JP6328763B2 - 灰色の外観のためにｉｇ窓ユニットで用いることができる低い可視光線透過率を有する低放射率コーティングを備えた被覆製品 - Google Patents

Description

本発明は、必ずしも灰色ガラス基板が含まれなくとも、コーティングガラス製品が好ましい灰色ガラス側反射着色（ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ ｃｏｌｏｒａｔｉｏｎ）を有するようにするための低放射率コーティング（Ｌｏｗ−ｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙ ｃｏａｔｉｎｇ）を含む被覆製品に関する。特定の実施形態において、低放射率コーティングは、基板（例えば、ガラス基板）上に提供されて、接触層（例えば、ＮｉＣｒ系層）によって離隔される、少なくとも第１赤外線（ＩＲ）反射層及び第２赤外線（ＩＲ）反射層（例えば、銀系層）、及びシリコン窒化物などの材料又はそれを含む誘電体層を含む。特定の実施形態において、（一体化形態及び／又はＩＧ窓ユニット形態内の）被覆製品は、低い可視光線透過率（例えば、５５％以下、さらに好ましくは約５０％以下、さらに好ましくは約４５％以下、最も好ましくは約４０％以下）を有する。特定の実施形態において、被覆製品は、熱処理（例えば、焼き戻し処理（ｔｈｅｒｍａｌ ｔｅｍｐｅｒｉｎｇ）、及び／又は熱曲げ（ｈｅａｔ ｂｅｎｄｉｎｇ））してもよく、熱処理（ＨＴ）によるΔＥ^＊値（ガラス側の反射率）は、５．０以下、さらに好ましくは４．５以下、最も好ましくは４．１以下である点で、熱処理の際に実質的に熱的に安定するように設計される。本発明の特定の実施形態に従う被覆製品は、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、車両の窓、又は、その他の形態の窓に関連して用いてもよい。

当該分野で、被覆製品が断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、車両の窓などのような窓の用途に使用されることが知られている。特定の例において、焼き戻し、曲げ、などの目的のためには、このような被覆製品の熱処理（例えば、焼き戻し処理、熱曲げ、及び／又は熱強化）が好ましいことが知られている。典型的には、被覆製品の熱処理（ＨＴ）に必要な温度は、少なくとも５８０℃であり、さらに好ましくは少なくとも約６００℃、より好ましくは少なくとも６２０℃である。このような高い温度では（例えば、５〜１０分以上置いた場合）、しばしばコーティングが破壊及び／又は劣化し、又は予測できない変化が生じる。したがって、必要に応じて、コーティングを著しく損傷させない予測可能な方法で、コーティングがこのような熱処理（例えば、焼き戻し処理）に耐えられることが好ましい。

特定の例において、被覆製品の設計者は、所望の可視光線透過率、所望の色、低放射率（又は放射力）、及び低シート抵抗（Ｒ_ｓ）の組合せを試みている。このような被覆製品は、低放射率（ｌｏｗ−Ｅ）及び低シート抵抗の特徴によって、相当量のＩＲ放射を防ぎ、例えば、車両又は建物内の好ましくない温度上昇を減らすことができる。

参照により本明細書に組み込まれる米国特許第７，５２１，０９６号には、銀系のＩＲ反射層の下では亜鉛酸化物（ＺｎＯ）接触層を用いて、下の銀（Ａｇ）系赤外線反射層の上では、ＮｉＣｒＯ_ｘの接触層に続いて中心スズ酸化物（ＳｎＯ_２）誘電体層を使用する低放射率コーティングが開示されている。銀ＩＲ反射層の下のＺｎＯ接触層は、銀を成長させるための優れた構造的特性を提供し、ＺｎＯは、特定の例において、コーティングの化学的、環境的及び機械的耐久性を劣化させることが分かった。

米国特許第５，５５７，４６２号には、ＳｉＮ／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／ＳｉＮ／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／ＳｉＮの層スタックを有する低放射率コーティングが開示されている。しかし、同第５，５５７，４６２特許の被覆製品は、少なくとも６３％の高い可視光線透過率を有するように設計される。同第５，５５７，４６２特許の３欄、１２〜１５行では可視光線透過率が７０％未満（一体型被覆製品）及び６３％未満（ＩＧ窓ユニット）であることは好ましくないことを示している。したがって、同第５，５５７，４６２特許では、可視光線透過率が６３％未満の被覆製品と異なることを示している。また、米国特許第８，１７３，２６３号で説明されるように、同第５，５５７，４６２号の特許の被覆製品は、熱処理の際のシート抵抗（Ｒ_ｓ）が約３〜５から１０をはるかに超えるまで上昇するために熱処理することができず、ヘイズが生じる傾向があり、ガラス側の反射率ΔＥ^＊値が５．０超であるため好ましくない。

したがって、ガラス側反射率ΔＥ^＊値が約５．０以下、さらに好ましくは約４．５以下を実現できるように、（ｉ）低い可視光線透過率、（ｉｉ）優れた耐久性、及び（ｉｉｉ）所望の色及び／又は（ｉｖ）熱処理（ＨＴ）時の熱安定性のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つの全てを特徴とする被覆製品を提供することが好ましい。また、そのような被覆製品を含むＩＧ窓ユニットは、低い太陽ファクタ（ＳＦ）及び／又は低い外側反射率（例えば、約１２％以下、さらに好ましくは約１１％以下、より好ましくは約１０％以下、最も好ましくは約９％以下）を含むことが好ましい。ＩＧユニットの可視光線透過率及びＳＦの算出に対してＥＮ４１０を参照。

用語ΔＥ^＊（及びΔＥ）は、当該技術で理解されており、Ｈｕｎｔｅｒ ｅｔ．ａｌ．、Ｔｈｅ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｏｆ Ａｐｐｅａｒａｎｃｅ、２^ｎｄ Ｅｄ．Ｃｐｔｒ．９の１６２頁以下を参照［ジョン・ワイリー＆サンズ、１９８７］に報告されるだけでなく、ＡＳＴＭ ２２４４−９３に、ΔＥ^＊を決定するための様々な技術と共に報告される。当該技術で用いられたように、ΔＥ^＊（及びΔＥ）は、熱処理後の、又は熱処理による製品の反射率及び／又は透過率（したがって、色の出現）の変化（又は不足）を適切に表現する方法である。ΔＥは、「ａｂ」技術又はＨｕｎｔｅｒ技術（下付文字「Ｈ」を用いることで指定）によって算出されてもよい。ΔＥは、Ｈｕｎｔｅｒ ＬａｂのＬ、ａ、ｂスケール（又はＬ_ｈ、ａ_ｈ、ｂ_ｈ）に対応する。同様に、ΔＥ^＊は、ＣＩＥ ＬＡＢスケールのＬ^＊、ａ^＊、ｂ^＊に対応する。いずれも、有用なものと考慮され、本発明の目的に一致する。例えば、前記で参照したＨｕｎｔｅｒ ｅｔ．ａｌ．に報告されているように、Ｌ^＊、ａ^＊、ｂ^＊スケールとして公知された長方形座標／スケール技術（ＣＩＥ ＬＡＢ １９７６）を使用してもよく、Ｌ^＊は（ＣＩＥ １９７６）明度ユニットであり；ａ^＊は（ＣＩＥ １９７６）赤緑色ユニットであり；ｂ^＊は（ＣＩＥ １９７６）黄青色ユニットであり；Ｌ^＊ _０ ａ^＊ _０ ｂ^＊ _０及びＬ^＊ _１ ａ^＊ _１ ｂ^＊ _１の間の距離ΔＥ^＊は、［（ΔＬ^＊）^２＋（Δａ^＊）^２＋（Δｂ^＊）^２］^１／２であり、ΔＬ^＊＝Ｌ^＊ _１−Ｌ^＊ _０；Δａ^＊＝ａ^＊ _１−ａ^＊ _０；Δｂ^＊＝ｂ^＊ _１−ｂ^＊ _０；下付文字「０」は、熱処理前のコーティング（被覆製品）を示し、下付文字「ｌ」は、熱処理後のコーティング（被覆製品）を示し；使用された数値（例えば、ａ^＊、ｂ^＊、Ｌ^＊）は、前記（ＣＩＥ ＬＡＢ １９７６）Ｌ^＊、ａ^＊、ｂ^＊の座標技術によって算出されたものである。例えば、ガラス側の反射率ΔＥ^＊が測定されれば、ガラス側の反射率ａ^＊、ｂ^＊及びＬ^＊が使用される。同様に、ΔＥは、前記ΔＥ^＊式（すなわち、［ΔＥ^＊＝（ΔＬ^＊）^２＋（Δａ^＊）^２＋（Δｂ^＊）^２］^１／２）で、ａ^＊、ｂ^＊、Ｌ^＊をＨｕｎｔｅｒ Ｌａｂ値（ａ_ｈ、ｂ_ｈ、Ｌ_ｈ）に交換することによって算出してもよい。上記で定義したΔＥ^＊と同一概念を使用する任意の他の技術によって算出されたものに変換する場合の同等の数値も、本発明の範囲内、及びΔＥ^＊の定量化の範囲内である。

Ｕ値（場合によりＵファクタと称する）は、壁、床、窓、又は屋根のような建物要素における熱損失の測定値である。また、建物全体の熱伝達係数とも称され、建物の一部分の熱伝達程度を測定した値である。Ｕ値が高ければ、建物の外被（ｂｕｉｌｄｉｎｇ ｅｎｖｅｌｏｐｅ）の熱性能が悪くなることを意味する。一般的に低いＵ値は、高いレベルの断熱を示す。すなわち、Ｕ値は、製品による住宅又は建物から放出される熱の遮断レベルを測定した値である。Ｕ値が低ければ、製品は建物内部に熱をよりよく保持する。本明細書に記載したＵ値は、特に記載していない限り、Ｗ／ｍ^２Ｋの単位で測定される。Ｕ値の算出に関しては、ＥＮ６７３を参照する。

本発明は、コーティングガラス製品が、必ずしも灰色ガラス基板を有さなくとも、好ましい灰色のガラス側反射着色を有するようにするための低放射率（ｌｏｗ−Ｅ）コーティングを含む被覆製品に関する。特定の実施形態において、低放射率コーティングは、基板（例えば、ガラス基板）上に提供されて、接触層（例えば、ＮｉＣｒ系層）によって離隔される、少なくとも第１赤外線（ＩＲ）反射層及び第２赤外線（ＩＲ）反射層（例えば、銀系層）、及びシリコン窒化物などの材料又はそれを含む誘電体層を含む。特定の実施形態において、被覆製品は、低い可視光線透過率（例えば、ＩＧユニット内で及び／又は一体型で測定された５５％以下、さらに好ましくは約５０％以下、さらに好ましくは約４５％以下、最も好ましくは約４０％以下）を有する。特定の実施形態において、被覆製品は、熱処理（例えば、焼き戻し処理（ｔｈｅｒｍａｌ ｔｅｍｐｅｒｉｎｇ）、及び／又は熱曲げ（ｈｅａｔ ｂｅｎｄｉｎｇ））してもよく、熱処理（ＨＴ）による一体型で測定されたΔＥ^＊値（ガラス側の反射率）は、５．０以下、さらに好ましくは４．５以下、さらに好ましくは４．１以下である点で、熱処理の際に実質的に熱的に安定するように設計される。このような低いΔＥ^＊値は、被覆製品が熱処理（例えば、焼き戻し処理）前後に肉眼で観察されたものと略同一の透過率及び色特性を有することを示す。本発明の特定の実施形態に従う被覆製品は、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、車両の窓、又はその他の形態の窓に関連して用いてもよい。

ガラス側反射率ΔＥ^＊値が５．０以下、さらに好ましくは４．５以下であることを実現するために（ｉ）低い可視光線透過率、（ｉｉ）優れた耐久性、（ｉｉｉ）好ましい灰色ガラス側着色、及び（ｉｖ）熱処理（ＨＴ）時の熱安定性のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つの全てを特徴とする被覆製品を提供することが好ましい。さらに、このような被覆製品を含むＩＧ窓ユニットが、（ａ）約３３％以下、さらに好ましくは約３１％以下、より好ましくは約２９％以下、より好ましくは約２７％以下のような低い太陽ファクタ（ＳＦ）、（ｂ）約１２％以下、さらに好ましくは約１１％以下、より好ましくは約１０％以下、最も好ましくは約９％以下のような低い外側反射率、及び／又は（ｃ）外側反射灰色の着色のうちの１つ、２つ、又は３つの全てを有することが好ましい。

本発明の特定の実施形態において、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニットが提供され、これは、第１ガラス基板によって支持されるコーティングを含む被覆製品を含み、第１ガラス基板は、その上にコーティングを有して第１ガラス基板との間に間隙が含まれるように第２ガラス基板に結合されて、第１ガラス基板は、ＩＧ窓ユニットの外部／外側にあるようにし、第２ガラス基板は、ＩＧ窓ユニットが実装されるか、又は実装される予定の建物の内部に隣接したＩＧ窓ユニットの内部／内側にあるようにし、コーティングは、基板の間の間隙に面する第１ガラス基板の主表面上にあり；第１ガラス基板によって支持されるコーティングは、銀を含む第１赤外線（ＩＲ）反射層及び第２赤外線（ＩＲ）反射層（第１ＩＲ反射層が第２ＩＲ反射層よりガラス基板にさらに近く位置する）と；銀を含む第１ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第１接触層と；ＮｉＣｒを含む第１接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含む誘電体層と；シリコン窒化物を含む層上に位置し、これと直接接触している第２接触層と；第２接触層上に位置し、これと直接接触している銀を含む第２ＩＲ反射層と；第２ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第３接触層と；ＮｉＣｒを含む第３接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含むまた他の誘電体層と；を含み、銀を含む第２ＩＲ反射層は、銀を含む第１ＩＲ反射層より少なくとも３０オングストロームさらに厚く；ＩＧ窓ユニットは、可視光線透過率が５０％以下であり、外側可視光線反射率が１２％以下であり、ＩＧ窓ユニットは、外側から見るときに外観が灰色又は暗灰色であり、ＩＧ窓ユニットの第１及び第２ガラス基板は、灰色ではなく、透明なガラス基板である。

本発明の特定の実施形態において、ガラス基板によって支持されるコーティングを含む被覆製品が提供され、コーティングは、銀を含む第１赤外線（ＩＲ）反射層及び第２赤外線（ＩＲ）反射層（第１ＩＲ反射層は、第２ＩＲ反射層よりガラス基板に近く位置する）と；銀を含む第１ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第１接触層と；ＮｉＣｒを含む第１接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含む誘電体層と；シリコン窒化物を含む層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第２接触層と；ＮｉＣｒを含む第２接触層上に位置し、これと直接接触している銀を含む第２ＩＲ反射層と；第２ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第３接触層と；ＮｉＣｒを含む第３接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含むまた他の誘電体層を含み、銀を含む第２ＩＲ反射層は、銀を含む第１ＩＲ反射層の少なくとも２倍程厚く；被覆製品は、一体型で測定された可視光線透過率が５５％以下、一体型で測定されたガラス側可視光線反射率が１１％以下である。

本発明の一実施形態に係る被覆製品の断面図である。 本発明の一実施形態に係るＩＧ窓ユニット内に提供された図１の被覆製品の断面図である。

本明細書の被覆製品は、複数の用途、例えば、ＩＧ窓ユニット、積層窓ユニット（例えば、車両又は建物の用途に使用）、車両の窓、単体建築物の窓、住宅の窓、及び／又は１つ又は複数のガラス基板を含む任意のその他の適切な窓の用途で用いてもよい。

特定の実施形態において、被覆製品を含むＩＧ窓ユニットの外側（ガラス側）色は、灰色又は暗灰色であり、ＩＧ窓ユニットは、コーティングによって低い可視光線透過率、低い太陽ファクタ、低い外側可視光線反射率、低放射率、及び低いＵ値を達成してもよい。特定の実施形態において、ＩＧ窓ユニットの外側のライト（ｌｉｔｅ）を構成できる透明な基礎ガラスが被覆製品に使用されれば、外側の反射灰色の着色を有するＩＧ窓ユニットにおいて、非常に低い外側反射率を得ることができる。したがって、言及された外側の影響のために灰色の基礎ガラスを用いる必要はない。透明なガラスは、灰色の基礎ガラスよりも安く、利用の可能性もはるかに優れている。本発明の例示的な実施形態において、場合により灰色ガラス基板を使用することができるが、好ましい実施形態では、透明又は中性着色ガラス基板が使用され、灰色着色ガラスを使用する必要のないコーティングデザインにより、好ましい灰色着色を達成する。本明細書における被覆製品は、熱処理（例えば、焼き戻し処理）を行うことができるが、本発明の例示的な実施形態によれば、被覆製品は、熱処理を行う必要はなく、熱処理（ＨＴ）又は非熱処理（ｎｏｎ−ＨＴ）のいずれであってもよい。

本発明の特定の実施形態において、コーティングは、２つの銀スタックを含む。例えば、図１を参照すると、本発明の特定の実施形態において、ガラス基板１によって支持されるコーティング３０を含む被覆製品が提供され、コーティング３０は、銀を含むか又は本質的に銀からなる第１赤外線（ＩＲ）反射層９及び第２赤外線（ＩＲ）反射層１９（第１ＩＲ反射層９は、第２ＩＲ反射層１９よりガラス基板１に近く位置する）と；銀を含む第１ＩＲ反射層９下に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第１接触層７、銀を含む第１ＩＲ反射層９上に位置し、これと直接接触している第２接触層１１と；ＮｉＣｒを含む第２接触層１１上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物の又はこれを含む透明な誘電体層１４と；シリコン窒化物を含む層１４上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第３接触層１７と；ＮｉＣｒを含む第３接触層１７上に位置し、これと直接接触している銀を含む第２ＩＲ反射層１９と；第２ＩＲ反射層１９上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第４接触層２１と；を含み、銀を含む第２ＩＲ反射層１９は、少なくとも銀を含む第１ＩＲ反射層９と同じくらい厚い。特定の好ましい実施形態において、銀の又はこれを含む第２ＩＲ反射層１９は、銀の又はこれを含む第１ＩＲ反射層９より厚い場合、さらに好ましくは第２ＩＲ反射層１９は、銀を含む第１ＩＲ反射層９より少なくとも１０オングストローム（Å）さらに厚い（さらに好ましくは少なくとも２０オングストローム、より好ましくは少なくとも３０オングストローム、より好ましくは少なくとも４０オングストローム、より好ましくは少なくとも５０オングストローム、最も好ましくは少なくとも６５オングストロームさらに厚い）場合、驚くことに有利な結果が達成され得ることが分かっている。図１のコーティングは、図１に示したように、シリコン窒化物の又はこれを含む３つの透明な誘電体層３，１４，２４を含む。また、コーティングは、選択的に、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はこれを含むオーバーコート層（図示せず）を含み、このような選択的なオーバーコート層は、窒化ケイ素系層２４の上に位置して直接接触してもよい。特定の実施形態において、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はこれを含むオーバーコート層は、ＩＲ反射層９，１９のうちの１つ又は両方より薄い。本発明の特定の実施形態において、銀を含むＩＲ反射層９，１９の各々は、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はこれを含む選択的なオーバーコート層の少なくとも２倍程厚く、さらに好ましくは少なくとも３倍程厚い。本発明の特定の実施形態において、コーティング３０は、銀などの又はこれを含む、ただ２つのＩＲ反射層９，１９を含む。

光学特性及び熱的特性に加えて耐久性を向上させ、熱処理前後に重大な構造的変化を防ぐために、本発明の特定の実施形態に係る被覆製品は、シリコン窒化物又はそれを含む中心誘電体層１４を有し、下部接触層７，１７は（ＺｎＯではなく）ＮｉＣｒを基盤とする。層（７，１１，１７及び／又は２１）に金属性のＮｉＣｒ又は実質的に金属性のＮｉＣｒ（場合により部分的に窒化される）を用いて（銀の下にＺｎＯ下部接触層、及び／又は銀の上に非常に酸化されたＮｉＣｒ上部接触層を使用する場合に比べて）化学的、機械的、及び環境的耐久性を向上させることが分かった。非晶質状態のシリコン窒化物を含む層１４をスパッタリング蒸着すれば、コーティング及び熱処理状態で非晶質状態であるため、コーティングの全体の安定性を助けることも分かっている。例えば、１時間の間に６５℃の５％のＨＣｌは、米国特許７，５２１，０９６のコーティングを除去する一方で、図１及び本明細書に記載の例に示したコーティングは、ＨＣｌの試験を耐えるであろう。高温高湿の環境下では、２日間露出された特許７，５２１，０９６のコーティングに比べて、１０日間露出された本明細書の実施例及び図１のコーティングの損傷がさらに少ない。「ブリックウォッシュ（ｂｒｉｃｋ ｗａｓｈ）」に使用されたような高い腐食性の化学物質に対する腐食耐性は、特定のＩＧ及び積層実施形態において、エッジを除去する必要を無くす。また、上部Ａｇ系ＩＲ反射層１９を下部Ａｇ系ＩＲ反射層９より厚くすると、コーティングの特定の光学特性が改善されることが分かっている。本明細書で検討された比較的低いΔＥ^＊値によって、コーティングは、コーティングされたまま又は熱処理されたまま用いられてもよい。例えば、コーティング３０は、（図２に示したように）ＩＧ窓ユニットの表面＃２に位置する場合、熱処理による低いガラス側反射率ΔＥ^＊値は、被覆製品が熱処理（例えば、焼き戻し処理）前後に肉眼で観察されたものと略同一の透過率及び色特性を有し、光学特性にかなり影響を及ぼさずにコーティングされたり、又は熱処理されたまま用いることができることを示す。

図１のような本発明の特定の実施形態において、複数のＩＲ反射層（例えば、離れた２つの銀系層９，１９）を有する、熱処理された被覆製品又は非熱処理された被覆製品は、シート抵抗（Ｒ_ｓ）を５．０以下（好ましくは４．０Ω／□以下）に実現可能である。本明細書に記載された用語「熱処理」及び「熱処理すること」は、ガラス含有製品の焼き戻し処理、熱曲げ及び／又は熱強化を得るために十分な温度まで製品を加熱することを意味する。この定義は、焼き戻し、曲げ及び／又は熱強化を得るために、例えば、少なくとも約５８０℃、さらに好ましくは少なくとも約６００℃の温度でオーブン又は炉内で十分な期間の間被覆製品を加熱することを含む。特定の例において、上記ＨＴは少なくとも約４又は５分の間実施されてもよい。本発明の他の実施形態において、被覆製品は熱処理しても、熱処理しなくてもよい。

図１は、本発明の実施例の非限定的な実施形態による被覆製品の側断面図である。被覆製品は基板１（例えば、厚さが約１.０から１２.０ｍｍ、さらに好ましくは約４から８ｍｍの、透明、緑色、青銅色、青緑色、又は灰色のガラス基板）及び基板１上に直接又は間接的に提供される低放射率コーティング（又は層システム）３０を含む。コーティング（又は層システム）３０は、例えば、Ｓｉ_３Ｎ_４、又は、ヘイズ減少用のＳｉリッチ型のシリコン窒化物、又は、本発明の他の実施形態において、任意の異なる適切な化学量論シリコン窒化物であり得る下部誘電体シリコン窒化物層３、下部接触層７（これは、下部ＩＲ反射層９と接触する）、第１伝導性、及び好ましくは金属性又は実質的に金属性の赤外線（ＩＲ）反射層９、上部接触層１１（ＩＲ反射層９に接触）、誘電体窒化ケイ素系及び／又はシリコン窒化物含有層１４、下部接触層１７（これは、ＩＲ反射層１９に接触する）、第２伝導性、及び好ましくは金属性又は実質的に金属性のＩＲ反射層１９、上部接触層２１（ＩＲ反射層１９に接触する）、Ｓｉ_３Ｎ_４、ヘイズ減少用のＳｉリッチ型、又は、本発明の他の実施形態において、任意の異なる適切な化学量論シリコン窒化物であり得る透明な誘電体シリコン窒化物層２４を含む。「接触」層７，１１，１７，２１は、各々ＩＲ反射層（例えば、Ａｇ系層）に接触する。前記層（３〜２４）は、ガラス基板１上に提供される低放射率コーティング３０を構成する。層（３〜２４）は、本発明の特定の実施形態において、基板１上にスパッタ蒸着してもよく、それぞれの層は、必要に応じて１つ以上の対象を用いて真空でスパッタ蒸着される（スパッタリング対象は、セラミック又は金属であってもよい）。金属性又は実質的に金属性の層（例えば、層７，９，１１，１７，１９，２１）は、アルゴンガス含有の雰囲気でスパッタリングされるが、窒化された層（例えば、層３，７，１１，１４，１７，２１，２４）は、窒素及びアルゴンガスの混合物を含有する雰囲気でスパッタリングされる。接触層７，１１，１７，２１は、本発明の異なる例示的な実施形態において、窒化されていても、されていなくてもよい。

一体型の例として、被覆製品は、図１に示すように１つのガラス基板１だけを含む。しかし、本明細書に記載された一体型被覆製品は、積層された車両フロントガラス、ＩＧ窓ユニットなどの装置に使用してもよい。ＩＧ窓ユニットに関しては、ＩＧ窓ユニットは、２つの離隔したガラス基板を含んでもよい。例示のＩＧ窓ユニットは、例えば、米国特許文献第２００４／０００５４６７号に図示して記載され、その全体内容は参照により本明細書に組み込まれる。図２には、例示のＩＧ窓ユニットが示され、これは、スペーサ、シール剤４０等によって別のガラス基板２に結合されている、図１に示したコーティングされたガラス基板１を含み、間隙５０がこれらのガラス基板の間に設けられている。ＩＧユニットの実施形態において、基板の間の間隙５０は、特定の例としてアルゴン（Ａｒ）などの気体で充填してもよい。例示のＩＧユニットは、一対の離隔した透明なガラス基板１，２を含み、それぞれの厚さは約３〜４ｍｍであって、２つの基板のうちの１つは、特定の例としてコーティング３０でコーティングされ、基板の間の間隙５０は約５ｍｍから３０ｍｍ、さらに好ましくは約１０から２０ｍｍ、最も好ましくは約１６ｍｍであってもよい。特定の例において、低放射率コーティング３０は、間隙に対向するいずれかの基板の内側表面に設けられてもよい（コーティングは、図２では、間隙５０に対向する基板１の内側の主面上に配置されているが、間隙５０に対向する基板２の内側の主面上に配置することもできる）。基板１又は基板２は、建物の外側でのＩＧ窓ユニットの最も外側の基板であってもよい（例えば、図２において、基板１は建物の外側に最も近い基板であり、コーティング３０は、ＩＧ窓ユニットの表面＃２上に提供される）。本発明の好ましい実施形態において、コーティング３０は、図２に示したようにＩＧ窓ユニットの表面＃２上に提供される。

本発明の特定の実施形態において、接触層７，１１，１７，２１のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つの全ては、ＮｉＣｒ（Ｎｉ：Ｃｒの任意の適切な比率）又はこれを含んでもよく、窒化されても（ＮｉＣｒＮ_ｘ）窒化されなくてもよい。特定の実施形態において、このようなＮｉＣｒを含む層７，１１，１７，２１のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つの全ては、実質的に又は完全に酸化されない。特定の実施形態において、層７，１１，１７，２１は（微量のその他の要素が存在し得るが）全てが金属性ＮｉＣｒ又は実質的に金属性のＮｉＣｒであってもよい。特定の実施形態において、ＮｉＣｒ系層７，１１，１７，２１のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つの全ては、０〜１０％の酸素、さらに好ましくは０〜５％の酸素、最も好ましくは０〜２％の酸素（原子％）を含んでもよい。特定の実施形態において、このような層７，１１，１７，２１のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つの全ては、０〜２０％の窒素、さらに好ましくは１〜１５％の窒素、最も好ましくは約１〜１２％の窒素（原子％）を含んでもよい。ＮｉＣｒ系層（７，１１，１７及び／又は２１）は、ステンレス鋼、Ｍｏなどのその他の物質でドープしてもよく、しなくてもよい。銀系ＩＲ反射層９，１９の下のＮｉＣｒ系接触層（７及び／又は１７）を使用すれば、（層７，１７がＺｎＯの場合と比較して）被覆製品の耐久性が向上することが分かった。また、驚くことに、微量を超過した酸素が導入されれば、基本的にＮｉＣｒで構成される層７，１１，１７，２１に比べてヘイズが好ましくなく、耐久性が減少するため、ＮｉＣｒの又は基本的にこれらで構成される層７，１１，１７，２１を作ることによって改善された耐久性を提供することを発見した。

本発明の特定の実施形態において、誘電体層３，１４，２４は、シリコン窒化物であるかシリコン窒化物を含んでもよい。シリコン窒化物層３，１４，２４は、特に被覆製品の熱処理性を向上させて、任意の熱処理（例えば、焼き戻し処理など）中にその他の層を保護してもよい。シリコン窒化物層３，１４，２４のうちの１つ以上は、化学量論形態（すなわち、Ｓｉ_３Ｎ_４）であったり、本発明の他の実施形態におけるＳｉリッチ型のシリコン窒化物であってもよい。Ｓｉリッチシリコン窒化物含有層（３及び／又は１４）において、遊離Ｓｉ（ｆｒｅｅ−Ｓｉ）が存在すると、例えば、熱処理（ＨＴ）中にガラス１から外側に移動するナトリウム（Ｎａ）のような特定の原子が銀に到達して損傷を進める前に、Ｓｉリッチシリコン窒化物含有層によって特定の原子を効率的に遮断することができる。したがって、本発明の特定の実施形態において、ＳｉリッチＳｉ_ｘＮ_ｙがＨＴ中に損傷する銀層の量を減らして、シート抵抗（Ｒ_ｓ）を満足な水準で減少させたり同程度に保持させたりできることが分かる。また、本発明の特定の任意の実施形態において、層（３、１４、及び／又は２４）でＳｉリッチＳｉ_ｘＮ_ｙは、熱処理（ＨＴ）中に損傷（例えば、酸化）する銀及び／又はＮｉＣｒの量を低減できることが分かる。特定の実施形態において、Ｓｉリッチシリコン窒化物が使用される場合、蒸着されたＳｉリッチシリコン窒化物層（３，１４，及び／又は２４）は、Ｓｉ_ｘＮ_ｙ層により特徴づけられ、ｘ／ｙは、０．７６から１．５、さらに好ましくは０．８から１．４、より好ましくは０．８２から１．２であってもよい。本発明の特定の実施形態において、本明細書に検討されたシリコン窒化物層の一部及び／又は全部をステンレス鋼又はアルミニウムなどのその他の物質でドープしてもよい。例えば、本明細書で検討されたシリコン窒化物層３、１４、２４の一部及び／又は全体は、本発明の特定の実施形態において、約０から１５％のアルミニウム、さらに好ましくは約１から１０％のアルミニウムを選択的に含んでもよい。層３、１４、２４のシリコン窒化物は、本発明の特定の実施形態において、アルゴン及び窒素ガスを有する雰囲気で対象Ｓｉ又はＳｉＡｌをスパッタリングすることにより蒸着できる。特定の例で、少量の酸素が、シリコン窒化物層に提供されてもよい。

赤外線（ＩＲ）反射層９，１９は好ましくは実質的に又は完全に金属性及び／又は伝導性を有し、銀（Ａｇ）、金、又は、任意のその他の適切なＩＲ反射物質を含んだり、基本的にこれらによって構成されてもよい。ＩＲ反射層９，１９は、コーティングが低放射率（ｌｏｗ−Ｅ）及び／又は良好な太陽光制御特徴を有するように助ける。

例示されたコーティングの上部又は下部に、その他の層がまた設けられてもよい。したがって、層システム又はコーティングが基板１「上に」ある、又は基板１「によって支持される」（直接又は間接的に）としても、その間に他の層が設けられてもよい。したがって、例えば、図１のコーティングは、層３と基板１との間にその他の層が設けられても、基板１「上にある」又は基板１「によって支持される」と見ることができる。また、特定の実施形態において、例示されたコーティングの特定の層は除かれてもよいが、本発明の特定の実施形態の全体の思想を逸脱しない範囲で、その他の層が各種の層の間に添加されるか、本発明のその他の実施形態において、各種の層は分離されてもよく、分離した領域の間にその他の層が添加されてもよい。また他の例として、ジルコニウム酸化物オーバーコート層は、コーティング３０内に提供されてもよい。

本発明の他の実施形態において、様々な厚さ及び材料が層に使用されるが、図１の実施形態におけるガラス基板１上の、ガラス基板から外部へ向かう順で、各層の例示の厚さ及び材料は次の通りである（物理的厚さを記載する）。

銀を含む第２ＩＲ反射層１９は、少なくとも銀を含む第１ＩＲ反射層９程厚い。特定の好ましい実施形態において、銀を含む第２ＩＲ反射層１９は、銀を含む第１ＩＲ反射層９より厚い場合、さらに好ましくは第２ＩＲ反射層１９は、銀を含む第１ＩＲ反射層９より少なくとも１０オングストローム（Å）厚い場合、さらに好ましくは少なくとも２０オングストローム厚い場合、さらに好ましくは少なくとも３０オングストローム厚い場合、さらに好ましくは少なくとも４０オングストローム厚い場合、さらに好ましくは少なくとも５０オングストローム厚い場合、最も好ましくは少なくとも６５オングストローム厚い場合、驚くことに有利な結果が達成され得ることが分かっている。特定の実施形態において、Ａｇの又はこれを含む第２ＩＲ反射層１９は、Ａｇの又はこれを含む第１ＩＲ反射層９の少なくとも２倍程厚い。本明細書に記載した全ての厚さは、物理的厚さである。

ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はこれを含むオーバーコート（図示せず）を含む選択的実施形態において、オーバーコートは、コーティング３０で銀を含むＩＲ反射層９，１９の各々より薄くてよい。このような実施形態の例において、ＩＲ反射層９，１９の各々は、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はこれを含むオーバーコート層の少なくとも２倍程厚く、さらに好ましくは少なくとも３倍程厚い。

特定の実施形態において、中心の窒化ケイ素系層１４は、その他の窒化ケイ素系層３，２４の各々より厚く、好ましくは少なくとも１００オングストローム程度、さらに好ましくは少なくとも２００オングストローム程度、最も好ましくは少なくとも３００オングストローム程度厚い。また、特定の実施形態において、窒化ケイ素系層３，１４，２４の各々は、銀系ＩＲ反射層９，１９の１つ又は両方の少なくとも２倍程厚い。

コーティング３０は、単一銀系の低放射率コーティングに比べてガラス側及び外側可視光線反射率が減少して優れた耐久性を提供する。

本発明の特定の実施形態において、本明細書に記載された被覆製品は、一体型で測定される場合（任意の熱処理前及び／又は後）、以下の光学及び太陽光特性を有してもよい。本明細書に記載されたシート抵抗（Ｒ_ｓ）は、全てのＩＲ反射層（例えば、銀系層９，１９）を考慮する。「熱処理前」は、焼きなましされたままであるが、本明細書に記載した焼き戻し処理などの高温熱処理前を意味することに留意されたい。Ｅ_ｎは垂直放射率（ｎｏｒｍａｌ ｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙ）を意味し、Ｔ_ｖｉｓは、可視光線透過率を意味し、Ｒ_ｇＹはガラス側反射可視光線反射率を意味し、「ｇ」の下付文字を有するａ^＊及びｂ^＊の値は、各々ガラス側反射率ａ^＊及びｂ^＊の色値を意味する。

上記から、熱処理（例えば、焼き戻し処理）は、被覆製品の可視光線透過率を少し増加させることが理解することができる。

本発明の特定のＩＧ窓の実施形態において、焼き戻し処理に十分な程度まで任意に熱処理され、ＩＧユニットを形成するためにまた他のガラス基板に結合された、本明細書の被覆製品は、図２に示したような構造において、以下に記載する光学／太陽光特性を有してもよい（例えば、２つのガラスシートはそれぞれ、約３．５から６ｍｍの厚さの透明ガラスであり、その間に９０／１０の比率のアルゴン／空気で満たされて約１３から１６ｍｍの間隙を有する）。

本発明の以下の実施例は、単に例示の目的で提供されるものであって、特に記載がない限り、限定を意図するものではない。
[実施例１〜３]

次の実施例１〜３は、層の厚さに対して上記のチャートで「実施例」のカラムに示された概略的な層の厚さを有するように６ｍｍの厚さの透明（ｃｌｅａｒ／ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）なガラス基板上へのスパッタコーティングによって行われた。

図１に示したような一体型のコーティングされた製品に対して測定された実施例１〜３の光学特性が以下に記載される。以下の表の測定値は全て、熱処理前の値である。「ｆ」はフィルム反射率、すなわち被覆製品のフィルム側からの反射率であり、「ｇ」はガラス側反射率を意味する。特に言及しない限り、光学は、ＩＩＩ.Ｃ，２度を観察者によって取られる。

前記実施例から理解されるように、一体型で測定された被覆製品は、好ましい低い可視光線透過率を有し、好ましい低いガラス側可視光線反射率及び好ましいガラス側反射色（ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ ｃｏｌｏｒ）値を有してもよい。また、ガラス側可視光線反射率（Ｒ_ｇＹ）は、１０％未満であり、好ましくは９％以下の点で優れていた。特に被覆製品が図２に示したようなＩＧ窓ユニットに配置される場合、これらは好ましい特性である。

前記実施例から理解されるように、一体型で測定された被覆製品は、好ましい低い可視光線透過率（Ｔ_ｖｉｓ又はＴＹ）、好ましい低いガラス側可視光線反射率（Ｒ_ｇＹ）及び非常に好ましいガラス側反射色を有してもよい。ガラス側可視光線反射率は、１０％未満の点で優れていた。特に、コーティングがＩＧ窓ユニットの表面２上で終了するように被覆製品が図２に示したようにＩＧ窓ユニットに配置される場合、これらは好ましい特性である。

実施例１〜３の被覆製品が、図２に示されたようにＩＧ窓ユニット内に位置し、ガラス基板１は厚さが６ｍｍのガーディアンエクストラクリア（Ｇｕａｒｄｉａｎ ＥｘｔｒａＣｌｅａｒ）ガラスであり、ガラス基板２は厚さが４ｍｍのガーディアンエクストラクリアガラスであり、間隙５０は厚さが１６ｍｍであり、間隙５０は９０％のアルゴンガス及び１０％の空気が満たされている。実施例１〜３の被覆製品を含む、すなわち、被覆製品が図２に示したようにＩＧ窓ユニットに位置する場合の（ガラス側反射率値が外側からのものを示すように、ＩＧユニットの表面＃２上にある）ＩＧ窓ユニットの光学特性を下に記載する。下の各表には、それぞれのＩＧ窓ユニット内における被覆製品の非熱処理（ｎｏｎ−ＨＴ）及び熱処理（ＨＴ）のバージョンを立証する。「非熱処理（ｎｏｎ−ＨＴ）」は、ＩＧユニット内の焼きなましされた被覆製品及びガラス基板を意味し、「熱処理（ＨＴ）」は、ＩＧユニット内の焼き戻し処理された被覆製品及びガラス基板を意味する。ＩＧ窓ユニットは、外観が灰色／暗灰色であり、この外観は、灰色ガラス基板を用いずに得られた（代わりに透明ガラス基板が用いられるがコーティングデザインによって灰色の外観が得られた）。ＩＧユニットは、これらが低い可視光線透過率、低い外側可視光線反射率、低いＵ値、及び低い太陽ファクタが得られる点で好ましい。

本発明は、最も実用的で好ましい実施形態であると考えられるものに関して説明してきたが、本発明は、開示された実施形態に限定されるものではなく、添付する特許請求の範囲の思想と範囲内に含まれる様々な変更及び同等の配置を含むものと理解されるべきである。

Claims (33)

1. ガラス基板によって支持されるコーティングを含む被覆製品において、
   前記コーティングは、
   銀を含む第１赤外線（ＩＲ）反射層及び第２赤外線（ＩＲ）反射層（前記第１ＩＲ反射層は、前記第２ＩＲ反射層より前記ガラス基板にさらに近く位置する）と、
   前記銀を含む第１ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第１接触層と、
   前記ＮｉＣｒを含む第１接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含む誘電体層と、
   前記シリコン窒化物を含む層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第２接触層と、
   前記ＮｉＣｒを含む第２接触層上に位置し、これと直接接触している前記銀を含む第２ＩＲ反射層と、
   前記第２ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第３接触層と、
   前記ＮｉＣｒを含む第３接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含むまた他の誘電体層と、を含み、
   前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、前記銀を含む第１ＩＲ反射層の少なくとも２倍厚く、
   前記被覆製品は、一体型で測定された可視光線透過率が５５％以下であり、一体型で測定されたガラス側可視光線反射率が１１％以下である、被覆製品。
2. 前記被覆製品は、一体型で測定されたガラス側可視光線反射率が１０％以下である、請求項１に記載の被覆製品。
3. 前記被覆製品は、一体型で測定されたガラス側可視光線反射率が９％以下である、請求項１又は２に記載の被覆製品。
4. 前記被覆製品は、一体型で測定されたガラス側可視光線反射率が８％以下である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の被覆製品。
5. 前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、前記銀を含む第１ＩＲ反射層より少なくとも４０Å厚い、請求項１〜４のいずれか一項に記載の被覆製品。
6. 前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、前記銀を含む第１ＩＲ反射層より少なくとも５０Å厚い、請求項１〜５のいずれか一項に記載の被覆製品。
7. 前記被覆製品は、一体型で測定された可視光線透過率が５０％以下である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の被覆製品。
8. 前記被覆製品は、一体型で測定された可視光線透過率が４５％以下である、請求項１〜７のいずれか一項に記載の被覆製品。
9. 前記ＮｉＣｒを含む第１接触層上に位置し、これと直接接触している前記シリコン窒化物を含む誘電体層は非晶質である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の被覆製品。
10. 前記ＮｉＣｒを含む第１接触層は、金属性であり、５％（原子％）以下の酸素を含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載の被覆製品。
11. 前記ＮｉＣｒを含む第１接触層、第２接触層、及び第３接触層は、それぞれ、金属性であり、５％（原子％）以下の酸素を含有する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の被覆製品。
12. 前記第１接触層、第２接触層、及び／又は第３接触層は、窒素を含有する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の被覆製品。
13. 前記被覆製品は、一体型で測定された可視光線透過率が２５％〜５５％である、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の被覆製品。
14. 前記被覆製品は、焼き戻し処理されておらず、一体型で測定された可視光線透過率が３５％〜４５％である、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の被覆製品。
15. 前記被覆製品は、焼き戻し処理されている、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の被覆製品。
16. 前記被覆製品は、熱処理されており、ガラス側反射率ΔＥ^＊値は、熱処理によって５．０以下である、請求項１５に記載の被覆製品。
17. 前記被覆製品は、熱処理されており、一体型で測定された可視光線透過率が３５％〜５０％である、請求項１５又は１６に記載の被覆製品。
18. 前記銀を含む第１ＩＲ反射層は、厚さが３０Å〜７０Åであり、前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、厚さが１１０Å〜１８０Åである、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の被覆製品。
19. 前記コーティングは、ジルコニウム酸化物を含むオーバーコートをさらに含む、請求項１〜１８のいずれか一項に記載の被覆製品。
20. 前記コーティングは、シート抵抗（Ｒ_ｓ）が４．０Ω／□以下である、請求項１〜１９のいずれか一項に記載の被覆製品。
21. 前記コーティングは、前記銀を含む第１ＩＲ反射層の下に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含むまた別の接触層をさらに含む、請求項１〜２０のいずれか一項に記載の被覆製品。
22. 前記コーティングは、前記ガラス基板上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含む誘電体層をさらに含む、請求項１〜２１のいずれか一項に記載の被覆製品。
23. 請求項１〜２２のいずれか一項に記載の被覆製品、及び前記被覆製品に結合されるまた他のガラス基板を含む、ＩＧ窓ユニット。
24. 前記ＩＧ窓ユニットは、外側から見るときに外観が灰色又は暗灰色であり、前記ＩＧ窓ユニットの前記ガラス基板は、灰色ではなく、透明なガラス基板である、請求項２３に記載のＩＧ窓ユニット。
25. 断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニットにおいて、
    第１ガラス基板によって支持されるコーティングを含む被覆製品、を含み、
    前記第１ガラス基板は、その上に前記コーティングを含み、前記第１ガラス基板との間に間隙が含まれるように第２ガラス基板と結合されて、前記第１ガラス基板は、前記ＩＧ窓ユニットの外部／外側にあるようにして、前記第２ガラス基板は、前記ＩＧ窓ユニットが実装されるか、又は実装される予定の建物の内部に隣接した前記ＩＧ窓ユニットの内部／内側にあるようにし、前記コーティングは、前記基板の間の前記間隙に面する前記第１ガラス基板の主表面上にあり、
    前記第１ガラス基板によって支持されるコーティングは、
    銀を含む第１赤外線（ＩＲ）反射層及び第２赤外線（ＩＲ）反射層（前記第１ＩＲ反射層は、前記第２ＩＲ反射層より前記ガラス基板に近く位置する）と、
    前記銀を含む第１ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第１接触層と、
    前記ＮｉＣｒを含む第１接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含む誘電体層と、
    前記シリコン窒化物を含む層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第２接触層と、
    前記第２接触層上に位置し、これと直接接触している前記銀を含む第２ＩＲ反射層と、
    前記第２ＩＲ反射層上に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含む第３接触層と、
    前記ＮｉＣｒを含む第３接触層上に位置し、これと直接接触しているシリコン窒化物を含むまた他の誘電体層と、を含み、
    前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、前記銀を含む第１ＩＲ反射層より少なくとも３０Å厚く、
    前記ＩＧ窓ユニットは、可視光線透過率が５０％以下で、外側可視光線反射率が１２％以下であり、
    前記ＩＧ窓ユニットは、外側から見るときに外観が灰色又は暗灰色であり、前記ＩＧ窓ユニットの第１及び第２ガラス基板は、灰色ではなく、透明なガラス基板である、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット。
26. 前記ＩＧ窓ユニットは、外側可視光線反射率が１０％以下である、請求項２５に記載のＩＧ窓ユニット。
27. 前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、前記銀を含む第１ＩＲ反射層より少なくとも４０Å厚い、請求項２５又は２６に記載のＩＧ窓ユニット。
28. 前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、前記銀を含む第１ＩＲ反射層の少なくとも２倍厚い、請求項２５〜２７のいずれか一項に記載のＩＧ窓ユニット。
29. 前記ガラス基板は、焼き戻し処理されている、請求項２５〜２８のいずれか一項に記載のＩＧ窓ユニット。
30. 前記銀を含む第１ＩＲ反射層は、厚さが３０Å〜７０Åであり、前記銀を含む第２ＩＲ反射層は、厚さが１１０Å〜１８０Åである、請求項２５〜２９のいずれか一項に記載のＩＧ窓ユニット。
31. 前記コーティングは、ジルコニウム酸化物を含むオーバーコートをさらに含む、請求項２５〜３０のいずれか一項に記載のＩＧ窓ユニット。
32. 前記コーティングは、シート抵抗（Ｒ_ｓ）が４．０Ω／□以下である、請求項２５〜３１のいずれか一項に記載のＩＧ窓ユニット。
33. 前記コーティングは、前記銀を含む第１ＩＲ反射層の下に位置し、これと直接接触しているＮｉＣｒを含むまた別の接触層をさらに含む、請求項２５〜３２のいずれか一項に記載のＩＧ窓ユニット。

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