JP6290114B2 - ガス製造装置およびガス製造処理方法 - Google Patents
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- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
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Description
2−1、2−2、・・・2−N ガス製造ユニット
4、6 吸着部
4A、4B、6A、6B 吸着タンク
8 原料ガス供給部
10、100、130、140、200、230、240 ガス取り込み流路
12、14、102、104、134、144、202、204、234、244、254、256 流路
16、18、106、108、206、208、250、252 連結管路
20、22、32、110、112、120、150、152、164A、164B、210、212、220、260、262、266 均圧流路
24、26、114、116、160、162、214、216、270、272 製品ガス流路
28、34、118、168、218、258 管路
30 製品タンク
36 オリフィス
38、40、122、124、136、146、222、224、236、246 排気管路
42 制御部
50 プロセッサ
52 メモリ
54 タイマ
56 I/O
60A、60B 支持筐体
62 載置面
64 立壁部
66 収納空間
70、72 蓋部材
74、76 コネクタ部
78、80 配管コネクタ
90、92、94、96 配管コネクタ
132、142、232、242 分岐管路
166 オリフィス
201、203 分岐点
Claims (8)
- 吸着剤が充填された少なくとも二つの吸着槽を該吸着槽の管径よりも狭小に形成された第1の連結管路によって直列に連結し、これらの吸着槽に原料ガスを流して吸着処理を行う第1の吸着部と、
吸着剤が充填された少なくとも二つの吸着槽を該吸着槽の管径よりも狭小に形成された第2の連結管路によって直列に連結し、これらの吸着槽に原料ガスを流し、前記第1の吸着部の吸着処理と異なるタイミングで吸着処理を行う第2の吸着部と、
前記第1の吸着部の上流側に連結された前記吸着槽の出側を前記第2の吸着部の上流側に連結された前記吸着槽の入側に連通させる、前記第1の連結管路に接続された第1の連通部と、
前記第2の吸着部の上流側に連結された前記吸着槽の出側を前記第1の吸着部の上流側に連結された前記吸着槽の入側に連通させる、前記第2の連結管路に接続された第2の連通部と、
を備え、
前記第1の吸着部を吸着工程から均圧工程に移行させる際に、前記第1の連通部を開通させて、前記第1の吸着部の下流側の前記吸着槽内のガスよりも純度の低いガスが溜められた上流側の前記吸着槽から、前記第2の吸着部の上流側の前記吸着槽に前記第1の吸着部内のガスを前記第1の吸着部のガスの流動方向に沿って流し、
前記第2の吸着部を吸着工程から均圧工程に移行させる際に、前記第2の連通部を開通させて、前記第2の吸着部の下流側の前記吸着槽内のガスよりも純度の低いガスが溜められた上流側の前記吸着槽から、前記第1の吸着部の上流側の前記吸着槽に前記第2の吸着部内のガスを前記第2の吸着部のガスの流動方向に沿って流すことを特徴とするガス製造装置。 - 前記第1の連通部に設置され、開閉により前記第1の連通部内の前記ガスの流れを開放し、または遮断する第1の開閉弁と、
前記第2の連通部に設置され、開閉により前記第2の連通部内の前記ガスの流れを開放し、または遮断する第2の開閉弁と、
前記第1の吸着部と前記第2の吸着部とに対し、ガスの吸着工程または前記吸着剤の再生工程を異なるタイミングで実行させ、その吸着工程と再生工程との移行時に、前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁とを開閉させて前記均圧工程を実行させる制御部と、
を備えることを特徴とする、請求項1に記載のガス製造装置。 - 前記第1の吸着部の下流側に連結された前記吸着槽の出側と前記第2の吸着部の下流側に連結された前記吸着槽の出側とを連通する第3の連通部を備え、
前記第1の吸着部または前記第2の吸着部を吸着工程から均圧工程に移行させる際に、前記第3の連通部を開通させ、前記第3の連通部を通じて前記ガスを流入させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のガス製造装置。 - さらに、前記吸着工程、前記再生工程および前記均圧工程の処理時間を計時するタイマを備え、
前記制御部は、前記タイマによる計時結果に基づき、設定された処理時間に応じて、前記吸着処理または再生処理を実行させ、
前記再生工程から前記均圧工程に移行する際、前記処理時間の経過前に、前記再生処理中の前記吸着槽の排気を停止させることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のガス製造装置。 - 複数の前記吸着槽を所定の間隔で配置させて支持する支持筐体を備え、
該支持筐体は、前記吸着槽の一端を載置させ、少なくとも上流側の前記吸着槽が配置される位置に、前記吸着槽内に前記原料ガスを導くガス導入部を収納した載置部を備えることを特徴とする、請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のガス製造装置。 - 少なくとも二つの吸着槽を該吸着槽の管径よりも狭小に形成された第1の連結管路によって直列に連結した第1の吸着部と、少なくとも二つの吸着槽を該吸着槽の管径よりも狭小に形成された第2の連結管路によって直列に連結した第2の吸着部にそれぞれ原料ガスを流し、異なるタイミングで吸着処理を行い、
前記第1の吸着部を吸着工程から均圧工程に移行させる際に、前記第1の連結管路に接続されて前記第1の吸着部の上流側の前記吸着槽の出側から前記第2の吸着部の上流側の前記吸着槽の入側に連通した第1の連通部を開通させて、前記第1の吸着部の上流側の前記吸着槽内の下流側の前記吸着槽内のガスよりも純度の低いガスを、前記第1の吸着部のガスの流動方向に沿って前記第2の吸着部の上流側の前記吸着槽に流入させ、
前記第2の吸着部を吸着工程から均圧工程に移行させる際に、前記第2の連結管路に接続されて前記第2の吸着部の上流側の前記吸着槽の出側から前記第1の吸着部の上流側の前記吸着槽の入側に連通した第2の連通部を開通させて、前記第2の吸着部の上流側の前記吸着槽内の下流側の前記吸着槽内のガスよりも純度の低いガスを、前記第2の吸着部のガスの流動方向に沿って前記第1の吸着部の上流側の前記吸着槽に流入させる、
工程を含むことを特徴とするガス製造処理方法。 - 前記吸着工程から前記均圧工程に移行させる際に、前記第1の吸着部の下流側の前記吸着槽の出側と前記第2の吸着部の下流側の前記吸着槽の出側とを連通した第3の連通部を開通させ、前記第3の連通部を通じて前記ガスを流動させる工程を含むことを特徴とする請求項6に記載のガス製造処理方法。
- 設定された処理時間に応じて、前記吸着処理または再生処理を行い、
前記再生工程から前記均圧工程に移行する際、前記処理時間の経過前に、前記再生処理中の前記吸着槽の排気を停止させる、
工程を含むことを特徴とする請求項6または請求項7に記載のガス製造処理方法。
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