JP6275755B2 - 物理的気相堆積用のチャンバ - Google Patents
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Description
Claims (14)
- 物理的気相堆積用のチャンバ(200、300、400、500、600、700、900、1000)であって、
ハウジング(210、310、410、510、610、710、910、1010)と、
前記ハウジングを開閉するためのドア(220、320、420、520、620、720、920、1020、1100、1220)と、
実質的に円筒状のターゲット(230)を受けて、回転させるための軸受(240、340、440、540、640、740、1140、1240)であって、前記ターゲットの長手方向軸に対応する第1の方向(260)に配向された軸受(240、340、440、540、640、740、1140、1240)と
を備え、
前記チャンバは、前記軸受が配置される軸受側部と、前記第1の方向において前記軸受側部に向かいあっている前記軸受側部の対向側部とを備え、前記チャンバは、前記ターゲットが、前記ドアが開かれた場合に前記第1の方向に前記軸受から取出し可能であり、かつ、前記ドアが開かれた場合に前記第1の方向に前記チャンバから少なくとも部分的に取出し可能となるように構成され、
前記軸受は、前記円筒状のターゲットを受けるように構成され、
前記軸受は、前記円筒状のターゲットが前記円筒状のターゲットの前記長手方向軸の周りを回転することが可能となるように構成された、チャンバ。 - 前記チャンバの前記軸受側部が、前記第1の方向(260)に対して実質的に垂直な第2の方向(270)において、前記軸受側部の前記対向側部よりも長く延在し、前記第2の方向(270)は、閉位置にあるドアにより形成される平面に対して実質的に垂直である、請求項1に記載のチャンバ。
- 前記ハウジングは、前記軸受側部の前記対向側部に少なくとも1つのターゲット開孔を備え、前記ターゲット開孔は、前記ターゲットの断面サイズを少なくとも有する、請求項1に記載のチャンバ。
- 前記ハウジングおよび前記ドアは、重畳部分を有し、前記ドアは、前記ハウジングの前記ターゲット開孔をロックする、請求項3に記載のチャンバ。
- 基板、および、実質的に円筒状の形状と長手方向軸とを有する少なくとも1つのターゲット(230)を受けるように構成された物理的気相堆積用のチャンバ(200、300、400、500、600、700、900、1000)であって、
ハウジング(210、310、410、510、610、710、910、1010)と、
前記チャンバを開閉するためのドア(220、320、420、520、620、720、920、1020、1100、1220)と、
前記ターゲットを受けて、回転させるための少なくとも1つの軸受(240、340、440、540、640、740、1140、1240)であって、前記ドアに装着される軸受(240、340、440、540、640、740、1140、1240)と
を備え、
前記軸受は前記ターゲットが前記ターゲットの前記長手方向軸の周りを回転することが可能となるように構成され、前記ターゲットは前記ドアが開かれた場合に前記軸受から取出し可能であり、前記ターゲットは前記ドアが開かれた場合に前記チャンバから少なくとも部分的に取出し可能である、
前記ターゲット(230)は、前記ターゲットの前記長手方向軸に対応する第1の方向(260)において前記軸受から取出し可能である、チャンバ。 - 前記第1の方向(260)及び前記第2の方向(270)に平行な平面に射影した前記ドア(220、320、420、520、620、720、920、1020、1100、1220)の形状が、テーパ形状部分を含む、請求項2に記載のチャンバ。
- 前記第1の方向(260)及び前記第1の方向(260)に対して実質的に垂直な第2の方向(270)に平行な平面に射影した前記ドア(220、320、420、520、620、720、920、1020、1100、1220)の形状が、テーパ形状部分を含み、前記第2の方向(270)は、閉位置にあるドアにより形成される平面に対して実質的に垂直である、請求項1、3、4、5のいずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記第1の方向(260)及び前記第2の方向(270)に平行な平面に射影した前記ハウジング(210、310、410、510、610、710、910、1010)の形状が、テーパ形状部分を含む、請求項2、6、7のいずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記第1の方向(260)、及び前記第1の方向(260)に対して実質的に垂直な第2の方向(270)に平行な平面に射影した前記ハウジング(210、310、410、510、610、710、910、1010)の形状が、テーパ形状部分を含み、前記第2の方向(270)は、閉位置にあるドアにより形成される平面に対して実質的に垂直である、請求項1、3、4、5のいずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記チャンバ(200、300、400、500、600、700、900、1000)は、2つ以上のドアを備える、請求項1から9のいずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記チャンバ(200、300、400、500、600、700、900、1000)は、スパッタリングプロセス用のチャンバである、請求項1から10のいずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記チャンバ(200、300、400、500、600、700、900、1000)は、ターゲットを駆動するための駆動ユニット(360、760)をさらに備える、請求項1から11のいずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記少なくとも1つの軸受(240、340、440、540、640、740、1140)は、スパッタカソードを受けるように構成される、請求項1から12のいずれか一項に記載のチャンバ。
- 前記チャンバ(200、300、400、500、600、700、900、1000)は、1.5m超の基板用に構成される、請求項1から13のいずれか一項に記載のチャンバ。
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