JP6322735B2 - 検査対象物の検査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、検査対象物の検査装置に関する。さらに詳細には、簡単かつ迅速に作業者が所望する位置で検査対象物を検査することができ、検査対象物に対して様々な位置で検査が可能で検査効率を著しく向上させることができるだけでなく、構成が簡単で製作および維持が容易であって、費用を節減することができる検査対象物の検査装置に関する。
最近のスマートフォン、タブレットPCなど携帯用電子機器には、カメラモジュールが装着されることが一般的であり、このようなカメラモジュールを用いて、携帯用電子機器を用いて写真や動画を撮影することになる。
従来は、カメラモジュールの画素数が多くなかったので、生産過程での簡単な検査だけでも十分な検査が行われることができたが、最近では、カメラモジュールがだんだん超小型化、高解像度および高画素化され、カメラモジュールを製造した後、焦点検査や解像度検査、異物検査などのような様々な検査が行われる。
ところで、カメラモジュールの焦点検査や解像度検査のとき、チャートを用いるのが一般的であるが、通常、カメラモジュールとチャートを垂直線上または水平線上のように一方向に向かい合う状態で検査を行うことになる。
これは、実生活で携帯用電子機器を用いて写真を撮影したり、動画を撮影するとき、使用者がカメラをほぼ垂直に立てたり、地面側に向かって横にして撮影するなど様々に撮影することに比べ、カメラモジュールの検査は、様々な位置で検査が行われず、検査効率が低いという問題点が発生している。
そのため、ドーム(Dome)形状の半球状チャートを使用して様々な位置でカメラモジュールの検査を行うことがあるが、このような半球状チャートは、製作および維持費用が高くて簡単に使用するのに困難な問題点があった。
したがって、前述のような問題点が補完された検査対象物の検査装置の必要性が台頭している。
大韓民国公開特許第10-2013-0065305号
したがって、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するためのものであって、簡単かつ迅速に作業者が所望する位置で検査対象物を検査することができる検査対象物の検査装置を提供することにある。
また、検査対象物に対して様々な位置で検査が可能で検査効率を著しく向上させることができる検査対象物の検査装置を提供することにある。
また、構成が簡単で製作および維持が容易であって、費用を節減することができる検査対象物の検査装置を提供することにある。
前記目的は、本発明によって、
検査対象物を中心に一定の距離で離れた弧の形状を有するガイド手段、および前記ガイド手段に沿って移動可能に前記ガイド手段に装着され、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動作して、前記検査対象物を検査する検査手段を含む検査対象物の検査装置によって達成される。
ここで、前記ガイド手段には、前記ガイド手段の長さ方向に沿って、前記検査手段の移動位置測定用目盛りが形成されることが好ましい。
ここで、前記検査対象物は、カメラモジュールであり、前記検査手段は、前記検査対象物の焦点、近距離解像度、遠距離解像度のうちの1つ以上を検査するように構成されることが好ましい。
ここで、前記検査手段は、前記ガイド手段に装着されて弧の軌跡で移動する移動部、および前記移動部に装着され、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動く検査部を含むことが好ましい。
ここで、前記検査部は、一側端部が前記検査対象物側を向くように前記移動部に装着され、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動く案内ユニット、および前記検査対象物と向かい合うように前記案内ユニットに結合されたチャートユニットを含むことが好ましい。
ここで、前記検査部は、一側端部が前記検査対象物側を向くように前記移動部に装着される案内ユニット、および前記検査対象物と向かい合うように前記案内ユニットに結合され、前記案内ユニットの長さ方向に沿って、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動くチャートユニットを含むことが好ましい。
ここで、前記案内ユニットには、前記案内ユニットの長さ方向に沿って、前記チャートユニットの移動位置を測定するための目盛りが形成されることが好ましい。
ここで、前記チャートユニットは、前記案内ユニットに結合された状態でその場での回転が可能に構成されることが好ましい。
ここで、前記チャートユニットは、光源を用いて光を発散するバックライトをさらに含むことが好ましい。
ここで、前記ガイド手段は、半円形状からなることが好ましい。
ここで、前記ガイド手段は、半円形状の多数のガイドフレームが中心部分で積層されて構成され、前記検査手段は、多数の前記ガイドフレームが積層される中心部分を基準として、前記ガイドフレームの両側に装着されることが好ましい。
ここで、前記ガイドフレームの中心には開口部が形成され、前記ガイド手段は、前記開口部が互いに連通するように積層される多数の前記ガイドフレーム、および前記開口部を介して多数の前記ガイドフレームを連結させる連結ピンを含むことが好ましい。
ここで、前記ガイドフレームは、前記連結ピンを中心に回転可能に構成されることが好ましい。
ここで、前記ガイドフレームと前記連結ピンのうちの少なくとも1つには、前記ガイドフレームの回転角度を測定するための目盛りが形成されることが好ましい。
ここで、前記検査手段は、レール方式または電磁石方式で前記ガイド手段に装着されて移動することが好ましい。
ここで、前記検査手段が移動するときに、検査装置は、前記検査手段の移動軌跡、前記検査手段の現在の緯度、前記検査手段の現在の経度のうちの1つ以上を把握する位置把握部をさらに含むことが好ましい。
本発明によれば、簡単かつ迅速に作業者が所望する位置で検査対象物を検査することができる検査対象物の検査装置が提供される。
また、検査対象物に対して様々な位置で検査が可能で検査効率を著しく向上させることができる。
また、構成が簡単で製作および維持が容易であって、費用を節減することができるようになる。
本発明の第1実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。 図1に示された検査対象物の検査装置の一部を拡大して示す拡大図である。 本発明の第2および第3実施例に係る検査対象物の検査装置の一部を拡大して示す拡大図である。 本発明の第2および第3実施例に係る検査対象物の検査装置の一部を拡大して示す拡大図である。 本発明の第4実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。 本発明の第5〜第7実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。 本発明の第5〜第7実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。 本発明の第5〜第7実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。
以下、添付した図面を参照して、本発明に係る検査対象物の検査装置について詳細に説明する。ここで、検査装置を介して検査しようとする検査対象物は、様々なものが使用されることができるが、ここでは、カメラモジュールであることを例に挙げて説明し、このようなカメラモジュールを検査する検査手段は、カメラモジュールの焦点や解像度を測定することができるように焦点、近距離解像度、遠距離解像度のうちのいずれか1つ以上を検査する検査手段を使用することを例に挙げて説明する。
図1は、本発明の第1実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。
図1を参照すると、本発明の第1実施例に係る検査対象物の検査装置は、大きくガイド手段100および検査手段200を含んで構成される。
ガイド手段100は、検査対象物CMを中心に一定の距離に離れた弧形態をなす部材である。ガイド手段100は、仮想の円を描いたとき、該当の円の円周に沿って形成され、検査対象物CMは、仮想の円の中心に位置することになる。
このようなガイド手段100は、棒(Stick)やパイプ(Pipe)、バー(Bar)のような形状のフレームが曲がっている形態である。このとき、図1にはガイド手段100が半円形状をなすものとして示されているが、ガイド手段の形状は、検査対象物CMの種類や大きさに応じて、または以下に説明する検査手段200によって実施する検査の種類に応じて、弧の長さがさらに延長され、円に近い形状をなすか、あるいは弧の長さが縮小されて半円形状よりも小さい形状をなすこともあり得る。
検査手段200は、ガイド手段100に沿って移動しながら検査対象物CMを検査するようにガイド手段100に装着されている。検査手段200は、レール方式または電磁石方式によってガイド手段100に装着されるが、このような方式の他にも、検査手段200がガイド手段100に沿って移動できる方式があれば、適用することができる。
このような検査手段200は、移動部210と検査部220を含む。
移動部210は、ガイド手段100に沿って移動することができる部材である。
このために、移動部210は、ガイド手段100に装着されて、すなわちレール方式または電磁石方式によりガイド手段100に装着され、ガイド手段100に沿って弧形態の軌跡で移動する。それで、移動部210は、常に検査対象物CMを中心に一定の距離に離れた位置を維持しながら、ガイド手段100に沿って移動する。
検査手段200の移動時、特に移動部210の移動時、移動部210の位置を把握することができるように、ガイド手段100には、ガイド手段100の長さ方向に沿って目盛り(C、移動位置測定用目盛り)が形成されている。したがって、目盛りによって検査手段200の移動位置を測定することができる。
検査部220は、検査対象物CMを検査する部材である。
検査部220は、移動部210に装着され、検査対象物CMに近づいたり遠ざかるように動作する。特に、本発明においては、検査対象物CMは仮想の円の中心に位置するように構成されており、移動部210が仮想の円周に沿って形成されたガイド手段100に沿って移動するようになるため、検査部22は常に検査対象物CMを見ることができる。
検査部220は、移動部210によって移動しながら、同時に検査対象物CMに近づいたり遠ざかる動作を行う。したがって、検査部220は、検査対象物CMから離れた位置を変更して検査を行うことができ、すなわち様々な位置で検査対象物CMを検査することができる。
図2は、図1に示された検査対象物の検査装置の一部を拡大して示す拡大図である。図2aには、図1に示された検査対象物の検査装置の一部が拡大して示されており、図2bには図2aに示される検査装置の一部断面が示されている。
図2を見ると、ガイド手段100が1つのフレーム(ガイドフレーム)からなっており、移動部210がガイド手段100の一側面に装着されてガイド手段100に沿って移動する。
移動部210に装着される検査部220は、案内ユニット222とチャートユニット224を含む。
案内ユニット222は、検査対象物側に向かって延長された部材で構成され、一側端部が検査対象物側(以下、「カメラモジュール」という)に向かうように移動部に装着され、カメラモジュールCMに近づいたり遠ざかるように動く。
図面で見たとき、チャートユニット224は、案内ユニット222の下部末端側に結合されてカメラモジュールCMと向かい合う。カメラモジュールCMの焦点や解像度を測定することができるように、チャートユニットは、カメラモジュールCMの焦点調整のためのパターンを含むチャートや、解像度測定のための検査パターン、例えばSFR(Special Frequency Response)測定が可能なPIMAチャートや、MTF(Modulation Transfer Funcion)検査が可能なチャートで構成されることができる。
案内ユニット222の動作に応じて、すなわちカメラモジュールCM側に向かって近づいたり遠ざかる案内ユニット222の動作に応じて、チャートユニット224がカメラモジュールCMに近づいたり遠ざかることになる。このような案内ユニット222の動作によるチャートユニット224の位置を把握することができるように、案内ユニット222には、案内ユニット222の長さ方向に沿って、チャートユニット224の移動位置を測定することができる目盛り(C’、移動位置測定用目盛り)が形成されることが好ましい。
また、カメラモジュールCMに対して様々な検査を進行することができるようにチャートユニット224は、案内ユニット222に結合された状態でその場での回転が可能に構成されることができる。
一方、カメラモジュールCMの検査を行う時、通常エルイーディー(LED)やハロゲンランプなどのような照明器具(図示せず)を用いて検査装置の内部を明るくしたり、カメラモジュールCMに光を照射しながら検査を行うことになる。このような照明器具は、別途に検査装置の内部に設けられることもできるが、チャートユニット224に光源を用いて光を発散するバックライトを設置して、より円滑にカメラモジュールCMの検査が行われるようにするのがいい。
図3および図4は、本発明の第2および第3実施例に係る検査対象物の検査装置の一部を拡大して示す拡大図である。
まず、図3aには、第2実施例に係る検査対象物の検査装置の一部が拡大して示されており、図3bには、図3aの断面が示されている。
このような本発明の第2実施例に係る検査対象物の検査装置は、前述した第1実施例と類似に構成されるが、ガイド手段100の形状とガイド手段100に装着されて移動する移動部210の位置が互いに異なる。
すなわち、第2実施例においては、ガイド手段100が同じ半円形状を有する2つのフレームで構成され、2つのフレームを複数の横木(Crossarm)が連結する。
移動部210は、ガイド手段100の上面に装着されてガイド手段100に沿って移動するように設けられている。案内ユニット222が移動部210とガイド手段100を貫通するように設置されており、横木と横木との間で動く。また、案内ユニット222に結合されたチャートユニット224がカメラモジュールCMに近づいたり遠ざかるようになり、案内ユニット222には、チャートユニット224の移動位置を測定することができる目盛り(C’)が形成されている。
また、チャートユニット224は、カメラモジュールCMの様々な検査を進行することができるように、案内ユニット222に結合された状態でその場での回転が可能に構成され、チャートユニットに光源を用いて光を発散するバックライトが設置されることができる。
このような第2実施例に係る検査対象物の検査装置によれば、移動部210が案内ユニット222によってガイド手段100の横木と横木との間で動作するため、横木と横木との間の間隔により多数の検査手段200を使用することができる。
図4aには、第3実施例に係る検査対象物の検査装置の一部が拡大して示されており、図4bには、図4aの断面が示されている。
本発明の第3実施例に係る検査対象物の検査装置は、第1または第2実施例と類似に構成されるが、ガイド手段100に装着されて移動する移動部210の位置とともに検査部220が異なって構成されるという点で差異がある。
図4aおよび図4bに示すように、第3実施例で使用されるガイド手段100は、第1実施例と同様に1つのフレーム(ガイドフレーム)からなり、移動部210は、ガイド手段100の下側に装着されて移動するように構成される。
また、検査部220は、第1および第2実施例と同様に、案内ユニット222とチャートユニット224からなるが、第1および第2実施例では、案内ユニット222がカメラモジュールCM側に向かって近づいたり遠ざかるように動作する構成であるのに対し、第3実施例では、案内ユニット222が移動部210の側面に固定されて動かず、カメラモジュールCMと向かい合うように案内ユニット222に結合されているチャートユニット224が案内ユニット222の長さ方向に沿ってカメラモジュールCMに近づいたり遠ざかるように移動する。
このような第3実施例においても、案内ユニット222に移動位置測定用目盛り(C’)が形成されて、チャートユニット224の移動位置を把握することができる。
そして、チャートユニット224には、光源を用いて光を発散するバックライトが設置されることができる。
図2〜図4に示される第1〜第3実施例のように、ガイド手段100に装着される移動部210は、ガイド手段100の特定位置に固定されて使用されるものではなく、検査随行環境や検査装置の製造費用などによりガイド手段100の側面や上面、下面など適切な位置を選択して移動部を装着して使用することができる。
また、図示されてはいないが、中が空いたパイプ(Pipe)形状のガイド手段100を使用する場合、移動部210がガイド手段100の内側に位置するように移動部を装着して使用することもできる。
図5は、本発明の第4実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。ここで、図5に示されるガイド手段では目盛り(C)、すなわち移動位置測定用の目盛りが省略されて示されている。
図5に示されるように、本発明の第4実施例に係る検査対象物の検査装置は、ガイド手段100を支持するようにガイド手段100の両側に連結される別途の支持台(S)を使用する。
すなわち、ガイド手段100が、カメラモジュールCMが安着されて検査が行われる検査台(図示せず)に固定されているか、検査装置の底に固定されているのではなく、支持台(S)によって地面と離隔されて空中に浮いている状態となる。
このような支持台(S)によって、図面で見たとき、上側に位置する半円形状のガイド手段100と検査手段200を介して、カメラモジュールCMが上部側を見る状態で検査を行うことができる。
また、状況に応じて、図5の下側に点線で表示されている半円形状や、それよりも小さな円形状のガイド手段100を検査装置に設置すると、カメラモジュールCMが下部側を見る状態でも検査が可能である。したがって、様々な位置でカメラモジュールCMを検査することができる。
図6〜図8は、本発明の第5〜第7実施例に係る検査対象物の検査装置を概略的に示す概略図である。ここで、図6〜図8では、図面が複雑になるのを防止するためにガイド手段、すなわちガイドフレームに移動位置測定用目盛り(C)を省略した状態として示した。
まず、図6に示されたように、本発明の第5実施例に係る検査対象物の検査装置では、ガイド手段100が多数のガイドフレーム110で構成されている。すなわち、第1〜第3実施例で提示された1つのフレームからなるガイド手段100が多数個で提供されている。
ガイドフレーム110は、半円形状からなるが、このように半円形状からなる複数のガイドフレーム110の中心部分が互いに重なって積層されている。
このとき、それぞれのガイドフレーム110は、互いに異なる方向を向くように配置される。すなわち、カメラモジュールCMを中心にして、それぞれのガイドフレーム110の末端を結ぶ仮想の円を描いたとき、それぞれのガイドフレーム110の末端が仮想の円で互いに別の位置に置かれるようにガイドフレーム110が配置される。
そして、多数のガイドフレーム110が積層された状態で互いに滑って離脱することを防止することができるように、溶接や圧接、接着剤などを用いてガイドフレーム110を互いに固定させることになる。
移動部210と検査部220を含む検査手段200は、多数のガイドフレーム110が積層される中心部分のために、ガイドフレーム110の一方の末端からガイドフレーム110の中心付近までのみ移動が可能になるので、検査手段200は、ガイドフレーム110どうし積層される中心部分を基準にしてガイドフレーム110の両側にそれぞれ装着されることができる。
すなわち、図6では、3つのガイドフレーム110が設置されており、したがってカメラモジュールCMを中心にガイドフレーム110の末端は6つが配置され、カメラモジュールCMを中心とする仮想の円でガイドフレームの末端と末端との間の角度は60度となる。この場合、ガイドフレーム110当たり2つずつ、総6つの検査手段200が使用される。
このように、本発明の第5実施例に係る検査対象物の検査装置において、ガイドフレーム110に沿って移動することになる検査手段200は、それぞれ互いに異なる軌跡で移動することになるので、様々な位置でカメラモジュールCMに対して検査を行うことができるようになる。
図7aおよび図7bは、本発明の第6実施例に係る検査対象物の検査装置に関するものである。
図7を見ると、第6実施例に係る検査対象物の検査装置は、第5実施例と類似に構成されるが、ガイド手段100を構成する多数のガイドフレーム110を固定する方式で差異がある。
すなわち、第5実施例では、積層された多数のガイドフレーム110を溶接や圧接、接着剤により固定させることになるが、第6実施例では、それぞれのガイドフレーム110ごとに中心に開口部112が形成されており、開口部112が互いに連通するように多数のガイドフレーム110が積層され、連結ピン120が開口部112を貫通して多数のガイドフレーム110を連結させる。
このように、本発明の第6実施例では、ガイドフレームが完全に固定されている第5実施例とは異なり、連結ピン120を介してガイドフレーム110の分解および組み立てが可能に構成されて、検査しようとするカメラモジュールCMの種類に応じ、ガイドフレーム110の方向を適切に調節することができる。
例えば、ある1つのカメラモジュールCMに対し、第5実施例のようにカメラモジュールCMを中心とする円でガイドフレーム110の末端と末端との間の角度をそれぞれ60度に設定して検査を行うことができる。
一方、他の類型のカメラモジュールCMの検査を行うとき、連結ピン120を分離した後、カメラモジュールCMを中心とする円でガイドフレーム110の末端と末端との間の角度が30度の角度が2つ形成され、75度の角度が4つ形成されるようにガイドフレーム110が配置された位置を変更した後、再び連結ピン120を組み立てて、検査を行うことができる。
図8には、本発明の第7実施例に係る検査対象物の検査装置が示されている。
図8を参照すると、本発明の第7実施例に係る検査対象物の検査装置は、第6実施例とほとんど類似に構成されるが、分解や組み立てをしなくても、ガイドフレーム110の末端と末端との間の角度を調節することができるように構成されるという点で差異がある。
すなわち、第7実施例、また第6実施例と同様に、それぞれのガイドフレーム110ごとに中心に開口部112が形成され、このような開口部112が互いに連通するように、多数のガイドフレーム110が積層され、連結ピン120を開口部112に結合させて、多数のガイドフレーム110を連結することになる。
ここで、第7実施例の場合、ガイドフレーム110は、連結ピン120を中心に回転可能に構成されている。このようにガイドフレーム110が連結ピン120を中心に回転できるようにする構成は、公知されている様々な技術、例えば、ベアリングやローラなど滑り部材を用いた技術を介して具現することができ、ここでは詳細な説明を省略する。
このように、第7実施例では、ガイド手段100を構成する多数のガイドフレーム110が連結ピン120を中心に回転が可能に構成されているが、ガイドフレーム110が回転する角度を測定することができるように、ガイドフレーム110、連結ピン120、またはガイドフレーム110および連結ピン120の両方に目盛り(C”、回転角度測定用目盛り)を形成することが好ましい。
このような本発明の第7実施例は、ガイド手段100を分解したり組み立てる過程なしで、作業者の所望のとおりガイドフレーム110を回転させ、検査しようとするカメラモジュールCMに適した角度を設定することができるため、より簡単かつ迅速に様々な位置でカメラモジュールCMを検査することができるようになる。
一方、本明細書においては、移動部210の移動位置を把握するために、ガイド手段100またはガイド手段100を構成する多数のガイドフレーム110に目盛り(C、移動位置測定用目盛り)が形成され、チャートユニット224の移動位置を把握するために案内ユニット222に目盛り(C’、移動位置測定用目盛り)が形成されるものとして説明したが、その他にも検査手段200の位置移動時、検査手段200の移動軌跡と検査手段200の緯度と経度のうちのいずれか1つ以上を把握することができるように、位置センサーで構成される位置把握部(図示せず)を別途に提供することができる。
このような位置把握部は、検査手段200に一体または別個に設置することができ、位置把握部で把握された検査手段200の位置を本発明に係る検査対象物の検査装置を制御する制御手段(図示せず)に伝送して、より円滑にカメラモジュールCMの検査を位置に応じて行われるように構成することができる。
一方、本発明の第7実施例の場合、目盛り(C”、回転角度測定用目盛り)を介して多数のガイドフレーム110の回転角度を測定するが、位置把握部を介してガイドフレーム110の回転角度を検出することもできる。
本発明の権利範囲は、前述した実施例に限定されるものではなく、添付した特許請求の範囲内で様々な形態の実施例で具現することができる。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば誰でも変形可能な様々な範囲まで本発明の請求範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。
100:ガイド手段
110:ガイドフレーム
112:開口部
120:連結ピン
200:検査手段
210:移動部
220:検査部
222:案内ユニット
224:チャートユニット
C、C’、C”:目盛り
CM:検査対象物(カメラモジュール)
S:支持台

Claims (14)

  1. 検査対象物の検査装置において、
    検査対象物を中心に一定の距離で離れた弧の形状を有するガイド手段、および
    前記ガイド手段に沿って移動可能に前記ガイド手段に装着され、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動作して、前記検査対象物を検査する検査手段を含み、
    前記ガイド手段は、半円形状からなり、
    前記ガイド手段は、半円形状の多数のガイドフレームが中心部分で積層されて構成され、
    前記検査手段は、多数の前記ガイドフレームが積層される中心部分を基準として、前記ガイドフレームの両側に装着される検査対象物の検査装置。
  2. 前記ガイド手段には、
    前記ガイド手段の長さ方向に沿って、前記検査手段の移動位置測定用目盛りが形成されることを特徴とする請求項1に記載の検査対象物の検査装置。
  3. 前記検査対象物は、カメラモジュールであり、
    前記検査手段は、前記検査対象物の焦点、近距離解像度、遠距離解像度のうちの1つ以上を検査するように構成されることを特徴とする請求項1に記載の検査対象物の検査装置。
  4. 前記検査手段は、
    前記ガイド手段に装着されて弧の軌跡で移動する移動部、および
    前記移動部に装着され、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動く検査部を含むことを特徴とする請求項3に記載の検査対象物の検査装置。
  5. 前記検査部は、
    一側端部が前記検査対象物側を向くように前記移動部に装着され、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動く案内ユニット、および
    前記検査対象物と向かい合うように前記案内ユニットに結合されたチャートユニットを含むことを特徴とする請求項4に記載の検査対象物の検査装置。
  6. 前記検査部は、
    一側端部が前記検査対象物側を向くように前記移動部に装着される案内ユニット、および
    前記検査対象物と向かい合うように前記案内ユニットに結合され、前記案内ユニットの長さ方向に沿って、前記検査対象物に近づいたり遠ざかるように動くチャートユニットを含むことを特徴とする請求項4に記載の検査対象物の検査装置。
  7. 前記案内ユニットには、
    前記案内ユニットの長さ方向に沿って、前記チャートユニットの移動位置を測定するための目盛りが形成されることを特徴とする請求項5または6に記載の検査対象物の検査装置。
  8. 前記チャートユニットは、
    前記案内ユニットに結合された状態でその場での回転が可能に構成されることを特徴とする請求項5または6に記載の検査対象物の検査装置。
  9. 前記チャートユニットは、
    光源を用いて光を発散するバックライトをさらに含むことを特徴とする請求項5または6に記載の検査対象物の検査装置。
  10. 前記ガイドフレームの中心には開口部が形成され、
    前記ガイド手段は、
    前記開口部が互いに連通するように積層される多数の前記ガイドフレーム、および
    前記開口部を介して多数の前記ガイドフレームを連結させる連結ピンを含むことを特徴とする請求項1に記載の検査対象物の検査装置。
  11. 前記ガイドフレームは、
    前記連結ピンを中心に回転可能に構成されることを特徴とする請求項10に記載の検査対象物の検査装置。
  12. 前記ガイドフレームと前記連結ピンのうちの少なくとも1つには、
    前記ガイドフレームの回転角度を測定するための目盛りが形成されることを特徴とする請求項11に記載の検査対象物の検査装置。
  13. 前記検査手段は、
    レール方式または電磁石方式で前記ガイド手段に装着されて移動するように設けられることを特徴とする請求項1に記載の検査対象物の検査装置。
  14. 前記検査手段が移動するときに、前記検査手段の移動軌跡、前記検査手段の現在の緯度および前記検査手段の現在の経度のうちの1つ以上を把握する位置把握部をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の検査対象物の検査装置。
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