JP6297512B2 - マスクブランク用基板の製造方法、多層膜付き基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び転写用マスクの製造方法 - Google Patents
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Description
一方、処理流体として常温の水(純水)を使用して得られたCARE加工後の基板主表面を高感度の欠陥検査装置で検査したところ、凹欠陥となりうる微小スリーク傷状の欠陥が検出される場合があった。又、平坦度も要求値を満たさない場合があった。
酸化物を含む材料からなる主表面を有するマスクブランク用基板を準備する基板準備工程と、
触媒物質の加工基準面と前記主表面を接触又は接近させ、前記加工基準面と前記主表面との間に処理流体を介在させた状態で前記主表面と前記加工基準面とを相対運動させることにより前記主表面を触媒基準エッチングする工程と、
を有するマスクブランク用基板の製造方法において、
前記処理流体は前記基板主表面で加水分解を起こす液体であり、前記触媒基準エッチング中の前記処理流体の温度は、常温未満の温度であることを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。
(構成2)
前記基板の少なくとも主表面は、前記触媒基準エッチング工程中、常温未満の温度に冷却されていることを特徴とする構成1記載のマスクブランク用基板の製造方法。
(構成3)
前記触媒基準エッチングは、定盤と、該定盤の表面全面に形成されたパッドと、前記基板主表面と対向する側の前記パッドの表面全面に形成された前記触媒物質からなる加工基準面とを具備した触媒定盤を用いて行われ、
且つ、前記定盤は低熱膨張材料からなることを特徴とする構成1又は2に記載のマスクブランク用基板の製造方法。
(構成4)
構成1及至3のいずれか一に記載のマスクブランク用基板の製造方法によって製造された基板の主表面上に、多層反射膜を形成することを特徴とする多層反射膜付き基板の製造方法。
(構成5)
構成1及至3のいずれか一に記載のマスクブランク用基板の製造方法によって得られた基板の主表面上、又は、構成4記載の多層反射膜付き基板の製造方法によって得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、転写パターン用薄膜を形成することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
(構成6)
構成5に記載のマスクブランクの製造方法によって得られたマスクブランクの転写パターン用薄膜をパターニングして、転写パターンを形成することを特徴とする転写用マスクの製造方法。
本方法により、被加工面である基板主表面の平滑性と平坦度は向上し、且つ微小欠陥も少ない所望のマスクブランク用基板を製造することが可能となる。
実施の形態1では、マスクブランク用基板の製造方法及び基板加工装置について説明する。
以下、各工程を詳細に説明する。
マスクブランク用基板の製造方法では、先ず、主表面が酸化物を含む材料よりなる基板を準備する。
薄膜が形成された基板は、酸化物を含む材料からなる基板本体の主表面として用いる上面や下面に酸化物を含む材料からなる薄膜が形成された基板であってもよいし、酸化物を含む材料以外からなる基板本体(基体)の主表面として用いる上面や下面に、酸化物を含む材料からなる薄膜が形成された基板であってもよい。
薄膜を形成する酸化物として、具体的には、シリコン酸化物(SiOx、(x>0))や、金属とシリコンを含む金属シリサイド酸化物(MexSiyOz、(Me:金属、x>0、y>0、及びz>0))が挙げられる。このような酸化物を含む材料からなる薄膜は、例えば、蒸着、スパッタリング、電気めっきによって形成することができる。
又、上述した酸化物には、本発明の効果を逸脱しない範囲で、窒素、炭素、水素、フッ素等の元素が含まれていてもよい。
準備する基板は、好ましくは、塑性変形しにくく、高平滑性の主表面が得られやすいガラス基板や、ガラス基板本体の主表面である上面や下面に、シリコン酸化物(SiOx(x>0))からなる薄膜が形成された基板である。
平坦度を改善するための加工方法として、例えば、磁気粘弾性流体研磨(Magnet Rheological Finishing:MRF)、局所化学機械研磨(Local Chemical Mechanical Polishing:LCMP)、ガスクラスターイオンビームエッチング(Gas Cluster Ion Beam etching:GCIB)、局所プラズマエッチングを用いたドライケミカル平坦化法(Dry Chemical Planarization:DCP)がある。
LCMPは、小径研磨パッド及びコロイダルシリカ等の研磨砥粒を含有する研磨スラリーを用い、小径研磨パッドと被加工物との接触部分の滞留時間をコントロールすることにより、主に被加工物表面の凸部分を研磨加工する局所加工方法である。
GCIBは、常温常圧で気体の反応性物質(ソースガス)を、真空装置内に断熱膨張させつつ噴出させてガスクラスタを生成し、これに電子線を照射してイオン化させることにより生成したガスクラスタイオンを、高電界で加速してガスクラスターイオンビームとし、これを被加工物に照射してエッチング加工する局所加工方法である。
上述した平坦度を改善するための加工方法によって損なわれた表面粗さを改善するために、平坦度を極力維持しつつ、表面粗さを改善する加工方法として、例えば、フロートポリッシング、EEM(Elastic Emission Machining)、ハイドロプレーンポリッシングがある。
次に、触媒物質の加工基準面を基板の主表面に接触又は接近させ、加工基準面と主表面との間に温度が常温未満の処理流体を介在させた状態で、主表面を触媒基準エッチング(CARE)により加工する。
基板の上面及び下面の両面を主表面として用いる場合には、上面のCARE加工後に下面のCARE加工を行ってもよいし、下面のCARE加工後に上面のCARE加工を行ってもよいし、上面及び下面の両面のCARE加工を同時に行ってもよい。尚、下面を主表面として用いない場合であっても、必要に応じて、下面も触媒基準エッチングにより加工する。主表面として用いない下面にもCARE加工を行う場合には、主表面として用いる上面には欠陥品質の点で高い品質が要求されるため、下面の加工を行った後に、主表面として用いる上面の加工を行う方が好ましい。
基板Mに加える荷重(加工圧力)は、例えば、5〜350hPaである。
触媒基準エッチングによる加工における加工取り代は、例えば、5nm〜100nmである。基板Mの主表面M1に当該主表面から突出する突起が存在する場合、加工取り代は、突起の高さより大きい値にすることが好ましい。加工取り代を突起の高さより大きい値にすることにより、CARE加工により突起を除去することができる。
又、加工基準面33の面積は、基板Mの主表面M1の面積より大きくても構わない。基板全面を加工できるので加工時間が短縮でき、又、加工基準面33のエッジによる傷等の欠陥の発生を抑えることができる。
CARE加工の処理流体の温度を常温未満とすることにより、処理流体の粘度が上がるとともに、触媒定盤32を構成する触媒物質321、母材(パッド)322、及び定盤323の熱膨張が抑制される。CARE加工では、加工基準面33と主表面M1とが相対運動する時に摩擦熱が発生し、触媒定盤32の熱変形が起こりやすい。触媒定盤32が変形すると加工後の形状、特に平坦度が低下しやすいので、定盤323はステンレスやセラミックス等低熱膨張材料からなることが望ましい。
その後、アーム部51の長手方向移動(両矢印C)、アーム部51の旋回移動(両矢印E)、アーム部51の第1方向移動(両矢印F)、アーム部51の第2方向移動(両矢印G)により、基板表面創製手段3の加工基準面33を、基板Mの上面M1に対向するように配置する。
その後、所定の加工取り代になった時点で、処理流体の供給並びに触媒定盤取付部72の回転を止める。一方で、温度調整液を兼ねた洗浄液の供給は続ける。そして、アーム部51の上下移動(両矢印D)により、加工基準面33を、上面M1から所定の距離だけ離す。一定時間、洗浄液を供給し続けながら軸部71回転を行って洗浄を行った後、洗浄液の供給を止めて軸部71回転によるスピン乾燥を行う。その後、基板Mを取り出す。
このような基板準備工程と基板加工工程とにより、マスクブランク用基板Mが製造される。
又、この実施の形態では、基板の片面を加工するタイプの基板加工装置について本発明を適用したが、基板の両面を同時に加工するタイプの基板加工装置にも本発明を適用できる。この場合、基板支持手段として、基板の側面を保持する部材であるキャリアを使用する。
又、この実施の形態では、基板表面創製手段に処理流体供給手段を設け、処理流体供給手段から処理流体を供給するタイプの基板加工装置について本発明を適用したが、チャンバーの外側から基板Mの主表面M1に向かって処理流体を供給する場合や、基板支持手段に処理流体供給手段を設け、基板支持手段から処理流体を供給する場合にも本発明を適用できる。又、チャンバーに処理流体を貯め、処理流体中に基板表面創製手段と基板支持手段とを入れた状態で触媒基準エッチングによる加工を行う場合にも本発明を適用できる。
又、この実施の形態では、基板を一枚ごとに加工する枚様式の基板加工装置について本発明を適用したが、複数枚の基板を同時に加工するバッチ式の基板加工装置にも本発明を適用できる。又、ここでは基板の主表面全面に亘って加工する場合を示したが、必要に応じて、予め定めた局部のみを加工する局部加工のみを行っても良く、これらの加工を併用してもよい。
実施の形態2では、多層反射膜付き基板の製造方法を説明する。
実施の形態3では、マスクブランクの製造方法を説明する。
実施の形態4では、転写用マスクの製造方法を説明する。
A.ガラス基板の製造
1.基板準備工程
主表面及び裏面が研磨された6025サイズ(152mm×152mm×6.35mm)のSiO2−TiO2ガラス基板である低熱膨張ガラス基板を準備した。材料組成から明らかなように、このガラス基板の表面は酸化物からなる。尚、SiO2−TiO2ガラス基板は、以下の粗研磨加工工程、精密研磨加工工程、超精密研磨加工工程、局所加工工程、及びタッチ研磨工程を経て得られたものである。
端面面取加工及び研削加工を終えたガラス基板を両面研磨装置に10枚セットし、以下の研磨条件で粗研磨を行った。10枚セットを2回行い合計20枚のガラス基板の粗研磨を行った。尚、加工荷重、研磨時間は適宜調整して行った。
研磨スラリー:酸化セリウム(平均粒径2〜3μm)を含有する水溶液
研磨パッド:硬質ポリシャ(ウレタンパッド)
粗研磨後、ガラス基板に付着した研磨砥粒を除去するため、ガラス基板を洗浄槽に浸漬し、超音波を印加して洗浄を行った。
粗研磨を終えたガラス基板を両面研磨装置に10枚セットし、以下の研磨条件で精密研磨を行った。10枚セットを2回行い合計20枚のガラス基板の精密研磨を行った。尚、加工荷重、研磨時間は適宜調整して行った。
研磨スラリー:酸化セリウム(平均粒径1μm)を含有する水溶液
研磨パッド:軟質ポリシャ(スウェードタイプ)
精密研磨後、ガラス基板に付着した研磨砥粒を除去するため、ガラス基板を洗浄槽に浸漬し、超音波を印加して洗浄を行った。
精密研磨を終えたガラス基板を再び両面研磨装置に10枚セットし、以下の研磨条件で超精密研磨を行った。10枚セットを2回行い合計20枚のガラス基板の超精密研磨を行った。尚、加工荷重、研磨時間は適宜調整して行った。
研磨スラリー:コロイダルシリカを含有するアルカリ性水溶液(pH10.2)
(コロイダルシリカ含有量50wt%)
研磨パッド:超軟質ポリシャ(スウェードタイプ)
超精密研磨後、ガラス基板を水酸化ナトリウムのアルカリ洗浄液が入った洗浄槽に浸漬し、超音波を印加して洗浄を行った。
粗研磨加工工程、精密研磨加工工程、超精密研磨加工工程後のガラス基板の主表面及び裏面の平坦度を、平坦度測定装置(トロペル社製 UltraFlat200)を用いて測定した。平坦度測定は、ガラス基板の周縁領域を除外した148mm×148mmの領域に対して、1024×1024の地点で行った。ガラス基板の主表面及び裏面の平坦度の測定結果を、測定点ごとに仮想絶対平面に対する高さの情報(凹凸形状情報)としてコンピュータに保存した。仮想絶対平面は、仮想絶対平面から基板表面までの距離を、平坦度測定領域全体に対して二乗平均したときに最小の値となる面である。
その後、取得された凹凸形状情報とガラス基板に要求される主表面及び裏面の平坦度の基準値とを比較し、その差分を、ガラス基板の主表面及び裏面の所定領域ごとにコンピュータで算出した。この差分が、局所的な表面加工における各所定領域の必要除去量(加工取り代)となる。
その後、ガラス基板の主表面及び裏面を、基板仕上げ装置を用いて、磁気粘弾性流体研磨(Magnet Rheological Finishing:MRF)により、所定領域ごとに設定した加工条件に従い、局所的に表面加工した。尚、このとき、酸化セリウムの研磨粒子を含有する磁性研磨スラリーを使用した。
局所加工工程によって荒れたガラス基板の主表面及び裏面の平滑性を高めるために、研磨スラリーを用いて行う低荷重の機械的研磨により微小量だけガラス基板の主表面及び裏面を研磨した。この研磨は、基板の大きさよりも大きい研磨パッドが張り付けられた上下の研磨定盤の間にキャリアで保持されたガラス基板をセットし、コロイダルシリカ砥粒(平均粒子径50nm)を含有する研磨スラリーを供給しながら、ガラス基板を、上下の研磨定盤内で自転しながら公転することによって行った。
その後、ガラス基板を、水酸化ナトリウムのアルカリ洗浄液に浸漬し、超音波を印加して洗浄を行った。
次に、図2及び図3に示す基板加工装置を用いて、タッチ研磨工程後のガラス基板の主表面に対して、触媒基準エッチングによる加工を施した。この基板加工装置はクリーンルームに設置されており、クリーンルーム内の室温は23℃とした。したがってこの場合の常温は23℃である。
加工、洗浄条件は以下の通りである。
処理流体:純水
基板温度調整兼洗浄液:純水
クリーンルームの室温:23℃
処理流体及び基板温度調整液の温度:15℃
洗浄液の温度:23℃
軸部71の回転数(ガラス基板の回転数):10.3回転/分
触媒定盤取付部72の回転数(触媒定盤32の回転数):10回転/分
加工圧力:150hPa
加工取り代:10nm
その後、アーム部51の長手方向移動(両矢印C)、アーム部51のスイング移動(両矢印E)、アーム部51の第1方向移動(両矢印F)、アーム部51の第2方向移動(両矢印G)により、触媒定盤32の加工基準面33がガラス基板の主表面M1に対向して配置された状態で、触媒定盤32を配置した。触媒定盤32の配置位置は、ガラス基板M及び触媒定盤32を回転させたときに、触媒定盤32の加工基準面33が、ガラス基板の主表面全体に接触又は接近することが可能な位置である。
その後、加工取り代が10nmとなった時点で、15℃の処理流体の供給を止め、アーム部51の上下移動(両矢印D)により、触媒定盤32を、ガラス基板Mの主表面M1から所定の距離だけ離した。温度調整液は23℃の純水である洗浄液に連続的に切り替えて洗浄水を噴射ノズル42から供給し続けた。この間、ガラス基板M及び触媒定盤32の回転は続けて、常温の純水によるスピン洗浄を行った。その後、洗浄水の供給を止めて、スピン乾燥を行った。しかる後、支持部21から常温のガラス基板Mを取り外して、ガラス基板を作製した。
触媒基準エッチングによる加工前後のガラス基板Mの主表面の表面粗さを、基板の中心の1μm×1μmの領域に対して、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて測定した。
加工前の主表面の表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.157nmであった。
加工後の主表面の表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.044nmと、要求値の0.08nmを大幅に下回る良好なものであった。
加工後の主表面の凹欠陥個数は7個であった。
又、実施例1の方法により、ガラス基板を20枚作製したところ、全数、表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.046nm以下と良好であった。又、平坦度は41nmであった。平坦度は、平坦度測定装置(トロペル社製 UltraFlat200)を用いて測定した。平坦度測定は、ガラス基板の周縁領域を除外した148mm×148mmの領域に対して、1024×1024の地点で行った。
実施例1の方法により、低欠陥、且つ高い平滑性及び平坦度の主表面を有するガラス基板が安定して得られた。
次に、このようにして作製されたガラス基板Mの主表面M1上に、イオンビームスパッタ法により、シリコン膜(Si)からなる高屈折率層(膜厚4.2nm)とモリブデン膜(Mo)からなる低屈折率層(2.8nm)とを交互に、高屈折率層と低屈折率層とを1ペアとし、40ペア積層して、多層反射膜(膜厚280nm)を形成した。
その後、この多層反射膜上に、イオンビームスパッタ法により、ルテニウム(Ru)からなる保護膜(膜厚2.5nm)を形成した。尚、イオンビームスパッタリングにおけるガラス基板主表面の法線に対するMo、Si、Ruのスパッタ粒子の入射角度は、それぞれ、Moが50度、Siが45度、Ruが40度とした。
このようにして、多層反射膜付き基板を作製した。
ガラス基板主表面の高い平滑性により、保護膜表面も平滑性を保っており、反射率は64%と高反射率であった。
得られた多層反射膜付き基板の保護膜表面の欠陥検査を、ガラス基板の欠陥検査と同様に行った。
保護膜表面の欠陥検出個数は、SEVD換算で21.5nmサイズの凹欠陥が検出可能な感度で10個であった。位相欠陥検査も合わせて行ったが、高い平滑性を持つため、検査時のバックグラウンドノイズが少なく、高感度な位相欠陥検査を行うことができた。
実施例1の方法により、低欠陥、且つ高い平滑性の保護膜表面を有する多層反射膜付き基板が得られた。
次に、このようにして作製された多層反射膜付き基板の保護膜上に、ホウ化タンタル(TaB)ターゲットを使用し、アルゴン(Ar)ガスと窒素(N2)ガスとの混合ガス雰囲気中で反応性スパッタリングを行い、タンタルホウ素窒化物(TaBN)からなる下層吸収体層(膜厚50nm)を形成し、さらに、下層吸収体膜上に、ホウ化タンタル(TaB)ターゲットを使用し、アルゴン(Ar)ガスと酸素(O2)ガスとの混合ガス雰囲気中で反応性スパッタリングを行い、タンタルホウ素酸化物(TaBO)からなる上層吸収体層(膜厚20nm)を形成することにより、下層吸収体層と上層吸収体層とからなる層吸収体膜(膜厚70nm)を形成した。
その後、多層反射膜付き基板の多層反射膜を形成していない裏面上に、クロム(Cr)ターゲットを使用し、アルゴン(Ar)ガスと窒素(N2)ガスとの混合ガス雰囲気中での反応性スパッタリングにより、クロム窒化物(CrN)からなる裏面導電膜(膜厚20nm)を形成した。
このようにして、低欠陥、且つ高い平滑性の表面状態を維持したEUV露光用の反射型マスクブランクを作製した。
次に、このようにして作製された反射型マスクブランクの吸収体膜上に、電子線描画(露光)用化学増幅型レジストをスピンコート法により塗布し、加熱及び冷却工程を経て、膜厚が150nmのレジスト膜を形成した。
その後、形成されたレジスト膜に対し、電子線描画装置を用いて所望のパターン描画を行った後、所定の現像液で現像してレジストパターンを形成した。
その後、このレジストパターンをマスクにして、吸収体膜のドライエッチングを行って、保護膜上に吸収体膜パターンを形成した。ドライエッチングガスとしては、塩素(Cl2)ガスを用いた。
その後、残存するレジストパターンを剥離し、洗浄を行なった。
このようにして、低欠陥、且つ高い平滑性の表面状態を維持したEUV露光用の反射型マスクを作製した。
A.ガラス基板の製造
この実施例では、上面及び下面が研磨された6025サイズ(152mm×152mm×6.35mm)の合成石英ガラス基板を準備した。材料組成から明らかなように、合成石英ガラス基板の表面は酸化物である。尚、合成石英ガラス基板は、上述の粗研磨加工工程、精密研磨加工工程、超精密研磨加工工程を経て得られたものである。
また、処理流体及び基板温度調整液である純水の温度を18℃とした。それ以外は、実施例1と同様の方法により、ガラス基板を作製した。すなわち、処理流体及び基板温度調整液である純水の温度を18℃としたCARE加工により、表面が酸化物からなるガラス基板の製造を行った。したがって、加工、洗浄条件は下記の通りである。
処理流体:純水
基板温度調整兼洗浄液:純水
クリーンルームの室温:23℃
処理流体及び基板温度調整液の温度:18℃
洗浄液の温度:23℃
軸部71の回転数(ガラス基板の回転数):10.3回転/分
触媒定盤取付部72の回転数(触媒定盤32の回転数):10回転/分
加工圧力:150hPa
加工取り代:10nm
加工前の主表面の表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.127nmであった。
加工後の主表面の表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.046nmと、要求値の0.08nmを大幅に下回る良好なものであった。上面の表面粗さは、処理流体である純水の温度を18℃とした触媒基準エッチングにより、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.127nmから0.046nmに向上した。
又、実施例1と同様に、CARE加工による加工後のガラス基板の上面の欠陥検査を行った。
加工後の主表面の凹欠陥個数は9個であった。
又、実施例2の方法により、ガラス基板を20枚作製したところ、全数、表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.050nm以下と良好であり、凹欠陥個数も10個以下であった。又、表面平坦度は43nmであった。
実施例2の方法により、高平滑性、高平坦度で、且つ低欠陥な主表面を有するガラス基板が安定して得られた。
次に、このようにして作製されたガラス基板の上面上に、モリブデンシリサイド(MoSi)ターゲットを使用し、アルゴン(Ar)と窒素(N2)と酸素(O2)との混合ガス雰囲気中で反応性スパッタリングを行い、モリブデンシリサイド酸化窒化物(MoSiON)からなる光半透過膜(膜厚88nm)を形成した。ラザフォード後方散乱分析法で分析した光半透過膜の膜組成は、Mo:5原子%、Si:30原子%、O:39原子%、N:26原子%であった。光半透過膜の露光光に対する透過率は6%であり、露光光が光半透過膜を透過することにより生じる位相差は180度であった。
このようにして、低欠陥、且つ高い平滑性と平坦性の表面状態を維持したArFエキシマレーザー露光用のハーフトーン型位相シフトマスクブランクを作製した。
次に、このようにして作製されたハーフトーン型位相シフトマスクブランクの遮光膜上に、電子線描画(露光)用化学増幅型レジストをスピンコート法により塗布し、加熱及び冷却工程を経て、膜厚が150nmのレジスト膜を形成した。
その後、形成されたレジスト膜に対し、電子線描画装置を用いて所望のパターン描画を行った後、所定の現像液で現像してレジストパターンを形成した。
その後、このレジストパターンをマスクにして、遮光膜のドライエッチングを行って、光半透過膜上に遮光膜パターンを形成した。ドライエッチングガスとしては、塩素(Cl2)と酸素(O2)との混合ガスを用いた。
その後、残存するレジストパターンを剥離し、再度レジスト膜を塗布し、転写領域内の不要な遮光膜パターンを除去するためのパターン露光を行った後、このレジスト膜を現像してレジストパターンを形成した。
その後、ウェットエッチングを行って、不要な遮光膜パターンを除去した。
その後、残存するレジストパターンを剥離し、洗浄を行った。
このようにして、低欠陥、且つ高い平滑性の表面状態を維持したArFエキシマレーザー露光用のハーフトーン型位相シフトマスクを作製した。
この比較例では、実施例1におけるCARE加工において、純水からなる処理流体の温度を15℃から常温の23℃へ変更し、それ以外は、基板材料及びその前処理から反射型マスクの製造に至るまで実施例1と同様の方法で、ガラス基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、及び反射型マスクを作製した。尚、基板温度調整液は用いていない。したがって、加工、洗浄条件は下記の通りである。
処理流体:純水
洗浄液:純水
クリーンルームの室温:23℃
処理流体の温度:23℃
洗浄液の温度:23℃
軸部71の回転数(ガラス基板の回転数):10.3回転/分
触媒定盤取付部72の回転数(触媒定盤32の回転数):10回転/分
加工圧力:150hPa
加工取り代:10nm
加工前の主表面の表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.157nmであった。
加工後の主表面の表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.05nmと、要求値の0.08nmを大幅に下回る良好なものであった。上面の表面粗さは、処理流体である純水の温度を23℃としたCARE加工により、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.157nmから0.05nmに向上した。一方、平坦度は51nmあった。
又、実施例1と同様に、CARE加工による加工後のガラス基板の上面の欠陥検査を行った。
加工後の主表面の凹欠陥個数は217個であった。
又、この方法により、ガラス基板を20枚作製したところ、全数、表面粗さは、二乗平均平方根粗さ(Rms)で0.056nm以下と良好であったが、欠陥個数は200〜248個であった。
比較例の方法では、高い平滑性は得られたものの、主表面に欠陥が多いガラス基板が製造された。平坦度も実施例1に比べて低かった。
ガラス基板上面の高い平滑性により、保護膜表面も平滑性を保っており、反射率は64%と高反射率であった。
又、実施例1と同様に、得られた多層反射膜付き基板の保護膜表面の欠陥検査を行った。
保護膜表面の欠陥検出個数は、SEVD換算で21.5nmサイズの凹欠陥が検出可能な感度で385個であった。
比較例の方法では、高い平滑性は得られたものの、欠陥の多い多層反射膜付き基板が製造された。
又、比較例の方法では、高い平滑性は得られたものの、欠陥の多い表面状態のEUV露光用の反射型マスクブランク及び反射型マスクが製造された。
Claims (8)
- 酸化物を含む材料からなる主表面を有するマスクブランク用基板を準備する基板準備工程と、
触媒物質の加工基準面と前記主表面を接触又は接近させ、前記加工基準面と前記主表面との間に処理流体を介在させた状態で前記主表面と前記加工基準面とを相対運動させることにより前記主表面を触媒基準エッチングする工程と、
を有するマスクブランク用基板の製造方法において、
前記処理流体は前記基板主表面で加水分解を起こす液体であり、前記触媒基準エッチング中の前記処理流体の温度を常温未満の温度にすることにより、前記処理流体の粘度を上げることを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。 - 前記基板の少なくとも主表面は、前記触媒基準エッチング工程中、常温未満の温度に冷却されていることを特徴とする請求項1記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 前記触媒基準エッチングは、定盤と、該定盤の表面全面に形成されたパッドと、前記基板主表面と対向する側の前記パッドの表面全面に形成された前記触媒物質からなる加工基準面とを具備した触媒定盤を用いて行われ、
且つ、前記定盤は低熱膨張材料からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のマスクブランク用基板の製造方法。 - 前記処理流体は、純水、オゾン水、炭酸水、水素水、KOH水溶液又はHNO3水溶液のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 前記基板の主表面の冷却を、常温未満の温度にした温度調整液を前記基板の主表面に供給することによって行うことを特徴とする請求項2に記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 請求項1及至5のいずれか一に記載のマスクブランク用基板の製造方法によって製造された基板の主表面上に、多層反射膜を形成することを特徴とする多層反射膜付き基板の製造方法。
- 請求項1及至5のいずれか一に記載のマスクブランク用基板の製造方法によって得られた基板の主表面上、又は、請求項6記載の多層反射膜付き基板の製造方法によって得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、転写パターン用薄膜を形成することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
- 請求項7に記載のマスクブランクの製造方法によって得られたマスクブランクの転写パターン用薄膜をパターニングして、転写パターンを形成することを特徴とする転写用マスクの製造方法。
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