JP6318550B2 - Vibrating piece, angular velocity sensor, electronic device and moving object - Google Patents
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Description
本発明は、振動片、角速度センサー、電子機器および移動体に関する。 The present invention relates to a resonator element, an angular velocity sensor, an electronic device, and a moving object.
角速度を検出する角速度センサーは、例えば、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラやビデオカメラ等の振動制御補正(いわゆる手ぶれ補正)等に用いられる。かかる角速度センサーとしては、例えば、振動ジャイロセンサーが知られている(例えば、特許文献1参照)。
例えば、特許文献1に係る角速度センサーは、基部と、この基部に連結されている2つの支持部と、各支持部から延びている駆動振動片(振動腕)と、基部に連結されている検出振動片(振動腕)とを備え、これらが圧電体単結晶からなる。この角速度センサーでは、2つの駆動振動片を面内方向で屈曲振動(駆動振動)させた状態で、面外方向に沿った検出軸まわりの角速度が加わると、コリオリ力の作用により、検出振動片の面内方向での屈曲振動が励振される。そして、この検出振動片の屈曲振動を検出することにより、角速度を検出する。
また、特許文献1に係る角速度センサーでは、素子全体が面外屈曲振動する面外屈曲動モードと他の振動モードとの結合による温度ドリフトを抑制する観点から、面外屈曲振動モードと駆動振動モードとを所定の関係に規定している。
An angular velocity sensor that detects an angular velocity is used, for example, for vehicle body control in a vehicle, vehicle position detection of a car navigation system, vibration control correction (so-called camera shake correction) of a digital camera, a video camera, or the like. As such an angular velocity sensor, for example, a vibration gyro sensor is known (see, for example, Patent Document 1).
For example, an angular velocity sensor according to Patent Document 1 includes a base, two support portions connected to the base, a driving vibration piece (vibrating arm) extending from each support, and a detection connected to the base. A vibrating piece (vibrating arm) is provided, and these are made of a piezoelectric single crystal. In this angular velocity sensor, when an angular velocity around the detection axis along the out-of-plane direction is applied in a state where the two drive vibration pieces are bent and vibrated in the in-plane direction (drive vibration), the detection vibration piece is caused by the action of the Coriolis force. The bending vibration in the in-plane direction is excited. Then, the angular velocity is detected by detecting the bending vibration of the detection vibrating piece.
Further, in the angular velocity sensor according to Patent Document 1, the out-of-plane bending vibration mode and the driving vibration mode are used from the viewpoint of suppressing temperature drift due to the combination of the out-of-plane bending motion mode in which the entire element is bent out-of-plane and other vibration modes. Are defined in a predetermined relationship.
ところで、通常、基部は、比較的弾性の高い支持構造体を介して、パッケージ等の他の構造体に支持されている。そのため、支持構造体の弾性に起因する振動モードが存在する。
しかし、特許文献1に係る角速度センサーでは、このような支持構造体の弾性を考慮していないため、支持構造体の弾性に起因する振動モードと他の振動モードとの結合によるパラメトリック励振によって駆動振動モードの振動形状が変化し、出力が変動するという問題があった。ここで、パラメトリック励振は、駆動振動モード以外の複数の振動モードの共振周波数の和が駆動振動モードの共振周波数と一致した場合に発生する。
By the way, normally, the base is supported by another structure such as a package via a support structure having relatively high elasticity. Therefore, there exists a vibration mode due to the elasticity of the support structure.
However, since the angular velocity sensor according to Patent Document 1 does not consider the elasticity of the support structure, the driving vibration is generated by parametric excitation by coupling the vibration mode caused by the elasticity of the support structure with another vibration mode. There was a problem that the vibration shape of the mode changed and the output fluctuated. Here, the parametric excitation occurs when the sum of the resonance frequencies of a plurality of vibration modes other than the drive vibration mode matches the resonance frequency of the drive vibration mode.
本発明の目的は、パラメトリック励振による出力変動を低減することができる振動片および角速度センサーを提供すること、また、かかる振動片を備える優れた信頼性を有する電子機器および移動体を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a resonator element and an angular velocity sensor that can reduce output fluctuations due to parametric excitation, and to provide an electronic device and a moving body having excellent reliability provided with the resonator element. is there.
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本発明の振動片は、基部と、
前記基部から第1方向に沿って延出されていて、前記第1方向に交差する第2方向に沿って並んで配置されている2つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記2つの振動腕が前記第2方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がf1[Hz]であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第1の振動モードの共振周波数がf2[Hz]であり、前記駆動振動モードおよび前記第1の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記2つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第2の振動モードの共振周波数がf3[Hz]であり、1以上の整数をnとしたとき、
n×f1≠f2+f3の関係を満たし、
前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードのうちの少なくとも一方は、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第2方向に沿って振動する振動モード、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第1方向および前記第2方向の双方に交差する第3方向に沿って振動する振動モード、または、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第3方向に沿った軸まわりに振動する振動モードであることを特徴とする。
このような振動片によれば、支持部の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
[Application Example 1]
The resonator element according to the invention includes a base,
Two vibrating arms extending from the base along the first direction and arranged side by side along the second direction intersecting the first direction;
A support part for supporting the base part;
With
The resonance frequency of the drive vibration mode in which the two vibrating arms vibrate in the opposite directions along the second direction is f1 [Hz], and the first vibration in which the base vibrates with deformation of the support portion. The resonance frequency of the mode is f2 [Hz], which is different from the drive vibration mode and the first vibration mode, and out of the vibration of the base and the vibration of the two vibrating arms, which are accompanied by deformation of the support portion. When the resonance frequency of the second vibration mode including at least one of f3 [Hz] and an integer greater than or equal to 1 is n,
satisfy the relationship of n × f1 ≠ f2 + f3,
At least one of the first vibration mode and the second vibration mode is a vibration mode in which the base vibrates along the second direction with deformation of the support portion, and with deformation of the support portion. A vibration mode in which the base portion vibrates along a third direction intersecting both the first direction and the second direction, or an axis along which the base portion extends along the third direction with deformation of the support portion. It is a vibration mode that vibrates around .
According to such a resonator element, output fluctuation due to parametric excitation caused by the elasticity of the support portion can be reduced.
[適用例2]
本発明の振動片では、前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードは、互いに直交する方向の振動成分を含んでいることが好ましい。
このような場合、第1の振動および第2の振動により駆動振動のパラメトリック励振が生じるおそれがある。したがって、この場合に本発明を適用することによる効果が顕著に発揮される。
[Application Example 2 ]
In the resonator element according to the aspect of the invention, it is preferable that the first vibration mode and the second vibration mode include vibration components in directions orthogonal to each other.
In such a case, there is a possibility that parametric excitation of drive vibration may occur due to the first vibration and the second vibration. Therefore, in this case, the effect by applying the present invention is remarkably exhibited.
[適用例3]
本発明の振動片では、前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードは、一方の振動モードが前記第2方向に沿った方向の振動成分を含み、他方の振動モードが前記第1方向および前記第2方向の双方に交差する第3方向に沿った方向の振動成分を含んでいることが好ましい。
このような場合、仮にf1=f2+f3の関係を満たしていると、第1の振動および第2の振動との組み合わせるによってパラメトリック励振に起因する駆動振動の振動形状の変化を生じやすい。したがって、この場合に本発明を適用することによる効果が顕著に発揮される。
[Application Example 3 ]
In the resonator element according to the aspect of the invention, in the first vibration mode and the second vibration mode, one vibration mode includes a vibration component in a direction along the second direction, and the other vibration mode is the first direction. It is preferable that a vibration component in a direction along a third direction intersecting both the second direction and the second direction is included.
In such a case, if the relationship of f1 = f2 + f3 is satisfied, the vibration shape of the drive vibration due to the parametric excitation is likely to change due to the combination with the first vibration and the second vibration. Therefore, in this case, the effect by applying the present invention is remarkably exhibited.
[適用例4]
本発明の振動片では、|f1−f2−f3|≧10Hzの関係を満たすことが好ましい。
これにより、第1の振動および第2の振動の組み合わせによるパラメトリック励振を効果的に低減することができる。
[Application Example 4 ]
In the resonator element according to the aspect of the invention, it is preferable that the relationship | f1-f2-f3 | ≧ 10 Hz is satisfied.
Thereby, the parametric excitation by the combination of the first vibration and the second vibration can be effectively reduced.
[適用例5]
本発明の振動片では、前記2つの振動腕は、前記基部の前記第1方向での一端側と他端側とにそれぞれ配置されており、
前記基部の前記一端側に配置されている前記2つの振動腕と、前記基部の前記他端側に配置されている前記2つの振動腕とが互いに同じ方向に駆動振動することが好ましい。
これにより、いわゆるダブルT型の振動片において、本発明の効果を発揮させることができる。
[適用例6]
本発明の角速度センサーは、本発明の振動片を備えることを特徴とする。
このような角速度センサーによれば、パラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
[Application Example 5 ]
In the resonator element according to the aspect of the invention, the two vibrating arms are respectively disposed on one end side and the other end side of the base portion in the first direction.
It is preferable that the two vibrating arms arranged on the one end side of the base and the two vibrating arms arranged on the other end side of the base drive and vibrate in the same direction.
Accordingly, the effect of the present invention can be exhibited in a so-called double T-type vibrating piece.
[Application Example 6 ]
The angular velocity sensor of the present invention includes the resonator element of the present invention.
According to such an angular velocity sensor, output fluctuation due to parametric excitation can be reduced.
[適用例7]
本発明の角速度センサーは、基部と、
前記基部から第1方向に沿って延出されていて、前記第1方向に交差する第2方向に沿って並んで配置されている2つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記2つの振動腕が前記第2方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がf1[Hz]であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第1の振動モードの共振周波数がf2[Hz]であり、前記駆動振動モードおよび前記第1の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記2つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第2の振動モードの共振周波数がf3[Hz]であり、1以上の整数をnとしたとき、
n×f1≠f2+f3の関係を満たし、
前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードのうちの少なくとも一方は、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第2方向に沿って振動する振動モード、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第1方向および前記第2方向の双方に交差する第3方向に沿って振動する振動モード、または、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第3方向に沿った軸まわりに振動する振動モードであることを特徴とする。
このような角速度センサーによれば、パラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
[Application Example 7 ]
The angular velocity sensor of the present invention includes a base,
Two vibrating arms extending from the base along the first direction and arranged side by side along the second direction intersecting the first direction;
A support part for supporting the base part;
With
The resonance frequency of the drive vibration mode in which the two vibrating arms vibrate in the opposite directions along the second direction is f1 [Hz], and the first vibration in which the base vibrates with deformation of the support portion. The resonance frequency of the mode is f2 [Hz], which is different from the drive vibration mode and the first vibration mode, and out of the vibration of the base and the vibration of the two vibrating arms, which are accompanied by deformation of the support portion. When the resonance frequency of the second vibration mode including at least one of f3 [Hz] and an integer greater than or equal to 1 is n,
satisfy the relationship of n × f1 ≠ f2 + f3,
At least one of the first vibration mode and the second vibration mode is a vibration mode in which the base vibrates along the second direction with deformation of the support portion, and with deformation of the support portion. A vibration mode in which the base portion vibrates along a third direction intersecting both the first direction and the second direction, or an axis along which the base portion extends along the third direction with deformation of the support portion. It is a vibration mode that vibrates around .
According to such an angular velocity sensor, output fluctuation due to parametric excitation can be reduced.
[適用例8]
本発明の電子機器は、本発明の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
[適用例9]
本発明の移動体は、本発明の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
[Application Example 8 ]
An electronic apparatus according to the present invention includes the resonator element according to the present invention.
Thereby, an electronic device having excellent reliability can be provided.
[Application Example 9 ]
The moving body of the present invention includes the resonator element of the present invention.
Thereby, the mobile body which has the outstanding reliability can be provided.
以下、本発明の角速度センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
1.角速度センサー
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す断面図、図2は、図1に示す角速度センサーの平面図、図3は、図1に示す角速度センサーが備えるセンサー素子の平面図である。また、図4は、図3に示すセンサー素子の動作を説明するための平面図である。
Hereinafter, an angular velocity sensor, an electronic device, and a moving body of the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the accompanying drawings.
1. Angular velocity sensor <First embodiment>
1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the angular velocity sensor according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the angular velocity sensor shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a sensor included in the angular velocity sensor shown in FIG. It is a top view of an element. FIG. 4 is a plan view for explaining the operation of the sensor element shown in FIG.
なお、図1〜4では、説明の便宜上、互いに直交する3軸として、x軸、y軸およびz軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「+(プラス)」、基端側を「−(マイナス)」とする。また、以下では、x軸に平行な方向を「x軸方向」と言い、y軸に平行な方向を「y軸方向」と言い、z軸に平行な方向を「z軸方向」と言い、+z側(図1中の上側)を「上」、−z側(図1中の下側)を「下」と言う。
図1および図2に示す角速度センサー1は、z軸まわりの角速度を検出する振動ジャイロセンサーである。この角速度センサー1は、センサー素子(振動片)2と、ICチップ3と、センサー素子2およびICチップ3を収納するパッケージ9とを有している。
1 to 4, for convenience of explanation, the x axis, the y axis, and the z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other, and the tip side of the illustrated arrow is “+ (plus)”, and the base end The side is “− (minus)”. In the following, a direction parallel to the x-axis is referred to as “x-axis direction”, a direction parallel to the y-axis is referred to as “y-axis direction”, and a direction parallel to the z-axis is referred to as “z-axis direction”. The + z side (upper side in FIG. 1) is referred to as “upper”, and the −z side (lower side in FIG. 1) is referred to as “lower”.
An angular velocity sensor 1 shown in FIGS. 1 and 2 is a vibration gyro sensor that detects an angular velocity around the z-axis. The angular velocity sensor 1 includes a sensor element (vibration piece) 2, an
以下、角速度センサー1を構成する各部を順次説明する。
(センサー素子)
センサー素子2は、z軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサー素子である。このセンサー素子2は、図3に示すように、振動片20と、振動片20の表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子61〜66とを備える。
Hereinafter, each part which comprises the angular velocity sensor 1 is demonstrated sequentially.
(Sensor element)
The
振動片20は、図3に示すように、いわゆるダブルT型と呼ばれる構造を有する。
具体的に説明すると、振動片20は、基部21と、基部21を支持する支持部22と、基部21から延出した2つの検出用振動腕23、24および4つの駆動用振動腕25〜28とを有する。
基部21は、本体部211と、本体部211からx軸方向に沿って互いに反対側へ延出する1対の連結腕212、213とを有する。
As shown in FIG. 3, the
More specifically, the
The
支持部22は、パッケージ9に対して固定される1対の固定部221、222と、固定部221と基部21の本体部211とを連結する1対の梁部223、224と、固定部222と基部21の本体部211とを連結する1対の梁部225、226とを有する。ここで、梁部223、224、225、226は、固定部221、222に対して基部21を支持する「支持部」を構成していると言える。なお、固定部221、222および梁部223、224、225、226が「支持部」を構成し、パッケージ9または後述するパッケージ9のベース91が「固定部」を構成しているとも言える。また、前述した基部21の本体部211が「基部」を構成しているとも言える。
The
検出用振動腕23、24は、基部21の本体部211からy軸方向に沿って互いに反対側へ延出している。ここで、検出用振動腕23、24は、基部21に接続されていて、検出軸まわりの角速度に応じたコリオリ力の作用により振動する「検出部」を構成している。
駆動用振動腕25、26は、基部21の連結腕212の先端部からy軸方向に沿って互いに反対側へ延出している。同様に、駆動用振動腕27、28は、基部21の連結腕213の先端部からy軸方向に沿って互いに反対方向へ延出している。ここで、駆動用振動腕25、26、27、28は、基部21に接続されている「振動部」を構成している。
The
The
本実施形態では、検出用振動腕23の先端部には、基端部よりも幅が大きい錘部(ハンマーヘッド)231が設けられている。同様に、検出用振動腕24の先端部には、錘部241が設けられ、駆動用振動腕25の先端部には、錘部251が設けられ、駆動用振動腕26の先端部には、錘部261が設けられ、駆動用振動腕27の先端部には、錘部271が設けられ、駆動用振動腕28の先端部には、錘部281が設けられている。このような錘部を設けることにより、センサー素子2の小型化および検出感度の向上を図ることができる。
In the present embodiment, a weight portion (hammer head) 231 having a width larger than that of the base end portion is provided at the distal end portion of the
本実施形態では、振動片20は、圧電体材料で構成されている。
かかる圧電体材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動片20を構成する圧電体材料としては水晶(Zカット板)が好ましい。水晶で振動片20を構成すると、振動片20の振動特性(特に周波数温度特性)を優れたものとすることができる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動片20を形成することができる。
In the present embodiment, the
Examples of the piezoelectric material include crystal, lithium tantalate, lithium niobate, lithium borate, and barium titanate. In particular, the piezoelectric material constituting the vibrating
このように構成された振動片20の駆動用振動腕25、26、27、28には、それぞれ、図示しないが、通電により駆動用振動腕25、26、27、28をx軸方向に屈曲振動させる1対の駆動電極(駆動信号電極および駆動接地電極)が設けられている。この各駆動用振動腕25〜28に設けられた1対の駆動電極は、図示しない配線を介して、図3に示す固定部221に設けられた端子61(駆動信号端子)および端子64(駆動接地端子)に電気的に接続されている。
Although not shown, the
また、振動片20の検出用振動腕23、24には、それぞれ、図示しないが、検出用振動腕23、24のx軸方向での屈曲振動に伴って生じる電荷を検出する1対の検出電極(検出信号電極および検出接地電極)が設けられている。この検出用振動腕23に設けられた1対の検出電極は、図示しない配線を介して、図3に示す固定部221に設けられた端子62(検出接地端子)および端子63(検出信号端子)に電気的に接続されている。同様に、検出用振動腕24に設けられた1対の検出電極は、図示しない配線を介して、端子65(検出接地端子)および端子66(検出信号端子)に電気的に接続されている。
Further, although not shown, the
このような駆動電極、検出電極および端子61〜66の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、金(Au)、金合金、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、アルミニウム合金、銀(Ag)、銀合金、クロム(Cr)、クロム合金、銅(Cu)、モリブデン(Mo)、ニオブ(Nb)、タングステン(W)、鉄(Fe)、チタン(Ti)、コバルト(Co)、亜鉛(Zn)、ジルコニウム(Zr)等の金属材料や、ITO、ZnO等の透明電極材料を用いることができ、中でも、金を主材料とする金属(金、金合金)または白金を用いるのが好ましい。
The constituent materials of the drive electrode, the detection electrode, and the
なお、これら駆動電極等と振動片20との間には、駆動電極等が振動片20から剥離するのを防止する機能を有する下地層としてTi、Cr等の層が設けられていてもよい。また、これら駆動電極等は、同一の成膜工程により一括形成することができる。
このように構成されたセンサー素子2は、次のようにしてz軸まわりの角速度ωを検出する。
Note that a layer of Ti, Cr, or the like may be provided between the drive electrode and the vibrating
The
まず、端子61と端子64との間に電圧(駆動信号)を印加することにより、図4(a)に示すように、図中矢印Aに示す方向(面内方向)に、駆動用振動腕25と駆動用振動腕27とを互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)させるとともに、駆動用振動腕26と駆動用振動腕28とを上記屈曲振動と同方向に互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)させる。
このとき、センサー素子2に角速度が加わらないと、駆動用振動腕25、26と駆動用振動腕27、28とは、中心点(重心G)を通るyz平面に対して面対称の振動を行っているため、基部21(本体部211および連結腕212、213)および検出用振動腕23、24は、ほとんど振動しない。
First, by applying a voltage (drive signal) between the terminal 61 and the terminal 64, as shown in FIG. 4A, the drive vibrating arm is moved in the direction indicated by the arrow A (in-plane direction) in the figure. 25 and drive
At this time, if the angular velocity is not applied to the
このように駆動用振動腕25〜28を駆動振動させた状態(駆動モード)で、センサー素子2にその重心Gを通る法線まわり(すなわちz軸まわり)の角速度ωが加わると、駆動用振動腕25〜28には、それぞれ、コリオリ力が働く。これにより、図4(b)に示すように、連結腕212、213を図中矢印Bに示す方向に屈曲振動し、これに伴い、この屈曲振動を打ち消すように、検出用振動腕23、24の図中矢印Cに示す方向の屈曲振動(検出振動)が励振される。
When an angular velocity ω around the normal line (that is, around the z axis) passing through the center of gravity G is applied to the
そして、このような検出用振動腕23の検出振動(検出モード)によって1対の検出電極間に生じた電荷が端子62、63から出力される。また、検出用振動腕24の屈曲振動によって1対の検出電極間に生じた電荷が端子65、66から出力される。
このように端子62、63、65、66から出力された電荷に基づいて、センサー素子2に加わった角速度ωを求めることができる。
Then, the charges generated between the pair of detection electrodes by the detection vibration (detection mode) of the
As described above, the angular velocity ω applied to the
(ICチップ3)
図1および図2に示すICチップ3は、前述したセンサー素子2を駆動する機能と、センサー素子2からの出力(センサー出力)を検出する機能とを有する電子部品である。
このようなICチップ3は、図示しないが、センサー素子2を駆動する駆動回路と、センサー素子2からの出力(電荷)を検出する検出回路とを備える。
また、ICチップ3には、複数の接続端子31が設けられている。
(IC chip 3)
The
Although not shown, the
The
複数の接続端子31は、前述したセンサー素子2を駆動する駆動信号を出力する1つの接続端子31bと、センサー素子2からの検出信号が入力される2つの接続端子31aとを含む。
2つの接続端子31aは、一方の接続端子31aが配線70を介してセンサー素子2の端子63に電気的に接続され、他方の接続端子31aが配線70を介してセンサー素子2の端子66に電気的に接続されている。
The plurality of
In the two
配線70は、一端部が端子63または端子66に固定されるとともに他端部が接続端子31aに固定されたボンディングワイヤーで構成されている。なお、配線70は、後述するパッケージ9のベース91に設けられた内部端子71aに接続されていてもよい。
一方、接続端子31bは、後述するパッケージ9のベース91に設けられた配線73を介して、センサー素子2の端子61に電気的に接続されている。
The
On the other hand, the connection terminal 31b is electrically connected to the
(パッケージ)
パッケージ9は、センサー素子2およびICチップ3を収納するものである。
パッケージ9は、上面に開放する凹部を有するベース91と、ベース91の凹部の開口を塞ぐようにベース91に接合部材93(シールリング)を介して接合されたリッド(蓋体)92とを有している。このようなパッケージ9は、その内側に収納空間Sを有しており、この収納空間S内に、センサー素子2およびICチップ3が気密的に収納、設置されている。
ベース91には、前述したセンサー素子2およびICチップ3が設置されている。
(package)
The
The
The
本実施形態では、図2に示すように、ベース91を平面視したときに、センサー素子2およびICチップ3がx軸方向に互いに並んで配置されている。
ベース91は、平板状の基板911と、基板911の上面に接合された平板状の基板912と、基板912の上面に接合された枠状の基板913と、基板913の上面に接合された枠状の914とで構成されている。
このようなベース91には、基板912の上面と基板913の上面との間に形成された段差と、基板913の上面と基板914の上面との間に形成された段差とを有する凹部が形成されている。
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, when the
The
Such a
ベース91の構成材料(基板911〜914の各構成材料)としては、特に限定されないが、例えば、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。
このようなベース91の基板913の上面には、複数の内部端子71および複数の内部端子72が設けられている。
この複数の内部端子71は、ダミー用の2つの内部端子71aと、駆動信号用の1つの内部端子71bとを含む。
Although it does not specifically limit as a constituent material (each constituent material of the board | substrates 911-914) of the
A plurality of
The plurality of
内部端子71bは、ベース91に設けられた配線73を介して1つの内部端子72に電気的に接続されている。
この配線73は、センサー素子2の端子61と、ICチップ3の接続端子31bとを電気的に接続している。
また、2つの内部端子71aおよび1つの内部端子71bを除く他の3つの内部端子71も、ベース91に設けられた配線(図示せず)を介して、対応する3つの内部端子72に電気的に接続されている。
The
The
The other three
一方、2つの内部端子71aは、内部端子72に対して電気的に接続されていないダミー端子であり、センサー素子2をベース91に対して固定する際の安定性を高めるものである。
このような複数(6つ)の内部端子71には、それぞれ、固定部材81を介してセンサー素子2が固定されている。
On the other hand, the two
The
ここで、複数の内部端子71のうちの2つの内部端子71aを除く4つの内部端子71に対応する固定部材81は、例えば、半田、銀ペースト、導電性接着剤(樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤)等で構成されている。これにより、かかる4つの内部端子71が固定部材81を介してセンサー素子2の端子61、62、64、65に電気的に接続されている。
Here, the fixing
また、2つの内部端子71aに対応する2つの固定部材81(固定部材81a)は、例えば、半田、銀ペースト、導電性接着剤(樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤)等で構成されていてもよいし、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を含む非導電性の接着剤で構成されていてもよい。
複数の内部端子72には、例えばボンディングワイヤーで構成された配線を介して、前述したICチップ3の複数の接続端子31(2つの接続端子31aを除く)が電気的に接続されている。
The two fixing members 81 (fixing
The plurality of connection terminals 31 (excluding the two
なお、各接続端子31aは、前述したように、ボンディングワイヤーで構成された配線70を介して、センサー素子2の端子63または端子66に電気的に接続されている。
また、ベース91の基板912の上面には、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂等を含んで構成された接着剤のような固定部材82により、前述したICチップ3が固定されている。これにより、ICチップ3がベース91に対して支持・固定されている。
As described above, each
Further, the above-described
また、ベース91の基板911の下面(センサー素子2とは反対側)には、角速度センサー1が組み込まれる機器(外部機器)に実装される際に用いられる複数の外部端子74と、ICチップ3を調整するための外部端子75(調整用端子)とが設けられている。
この複数の外部端子74、75は、それぞれ、図示しない内部配線を介して、対応する内部端子72に電気的に接続されている。これにより、各外部端子74、75は、ICチップ3に電気的に接続されている。
A plurality of
Each of the plurality of
このような各内部端子71、72および各外部端子74、75等は、それぞれ、例えば、タングステン(W)等のメタライズ層にニッケル(Ni)、金(Au)等の被膜をメッキ等により積層した金属被膜からなる。
このようなベース91には、接合部材93を介してリッド92が気密的に接合されている。これにより、パッケージ9内が気密封止されている。
Each of the
A
このリッド92は、例えば、ベース91と同材料、または、コバール、42アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。
また、接合部材93は、例えば、コバール、42アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。
ベース91とリッド92との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、シーム溶接、レーザー溶接等の溶接方法等を用いることができる。
The
Moreover, the joining
A method for joining the
また、ベース91には、収納空間S内を減圧または不活性ガス封入する際に用いる貫通孔94が形成されている。この貫通孔94は、封止材95により封止されている。
例えば、収納空間S内を減圧する場合、まず、封止材95により封止される前の貫通孔94を介して収納空間S内の空気を除去し、その状態を維持したまま、次いで、封止材95となる金属ボールを貫通孔94内に載置し、この金属ボールをレーザーにより溶融させることにより封止材95を形成し、貫通孔94を封止する。
Further, the
For example, when the inside of the storage space S is depressurized, first, the air in the storage space S is removed through the through
以上、角速度センサー1の概略構成について説明したが、このような角速度センサー1は、基部21が弾性変形可能な梁部223、224、225、226を介して固定部221、222に支持されているため、梁部223、224、225、226の変形を伴って基部21が固定部221、222に対して振動する振動モードを有する。
このような振動モードの共振周波数は、他の振動モードと結合によるパラメトリック励振に起因して駆動振動の振動形状が変化し、出力が変動してしまうおそれがある。
Although the schematic configuration of the angular velocity sensor 1 has been described above, such an angular velocity sensor 1 is supported by the fixing
The resonance frequency of such a vibration mode may change the vibration shape of the drive vibration due to parametric excitation caused by coupling with other vibration modes, and the output may fluctuate.
そこで、角速度センサー1では、駆動振動(以下、「駆動振動モード」ともいう)の共振周波数をf1[Hz]とし、駆動振動とは異なり、かつ、梁部223、224、225、226の変形を伴って基部21(より具体的には本体部211)が振動する第1の振動(以下、「第1の振動モード」ともいう)の共振周波数をf2[Hz]とし、駆動振動および第1の振動とは異なり、かつ、基部21または検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28が振動する第2の振動(以下、「第2の振動モード」ともいう)の共振周波数をf3[Hz]とし、1以上の整数をnとしたとき、n×f1≠f2+f3の関係を満たす。
これにより、梁部223、224、225、226の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
Therefore, in the angular velocity sensor 1, the resonance frequency of the drive vibration (hereinafter also referred to as “drive vibration mode”) is set to f1 [Hz], which is different from the drive vibration and the
Thereby, the output fluctuation | variation by the parametric excitation resulting from the elasticity of the
以下、駆動振動モード、第1の振動モードおよび第2の振動モードについて、より具体的に説明する。
図6は、図1に示す角速度センサーにおける第1の振動モードと第2の振動モードとの組み合わせの例を簡略化モデルで示す図、図7は、図1に示す角速度センサーにおける第1の振動モードと第2の振動モードとの組み合わせの例を簡略化モデルで示す図である。
Hereinafter, the drive vibration mode, the first vibration mode, and the second vibration mode will be described more specifically.
6 is a diagram showing an example of a combination of the first vibration mode and the second vibration mode in the angular velocity sensor shown in FIG. 1 as a simplified model, and FIG. 7 is a diagram showing the first vibration in the angular velocity sensor shown in FIG. It is a figure which shows the example of the combination of a mode and a 2nd vibration mode with a simplified model.
(駆動振動モード)
駆動振動モードは、前述したように、駆動用振動腕25と駆動用振動腕27とを互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)させるとともに、駆動用振動腕26と駆動用振動腕28とを上記屈曲振動と同方向に互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)させるモードである(図4(a)参照)。
(Drive vibration mode)
In the drive vibration mode, as described above, the
すなわち、駆動振動モードは、駆動用振動腕25と駆動用振動腕27とを互いに接近するように屈曲振動(駆動振動)させるとともに、駆動用振動腕26と駆動用振動腕28とを互いに接近するように屈曲振動(駆動振動)させる状態(図5(b)参照)と、駆動用振動腕25と駆動用振動腕27とを互いに離間するように屈曲振動(駆動振動)させるとともに、駆動用振動腕26と駆動用振動腕28とを互いに離間するように屈曲振動(駆動振動)させる状態とを繰り返す。
That is, in the drive vibration mode, the
(第1の振動モードおよび第2の振動モード)
第1の振動モードおよび第2の振動モードの組み合わせとしては、例えば、図6(a)〜(c)および図7(a)〜(c)等が挙げられる。以下、各組み合わせを順次説明する。
図6(a)に示す組み合わせは、第1の振動モードとしてモードAを用い、第2の振動モードとしてモードBを用いている。
(First vibration mode and second vibration mode)
Examples of the combination of the first vibration mode and the second vibration mode include FIGS. 6A to 6C and FIGS. 7A to 7C. Hereinafter, each combination will be described sequentially.
The combination shown in FIG. 6A uses mode A as the first vibration mode and mode B as the second vibration mode.
モードAでは、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211(基部21)、互いに同相で面外方向(z軸方向)に振動する。すなわち、モードAでは、センサー素子2全体が面外方向に振動する。
モードBでは、検出用振動腕23、24が互いに同相で面外振動するとともに、駆動用振動腕25〜28が検出用振動腕23、24とは逆相でかつ互いに同相で面外振動(z軸方向に屈曲振動)する。このとき、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211は、検出用振動腕23、24と同相で面外方向に振動する。
In mode A, the main body portion 211 (base portion 21) vibrates in the out-of-plane direction (z-axis direction) in phase with each other with the deformation of the
In mode B, the
図6(b)に示す組み合わせは、第1の振動モードとして前述したモードAを用い、第2の振動モードとしてモードCを用いている。
モードCでは、検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28が互いに同相で面内振動(x軸方向に屈曲振動)する。このとき、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211は、検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28と同相で同方向(x軸方向)に面内振動する。
The combination shown in FIG. 6B uses mode A described above as the first vibration mode and mode C as the second vibration mode.
In mode C, the
図6(c)に示す組み合わせは、第1の振動モードとして前述したモードBを用い、第2の振動モードとしてモードDを用いる。
モードでDは、検出用振動腕23、24が互いに逆相で面内振動(x軸方向に屈曲振動)するとともに、駆動用振動腕25、26が検出用振動腕23、24と逆相であって互いに逆相で面内振動し、かつ、駆動用振動腕27、28が検出用振動腕23、24と逆相であって互いに逆相に面内振動する。このとき、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211は、面外方向に沿った軸まわりに回転振動する。
The combination shown in FIG. 6C uses mode B described above as the first vibration mode and mode D as the second vibration mode.
In the mode D, the
図7(a)に示す組み合わせは、第1の振動モードとして前述したモードBを用い、第2の振動モードとしてモードEを用いている。
モードEでは、検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28が互いに同相で面外方向に変位して振動する。このとき、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211(基部21)は、検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28と逆相で面外方向に変位する。
The combination shown in FIG. 7A uses the above-described mode B as the first vibration mode and the mode E as the second vibration mode.
In mode E, the
図7(b)に示す組み合わせは、第1の振動モードとしてモードFを用い、第2の振動モードとしてモードGを用いている。
モードFでは、検出用振動腕23および駆動用振動腕25、27が同相で面外振動するとともに、検出用振動腕24および駆動用振動腕26、28が検出用振動腕23および駆動用振動腕25、27と逆相で面外振動する。このとき、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211は、x軸方向に沿った軸まわりに回転振動する。
モードGでは、検出用振動腕23、24が互いに同相で面内振動するとともに、駆動用振動腕25〜28が検出用振動腕23、24と逆相であって互いに同相で面内振動する。このとき、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211は、駆動用振動腕25〜28と同相で同方向(x軸方向)に振動する。
The combination shown in FIG. 7B uses mode F as the first vibration mode and mode G as the second vibration mode.
In mode F, the
In mode G, the
図7(c)に示す組み合わせは、第1の振動モードとしてモードHを用い、第2の振動モードとして前述したモードDを用いている。
モードHでは、梁部223、224、225、226の変形を伴って、本体部211(基部21)、検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28は、互いに同相で面外方向に沿った軸まわりに回転振動する。すなわち、モードAでは、センサー素子2全体が面外方向に沿った軸まわりに回転振動する。
The combination shown in FIG. 7C uses mode H as the first vibration mode and mode D described above as the second vibration mode.
In mode H, the main body portion 211 (base portion 21), the
ここで、第1の振動および第2の振動のうちの少なくとも一方は、y軸方向と異なる方向成分を含んでいることが好ましい。駆動振動以外の振動のうち検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28の延出方向に平行な方向成分のみの振動は、パラメトリック励振への影響がないかまたは極端に小さい。したがって、駆動振動以外の振動のうち検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28の延出方向と異なる方向成分を含む振動を第1の振動および第2の振動のうちの少なくとも一方に用いることにより、梁部223、224、225、226の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を効率的に低減することができる。
Here, it is preferable that at least one of the first vibration and the second vibration includes a direction component different from the y-axis direction. Of the vibrations other than the drive vibration, the vibration of only the direction component parallel to the extending direction of the
また、第1の振動および第2の振動は、互いに直交する方向成分を含んでいることが好ましく、前述したように、第1の振動および第2の振動のうちの少なくとも一方がy軸方向と異なる方向成分を含んでいることが好ましいという観点から、第1の振動および第2の振動は、一方の振動がx軸方向に沿った方向成分を含み、他方の振動がz軸方向に沿った方向成分を含んでいることが好ましい。より具体的には、第1の振動および第2の振動の組み合わせとして、前述した図6(a)〜(c)および図7(a)〜(c)の組み合わせのうち、図6(b)、(c)および図7(b)の組み合わせを用いることが好ましい。このような場合、仮にn×f1=f2+f3の関係を満たしていると、第1の振動および第2の振動との組み合わせるによってパラメトリック励振に起因する駆動振動の振動形状の変化を生じやすい。したがって、この場合に本発明を適用することによる効果が顕著に発揮される。
また、|f1−f2−f3|≧10Hzの関係を満たすことが好ましく、|f1−f2−f3|≧100Hzの関係を満たすことがより好ましく、|f1−f2−f3|≧500Hzの関係を満たすことがさらに好ましい。これにより、第1の振動および第2の振動の組み合わせによるパラメトリック励振を効果的に低減することができる。
Moreover, it is preferable that the first vibration and the second vibration include direction components orthogonal to each other. As described above, at least one of the first vibration and the second vibration is in the y-axis direction. From the viewpoint that it is preferable to include different direction components, the first vibration and the second vibration include one vibration including a direction component along the x-axis direction, and the other vibration along the z-axis direction. It preferably includes a direction component. More specifically, as a combination of the first vibration and the second vibration, among the combinations of FIGS. 6A to 6C and FIGS. 7A to 7C described above, FIG. , (C) and the combination of FIG. 7 (b) are preferably used. In such a case, if the relationship of n × f1 = f2 + f3 is satisfied, the vibration shape of the driving vibration due to parametric excitation is likely to change due to the combination with the first vibration and the second vibration. Therefore, in this case, the effect by applying the present invention is remarkably exhibited.
Further, it is preferable to satisfy the relationship of | f1-f2-f3 | ≧ 10 Hz, more preferably satisfy the relationship of | f1-f2-f3 | ≧ 100 Hz, and satisfy the relationship of | f1-f2-f3 | ≧ 500 Hz. More preferably. Thereby, the parametric excitation by the combination of the first vibration and the second vibration can be effectively reduced.
以上説明したような第1実施形態に係る角速度センサー1によれば、駆動振動の共振周波数f1[Hz]、第1の振動の共振周波数f2[Hz]、および、第2の振動の共振周波数f3[Hz]が、n×f1≠f2+f3の関係を満たしているので、梁部223、224、225、226の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
According to the angular velocity sensor 1 according to the first embodiment as described above, the resonance frequency f1 [Hz] of the drive vibration, the resonance frequency f2 [Hz] of the first vibration, and the resonance frequency f3 of the second vibration. Since [Hz] satisfies the relationship of n × f1 ≠ f2 + f3, output fluctuations due to parametric excitation caused by the elasticity of the
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図8(a)は、本発明の第2実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す平面図、図8(b)は、図8(a)中のC−C線断面図である。また、図9は、図8に示す角速度センサーが備える支持部を説明するための裏面図である。
Second Embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 8A is a plan view showing a schematic configuration of the angular velocity sensor according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 8B is a sectional view taken along the line CC in FIG. 8A. Moreover, FIG. 9 is a back view for demonstrating the support part with which the angular velocity sensor shown in FIG. 8 is provided.
以下、第2実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の角速度センサー1Aは、センサー素子2Aと、ICチップ3と、センサー素子2AおよびICチップ3を収納するパッケージ9と、センサー素子2Aをパッケージ9に対して支持する支持部材4とを有している。
Hereinafter, the second embodiment will be described with a focus on differences from the above-described embodiment, and description of similar matters will be omitted. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to 1st Embodiment mentioned above.
The
センサー素子2Aは、振動片20Aと、振動片20Aの表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子67とを備える。
振動片20Aは、基部21と、基部21から延出した2つの検出用振動腕23、24および4つの駆動用振動腕25〜28とを有する。
このような振動片20Aの基部21の本体部211には、複数の端子67が設けられている。この複数の端子67は、前述した第1実施形態の複数の端子61〜66と同様に、図示しない配線を介して、検出用振動腕23、24に設けられた検出電極および駆動用振動腕25〜28に設けられた駆動電極に電気的に接続されている。
The
The
A plurality of
また、本体部211は、TAB(Tape Automated Bonding)実装用の支持部材4を介してパッケージ9Aのベース91Aに支持されている。
パッケージ9Aは、上面に開放する凹部を有するベース91Aと、ベース91Aの凹部の開口を塞ぐようにベース91Aに接合部材93(シールリング)を介して接合されたリッド(蓋体)92とを有している。
The
The
ベース91Aは、平板状の基板911Aと、基板911Aの上面に接合された枠状の基板912Aと、基板912Aの上面に接合された枠状の基板913Aと、基板913Aの上面に接合された枠状の914Aとで構成されている。
このようなベース91Aには、各基板911A、912A、913A、914A間に段差を有する凹部が形成されている。
The
In such a
このようなベース91Aの基板911A上面には、基板912A、913Aの開口部内に納まるように、固定部材82を介してICチップ3が支持・固定されている。
また、基板912Aの上面には、複数の内部端子72が設けられている。また、基板913Aの上面には、複数の内部端子71が設けられている。
そして、基板914Aの上面には、複数の内部端子71および支持部材4を介してセンサー素子2Aが設置されている。
The
A plurality of
The
支持部材4は、絶縁性のフィルム41と、このフィルム41上に接合された複数の配線42a、42b、42c、42d、42e、42f(以下、これらの配線を総称して「配線42」ともいう)とを有する。ここで、フィルム41は、パッケージ9Aに対して固定設置された「固定部」を構成していると言える。また、配線42は、フィルム41に対して基部21を支持する「支持部」を構成していると言える。なお、支持部材4が「支持部」を構成し、パッケージ9Aまたはベース91Aが「固定部」を構成しているとも言える。また、前述した基部21の本体部211が「基部」を構成しているとも言える。
The
フィルム41は、例えば、ポリイミド等の樹脂材料で構成されている。また、各配線42は、例えば銅等の金属材料で構成されている。
フィルム41の中央部には、デバイスホール411が形成され、各配線42は、フィルム41上からこのデバイスホール411側に延出し、その延出した部分がフィルム41側(ICチップ3とは反対側)に折り曲げられている。
The
A
複数の配線42は、前述したセンサー素子2Aの複数の端子67および複数の内部端子71に対応して設けられている。そして、各配線42a、42b、42c、42d、42e、42fの基端部には、接続端子43a、43b、43c、43d、43e、43fがそれぞれ設けられ、これら接続端子は対応する内部端子71に対して固定部材81を介して接合されている。また、各配線42の先端部は、対応する端子67に対して接合されている。このようにして、センサー素子2Aの各端子67が配線42を介して内部端子71に電気的に接続されるとともに、センサー素子2Aが支持部材4を介してベース91Aに支持されている。
The plurality of wirings 42 are provided corresponding to the plurality of
以上説明したように構成された角速度センサー1Aにおいても、本体部211(基部)が複数の配線42を介してパッケージ9Aに支持されているため、複数の配線42の弾性変形を伴って本体部211が振動し得る。
したがって、このような角速度センサー1Aにおいても、駆動振動の共振周波数をf1[Hz]とし、駆動振動とは異なり、かつ、複数の配線42の変形を伴って基部21(より具体的には本体部211)が振動する第1の振動の共振周波数をf2[Hz]とし、駆動振動および第1の振動とは異なり、かつ、基部21または検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25〜28が振動する第2の振動の共振周波数をf3[Hz]としたとき、n×f1≠f2+f3の関係を満たすことにより、複数の配線42の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
Also in the angular velocity sensor 1 </ b> A configured as described above, the main body 211 (base) is supported by the
Therefore, also in such an
<第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図10は、本発明の第3実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す平面図、図11は、図10に示す角速度センサーが備えるセンサー素子の動作を説明するための平面図である。また、図12(a)は、図11に示す角速度センサーの簡略化モデルを示す図、図12(b)は、駆動振動モードを示す図である。また、図13は、図11に示す角速度センサーにおける第1の振動モードと第2の振動モードとの組み合わせの例を簡略化モデルで示す図である。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 10 is a plan view showing a schematic configuration of the angular velocity sensor according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a plan view for explaining the operation of the sensor element included in the angular velocity sensor shown in FIG. 12A is a diagram showing a simplified model of the angular velocity sensor shown in FIG. 11, and FIG. 12B is a diagram showing a driving vibration mode. FIG. 13 is a diagram showing an example of a combination of the first vibration mode and the second vibration mode in the angular velocity sensor shown in FIG. 11 in a simplified model.
以下、第3実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の角速度センサー1Bは、センサー素子2Bと、ICチップ(図示せず)と、センサー素子2BおよびICチップを収納するパッケージ9Bとを有する。
Hereinafter, the third embodiment will be described with a focus on differences from the above-described embodiment, and description of similar matters will be omitted. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to 1st Embodiment mentioned above.
The
センサー素子2Bは、y軸まわりの角速度を検出する「面内検出型」のセンサー素子である。このセンサー素子2Bは、図10に示すように、振動片20Bと、振動片20Bの表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子61〜66とを備える。
振動片20Bは、基部21Bと、1対の駆動用振動腕25B、26Bと、1対の検出用振動腕23B、24Bと、支持部22Bとを有している。
The sensor element 2B is an “in-plane detection type” sensor element that detects an angular velocity around the y-axis. As shown in FIG. 10, the sensor element 2B includes a vibrating piece 20B, a plurality of detection electrodes (not shown), a plurality of driving electrodes (not shown), and a plurality of terminals provided on the surface of the vibrating piece 20B. 61-66.
The vibration piece 20B includes a
基部21Bは、支持部22Bに支持されている。この支持部22Bは、固定部221Bと、基部21Bを固定部221Bに対して支持する4つの連結部223B、224B、225B、226Bとを有している。4つの連結部223B、224B、225B、226Bは、それぞれ、長尺形状をなし、一端が基部21Bに連結され、他端が固定部221Bに連結されている。ここで、連結部223B、224B、225B、226Bは、固定部221Bに対して基部21Bを支持する「支持部」を構成していると言える。なお、支持部22Bが「支持部」を構成し、パッケージ9Bまたは後述するパッケージ9Bのベース91Bが「固定部」を構成しているとも言える。
The
駆動用振動腕25B、26Bは、それぞれ、基部21Bからy軸方向(+y方向)に延出している。この駆動用振動腕25B、26Bには、それぞれ、図示しないが、前述した第1実施形態の駆動用振動腕25、26と同様に、通電により駆動用振動腕25B、26Bをx軸方向に屈曲振動させる1対の駆動電極(駆動信号電極および駆動接地電極)が設けられている。この各駆動用振動腕25B、26Bに設けられた1対の駆動電極は、図示しない配線を介して、固定部221Bに設けられた端子61(駆動信号端子)および端子64(駆動接地端子)に電気的に接続されている。
The
検出用振動腕23B、24Bは、それぞれ、基部21Bからy軸方向(−y方向)に延出している。この検出用振動腕231には、それぞれ、図示しないが、検出用振動腕23B、24Bのz軸方向での屈曲振動に伴って生じる電荷を検出する1対の検出電極(検出信号電極および検出接地電極)が設けられている。この検出用振動腕23Bに設けられた1対の検出電極は、図示しない配線を介して、固定部221Bに設けられた端子62(検出接地端子)および端子63(検出信号端子)に電気的に接続されている。同様に、検出用振動腕24Bに設けられた1対の検出電極は、図示しない配線を介して、端子65(検出接地端子)および端子66(検出信号端子)に電気的に接続されている。
The
このように構成されたセンサー素子2Bでは、端子61と端子64との間に駆動信号が印加されることにより、図11に示すように、駆動用振動腕25Bと駆動用振動腕26Bとが互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)する。すなわち、駆動用振動腕25B、26Bが図11に示す矢印A1の方向に屈曲する状態と、駆動用振動腕25B、26Bが図11に示す矢印A2の方向に屈曲する状態とを交互に繰り返す。
In the sensor element 2B configured as described above, when a driving signal is applied between the terminal 61 and the terminal 64, as shown in FIG. 11, the
このように駆動用振動腕25B、26Bを駆動振動させた状態で、センサー素子2Bにy軸まわりの角速度ωが加わると、駆動用振動腕25B、26Bは、コリオリ力により、z軸方向に互いに反対側に屈曲振動する。すなわち、駆動用振動腕25B、26Bが図11に示す矢印B1の方向に屈曲する状態と、駆動用振動腕25B、26Bが図11に示す矢印ABの方向に屈曲する状態とを交互に繰り返す。これに伴い、検出用振動腕23B、24Bは、z軸方向に互いに反対側に屈曲振動(検出振動)する。すなわち、検出用振動腕23B、24Bが図11に示す矢印C1の方向に屈曲する状態と、検出用振動腕23B、24Bが図11に示す矢印C2の方向に屈曲する状態とを交互に繰り返す。
When the angular velocity ω about the y-axis is applied to the sensor element 2B in the state where the
そして、このような検出用振動腕23Bの屈曲振動によって1対の検出電極間に生じた電荷が端子62、63から出力される。また、検出用振動腕24Bの屈曲振動によって1対の検出電極間に生じた電荷が端子65、66から出力される。
このように端子62、63、65、66から出力された電荷に基づいて、センサー素子2Bに加わった角速度ωを求めることができる。
The electric charges generated between the pair of detection electrodes due to the bending vibration of the
As described above, the angular velocity ω applied to the sensor element 2B can be obtained based on the charges output from the
このようなセンサー素子2Bは、パッケージ9Bに収納されている。ここで、パッケージ9Bが有するベース91B上に設けられた内部端子71に対して、固定部材81を介して端子61〜66が接合されることにより、センサー素子2Bがパッケージ9Bに対して支持・固定されるとともに、内部端子71と端子61〜66とが電気的に接続されている。
Such a sensor element 2B is accommodated in the
以上説明したように構成された角速度センサー1Bにおいて、基部21Bが連結部223B、224B、225B、226Bを介してパッケージ9Bに支持されているため、連結部223B、224B、225B、226Bの弾性変形を伴って基部21Bが振動し得る。
したがって、このような角速度センサー1Bにおいても、駆動振動の共振周波数をf1[Hz]とし、駆動振動とは異なり、かつ、連結部223B、224B、225B、226Bの変形を伴って基部21Bが振動する第1の振動の共振周波数をf2[Hz]とし、駆動振動および第1の振動とは異なり、かつ、基部21Bまたは検出用振動腕23B、24Bおよび駆動用振動腕25B、26Bが振動する第2の振動の共振周波数をf3[Hz]としたとき、n×f1≠f2+f3の関係を満たすことにより、連結部223B、224B、225B、226Bの弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
In the
Therefore, also in such an
(駆動振動モード)
駆動振動モードは、前述したように、駆動用振動腕25Bと駆動用振動腕26Bとを互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)させるモードである(図11参照)。
すなわち、駆動振動モードは、駆動用振動腕25Bと駆動用振動腕26Bとを互いに接近するように屈曲振動(駆動振動)させる状態(図12(b)参照)と、駆動用振動腕25Bと駆動用振動腕26Bとを互いに離間するように屈曲振動(駆動振動)させる状態とを繰り返す。
(Drive vibration mode)
As described above, the drive vibration mode is a mode in which the
That is, the drive vibration mode includes a state in which the
(第1の振動モードおよび第2の振動モード)
第1の振動モードおよび第2の振動モードの組み合わせとしては、例えば、図13(a)〜(c)等が挙げられる。以下、各組み合わせを順次説明する。
図13(a)に示す組み合わせは、第1の振動モードとしてモードIを用い、第2の振動モードとしてモードJを用いている。
(First vibration mode and second vibration mode)
Examples of the combination of the first vibration mode and the second vibration mode include FIGS. 13A to 13C. Hereinafter, each combination will be described sequentially.
The combination shown in FIG. 13A uses mode I as the first vibration mode and mode J as the second vibration mode.
モードIでは、駆動用振動腕25B、26Bが互いに逆相で面外振動する。このとき、連結部223B、224B、225B、226Bの変形を伴って、基部21Bは、y軸に沿った軸まわりに回転振動する。
モードJでは、駆動用振動腕25B、26Bが互いに同相で面外振動する。このとき、連結部223B、224B、225B、226Bの変形を伴って、基部21Bは、x軸方向に沿った軸まわりに回転振動する。
In mode I, the
In mode J, the
図13(b)に示す組み合わせは、第1の振動モードとしてモードKを用い、第2の振動モードとしてモードLを用いている。
モードKでは、検出用振動腕23B、24Bが互いに逆相で面内振動する。このとき、連結部223B、224B、225B、226Bの変形を伴って、基部21Bは、y軸方向に沿った方向に面内振動する。
The combination shown in FIG. 13B uses mode K as the first vibration mode and mode L as the second vibration mode.
In mode K, the
モードLでは、検出用振動腕23B、24Bが互いに同相で面外振動する。このとき、連結部223B、224B、225B、226Bの変形を伴って、基部21Bは、x軸方向に沿った軸まわりに回転振動する。
図13(c)に示す組み合わせは、第1の振動モードとしてモードMを用い、第2の振動モードとして前述したモードLを用いる。
In mode L, the vibrating arms for
The combination shown in FIG. 13C uses mode M as the first vibration mode and mode L described above as the second vibration mode.
モードでMでは、検出用振動腕23B、24Bが互いに同相で面内振動する。このとき、連結部223B、224B、225B、226Bの変形を伴って、基部21Bは、z軸方向に沿った軸まわりに回転振動する。
また、第1の振動および第2の振動は、互いに直交する方向成分を含んでいることが好ましく、前述したように、第1の振動および第2の振動のうちの少なくとも一方がy軸方向と異なる方向成分を含んでいることが好ましいという観点から、第1の振動および第2の振動は、一方の振動がx軸方向に沿った方向成分を含み、他方の振動がz軸方向に沿った方向成分を含んでいることが好ましい。より具体的には、第1の振動および第2の振動の組み合わせとして、前述した図13(a)〜(c)の組み合わせのうち、図13(b)、(c)の組み合わせを用いることが好ましい。このような場合、仮にn×f1=f2+f3の関係を満たしていると、第1の振動および第2の振動との組み合わせるによってパラメトリック励振に起因する駆動振動の振動形状の変化を生じやすい。したがって、この場合に本発明を適用することによる効果が顕著に発揮される。
In the mode M, the
Moreover, it is preferable that the first vibration and the second vibration include direction components orthogonal to each other. As described above, at least one of the first vibration and the second vibration is in the y-axis direction. From the viewpoint that it is preferable to include different direction components, the first vibration and the second vibration include one vibration including a direction component along the x-axis direction, and the other vibration along the z-axis direction. It preferably includes a direction component. More specifically, among the combinations of FIGS. 13A to 13C described above, the combination of FIGS. 13B and 13C is used as the combination of the first vibration and the second vibration. preferable. In such a case, if the relationship of n × f1 = f2 + f3 is satisfied, the vibration shape of the driving vibration due to parametric excitation is likely to change due to the combination with the first vibration and the second vibration. Therefore, in this case, the effect by applying the present invention is remarkably exhibited.
<第4実施形態>
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
図14は、本発明の第4実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す平面図である。
以下、第4実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
<Fourth embodiment>
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 14 is a plan view showing a schematic configuration of an angular velocity sensor according to the fourth embodiment of the present invention.
Hereinafter, the fourth embodiment will be described with a focus on differences from the above-described embodiment, and description of similar matters will be omitted. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to 1st Embodiment mentioned above.
本実施形態の角速度センサー1Cは、センサー素子2Cと、ICチップ(図示せず)と、センサー素子2CおよびICチップを収納するパッケージ9Cと、センサー素子2Cをパッケージ9Cに対して支持する支持部材4とを有している。
センサー素子2Cは、振動片20Cと、振動片20Cの表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子67とを備える。
The
The
振動片20Cは、基部21Bと、基部21Bから延出した2つの検出用振動腕23B、24Bおよび4つの駆動用振動腕25B、26Bとを有する。
このような振動片20Cの基部21Bには、複数の端子67が設けられている。
また、基部21Bは、TAB(Tape Automated Bonding)実装用の支持部材4を介してパッケージ9Cのベース91Cに支持されている。ここで、支持部材4のフィルム41は、パッケージ9Cに対して固定設置された「固定部」を構成していると言える。また、配線42は、フィルム41に対して基部21Bを支持する「支持部」を構成していると言える。なお、支持部材4が「支持部」を構成し、パッケージ9Cまたはベース91Cが「固定部」を構成しているとも言える。また、前述した基部21Bの本体部211が「基部」を構成しているとも言える。
The
A plurality of
The
以上説明したように構成された角速度センサー1Cにおいても、基部21Bが複数の配線42を介してパッケージ9Cに支持されているため、複数の配線42の弾性変形を伴って基部21Bが振動し得る。
したがって、このような角速度センサー1Cにおいても、駆動振動の共振周波数をf1[Hz]とし、駆動振動とは異なり、かつ、複数の配線42の変形を伴って基部21Bが振動する第1の振動の共振周波数をf2[Hz]とし、駆動振動および第1の振動とは異なり、かつ、基部21Bまたは検出用振動腕23B、24Bおよび駆動用振動腕25B、26Bが振動する第2の振動の共振周波数をf3[Hz]としたとき、n×f1≠f2+f3の関係を満たすことにより、複数の配線42の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
Also in the angular velocity sensor 1 </ b> C configured as described above, since the
Therefore, also in such an
2.電子機器
以上説明したような角速度センサーは、各種電子機器に組み込むことにより、信頼性に優れた電子機器を提供することができる。
図15は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの一例を示す斜視図である。
2. Electronic Device The angular velocity sensor as described above can be provided with an electronic device with excellent reliability by being incorporated in various electronic devices.
FIG. 15 is a perspective view showing an example of a mobile (or notebook) personal computer to which the electronic apparatus of the present invention is applied.
この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピュータ1100には、ジャイロセンサーとして機能する前述した角速度センサー1が内蔵されている。
In this figure, a
Such a
図16は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の一例を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。
このような携帯電話機1200には、ジャイロセンサーとして機能する前述した角速度センサー1が内蔵されている。
FIG. 16 is a perspective view showing an example of a mobile phone (including PHS) to which the electronic apparatus of the invention is applied.
In this figure, a
Such a
図17は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの一例を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
FIG. 17 is a perspective view showing an example of a digital still camera to which the electronic apparatus of the present invention is applied. In this figure, connection with an external device is also simply shown.
Here, an ordinary camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, whereas a
ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
A display unit is provided on the back of a case (body) 1302 in the
A
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリ1308に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニタ1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピュータ1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ1308に格納された撮像信号が、テレビモニタ1430や、パーソナルコンピュータ1440に出力される構成になっている。
When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit and presses the
In the
このようなディジタルスチルカメラ1300には、ジャイロセンサーとして機能する前述した角速度センサー1が内蔵されている。
なお、本発明の電子機器は、図15のパーソナルコンピュータ(モバイル型パーソナルコンピュータ)、図16の携帯電話機、図17のディジタルスチルカメラの他にも、電子デバイスの種類に応じて、例えば、車体姿勢検出装置、ポインティングデバイス、ヘッドマウントディスプレイ、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンタ)、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、ナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲームコントローラー、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレータ等に適用することができる。
Such a
In addition to the personal computer (mobile personal computer) shown in FIG. 15, the mobile phone shown in FIG. 16, and the digital still camera shown in FIG. Detection device, pointing device, head mounted display, ink jet type ejection device (for example, ink jet printer), laptop personal computer, television, video camera, video tape recorder, navigation device, pager, electronic notebook (including communication function), Electronic dictionary, calculator, electronic game device, game controller, word processor, workstation, video phone, crime prevention TV monitor, electronic binoculars, POS terminal, medical device (for example, electronic thermometer, blood pressure monitor, blood glucose meter, electrocardiogram measurement device) Ultrasonic diagnostic apparatus, an electronic endoscope), a fish finder, various measurement devices, gauges (e.g., gages for vehicles, aircraft, and ships), can be applied to a flight simulator or the like.
3.移動体
図18は、本発明の移動体(自動車)の一例を示す斜視図である。この図において、移動体1500は、車体1501と、4つの車輪1502とを有しており、車体1501に設けられた図示しない動力源(エンジン)によって車輪1502を回転させるように構成されている。このような移動体1500には、角速度センサー1が内蔵されている。
このような移動体によれば、優れた信頼性を発揮することができる。
3. FIG. 18 is a perspective view showing an example of a moving body (automobile) according to the present invention. In this figure, a moving
According to such a moving body, excellent reliability can be exhibited.
以上、本発明の振動片、角速度センサー、電子機器および移動体を図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明の角速度センサーは、前記各実施形態のうち、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。 As described above, the resonator element, the angular velocity sensor, the electronic device, and the moving body of the present invention have been described based on the illustrated embodiments, but the present invention is not limited thereto, and the configuration of each part has the same function. It can be replaced with one having any structure. Moreover, other arbitrary components may be added. Moreover, the angular velocity sensor of the present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above-described embodiments.
また、前述した実施形態では、センサー素子が4つまたは2つの駆動用振動腕および2つの検出用振動腕を備えるものを例に説明したが、これに限定されず、駆動用振動腕の数は、1つ、3つまたは5つ以上であってもよく、また、検出用振動腕の数は、1つまたは3つ以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、センサー素子の振動片が圧電体材料で構成されている場合を例に説明したが、センサー素子の振動片は、シリコン、石英等の非圧電体材料で構成されていてもよい。この場合、例えば、駆動用振動腕上および検出振動腕上にそれぞれ圧電体素子を設ければよい。また、この場合、シリコンで振動片を構成すると、優れた振動特性を有する振動片を比較的安価に実現することができる。また、公知の微細加工技術を用いてエッチングにより高い寸法精度で振動片を形成することができる。そのため、振動片の小型化を図ることができる。
In the above-described embodiment, the sensor element includes four or two drive vibration arms and two detection vibration arms. However, the embodiment is not limited thereto, and the number of drive vibration arms is as follows. There may be one, three, five or more, and the number of vibrating arms for detection may be one, three or more.
In the above-described embodiment, the case where the vibration piece of the sensor element is made of a piezoelectric material has been described as an example. However, the vibration piece of the sensor element is made of a non-piezoelectric material such as silicon or quartz. May be. In this case, for example, a piezoelectric element may be provided on each of the driving vibration arm and the detection vibration arm. In this case, if the resonator element is made of silicon, a resonator element having excellent vibration characteristics can be realized at a relatively low cost. Further, the resonator element can be formed with high dimensional accuracy by etching using a known fine processing technique. Therefore, the size of the resonator element can be reduced.
また、前述した実施形態では、駆動部の駆動方式として逆圧電効果を利用した圧電駆動方式を用いた場合を例に説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば、静電引力を用いた静電駆動方式、電磁力を用いた電磁駆動方式等を用いることができる。同様に、前述した実施形態では、検出部の検出方式として圧電効果を利用した圧電検出方式を用いた場合を例に説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば、静電容量を検出する静電容量検出方式、ピエゾ抵抗の抵抗値を検出するピエゾ抵抗検出方式、誘起起電力を検出する電磁検出方式、光学検出方式等を用いることができる。また、駆動部の駆動方式と検出部の検出方式は、上述した方式を任意の組み合わせで用いることができる。
また、前述した実施形態では、検出部が駆動部とは別体として設けられている場合を例に説明したが、本発明は、これに限定されず、駆動部が検出部を兼ねていてもよい。
Further, in the above-described embodiment, the case where the piezoelectric driving method using the reverse piezoelectric effect is used as the driving method of the driving unit has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and for example, electrostatic attraction is performed. The electrostatic drive system used, the electromagnetic drive system using electromagnetic force, or the like can be used. Similarly, in the above-described embodiment, the case where the piezoelectric detection method using the piezoelectric effect is used as the detection method of the detection unit has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and for example, a capacitance is used. A capacitance detection method for detecting, a piezoresistance detection method for detecting the resistance value of the piezoresistor, an electromagnetic detection method for detecting an induced electromotive force, an optical detection method, and the like can be used. Further, as the driving method of the driving unit and the detection method of the detecting unit, the above-described methods can be used in any combination.
In the above-described embodiment, the case where the detection unit is provided separately from the drive unit has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and the drive unit may also serve as the detection unit. Good.
1‥‥角速度センサー 1A‥‥角速度センサー 1B‥‥角速度センサー 1C‥‥角速度センサー 2‥‥センサー素子 2A‥‥センサー素子 2B‥‥センサー素子 2C‥‥センサー素子 3‥‥ICチップ 4‥‥支持部材 9‥‥パッケージ 9A‥‥パッケージ 9B‥‥パッケージ 9C‥‥パッケージ 20‥‥振動片 20A‥‥振動片 20B‥‥振動片 20C‥‥振動片 21‥‥基部 21B‥‥基部 21C‥‥基部 22‥‥支持部 22B‥‥支持部 23‥‥検出用振動腕 23B‥‥検出用振動腕 24‥‥検出用振動腕 24B‥‥検出用振動腕 25‥‥駆動用振動腕 25B‥‥駆動用振動腕 26‥‥駆動用振動腕 26B‥‥駆動用振動腕 27‥‥駆動用振動腕 28‥‥駆動用振動腕 29‥‥質量 29B‥‥質量 31‥‥接続端子 31a‥‥接続端子 31b‥‥接続端子 41‥‥フィルム 42a〜42f(42)‥‥配線 43a‥‥接続端子 61‥‥端子 62‥‥端子 63‥‥端子 64‥‥端子 65‥‥端子 66‥‥端子 67‥‥端子 70‥‥配線 71‥‥内部端子 71a‥‥内部端子 71b‥‥内部端子 72‥‥内部端子 73‥‥配線 74‥‥外部端子 75‥‥外部端子 81‥‥固定部材 81a‥‥固定部材 82‥‥固定部材 91‥‥ベース 91A‥‥ベース 91B‥‥ベース 91C‥‥ベース 92‥‥リッド 93‥‥接合部材 94‥‥貫通孔 95‥‥封止材 100‥‥表示部 211‥‥本体部 212‥‥連結腕 213‥‥連結腕 221、222‥‥固定部 221B‥‥固定部 223〜225‥‥梁部(支持部) 223B〜225B‥‥連結部(支持部) 231‥‥錘部 241‥‥錘部 251‥‥錘部 261‥‥錘部 271‥‥錘部 281‥‥錘部 411‥‥デバイスホール 911‥‥基板 911A‥‥基板 912‥‥基板 912A‥‥基板 913‥‥基板 913A‥‥基板 914‥‥基板 914A‥‥基板 1100‥‥パーソナルコンピュータ 1102‥‥キーボード 1104‥‥本体部 1106‥‥表示ユニット 1200‥‥携帯電話機 1202‥‥操作ボタン 1204‥‥受話口 1206‥‥送話口 1300‥‥ディジタルスチルカメラ 1302‥‥ケース 1304‥‥受光ユニット 1306‥‥シャッタボタン 1308‥‥メモリ 1312‥‥ビデオ信号出力端子 1314‥‥入出力端子 1430‥‥テレビモニタ 1440‥‥パーソナルコンピュータ 1500‥‥移動体 1501‥‥車体 1502‥‥車輪 f1‥‥検出周波数帯域の幅 f2‥‥共振周波数 f3‥‥離調周波数 G‥‥重心 S‥‥収納空間
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (9)
前記基部から第1方向に沿って延出されていて、前記第1方向に交差する第2方向に沿って並んで配置されている2つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記2つの振動腕が前記第2方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がf1[Hz]であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第1の振動モードの共振周波数がf2[Hz]であり、前記駆動振動モードおよび前記第1の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記2つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第2の振動モードの共振周波数がf3[Hz]であり、1以上の整数をnとしたとき、
n×f1≠f2+f3の関係を満たし、
前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードのうちの少なくとも一方は、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第2方向に沿って振動する振動モード、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第1方向および前記第2方向の双方に交差する第3方向に沿って振動する振動モード、または、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第3方向に沿った軸まわりに振動する振動モードであることを特徴とする振動片。 The base,
Two vibrating arms extending from the base along the first direction and arranged side by side along the second direction intersecting the first direction;
A support part for supporting the base part;
With
The resonance frequency of the drive vibration mode in which the two vibrating arms vibrate in the opposite directions along the second direction is f1 [Hz], and the first vibration in which the base vibrates with deformation of the support portion. The resonance frequency of the mode is f2 [Hz], which is different from the drive vibration mode and the first vibration mode, and out of the vibration of the base and the vibration of the two vibrating arms, which are accompanied by deformation of the support portion. When the resonance frequency of the second vibration mode including at least one of f3 [Hz] and an integer greater than or equal to 1 is n,
satisfy the relationship of n × f1 ≠ f2 + f3,
At least one of the first vibration mode and the second vibration mode is a vibration mode in which the base vibrates along the second direction with deformation of the support portion, and with deformation of the support portion. A vibration mode in which the base portion vibrates along a third direction intersecting both the first direction and the second direction, or an axis along which the base portion extends along the third direction with deformation of the support portion. A vibration piece characterized by being in a vibration mode that vibrates around .
前記基部の前記一端側に配置されている前記2つの振動腕と、前記基部の前記他端側に配置されている前記2つの振動腕とが互いに同じ方向に駆動振動する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の振動片。 The two vibrating arms are respectively disposed on one end side and the other end side in the first direction of the base,
And the one end of the two that are located on the side vibrating arms of the base, of claims 1 to 4 and the vibrating arm the other end the two arranged on the side of the base is driven to vibrate in the same direction The resonator element according to any one of the above items.
前記基部から第1方向に沿って延出されていて、前記第1方向に交差する第2方向に沿って並んで配置されている2つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記2つの振動腕が前記第2方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がf1[Hz]であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第1の振動モードの共振周波数がf2[Hz]であり、前記駆動振動モードおよび前記第1の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記2つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第2の振動モードの共振周波数がf3[Hz]であり、1以上の整数をnとしたとき、
n×f1≠f2+f3の関係を満たし、
前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードのうちの少なくとも一方は、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第2方向に沿って振動する振動モード、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第1方向および前記第2方向の双方に交差する第3方向に沿って振動する振動モード、または、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記第3方向に沿った軸まわりに振動する振動モードであることを特徴とする角速度センサー。 The base,
Two vibrating arms extending from the base along the first direction and arranged side by side along the second direction intersecting the first direction;
A support part for supporting the base part;
With
The resonance frequency of the drive vibration mode in which the two vibrating arms vibrate in the opposite directions along the second direction is f1 [Hz], and the first vibration in which the base vibrates with deformation of the support portion. The resonance frequency of the mode is f2 [Hz], which is different from the drive vibration mode and the first vibration mode, and out of the vibration of the base and the vibration of the two vibrating arms, which are accompanied by deformation of the support portion. When the resonance frequency of the second vibration mode including at least one of f3 [Hz] and an integer greater than or equal to 1 is n,
satisfy the relationship of n × f1 ≠ f2 + f3,
At least one of the first vibration mode and the second vibration mode is a vibration mode in which the base vibrates along the second direction with deformation of the support portion, and with deformation of the support portion. A vibration mode in which the base portion vibrates along a third direction intersecting both the first direction and the second direction, or an axis along which the base portion extends along the third direction with deformation of the support portion. An angular velocity sensor characterized by a vibration mode that vibrates around .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013226087A JP6318550B2 (en) | 2013-10-31 | 2013-10-31 | Vibrating piece, angular velocity sensor, electronic device and moving object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013226087A JP6318550B2 (en) | 2013-10-31 | 2013-10-31 | Vibrating piece, angular velocity sensor, electronic device and moving object |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015087263A JP2015087263A (en) | 2015-05-07 |
JP2015087263A5 JP2015087263A5 (en) | 2016-12-15 |
JP6318550B2 true JP6318550B2 (en) | 2018-05-09 |
Family
ID=53050186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013226087A Active JP6318550B2 (en) | 2013-10-31 | 2013-10-31 | Vibrating piece, angular velocity sensor, electronic device and moving object |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6318550B2 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9654082B2 (en) | 2015-04-28 | 2017-05-16 | Seiko Epson Corporation | Vibrator, oscillator, electronic device for controlling internal resonance between inherent vibration modes |
JP2017200015A (en) | 2016-04-26 | 2017-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | Vibrator, oscillator, electronic apparatus, and movable body |
JP6620243B2 (en) * | 2016-07-26 | 2019-12-11 | 京セラ株式会社 | Angular velocity sensor, sensor element and multi-axis angular velocity sensor |
CN109477719A (en) * | 2016-07-26 | 2019-03-15 | 京瓷株式会社 | Angular-rate sensor, sensor element and multi-axial angular velocity sensor |
CN106767747B (en) * | 2016-12-28 | 2019-09-27 | 清华大学 | A kind of digital rate integrating gyroscope control method and platform based on parametric excitation |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013030850A (en) * | 2011-07-26 | 2013-02-07 | Seiko Epson Corp | Vibration device and electronic apparatus |
JP2013096882A (en) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Seiko Epson Corp | Physical quantity detection element, physical quantity detection device and electronic apparatus |
-
2013
- 2013-10-31 JP JP2013226087A patent/JP6318550B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015087263A (en) | 2015-05-07 |
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