JP6304036B2 - 防振装置を備えた露光装置 - Google Patents
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Description
本願は、2012年10月12日に出願された日本国特許出願2012−227214号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、基板Pに照射される露光光ELの光路Kが液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。液浸空間LSとは、液体で満たされた部分(空間、領域)をいう。基板Pは、液浸空間LSの液体LQを介して露光光ELで露光される。本実施形態においては、液体LQとして、水(純水)を用いる。
Z軸方向に関して、射出面12と第1保持部に保持された基板Pの上面との距離は、射出面12と第2保持部に保持されたカバー部材Tの上面との距離と実質的に等しい。なお、Z軸方向に関して、射出面12と基板Pの上面との距離が射出面12とカバー部材Tの上面との距離と実質的に等しいとは、射出面12と基板Pの上面との距離と射出面12とカバー部材Tの上面との距離との差が、基板Pの露光時における射出面12と基板Pの上面との距離(所謂、ワーキングディスタンス)の例えば10%以内であることを含む。なお、第1保持部に保持された基板Pの上面と、第2保持部に保持されたカバー部材Tの上面とは、同一平面内に配置されなくてもよい。例えば、Z軸方向に関して、基板Pの上面との位置とカバー部材Tの上面の位置とが異なってもよい。例えば、基板Pの上面とカバー部材Tの上面との間に段差があってよい。なお、基板Pの上面に対してカバー部材Tの上面が傾斜してもよいし、カバー部材Tの上面が曲面を含んでもよい。
本実施形態においては、第1部材21(外側面29)と第2部材22(内側面30)とが接触しないように、第2部材22の移動可能範囲(可動範囲)が定められる。
なお、液体供給部31は、第1部材21に配置され、第2部材22に配置されなくてもよい。なお、液体供給部31は、第2部材22に配置され、第1部材21に配置されなくてもよい。なお、液体供給部31は、第1部材21及び第2部材22とは異なる部材に配置されてもよい。
なお、液体供給部31は、光路K(終端光学素子13)に対してY軸方向に配置されてもよいし、X軸方向及びY軸方向を含む光路K(終端光学素子13)の周囲に複数配置されてもよい。液体供給部31は、一つでもよい。なお、液体供給部31のかわりに、あるいは液体供給部31に加えて、液体LQを供給可能な液体供給部が下面23に設けられてもよい。
第2部材22は、液体回収部24からの液体LQの回収と並行して移動されてもよい。第2部材22は、流体回収部27からの液体LQの回収と並行して移動されてもよい。第2部材22は、液体供給部31からの液体LQの供給及び液体回収部24(流体回収部27)からの液体LQの回収と並行して移動されてもよい。
壁部38は、開口34を囲むように配置される。スリット38Kは、X軸方向と平行な方向の液体LQの流れが促進されるように、光路Kに対して+X側及び−X側のそれぞれに形成される。
例えば、X軸方向の成分を含むある方向への基板P(物体)の移動の少なくとも一部と並行して、第2部材22がX軸方向に移動してもよい。
図10は、−Y側から見た図である。図11は、+X側から見た図である。図12は、+Z側から見た図である。図13は、−Z側から見た図である。
すなわち、防振装置55は、第1部材21を移動可能な駆動装置として機能する。防振装置55は、支持フレーム53、支持フレーム53に接続された第1支持部材51を動かすことによって、第1支持部材51に接続された第1部材21を移動可能である。防振装置55は、基準部材に対して第1部材21を移動可能である。防振装置55は、第1部材21を、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZの6つの方向に移動可能でもよい。
防振装置55は、投影光学系PLの光学素子を保持する保持部材(鏡筒など)に対する第1部材21の変位が抑制されるように、第1部材21を移動可能でもよい。
制御装置6は、終端光学素子13(基準部材)に対する第1部材21の変位量が目標範囲(許容範囲)内におさまるように、検出装置62の検出結果に基づいて、防振装置55を制御してもよい。制御装置6は、例えば検出装置62の検出値が目標値よりも小さくなるように、防振装置55を制御してもよい。
制御装置6は、6つの方向の少なくとも一つの方向に関する第1部材21の変位量が目標範囲内におさまるように、防振装置55を制御可能である。
本実施形態において、検出装置63は、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZの6つの方向のそれぞれに関する第1部材21の加速度を検出可能である。本実施形態において、検出装置63の少なくとも一部は、第1部材21に配置される。なお、検出装置63の少なくとも一部が第1支持部材51に配置されてもよいし、支持フレーム53に配置されてもよい。検出装置63の検出結果は、制御装置6に出力される。なお、検出装置63を、第2検出装置と称してもよい。
本実施形態において、移動フレーム54の−X側の端部に駆動装置56が接続される。移動フレーム54の+X側の端部に第2支持部材52が接続される。
気体軸受57Gにより、第2支持部材52(第2部材22)は、第1支持部材51(第1部材21)に対して非接触状態でX軸方向にガイドされる。
なお、上述したように、第1支持部材51は、防振装置55によって可動である。したがって、第1支持部材51(第1部材21)が移動したときに、第1支持部材にガイドされる第2支持部材52(第2部材22)が移動してもよい。
なお、位置調整装置60が、ばねを含んでもよい。位置調整装置60により、移動した固定子57は、例えば初期位置(原点)に戻される。
制御装置6は、終端光学素子13の射出面12から射出される露光光ELに対して、第1保持部に保持されている基板PをY軸方向(走査方向)に移動しつつ、射出面12と基板Pとの間の液浸空間LSの液体LQを介して、射出面12から射出された露光光ELで、基板Pの複数のショット領域Sのそれぞれを順次露光する。
したがって、装置フレーム8Bの振動が許容される場合には、支持装置50の駆動装置56が、可動子58の移動に伴う反力の少なくとも一部をキャンセルする機構を有していなくてもよい。
また、防振装置55を設けずに、支持装置50が、第1部材21と第2部材22を、装置フレーム8Bに可動に支持してもよい。この場合も、支持装置50に、防振装置55に含まれない、少なくとも一つのアクチュエータを搭載し、上述の防振装置55のアクチュエータと同様に動作させてもよい。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (61)
- 光学部材と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置であって、
装置フレームと、
前記光学部材を含む光学系と、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第2部材と、を含み、液浸空間を形成可能な液浸部材と、
前記第2部材を前記第1部材に対して移動可能な駆動装置と、
それを介して前記第1部材が前記装置フレームに支持される、防振装置と、
を備え、
前記第1部材は、前記露光光の光路に対して外側を向く外側面を有し、
前記第2部材は、前記外側面と対向する内側面を有し、
前記第1部材には、前記液浸空間を形成するための液体を供給する供給部が配置される露光装置。 - 前記防振装置は、アクチュエータを含む、
請求項1に記載の露光装置。 - 前記防振装置は、少なくとも、前記光学部材の光軸と実質的に平行又は実質的に垂直な前記第1部材の動き、を制御するように構成される、
請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記防振装置は、基準部材に対する前記第1部材の位置を制御するように構成される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1部材の位置を検出する第1検出装置をさらに備え、
前記防振装置は、前記第1検出装置の検出結果に基づいて、前記第1部材の動きを制御するように構成される、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1検出装置は、基準部材に対する前記第1部材の位置を検出し、
前記防振装置は、前記第1検出装置の検出結果に基づいて、前記基準部材に対する前記第1部材の位置を制御するように構成される、
請求項5に記載の露光装置。 - 前記第1部材の加速度を検出する第2検出装置をさらに備え、
前記防振装置は、前記第2検出装置の検出結果に基づいて、前記第1部材の動きを制御するように構成される、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記防振装置は、前記第2検出装置の検出結果に基づいて、基準部材に対する前記第1部材の位置を制御するように構成される、
請求項7に記載の露光装置。 - 前記駆動装置の少なくとも一部は、前記装置フレームに支持される、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記駆動装置は、前記第2部材の移動に伴う反力の、前記装置フレームへの伝達を抑制するように構成される、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記駆動装置は、前記第2部材の移動に伴う反力を相殺するように構成される、
請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記駆動装置は、前記第2部材の移動に伴う反力の少なくとも一部をキャンセルする機構を有する、
請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記防振装置を介して、前記装置フレームに支持される、
請求項1〜12のいずれか一項記載の露光装置。 - 光学部材と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置であって、
装置フレームと、
前記光学部材を含む光学系と、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第2部材と、を含み、液浸空間を形成可能な液浸部材と、
前記第2部材を前記第1部材に対して移動可能な駆動装置と、を備え、
前記第1部材は、前記露光光の光路に対して外側を向く外側面を有し、
前記第2部材は、前記外側面と対向する内側面を有し、
前記第1部材には、前記液浸空間を形成するための液体を供給する供給部が配置され、
前記駆動装置の少なくとも一部は、前記装置フレームに支持される露光装置。 - 前記駆動装置は、前記第2部材の移動に伴う反力の、前記装置フレームへの伝達を抑制するように構成される、
請求項14に記載の露光装置。 - 前記駆動装置は、前記第2部材の移動に伴う反力を相殺するように構成される、
請求項14又は15に記載の露光装置。 - 前記駆動装置は、前記第2部材の移動に伴う反力の少なくとも一部をキャンセルする機構を有する、
請求項14〜16のいずれか一項に記載の露光装置。 - 光学部材と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置であって、
装置フレームと、
前記光学部材を含む光学系と、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第2部材と、を含み、液浸空間を形成可能な液浸部材と、
前記第2部材を前記第1部材に対して移動可能な駆動装置と、
それを介して前記第1部材が前記装置フレームに可動に支持される、支持装置と、を備え、
前記第1部材は、前記露光光の光路に対して外側を向く外側面を有し、
前記第2部材は、前記外側面と対向する内側面を有し、
前記第1部材には、前記液浸空間を形成するための液体を供給する供給部が配置され、
前記支持装置は、前記第1部材を移動可能なアクチュエータを有する露光装置。 - 前記支持装置を介して、前記第2部材が前記装置フレームに可動に支持される、
請求項18記載の露光装置。 - 前記支持装置は、前記第1部材の動きを制御するように構成される、
請求項18又は19記載の露光装置。 - 前記支持装置は、基準部材に対する前記第1部材の位置を制御するように構成される、
請求項20記載の露光装置。 - 前記支持装置は、前記アクチュエータにより、前記第1部材および前記第2部材が移動するように、前記第1部材および前記第2部材を、前記装置フレームに可動に支持する、
請求項18〜21のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記光学系は、前記装置フレームに支持される、
請求項18〜22のいずれか一項に記載の露光装置。 - 光学部材の射出面と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記第1部材の下方において前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1部材の第1下面と間隙を介して対向する第2上面と前記光学部材の下方で移動可能な物体が対向可能な第2下面とを有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、を含み、前記物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材と、
前記第1部材の振動を抑制する防振装置と、を備える露光装置。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において移動され、
前記防振装置は、前記光軸と実質的に平行な第1方向に関する前記第1部材の振動を抑制可能である、
請求項1〜12、24のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記防振装置は、前記第2部材の移動に伴う前記第1部材の振動を抑制可能である、
請求項1〜12、24、25のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記防振装置の少なくとも一部は、前記第1部材に接続される、
請求項1〜12、24〜26のいずれか一項に記載の露光装置。 - 基準部材に対する前記第1部材の変位が抑制されるように、前記第1部材を移動可能な第1駆動装置を備える、
請求項1〜23のいずれか一項に記載の露光装置。 - 光学部材の射出面と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記第1部材の下方において前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1部材の第1下面と間隙を介して対向する第2上面と前記光学部材の下方で移動可能な物体が対向可能な第2下面とを有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、を含み、前記物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材と、
基準部材に対する前記第1部材の変位が抑制されるように、前記第1部材を移動可能な第1駆動装置と、を備える露光装置。 - 前記基準部材は、前記光学部材である、
請求項28又は29に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において移動され、
前記光軸と実質的に平行な第1方向に関する前記第1部材の変位が抑制されるように、前記第1駆動装置は、前記第1部材を移動可能である、
請求項28〜30のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材の移動に伴う前記第1部材の変位が抑制されるように、前記第1駆動装置は、前記第1部材を移動可能である、
請求項28〜31のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材の移動条件と前記基準部材に対する前記第1部材の位置との関係を記憶する記憶装置をさらに備え、
前記記憶装置の情報に基づいて、前記第1駆動装置は、前記第1部材を移動可能である
請求項28〜32のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記基準部材に対する前記第1部材の位置を検出する検出装置をさらに備え、
前記検出装置の検出結果に基づいて、前記第1駆動装置は、前記第1部材を移動可能である、
請求項28〜33のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記光学部材を支持する第1フレームと、
前記第1部材を支持する第2フレームと、
前記第1、第2フレームを支持する第3フレームと、
少なくとも一部が前記第3フレームに支持され、前記第2部材を移動可能である第2駆動装置と、をさらに備える、
請求項1〜34のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材に接続される支持部材をさらに備え、
前記支持部材を前記第2駆動装置によって移動することにより、前記第2部材を移動可能である、
請求項35に記載の露光装置。 - 前記第3フレームに前記第2駆動装置の固定子が配置され、前記支持部材に前記第2駆動装置の可動子が接続される、
請求項36に記載の露光装置。 - 前記支持部材と前記第1部材の少なくとも一部とが間隙を介して対向する状態で、前記支持部材が移動される、
請求項36又は37に記載の露光装置。 - 前記第1部材は、前記第1部材の上側空間と下側空間とを結ぶ孔をさらに有し、
前記支持部材の第1部分が、前記孔の内側で移動される、
請求項36〜38のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1部分は、前記光学部材の光軸に対して一側及び他側のそれぞれに配置される、
請求項39に記載の露光装置。 - 前記支持部材は、前記第1部分の上端と結ばれる第2部分を有し、
前記第2駆動装置は、前記第2部分と接続される、
請求項39又は40に記載の露光装置。 - 前記第2駆動装置は、前記光学部材の光軸に対して一側に配置される、
請求項41に記載の露光装置。 - 前記第2部分を非接触で支持する支持部をさらに有する、
請求項41又は42に記載の露光装置。 - 前記第2部分と前記支持部の少なくとも一部との間に気体軸受をさらに有する、
請求項43に記載の露光装置。 - 前記第1部材の下側空間は、前記第1部材と前記第2部材との間の空間を含む、
請求項39〜44のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2駆動装置の温度を調整可能な温度調整装置をさらに備える、
請求項35〜45のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記液浸部材に配置され、前記液浸空間を形成するための液体を供給可能な供給部と、
前記液浸部材に配置され、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収可能な回収部と、をさらに備え、
前記供給部からの液体の供給及び前記回収部からの液体の回収と並行して、前記第2部材が移動される、
請求項1〜46のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記回収部は、前記第1部材に配置され、前記第1部材と前記第2部材との間の第1空間及び前記光学部材の下方で移動する物体と前記第2部材との間の第2空間の少なくとも一方からの液体の少なくとも一部を回収可能である第1回収部を含む、
請求項47に記載の露光装置。 - 前記第2部材の少なくとも一部は、前記第1回収部と対向可能である、
請求項48に記載の露光装置。 - 前記回収部は、前記第2部材に配置され、前記光学部材の下方で移動可能な物体と対向可能な第2回収部を含む、
請求項47〜49のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記回収部は、多孔部材を含む、
請求項47〜50のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記供給部は、前記第1部材に配置される、
請求項47〜51のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口をさらに有し、
前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口をさらに有する、
請求項1〜52のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記光学部材の射出面から前記露光光が射出される期間の少なくとも一部において、前記第2部材は移動可能である、
請求項1〜53のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記光学部材の下方で移動可能な物体は、前記基板を含み、
前記液浸空間が形成された状態で、前記基板は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において、第1経路を移動後、第2経路を移動し、
前記第1経路において、前記基板の移動は、前記面内における第2軸と実質的に平行な第2方向への移動を含み、
前記第2経路において、前記基板の移動は、前記面内において前記第2軸と直交する第3軸と実質的に平行な第3方向への移動を含み、
前記第2部材は、前記基板が前記第2経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第3方向に移動する、
請求項1〜54のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記基板が前記第1経路を移動するときに前記液浸空間の液体を介して前記基板のショット領域に前記露光光が照射され、前記第2経路を移動するときに前記露光光が照射されない、
請求項55に記載の露光装置。 - 前記基板は、前記第2経路を移動した後に、第3経路を移動し、前記第3経路において、前記基板の移動は、前記光軸と実質的に平行な第1方向の反対の第3方向への移動を含み、
前記第2部材は、前記基板が前記第3経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第2方向の反対の第4方向に移動する、
請求項55又は56に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記光学部材の下方で移動可能な物体との相対速度が小さくなるように移動される、
請求項1〜57のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記第2部材と前記光学部材の下方で移動可能な物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動される、
請求項1〜58のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記光学部材の下方で移動可能な物体は、前記基板を保持して移動する基板ステージを含む
請求項1〜59のいずれか一項に記載の露光装置。 - 請求項1〜60のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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