JP6302864B2 - レンズの形状測定方法及び形状測定装置 - Google Patents
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Description
(a)円Cと割線Dとが交わる交点P1及び交点P2のうち一方の第1交点P1と、円Cの中心Oとを通る第1境界線B1
(b)上記第1交点P1と、円Cの中心Oを通って割線Dに直交する中心線CLと円Cとが交わる交点P3とを通る第2境界線B2
(c)円Cと割線Dとが交わる交点P1及び交点P2のうち他方の第2交点P2と、円Cの中心Oとを通る第3境界線B3
(d)上記第2交点P2と上記交点P3とを通る第4境界線B4
21 レーザダイオード
22 対物レンズ
23 オートフォーカスセンサ
24 ビームスプリッタ
25 ミラー
26 載置部
27 XYステージ
28 XYリニアスケール
29 オートフォーカス駆動機構
30 Zリニアスケール
31 XYZコントローラ
32 制御部
33 記憶部
34 起点演算部
35 光軸中心演算部
Claims (6)
- 光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり該円の中心を含む非円形に形成されたレンズの形状測定方法であって、
前記割線を逸れる前記円の第1弦上に設けられた第1走査ラインに沿ってレンズ表面の三次元形状を測定するステップと、
前記割線を逸れ、且つ前記第1弦と交差する前記円の第2弦上に設けられた第2走査ラインに沿ってレンズ表面の三次元形状を測定するステップと、
前記第1走査ラインに沿って測定された前記レンズ表面の第1三次元形状、及び前記第2走査ラインに沿って測定された前記レンズ表面の第2三次元形状に基づいて前記レンズ表面の光軸中心を求めるステップと、
を備え、
前記第1弦と前記第2弦とは、前記割線と前記円との二つの交点のうち一方の第1交点、及び前記円の中心を通る第1境界線と、前記第1交点、及び前記円の中心を通り前記割線に直交する中心線と前記円との交点を通る第2境界線と、前記割線と前記円との二つの交点のうち他方の第2交点、及び前記円の中心を通る第3境界線と、前記第2交点、及び前記中心線と前記円との交点を通る第4境界線とによって囲まれる領域内で交差し、
前記第1弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第1走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第1弦上の範囲を含み、
前記第2弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第2走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第2弦上の範囲を含み、
前記光軸中心を求めるステップは、
前記第1三次元形状に基づいて、前記第1弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第1走査ライン上の第1起点を求めるステップと、
前記第2三次元形状に基づいて、前記第2弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第2走査ライン上の第2起点を求めるステップと、
前記光軸中心として、前記第1起点を通り且つ前記第1走査ラインに直交する第1垂線と前記第2起点を通り且つ前記第2走査ラインに直交する第2垂線との交点を求めるステップと、を有するレンズの形状測定方法。 - 請求項1記載のレンズの形状測定方法であって、
前記第1走査ラインの一端は、前記中心線の前記第1交点側に位置し、
前記第2走査ラインの一端は、前記中心線の前記第2交点側に位置するレンズの形状測定方法。 - 請求項2記載のレンズの形状測定方法であって、
前記第1弦の延長線と前記割線の延長線との交点から前記第1交点までの距離、及び前記第2弦の延長線と前記割線の延長線との交点から前記第2交点までの距離は、それぞれ前記割線の線分の長さの1/4以下であるレンズの形状測定方法。 - 請求項3記載のレンズの形状測定方法であって、
前記第1弦の一端は前記第1交点に位置し、
前記第2弦の一端は前記第2交点に位置するレンズの形状測定方法。 - 請求項1から4のいずれか一項記載のレンズの形状測定方法であって、
前記割線と前記第1弦と前記第2弦の3線で定義される三角形のうち、前記第1弦と前記第2弦が交差する内角は90°より大きく180°より小さいレンズの形状測定方法。 - 光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり該円の中心を含む非円形に形成されたレンズの形状測定装置であって、
レンズ表面上の点の三次元座標値を測定する測定部と、
前記割線を逸れる前記円の第1弦上に設けられた第1走査ライン、及び前記割線を逸れ且つ前記第1弦と交差する前記円の第2弦上に設けられた第2走査ラインに沿って前記測定部を移動させる駆動部と、
前記第1走査ラインに沿って移動された前記測定部によって取得される前記レンズ表面上の複数の点の各々の三次元座標値を含む第1三次元形状データ、及び前記第2走査ラインに沿って移動された前記測定部によって取得される前記レンズ表面上の複数の点の各々の三次元座標値を含む第2三次元形状データを記憶する記憶部と、
前記第1三次元形状データ及び前記第2三次元形状データに基づいてレンズ表面における光軸中心を求める演算部と、
を備え、
前記第1弦と前記第2弦とは、前記割線と前記円との二つの交点のうち一方の第1交点、及び前記円の中心を通る第1境界線と、前記第1交点、及び前記円の中心を通り前記割線に直交する中心線と前記円との交点を通る第2境界線と、前記割線と前記円との二つの交点のうち他方の第2交点、及び前記円の中心を通る第3境界線と、前記第2交点、及び前記中心線と前記円との交点を通る第4境界線とによって囲まれる領域内で交差し、
前記第1弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第1走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第1弦上の範囲を含み、
前記第2弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第2走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第2弦上の範囲を含み、
前記演算部は、
前記第1三次元形状データに基づいて、前記第1弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第1走査ライン上の第1起点を求め、前記第2三次元形状データに基づいて、前記第2弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第2走査ライン上の第2起点を求める起点演算部と、
前記光軸中心として、前記第1起点を通り且つ前記第1走査ラインに直交する第1垂線と前記第2起点を通り且つ前記第2走査ラインに直交する第2垂線との交点を求める光軸中心演算部と、を有する形状測定装置。
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