JP6328948B2 - 2軸ステッパ装置 - Google Patents
2軸ステッパ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6328948B2 JP6328948B2 JP2014021851A JP2014021851A JP6328948B2 JP 6328948 B2 JP6328948 B2 JP 6328948B2 JP 2014021851 A JP2014021851 A JP 2014021851A JP 2014021851 A JP2014021851 A JP 2014021851A JP 6328948 B2 JP6328948 B2 JP 6328948B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- shaft
- rotor
- stator
- outer ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Description
10 基台
20 ステージ
21 駆動対象体
22 ステージ基部
22a 凹部
30 支持部
31 外輪体
31b X軸受
32 X軸シャフト
33 Y軸シャフト
34 軸柱
34b Y軸受
40 駆動部
41 X軸駆動部
41a X軸ステータ
41b X軸ロータ
41e ヨーク
41g 作用面
41h 作用面
41f 歯
42a Y軸ステータ
42b Y軸ロータ
42 Y軸駆動部
43 ロータ
Claims (2)
- 第1軸と、該第1軸と所定の角度をなす第2軸とを回動軸として駆動対象体を回動させる回動装置であって、
前記駆動対象体が取り付けられた半球体のステージ基部と、
前記第2軸を含む面であって前記半球体の平面に直交する面と、前記半球体の曲面との交線に沿って固着された第1軸ロータ、及び、前記第1軸を含む面であって前記平面に直交する面と、前記半球体の曲面との交線に沿って固着された第2軸ロータを有するロータ部と、
前記第1軸ロータ及び第2軸ロータとそれぞれ対峙して基台に固着される第2軸ステータ及び第1軸ステータを有するステータ部と、
前記ステージ基部の外周に配置された外輪体と、
前記外輪体を挟むように前記基台に軸柱と、
一端が前記ステージ基部に固着され、他端が前記外輪体に回動自在に軸受けされて前記第2軸と同軸芯に配置された第2軸シャフトと、
一端が前記外輪体に固着され、他端が前記軸柱に回動自在に軸受けされて前記第1軸と同軸心に配置された第1軸シャフトと、
を備え、
前記第1軸ロータ及び前記第2軸ロータは、等間隔に配列された複数の永久磁石をそれぞれ有するN極部とS極部とを含み、
前記N極部と前記S極部は、互いに離間して並列するように設けられ、
前記S極部における前記永久磁石は、前記N極部における前記複数の永久磁石のうちで互いに隣接する前記永久磁石の間に対応する位置に配置されていることを特徴とする回動装置。 - 請求項1に記載の回動装置であって、
前記ステージ基部の前記半球体の頂部に凹部を設けたことを特徴とする回動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014021851A JP6328948B2 (ja) | 2014-02-07 | 2014-02-07 | 2軸ステッパ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014021851A JP6328948B2 (ja) | 2014-02-07 | 2014-02-07 | 2軸ステッパ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015149843A JP2015149843A (ja) | 2015-08-20 |
JP6328948B2 true JP6328948B2 (ja) | 2018-05-23 |
Family
ID=53892801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014021851A Active JP6328948B2 (ja) | 2014-02-07 | 2014-02-07 | 2軸ステッパ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6328948B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6281970A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-15 | Fujitsu Ltd | 球面モ−タ |
JPH11288317A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Toshiba Corp | 姿勢制御装置 |
JP5118359B2 (ja) * | 2007-02-23 | 2013-01-16 | パナソニック株式会社 | アクチュエータ |
-
2014
- 2014-02-07 JP JP2014021851A patent/JP6328948B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015149843A (ja) | 2015-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4893626B2 (ja) | 磁界制御方法および磁界発生装置 | |
KR100760846B1 (ko) | 강성 발생 장치 및 이를 구비하는 로봇 머니퓰레이터의조인트 | |
JP7076201B2 (ja) | 多自由度電磁機械及びその制御方法 | |
KR20090093523A (ko) | 구형 모터 | |
US20180269758A1 (en) | Permanent magnet applying motor | |
US20130038145A1 (en) | Drive device, and movement mechanism using drive device | |
JP5488131B2 (ja) | 電磁アクチュエータ | |
CN109450218B (zh) | 一种基于磁阻最小原理的球形电机 | |
JP4941986B2 (ja) | 球面ステッピングモータおよび球面acサーボモータ | |
JP4821356B2 (ja) | 磁界制御方法および磁界発生装置 | |
JP5979637B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP6328948B2 (ja) | 2軸ステッパ装置 | |
JP2003324936A (ja) | 球面モータ | |
JP4620590B2 (ja) | 電磁アクチュエータ | |
CN112968630B (zh) | 一种多功能多自由度球型驱动器 | |
KR101766576B1 (ko) | 다자유도 구동장치 | |
JP2008054374A (ja) | 磁気駆動機構 | |
KR20130094896A (ko) | 다자유도 구동장치 | |
JP2014065123A (ja) | パラレルリンクロボット | |
JP2012191817A (ja) | 電磁アクチュエータ | |
JP5916231B2 (ja) | 電磁回転機構及びそれを備えたチューブポンプ | |
KR101452443B1 (ko) | 다자유도 구동장치 | |
WO2021149420A1 (ja) | 2自由度電動機 | |
WO2024070583A1 (ja) | アクチュエータ及びそれを備えるワーク搬送ロボット | |
JP2009038945A (ja) | 磁気駆動機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170912 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180327 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180419 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6328948 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |