼合が終了したら、貼合ローラー４を下方の待機姿勢へ下降させ、ローラー駆動構造の送りねじ軸５１を逆向きに回転駆動して、貼合ローラー４を貼合始端位置へ戻す。その間に、可動テーブル３を待機位置へ回動操作し、真空チャンバー８に対する真空圧の供給を停止した状態で、カバーガラスＢが貼合された液晶基板Ａを取り出す。以後、上記の手順を繰り返し行うことにより、カバーガラスＢの液晶基板Ａに対する貼合を連続して行える。 When the bonding of the cover glass B is completed, the bonding roller 4 is lowered to the lower standby position, the feed screw shaft 51 of the roller drive structure is rotated in the reverse direction, and the bonding roller 4 is moved to the bonding start end position. return. In the meantime, the movable table 3 is turned to the standby position, and the supply of the vacuum pressure to the vacuum chamber 8 is stopped, and the liquid crystal substrate A to which the cover glass B is bonded is taken out. Thereafter, the cover glass B can be continuously bonded to the liquid crystal substrate A by repeating the above procedure.

以上のように構成した貼合装置によれば、はみ出し部７１を規制具２２で受止めて、カバーガラスＢが貼合ローラー４の押圧部から弾性体３８へ向かって下り傾斜した状態で貼合を行うので、気泡が貼合面に封じ込まれるのを確実に防止しながら貼合することができる。また、貼合ローラー４が液晶基板Ａの貼合終端に達した状態においても、はみ出し部７１を規制具２２で受止めて、カバーガラスＢが液晶基板Ａ側へ跳ね上がるのを防止するので、カバーガラスＢの跳ね上がりに伴う、気泡のかみ込みや接着終端の位置ずれなどの貼合不良を一掃できる。さらに、貼合終端においては、はみ出し部７１と規制具２２を貼合ローラー４で強制的に液晶基板Ａへ向かって押上げ操作しながら、カバーガラスＢを貼合するので、変形応力が大きな大サイズのカバーガラスＢであっても、確実に貼合を行ってはみ出し部７１の跳ね上がりに伴う貼合不良を解消できる。 According to the bonding apparatus configured as described above, the protruding portion 71 is received by the restriction tool 22, and the bonding is performed in a state where the cover glass B is inclined downward from the pressing portion of the bonding roller 4 toward the elastic body 38. Since it performs, it can bond, preventing reliably that a bubble is sealed in the bonding surface. In addition, even when the bonding roller 4 reaches the bonding end of the liquid crystal substrate A, the protruding portion 71 is received by the restricting tool 22 to prevent the cover glass B from jumping to the liquid crystal substrate A side. Bonding defects such as encroachment of bubbles and misalignment of the end of adhesion accompanying the splashing of the glass B can be eliminated. Furthermore, at the bonding end, the cover glass B is bonded while the protrusion 71 and the restricting tool 22 are forcedly pushed up toward the liquid crystal substrate A by the bonding roller 4, so that the deformation stress is large. Even if it is the cover glass B of a size, it can bond reliably and can eliminate the bonding defect accompanying the jumping-up of the protrusion part 71. FIG.

上記の実施例では、バックアップ体５としてシルクスクリーンを適用したがその必要はなく、貼合ローラー４の進行方向に複数組の真空吸着体を配置して、カバーガラスＢを吸着固定することができる。この場合の真空吸着体は、貼合ローラー４の進行に先行して、同ローラー４の移動軌跡の外へ退避移動する。ガス圧シリンダー２０としては、エアーシリンダーが好適であるが、圧縮可能なガスを作動ガスとするシリンダーであってもよい。ガス圧シリンダー２０の設置個数が少ない場合の弾性体３８はフラットバーで構成し、必要に応じてバックアップ枠で補強しておくことが好ましいが、ガス圧シリンダー２０の設置個数が多い場合の弾性体３８は、個々のピン３７の下端に、図示していないビスで個別に固定してあってもよい。あるいは、２個の隣接するピン３７ごとにビスで弾性体３８が固定してあってもよい。 In the above embodiment, a silk screen is applied as the backup body 5, but it is not necessary, and a plurality of sets of vacuum suction bodies can be arranged in the advancing direction of the laminating roller 4 to adsorb and fix the cover glass B. . The vacuum suction body in this case retreats out of the movement locus of the roller 4 prior to the progress of the bonding roller 4. The gas pressure cylinder 20 is preferably an air cylinder, but may be a cylinder using a compressible gas as a working gas. The elastic body 38 when the number of installed gas pressure cylinders 20 is small is preferably composed of a flat bar and reinforced with a backup frame as necessary. However, the elastic body when the number of installed gas pressure cylinders 20 is large. 38 may be individually fixed to the lower ends of the individual pins 37 with screws (not shown). Alternatively, the elastic body 38 may be fixed with screws for every two adjacent pins 37.

上記の実施例では、エアーシリンダー２０を駆動源にして接触規制構造を構成したが、数値制御が可能なモーターを駆動源にして、規制具２２を昇降操作することができる。その場合には、ブラケット１９に数値制御が可能なモーターと、モーターの回転動力を昇降動作に変換する動力変換機構を配置しておき、動力変換機構の出力端に規制具２２を連結しておくとよい。この場合には、貼合終端におけるはみ出し部７１と規制具２２を、数値制御が可能なモーターで貼合ローラー４の押圧力に同調して上方移動させることにより、貼合終了時にはみ出し部７１が規制具２２で押し戻されるのを確実に防止できる。さらに、貼合処理が終了する直前の規制具２２の作動停止タイミングを、上記の実施例と同様に、エアーシリンダー５６の下降動作タイミングより僅かに先行させておいて、はみ出し部７１が規制具２２で押し戻されるのを防止してもよい。 In the above embodiment, the contact restriction structure is configured using the air cylinder 20 as a drive source. However, the restriction tool 22 can be moved up and down using a motor capable of numerical control as a drive source. In that case, a motor capable of numerical control and a power conversion mechanism for converting the rotational power of the motor into a lifting operation are arranged on the bracket 19, and a restricting tool 22 is connected to the output end of the power conversion mechanism. Good. In this case, the protruding portion 71 and the restricting tool 22 at the bonding end are moved upward in synchronization with the pressing force of the bonding roller 4 with a motor capable of numerical control, so that the protruding portion 71 is moved at the end of the bonding. It can be reliably prevented from being pushed back by the restricting tool 22. Furthermore, the operation stop timing of the restricting tool 22 immediately before the pasting process is finished slightly precedes the lowering operation timing of the air cylinder 56 in the same manner as in the above-described embodiment, so that the protruding portion 71 is controlled by the restricting tool 22. It may be prevented from being pushed back by.

上記のように、数値制御が可能なモーターを駆動源にして、規制具２２を昇降操作する接触規制構造によれば、先に説明した貼合装置と同様に、大きなサイズのカバーガラスＢを貼合する場合であっても、貼合終端におけるカバーガラスＢの跳ね上がりを解消して、気泡のかみ込みや接着終端の位置ずれなどの貼合不良を一掃して生産性を向上できる。さらに、貼合終端においてはみ出し部７１と規制具２２を、数値制御が可能なモーターで貼合ローラー４の押圧力に同調して上方移動させるので、はみ出し部７１に無理な力が作用するのを解消して、大きなサイズのカバーガラスＢをガラス基板Ａに対して常に確実に貼合できる。 As described above, according to the contact restricting structure in which the control tool 22 is moved up and down using a motor capable of numerical control as the drive source, the cover glass B having a large size is pasted as in the pasting apparatus described above. Even in the case of joining, it is possible to eliminate the jumping of the cover glass B at the bonding end, and to eliminate the bonding failure such as the entrapment of bubbles and the displacement of the bonding end, thereby improving the productivity. Furthermore, since the protruding portion 71 and the restricting tool 22 are moved upward in synchronization with the pressing force of the bonding roller 4 with a motor capable of numerical control at the bonding end, an excessive force acts on the protruding portion 71. This eliminates the problem that the cover glass B having a large size can always be securely bonded to the glass substrate A.

上記の実施例ではガラス基板Ａが液晶基板である場合について説明したが、ガラス基板Ａはプラズマディスプレイ基板、太陽電池基板、タッチパネル基板などであってもよい。可動テーブル３は揺動軸１５の周りに回動して待機姿勢と貼合姿勢に切換える構造である必要はなく、ガラス基板Ａを吸着固定し位置合わせを行った後、調整テーブル２と正対できる構造であればよい。例えば、可動テーブル３を水平に移動させて、調整テーブル２と正対できるようにしてもよい。 In the above embodiment, the case where the glass substrate A is a liquid crystal substrate has been described. However, the glass substrate A may be a plasma display substrate, a solar cell substrate, a touch panel substrate, or the like. The movable table 3 does not need to have a structure that rotates around the swing shaft 15 to switch between the standby posture and the bonding posture. After the glass substrate A is sucked and fixed and aligned, the movable table 3 faces the adjustment table 2 directly. Any structure can be used. For example, the movable table 3 may be moved horizontally so that it can face the adjustment table 2.

１固定台
２調整テーブル
３可動テーブル
４貼合ローラー
５シルクスクリーン（バックアップ体）
８真空チャンバー
１９ブラケット
２０エアーシリンダー（ガス圧シリンダー）
２２規制具
３３ロックナット
３７ピン
３８弾性体
Ａ液晶基板（ガラス基板）
Ｂカバーガラス
Ｅ上下隙間 1 fixed base 2 adjustment table 3 movable table 4 laminating roller 5 silk screen (backup body)
8 Vacuum chamber 19 Bracket 20 Air cylinder (gas pressure cylinder)
22 Regulator 33 Lock nut 37 Pin 38 Elastic body A Liquid crystal substrate (glass substrate)
B Cover glass E Vertical gap

Claims

ガラス基板（Ａ）を吸着保持する可動テーブル（３）と、カバーガラス（Ｂ）を支持する調整テーブル（２）と、カバーガラス（Ｂ）をガラス基板（Ａ）に押付け操作する貼合ローラー（４）とを備えており、
可動テーブル（３）が貼合位置へ移動操作された状態において、可動テーブル（３）に吸着保持したガラス基板（Ａ）と、調整テーブル（２）のバックアップ体（５）で支持したカバーガラス（Ｂ）とは、上下隙間（Ｅ）を介して上下に対向しており、
カバーガラス（Ｂ）の貼合終端には、液晶基板（Ａ）から外側方へはみ出すはみ出し部（７１）が形成されており、
カバーガラス（Ｂ）のはみ出し部（７１）を受止める接触規制構造が、可動テーブル（３）に設けられており、
接触規制構造は、可動テーブル（３）で上下スライド可能に支持されて、前記はみ出し部（７１）の上面に接当する規制具（２２）と、可動テーブル（３）に固定されて、規制具（２２）を昇降操作するガス圧シリンダー（２０）とを含み、
貼合時には、カバーガラス（Ｂ）の重量をバックアップ体（５）で支持し、前記はみ出し部（７１）を規制具（２２）で受止めた状態で、カバーガラス（Ｂ）の貼合始端を貼合ローラー（４）でガラス基板（Ａ）に押付けて、貼合ローラー（４）とカバーガラス（Ｂ）を相対移動させることによりカバーガラス（Ｂ）をガラス基板（Ａ）に貼合しており、
貼合終端において、前記はみ出し部（７１）と規制具（２２）を、貼合ローラー（４）でガス圧シリンダー（２０）の押圧力に抗して上方移動させて、はみ出し部（７１）を規制具（２２）と貼合ローラー（４）とで挟持しながら、カバーガラス（Ｂ）の貼合終端をガラス基板（Ａ）に密着貼合することを特徴とするカバーガラスの貼合装置。 A movable table (3) that holds the glass substrate (A) by suction, an adjustment table (2) that supports the cover glass (B), and a bonding roller that presses the cover glass (B) against the glass substrate (A) ( 4)
In a state where the movable table (3) is moved to the bonding position, the glass substrate (A) sucked and held by the movable table (3) and the cover glass (5) supported by the backup body (5) of the adjustment table (2) B) is opposed to the top and bottom via the vertical gap (E),
At the bonding end of the cover glass (B), a protruding portion (71) protruding outward from the liquid crystal substrate (A) is formed,
A contact regulating structure for receiving the protruding portion (71 ) of the cover glass (B ) is provided on the movable table (3),
The contact restricting structure is supported by the movable table (3) so as to be slidable up and down, and is fixed to the restricting tool (22) contacting the upper surface of the protruding portion (71) and the movable table (3). A gas pressure cylinder (20) for moving up and down (22),
At the time of bonding, the weight of the cover glass (B) is supported by the backup body (5), and the sticking start end of the cover glass (B) is held in a state where the protruding portion (71) is received by the restricting tool (22). The cover glass (B) is bonded to the glass substrate (A) by pressing the glass substrate (A) with the bonding roller (4) and moving the bonding roller (4) and the cover glass (B) relative to each other. And
At the bonding end, the protruding part (71) and the restricting tool (22) are moved upward against the pressing force of the gas pressure cylinder (20) by the bonding roller (4), and the protruding part (71) is moved. A cover glass bonding apparatus, wherein the bonding terminal of the cover glass (B) is closely bonded to the glass substrate (A) while being sandwiched between the restricting tool (22) and the bonding roller (4) .

規制具（２２）が、ガイドブッシュ（２１）で上下スライド自在に支持されるピン（３７）と、ピン（３７）の下端に固定されてはみ出し部（７１）の上面に接当する弾性体（３８）を備えており、
弾性体（３８）の上下厚みがガラス基板（Ａ）の上下厚みと同じかこれより小さく設定してある請求項１に記載のカバーガラスの貼合装置。 The restricting tool (22) is supported by the guide bush (21) so as to be slidable up and down, and the elastic body (fixed to the lower end of the pin (37) and comes into contact with the upper surface of the protrusion (71) ( 38)
The cover glass bonding apparatus according to claim 1, wherein the upper and lower thickness of the elastic body (38) is set to be equal to or smaller than the upper and lower thickness of the glass substrate (A).

固定台（１）の内部に、貼合ローラー（４）を貼合始端位置から貼合終端位置へ向かって移動操作する、ローラー駆動構造が設けられており、
貼合ローラー（４）は、ローラー本体（４３）と、同本体（４３）を支持するローラー台（４４）を備えており、
ローラー駆動構造は、ローラー台（４４）を昇降自在に支持する往復台（５０）と、往復台（５０）を貼合始端位置と貼合終端位置との間で駆動操作する駆動機構を備えており、
ローラー台（４４）と往復台（５０）との間に、貼合ローラー（４）を下方の待機位置と、上方の貼合位置とに変位操作する昇降機構が設けてある請求項１、または２に記載のカバーガラスの貼合装置。 Inside the fixed base (1), a roller driving structure for moving the bonding roller (4) from the bonding start end position to the bonding end position is provided,
The laminating roller (4) includes a roller body (43) and a roller base (44) that supports the body (43).
The roller drive structure includes a carriage (50) that supports the roller table (44) so as to be movable up and down, and a drive mechanism that drives the carriage (50) between a bonding start position and a bonding end position. And
An elevating mechanism for displacing the laminating roller (4) between a lower standby position and an upper laminating position is provided between the roller base (44) and the carriage (50). The cover glass bonding apparatus according to 2.

複数のガス圧シリンダー（２０）がテーブル本体（７）に固定したブラケット（１９）に締結されており、
ガス圧シリンダー（２０）は、締結軸部（２６）を一体に備えたシリンダー本体（２７）と、シリンダー本体（２７）に対して昇降移動するピストンロッド（２８）を含み、
締結軸部（２６）にねじ込んだ一対のロックナット（３３）でブラケット（１９）の締結枠（２３）を上下に挟持して、ガス圧シリンダー（２０）がブラケット（１９）に締結固定されており、
一対のロックナット（３３）の締付位置を調整して、ガス圧シリンダー（２０）の固定高さを変更調整できる請求項１から３のいずれかひとつに記載のカバーガラスの貼合装置。 A plurality of gas pressure cylinders (20) are fastened to a bracket (19) fixed to the table body (7),
The gas pressure cylinder (20) includes a cylinder body (27) integrally including a fastening shaft portion (26), and a piston rod (28) that moves up and down relative to the cylinder body (27).
The gas pressure cylinder (20) is fastened to the bracket (19) by sandwiching the fastening frame (23) of the bracket (19) up and down with a pair of lock nuts (33) screwed into the fastening shaft portion (26). And
The cover glass bonding apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the fixing height of the gas pressure cylinder (20) can be changed and adjusted by adjusting the tightening positions of the pair of lock nuts (33).

可動テーブル（３）の吸着板（９）で吸着したガラス基板（Ａ）と、調整テーブル（２）のシルクスクリーン（５）で保持したカバーガラス（Ｂ）の位置合わせを行うための位置調整構造を備えており、
位置調整構造は、固定台（１）と調整テーブル（２）との間に設けた位置調整装置（６３）と、可動テーブル（３）の上方に配置した基準側カメラ（６４）と、調整テーブル（２）の上方に配置した調整側カメラ（６５）と、アライメントコントローラーを備えており、
位置合わせ時に、基準側カメラ（６４）と調整側カメラ（６５）の映像をアライメントコントローラーで照合し、同コントローラーからの出力信号に基づき、位置調整装置（６３）を作動させて、カバーガラス（Ｂ）のガラス基板（Ａ）に対する位置ずれを調整操作する請求項１から４のいずれかひとつに記載のカバーガラスの貼合装置。 Position adjustment structure for aligning the glass substrate (A) sucked by the suction plate (9) of the movable table (3) and the cover glass (B) held by the silk screen (5) of the adjustment table (2) With
The position adjustment structure includes a position adjustment device (63) provided between the fixed base (1) and the adjustment table (2), a reference camera (64) disposed above the movable table (3), and an adjustment table. (2) It has an adjustment side camera (65) arranged above and an alignment controller,
At the time of alignment, the images of the reference side camera (64) and the adjustment side camera (65) are collated by the alignment controller, and based on the output signal from the controller, the position adjustment device (63) is operated and the cover glass (B The cover glass laminating device according to any one of claims 1 to 4, which adjusts a positional deviation of the glass substrate (A) with respect to the glass substrate (A).

ガラス基板（Ａ）を吸着保持する可動テーブル（３）と、カバーガラス（Ｂ）を支持する調整テーブル（２）と、カバーガラス（Ｂ）をガラス基板（Ａ）に押付け操作する貼合ローラー（４）とを備えており、
可動テーブル（３）が貼合位置へ移動操作された状態において、可動テーブル（３）に吸着保持したガラス基板（Ａ）と、調整テーブル（２）のバックアップ体（５）で支持したカバーガラス（Ｂ）とは、上下隙間（Ｅ）を介して上下に対向しており、
カバーガラス（Ｂ）の貼合終端には、液晶基板（Ａ）から外側方へはみ出すはみ出し部（７１）が形成されており、
貼合位置において、カバーガラス（Ｂ）のはみ出し部（７１）を受止める接触規制構造が、可動テーブル（３）に設けられており
接触規制構造は、可動テーブル（３）で上下スライド可能に支持されて、前記はみ出し部（７１）の上面に接当する規制具（２２）と、可動テーブル（３）に固定されて、規制具（２２）を昇降操作する数値制御が可能なモーターを含み、
貼合時には、カバーガラス（Ｂ）の重量をバックアップ体（５）で支持し、前記はみ出し部（７１）を規制具（２２）で受止めた状態で、カバーガラス（Ｂ）の貼合始端を貼合ローラー（４）でガラス基板（Ａ）に押付けて、貼合ローラー（４）とカバーガラス（Ｂ）を相対移動させることによりカバーガラス（Ｂ）をガラス基板（Ａ）に貼合しており、
貼合終端において、前記はみ出し部（７１）と規制具（２２）を、数値制御が可能なモーターで貼合ローラー（４）の押圧力に同調して上方移動させて、はみ出し部（７１）を規制具（２２）と貼合ローラー（４）とで挟持しながら、カバーガラス（Ｂ）の貼合終端をガラス基板（Ａ）に密着貼合することを特徴とするカバーガラスの貼合装置。 A movable table (3) that holds the glass substrate (A) by suction, an adjustment table (2) that supports the cover glass (B), and a bonding roller that presses the cover glass (B) against the glass substrate (A) ( 4)
In a state where the movable table (3) is moved to the bonding position, the glass substrate (A) sucked and held by the movable table (3) and the cover glass (5) supported by the backup body (5) of the adjustment table (2) B) is opposed to the top and bottom via the vertical gap (E),
At the bonding end of the cover glass (B), a protruding portion (71) protruding outward from the liquid crystal substrate (A) is formed,
At the bonding position, a contact restricting structure for receiving the protruding portion (71) of the cover glass (B) is provided on the movable table (3). The contact restricting structure is supported by the movable table (3) so as to be slidable up and down. And a restricting tool (22) contacting the upper surface of the protruding portion (71), and a motor fixed to the movable table (3) and capable of numerical control for raising and lowering the restricting tool (22),
At the time of bonding, the weight of the cover glass (B) is supported by the backup body (5), and the sticking start end of the cover glass (B) is held in a state where the protruding portion (71) is received by the restricting tool (22). The cover glass (B) is bonded to the glass substrate (A) by pressing the glass substrate (A) with the bonding roller (4) and moving the bonding roller (4) and the cover glass (B) relative to each other. And
At the bonding end, the protruding portion (71) and the restricting tool (22) are moved upward in synchronization with the pressing force of the bonding roller (4) with a motor capable of numerical control, and the protruding portion (71) is moved. A cover glass bonding apparatus, wherein the bonding terminal of the cover glass (B) is closely bonded to the glass substrate (A) while being sandwiched between the restricting tool (22) and the bonding roller (4) .