JP6275397B2 - Porous laminate, adsorption buffer material, and adsorption method - Google Patents
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Description
本発明は、多孔質積層体、該多孔質積層体を含む吸着緩衝材、及び該吸着緩衝材を用いた吸着方法に関する。 The present invention relates to a porous laminate, an adsorption buffer material including the porous laminate, and an adsorption method using the adsorption buffer material.
液晶用ガラス板や積層セラミックコンデンサ用のグリーンシート等、薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定又は搬送するための手段のひとつに、減圧吸引により上記薄膜等を吸着ステージ上に吸着固定又は吸着搬送する方法がある。その吸着ステージには、吸着面に吸着緩衝材として通気性を有する樹脂多孔体が装着される。これにより、被吸着部材に傷や接触痕が生じるのを防ぐことができる。このような樹脂多孔体としては、剛性やクッション性等の観点から、ポリエチレン粉末を焼結成形して得られる焼結成形体が用いられることがある。 One of the means for fixing or transporting thin-film, plate- or film-like objects such as liquid crystal glass plates and multilayer ceramic capacitor green sheets. Alternatively, there is a method of sucking and conveying. The adsorption stage is provided with a porous resin body having air permeability as an adsorption buffer material on the adsorption surface. Thereby, it can prevent that a damage | wound and a contact trace arise in a to-be-adsorbed member. As such a resin porous body, a sintered molded body obtained by sintering and molding polyethylene powder may be used from the viewpoints of rigidity and cushioning properties.
近年、液晶や積層セラミックコンデンサは小型化及び高性能化が急激に進行しており、その原料であるガラス板やセラミックグリーンシートの薄型化が進んでいる。このため非常に精密な吸着固定又は吸着搬送を行う必要が生じている。したがって、減圧吸引での吸着ステージに装着する吸着緩衝材としても、優れた表面平滑性や強度剛性等が求められている。 In recent years, liquid crystal and multilayer ceramic capacitors have been rapidly reduced in size and performance, and glass plates and ceramic green sheets, which are raw materials, have been reduced in thickness. For this reason, it is necessary to perform very precise adsorption fixation or adsorption conveyance. Therefore, excellent surface smoothness, strength rigidity, and the like are also demanded as an adsorption buffer material to be attached to the adsorption stage by vacuum suction.
このような、表面平滑性に優れる多孔質シートとして、少なくとも一方の面にプラスチックの微粒子を含み構成される粒子層を設けた多孔質シートが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。また、強度剛性に優れ、吸引物の変形を防ぐ吸着固定板として、吸着孔を有する金属板あるいは樹脂板に網目スクリーンを添着させた吸着固定板の提案もなされている(例えば、特許文献2参照。)。 As such a porous sheet having excellent surface smoothness, a porous sheet provided with a particle layer including plastic fine particles on at least one surface has been proposed (for example, see Patent Document 1). In addition, as a suction fixing plate that has excellent strength and rigidity and prevents the deformation of the sucked material, a suction fixing plate in which a mesh screen is attached to a metal plate or a resin plate having suction holes has been proposed (for example, see Patent Document 2). .)
液晶やセラミックコンデンサ等の精密部品では、異物の混入が極めて制限されている。そのため、製造工程で使用される各種部品にも異物を発生させないことが求められている。吸着固定や吸着搬送時に使用される吸着緩衝材として使用される樹脂粉末の焼結体にも、原料樹脂粉末の脱落がないこと等が求められている。 In precision parts such as liquid crystals and ceramic capacitors, the entry of foreign substances is extremely limited. Therefore, it is required not to generate foreign matter in various parts used in the manufacturing process. There is also a demand for a sintered body of resin powder used as an adsorption buffer material used during adsorption fixation and adsorption conveyance so that raw material resin powder does not fall off.
しかしながら、上記特許文献1に開示されている多孔質シートは、樹脂粉末の脱落については検討がなされていない。また、上記特許文献2に開示されているフィルム吸着保持治具は、表面平滑性に関する検討がなされていない。 However, the porous sheet disclosed in Patent Document 1 has not been studied for dropping off the resin powder. In addition, the film suction holding jig disclosed in Patent Document 2 has not been studied for surface smoothness.
さらには、吸着緩衝材には、表面平滑性の部分的なバラつきがないことも求められており、これらをすべて解決する技術が求められている。 Furthermore, the adsorption buffer material is also required to have no partial unevenness in surface smoothness, and a technique for solving all of these is required.
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、優れた表面平滑性を有し、その表面平滑性に部分的なバラつきが少なく、かつ原料粒子の脱落のない多孔質積層体、該多孔質積層体を含む吸着緩衝材、及び該吸着緩衝材を用いた吸着方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and has a porous smooth body having excellent surface smoothness, little variation in the surface smoothness, and no dropping of raw material particles, An object of the present invention is to provide an adsorption buffer material including a porous laminate and an adsorption method using the adsorption buffer material.
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討を行った結果、樹脂多孔体の少なくとも片面に通気性を有し表面平滑性に優れたシートが積層された多孔質積層体であれば、上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention have a porous laminate in which a sheet having air permeability and excellent surface smoothness is laminated on at least one surface of the resin porous body. The present inventors have found that the above problems can be solved, and have completed the present invention.
すなわち、本発明は以下の通りである。
〔1〕
樹脂多孔体(a)を有し、
該樹脂多孔体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されており、
前記シート(b)が、織布、不織布、又は細孔シートのいずれかであり、
前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、2.0〜12.9μmである、
多孔質積層体。
〔2〕
前記樹脂多孔体(a)が、ポリオレフィン系樹脂を含む、前項〔1〕に記載の多孔質積
層体。
〔3〕
前記ポリオレフィン系樹脂が、ポリエチレンを含む、前項〔2〕に記載の多孔質積層体。
〔4〕
前記ポリエチレンの密度が、890〜970kg/m 3 である、前項〔3〕に記載の多孔質積層体。
〔5〕
前記樹脂多孔体(a)が、樹脂粉末の焼結成形体を含む、前項〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の多孔質積層体。
〔6〕
前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、2.0〜10μmである、前項〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の多孔質積層体。
〔7〕
厚さが0.06〜15mmである、前項〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の多孔質積層体。
〔8〕
曲げ弾性率が30〜3000MPaであり、
通気量が0.3〜30cm 3 /cm 2 /sである、前項〔1〕〜〔7〕のいずれかに記載の多孔質積層体。
〔9〕
前項〔1〕〜〔8〕のいずれかに記載の多孔質積層体を含む、吸着緩衝材。
〔10〕
前項〔9〕に記載の吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する、吸着方法。
〔11〕
薄膜がセラミックグリーンシートである、前項〔10〕に記載の吸着方法。
That is, the present invention is as follows.
[1]
Having a porous resin body (a),
A sheet (b) having air permeability and a surface roughness (Ra) of 0.1 to 20 μm is laminated on at least one surface of the resin porous body (a),
The sheet (b) is either a woven fabric, a nonwoven fabric, or a pore sheet,
The surface roughness (Ra) of the sheet (b) is 2.0 to 12.9 μm.
Porous laminate.
[2]
The porous product according to [1], wherein the resin porous body (a) contains a polyolefin resin.
Layered body.
[3]
The porous laminate according to [2], wherein the polyolefin-based resin contains polyethylene.
[4]
The porous laminate according to [3] above, wherein the polyethylene has a density of 890 to 970 kg / m 3 .
[5]
The porous laminate according to any one of [1] to [4], wherein the porous resin body (a) includes a sintered compact of resin powder.
[6]
The porous laminate according to any one of [1] to [5], wherein the sheet (b) has a surface roughness (Ra) of 2.0 to 10 μm.
[7]
The porous laminate according to any one of [1] to [6] above, having a thickness of 0.06 to 15 mm.
[8]
The flexural modulus is 30 to 3000 MPa,
The porous laminate according to any one of [1] to [7] above, wherein the air flow rate is 0.3 to 30 cm 3 / cm 2 / s.
[9]
An adsorption buffer material comprising the porous laminate according to any one of [1] to [8] above.
[10]
An adsorption method for adsorbing a thin film using the adsorption buffer material according to the item [9].
[11]
The adsorption method according to [10], wherein the thin film is a ceramic green sheet.
本発明によれば、優れた表面平滑性を有し、その表面平滑性に部分的なバラつきが少なく、かつ原料粒子の脱落のない多孔質積層体、該多孔質積層体を含む吸着緩衝材、及び該吸着緩衝材を用いた吸着方法を提供することができる。 According to the present invention, a porous laminate having excellent surface smoothness, little variation in the surface smoothness, and no dropping of raw material particles, an adsorption buffer material comprising the porous laminate, And an adsorption method using the adsorption buffer material can be provided.
以下、本発明を実施するための形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。 Hereinafter, a mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as “the present embodiment”) will be described in detail. The present invention is not limited to the following embodiment, and can be implemented with various modifications within the scope of the gist.
〔多孔質積層体〕
本実施形態に係る多孔質積層体は、
樹脂多孔体(a)を有し、
該樹脂多孔体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されている。
[Porous laminate]
The porous laminate according to this embodiment is
Having a porous resin body (a),
A sheet (b) having air permeability and having a surface roughness (Ra) of 0.1 to 20 μm is laminated on at least one surface of the porous resin body (a).
〔樹脂多孔体(a)〕
樹脂多孔体(a)を構成する樹脂としては、特に限定されないが、例えば、熱可塑性樹脂、又は熱硬化性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、具体的には、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアリレート、液晶ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、エチレン酢酸ビニル、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリアミド系樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネート、フッ素系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルファイド等が挙げられる。
[Resin porous body (a)]
Although it does not specifically limit as resin which comprises the resin porous body (a), For example, a thermoplastic resin or a thermosetting resin is mentioned. The thermoplastic resin is not particularly limited. Specifically, polyolefin resin, polyester resin, polyarylate, liquid crystal polyester, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, ethylene vinyl acetate, polystyrene, acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer Examples include coalesced resin, acrylonitrile-styrene copolymer resin, polymethyl methacrylate, polyamide resin, polyacetal, polycarbonate, fluorine resin, polyether ether ketone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, and the like.
また、熱硬化性樹脂としては、特に限定されないが、具体的には、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、アリル樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。 In addition, the thermosetting resin is not particularly limited, and specific examples include phenol resin, urea resin, melamine resin, allyl resin, and epoxy resin.
これらの中でも、賦形性、二次加工性等の観点から熱可塑性樹脂が好ましい。さらに熱可塑性樹脂のなかでも、ポリエチレン、ポリプロピレンに代表されるポリオレフィン系樹脂がより好ましい。樹脂多孔体(a)がポリオレフィン系樹脂を含むことにより、より安価となり、耐薬品性及び加工性により優れ、素材の吸湿性及び吸水性がより低くなる傾向にある。このようなポリオレフィン系樹脂としては、特に限定されないが、具体的には、ポリエチレン等のエチレンの単独重合体、エチレンと、プロピレン、ブテン−1、ヘキセン−1、オクテン−1等の1種以上のα−オレフィンと、の共重合体、エチレンと、酢酸ビニル、アクリル酸、メタアクリル酸、アクリル酸エステル、メタアクリル酸エステル等と、の共重合体、プロピレンの単独重合体、及び、プロピレンと、エチレン、ブテン−1等の1種以上のα−オレフィンと、の共重合体等が挙げられる。 Among these, a thermoplastic resin is preferable from the viewpoints of formability and secondary processability. Furthermore, among thermoplastic resins, polyolefin resins represented by polyethylene and polypropylene are more preferable. When the resin porous body (a) contains a polyolefin-based resin, it becomes cheaper, has better chemical resistance and processability, and tends to have lower moisture absorption and water absorption. Such a polyolefin resin is not particularly limited, and specifically, an ethylene homopolymer such as polyethylene, or one or more of ethylene and propylene, butene-1, hexene-1, octene-1, etc. Copolymer of α-olefin, ethylene, vinyl acetate, acrylic acid, methacrylic acid, acrylic ester, methacrylic ester, etc., propylene homopolymer, and propylene, Examples thereof include copolymers with one or more α-olefins such as ethylene and butene-1.
ポリオレフィン系樹脂の中でも、ポリエチレンが好ましい。ポリエチレンを用いることにより、より安価となり、焼結成形がより容易となり、成形後の加工性及び耐薬品性により優れ、素材自身の吸湿性及び吸水性がより低くなる等の傾向にある。 Among polyolefin resins, polyethylene is preferable. By using polyethylene, the cost becomes lower, the sintering molding becomes easier, the workability and chemical resistance after molding are excellent, and the hygroscopicity and water absorption of the material itself tend to be lower.
ポリエチレンの密度は、890〜970kg/m3であることが好ましい。樹脂多孔体(a)に十分な剛性を持たせるという観点から、密度の下限は890kg/m3が好ましく、920kg/m3がより好ましく、930kg/m3がさらに好ましく、940kg/m3がよりさらに好ましい。また、取扱い性の容易さの観点から、密度の上限は970kg/m3が好ましく、960kg/m3がより好ましい。ここでポリエチレンの密度は、JIS K 7112:1999に準拠し、密度勾配管法(23℃)により測定して得ることができる。 The density of polyethylene is preferably 890 to 970 kg / m 3 . From the viewpoint of imparting sufficient rigidity to the porous resin body (a), the lower limit of the density is preferably 890 kg / m 3, more preferably 920 kg / m 3, more preferably 930kg / m 3, 940kg / m 3 Gayori Further preferred. From the viewpoint of handling ease, the upper limit of the density is preferably 970 kg / m 3, more preferably 960 kg / m 3. Here, the density of polyethylene can be obtained by measuring by the density gradient tube method (23 ° C.) in accordance with JIS K 7112: 1999.
またポリエチレンの粘度平均分子量は、1000〜10000000が好ましく、10000〜10000000がより好ましく、100000〜10000000がさらに好ましい。粘度平均分子量が上記範囲内であることにより、焼結成形時に空孔の形成を阻害する要因となる樹脂の流動がより少なくなり、かつ、隣り合う樹脂粒子の融着性により優れる傾向にある。粘度平均分子量は、例えば、以下に示す方法によって求めることができる。まず、ポリエチレンをデカリン(デカヒドロナフタレン)に溶解させ、濃度の異なる複数の溶液を作製する。それらの溶液を135℃の恒温槽で、ウベローデタイプの粘度計を用いて、それぞれの還元粘度(ηsp/C)を求める。濃度(C)とポリマーの還元粘度(ηsp/C)の直線式を導き、濃度0に外挿した極限粘度([η])を求める。この極限粘度([η])から以下の式に従い、粘度平均分子量(Mv)を求めることができる。
Mv=5.34×104×[η]1.49
The viscosity average molecular weight of polyethylene is preferably from 1,000 to 10,000,000, more preferably from 10,000 to 10,000,000, and even more preferably from 100,000 to 10,000,000. When the viscosity average molecular weight is within the above range, the flow of the resin, which is a factor that hinders the formation of pores during sintering molding, is reduced, and the fusing property between adjacent resin particles tends to be superior. A viscosity average molecular weight can be calculated | required by the method shown below, for example. First, polyethylene is dissolved in decalin (decahydronaphthalene) to prepare a plurality of solutions having different concentrations. The respective reduced viscosities (ηsp / C) of these solutions are determined in a thermostatic bath at 135 ° C. using an Ubbelohde viscometer. A linear expression of the concentration (C) and the reduced viscosity (ηsp / C) of the polymer is derived, and the intrinsic viscosity ([η]) extrapolated to the concentration 0 is obtained. From this intrinsic viscosity ([η]), the viscosity average molecular weight (Mv) can be determined according to the following formula.
Mv = 5.34 × 10 4 × [η] 1.49
樹脂多孔体(a)は、原料樹脂が密度及び/又は粘度平均分子量等が異なるポリエチレンの混合原料であってもよく、ポリエチレンとポリエチレン以外の原料樹脂との混合原料であってもよい。 The porous resin body (a) may be a mixed raw material of polyethylene having different density and / or viscosity average molecular weight, or a mixed raw material of polyethylene and a raw material resin other than polyethylene.
樹脂多孔体(a)は、樹脂粉末の焼結成形体を含むことが好ましい。上記のような樹脂の粉末の焼結成形体を含むことにより、剛性やクッション性により優れる傾向にある。 The resin porous body (a) preferably includes a sintered compact of resin powder. By including a sintered compact of the resin powder as described above, the rigidity and cushioning properties tend to be superior.
樹脂多孔体(a)を形成方法としては、特に限定されず公知の方法を用いることができ、例えば、発泡成形、焼結成形等が挙げられる。そのほかに、例えば抽出可能な成分と共に溶融させた樹脂で成形体を作った後、抽出可能な成分を抽出して連続気孔の多孔質体を形成することも可能である。このなかでも、焼結成形は金型に原料を充填し、加圧又は無加圧状態で融点以上に温度維持された加熱炉内に投入して焼結させ、その後冷却し、金型から成形体を取り出すことで連続気孔の多孔質体を形成できるためより好ましい。シート状の多孔質体を得る場合、金型での焼結成形、押出し成形、無端ベルト上に原料樹脂を堆積後加熱することで焼結する成形法、もしくは上記成形法を用いて成形した多孔質体をスライス加工、又はスカイブ加工する等の手段が好適に用いられる。また、本実施形態にいう連続気孔とは、成形体のある面から他の面へ気孔が連続している物をいう。この気孔は直線的でもよいし曲線的でもよい。尚、気孔は全体が均一な寸法であってもよいし、例えば表層と内部、或いは一つの表層と他の表層とで気孔の寸法を変えた物でもよい。 A method for forming the resin porous body (a) is not particularly limited, and a known method can be used, and examples thereof include foam molding and sintering molding. In addition, for example, after forming a molded body with a resin melted together with extractable components, the extractable components can be extracted to form a porous body having continuous pores. Among these, sintering molding is performed by filling a mold with raw materials, putting it in a heating furnace maintained at a temperature above the melting point in a pressurized or non-pressurized state, and then cooling and molding from the mold. It is more preferable because a porous body having continuous pores can be formed by removing the body. When obtaining a sheet-like porous body, sintering molding in a mold, extrusion molding, a molding method in which raw material resin is deposited on an endless belt and then heated by heating, or a pore molded using the above molding method Means such as slicing or skiving the material are preferably used. In addition, the continuous pores referred to in the present embodiment refers to a product in which pores are continuous from one surface of the molded body to another surface. The pores may be straight or curved. Note that the pores may have uniform dimensions as a whole, or may be, for example, a surface layer and an inside, or a material in which the pore size is changed between one surface layer and another surface layer.
樹脂多孔体(a)を焼結成形によって得る場合は、原料樹脂は粉状の物が用いられる。この場合、樹脂多孔体(a)において、十分な通気性を有しながらも、減圧吸引時に(b)通気性を有し表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシートが、樹脂多孔体(a)の内部に吸引され撓んでしまうことのない気孔径にするという観点から、原料樹脂の平均粒径は、30μm〜1000μmであることが好ましく、30μm〜300μmであることがより好ましく、100μm〜300μmがさらに好ましく、120μm〜250μmがよりさらに好ましい。原料樹脂の平均粒径は、累積重量が50%となる粒子径、すなわちメディアン径であり、レーザ回析式粒度分布測定装置(株式会社島津製作所社製「SALD−2100」)を用い、メタノールを分散媒として測定することができる。 When the porous resin body (a) is obtained by sintering, a raw material resin is used in a powder form. In this case, in the porous resin body (a), a sheet having sufficient air permeability but having (b) air permeability and a surface roughness (Ra) of 0.1 to 20 μm at the time of suction under reduced pressure is a resin. From the viewpoint of making the pore diameter so as not to be sucked and bent inside the porous body (a), the average particle diameter of the raw material resin is preferably 30 μm to 1000 μm, more preferably 30 μm to 300 μm. 100 μm to 300 μm is more preferable, and 120 μm to 250 μm is even more preferable. The average particle diameter of the raw material resin is a particle diameter with a cumulative weight of 50%, that is, a median diameter. Using a laser diffraction particle size distribution measuring device (“SALD-2100” manufactured by Shimadzu Corporation), methanol is used. It can be measured as a dispersion medium.
樹脂多孔体(a)は、取扱い性に優れるという観点から、厚さが0.05〜10mmであることが好ましく、0.05〜3mmであることがより好ましく、0.1mm〜3mmがさらに好ましく、0.2〜3mmがよりさらに好ましい。ここでいう樹脂多孔体の厚さ(a)とは、シート(b)を積層する前の厚さであってもいいし、シート(b)を積層した後に樹脂多孔体(a)のみの厚さを測ったものであってもよい。シート(b)を積層した後の樹脂多孔体(a)のみの厚さは、多孔質積層体を厚さ方向に沿って切断し、その切断面を光学顕微鏡(株式会社キーエンス社製「マイクロスコープVH−Z100UR」)を用い観察することで求めることができる。 From the viewpoint that the resin porous body (a) is excellent in handleability, the thickness is preferably 0.05 to 10 mm, more preferably 0.05 to 3 mm, and further preferably 0.1 mm to 3 mm. 0.2 to 3 mm is even more preferable. The thickness (a) of the porous resin body here may be the thickness before the sheet (b) is laminated, or the thickness of the resin porous body (a) only after the sheet (b) is laminated. It may be measured. The thickness of only the resin porous body (a) after laminating the sheet (b) is obtained by cutting the porous laminated body along the thickness direction, and cutting the cut surface with an optical microscope (manufactured by Keyence Corporation, “Microscope”). VH-Z100UR ") can be used for observation.
〔通気性を有するシート(b)〕
本実施形態に係る多孔質積層体は、上記樹脂多孔体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されたものである。このようなシート(b)を用いることにより、表面平滑性の部分的なバラつきが少なく、優れた表面平滑性を有し、樹脂多孔体(a)からの原料粒子の脱落をより抑制することができる。
[Bleeding sheet (b)]
In the porous laminate according to this embodiment, a sheet (b) having air permeability and a surface roughness (Ra) of 0.1 to 20 μm is laminated on at least one surface of the resin porous body (a). It is a thing. By using such a sheet (b), there is little partial variation in surface smoothness, it has excellent surface smoothness, and it is possible to further suppress the dropping of raw material particles from the resin porous body (a). it can.
ここで「通気性」とは、シートの片面側とその反対の面側に空気の圧力差があるとき、高い圧力の面側から低い圧力の面側に空気が通過する性質(空気を通す性質)をいう。 Here, “breathability” refers to the property that air passes from the high pressure surface side to the low pressure surface side (the property of allowing air to pass through) when there is a difference in air pressure between one side of the sheet and the opposite side. ).
シート(b)としては、特に限定されないが、織布、不織布、細孔シート、スポンジ、多孔質膜が挙げられる。その中でも、織布、不織布、又は細孔シートのいずれかが好ましい。一般に、織布、不織布又は細孔シートは、均一な厚み、均一な開口部を持つことが知られており、これらをシート(b)として用いることにより、一定の品質が保たれ、表面平滑性に部分的なバラつきがより少ない多孔質積層体を得ることができる。 Although it does not specifically limit as a sheet | seat (b), A woven fabric, a nonwoven fabric, a pore sheet | seat, sponge, a porous membrane is mentioned. Among these, any of a woven fabric, a nonwoven fabric, or a pore sheet is preferable. In general, it is known that a woven fabric, a non-woven fabric, or a pore sheet has a uniform thickness and a uniform opening. By using these as a sheet (b), a certain quality is maintained and surface smoothness is maintained. It is possible to obtain a porous laminate with less partial variation.
「織布」とは、繊維を経緯に組み合わせて作った織物、もしくは繊維を編みあげた編物をいう。織布は従来公知の方法により得ることができる。 “Woven fabric” refers to a woven fabric made by combining fibers with a background, or a knitted fabric in which fibers are knitted. The woven fabric can be obtained by a conventionally known method.
「不織布」とは、繊維同士を織らないで積層して重ね合わせ、種々の方法により結合させて得たシートをいう。上記不織布を製造する方法としては、特に限定されないが、例えば、湿式法、スパンレース法、メルトブロー法、電気紡糸法等が挙げられる。不織布のなかでも、脱落繊維がないことから、耐摩耗性に優れ、強度の高い長繊維不織布が好ましい。 “Nonwoven fabric” refers to a sheet obtained by laminating and superposing fibers without being woven together and bonding them by various methods. The method for producing the nonwoven fabric is not particularly limited, and examples thereof include a wet method, a spunlace method, a melt blow method, and an electrospinning method. Among non-woven fabrics, a long-fiber non-woven fabric having excellent wear resistance and high strength is preferred because there are no falling fibers.
「細孔シート」とは、薄膜もしくは板状、フィルム状のシートにパンチ等を用いて穴を打つことにより製造したものをいう。細孔シートの細孔は特に限定されず、円状のほか、多角形等の種々の形状であってよい。配列も格子状、千鳥状等の種々の配列であってよい。 The “pore sheet” refers to a sheet produced by punching holes using a punch or the like in a thin film, plate, or film sheet. The pores of the pore sheet are not particularly limited, and may be various shapes such as a polygon as well as a circle. The arrangement may also be various arrangements such as a lattice shape and a staggered shape.
なかでも、織布や細孔シートは、篩の篩網として使用されることが広く知られている。さらに織布の中でも繊維を経緯に組み合わせて作った織物は、スクリーン印刷の版にも使用されていることが広く知られている。 Among these, woven fabrics and pore sheets are widely used as sieve screens. Furthermore, it is widely known that fabrics made by combining fibers among woven fabrics are also used for screen printing plates.
織布又は不織布の場合にシート(b)に用いられる材質としては、特に限定されないが、例えば、ナイロン6、ナイロン66、共重合ポリアミド等のポリアミド系繊維;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート、共重合ポリエステル等のポリエステル系繊維;ポリエチレン、ポリプロピレン、共重合ポリプロピレン等のポリオレフィン系繊維;ポリテトラフルオロエチレン、ポリビニリジンフルオリド、ペルフルオロポリマー等のフッ素系繊維;ポリエーテルウレタン等のポリウレタン繊維;ビニロン繊維、ポリ塩化ビニル繊維、ポリ塩化ビニリデン繊維、アクリル繊維、ポリイミド繊維、ポリエーテルイミド繊維、ポリアリレート繊維、ポリフェニレンサルファイド繊維、ポリビニルアルコール繊維、ポリカーボネート繊維、ポリ乳酸繊維、ポリオキシド繊維、ポリエチレンオキシド繊維、ポリスチレン繊維、ポリエチレングリコール誘導体繊維、ポリホスファゼン繊維等に代表される合成繊維;セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、プロミックス等に代表される半合成繊維;ガラス繊維、炭素繊維等に代表される無機繊維;レーヨン、キュプラ等に代表される再生繊維;綿、木綿、石綿、羊毛、麻、絹等に代表される天然繊維;あるいは金属繊維が挙げられる。これらは単独で用いても2種類以上混合して用いてもよい。また、鞘部分がポリエチレン、ポリプロピレン、共重合ポリエステル等からなり、芯部分がポリプロピレン、ポリエステル等からなる複合繊維等であってもよい。さらに、繊維の互いに交差する部分が、溶融させることで接合されていてもよく、接着物質で接合されていてもよい。 The material used for the sheet (b) in the case of a woven fabric or a non-woven fabric is not particularly limited. For example, polyamide-based fibers such as nylon 6, nylon 66, copolymer polyamide; polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene Polyester fibers such as terephthalate and copolyester; Polyolefin fibers such as polyethylene, polypropylene, and copolypropylene; Fluorine fibers such as polytetrafluoroethylene, polyvinylidin fluoride, and perfluoropolymer; Polyurethane fibers such as polyether urethane Vinylon fiber, polyvinyl chloride fiber, polyvinylidene chloride fiber, acrylic fiber, polyimide fiber, polyetherimide fiber, polyarylate fiber, polyphenylene sulfide fiber, polyvinyl Synthetic fibers typified by lucor fiber, polycarbonate fiber, polylactic acid fiber, polyoxide fiber, polyethylene oxide fiber, polystyrene fiber, polyethylene glycol derivative fiber, polyphosphazene fiber, etc .; cellulose acetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate, Semi-synthetic fibers represented by promixes, etc .; inorganic fibers represented by glass fibers, carbon fibers, etc .; recycled fibers represented by rayon, cupra, etc .; represented by cotton, cotton, asbestos, wool, hemp, silk, etc. Natural fibers; or metal fibers. These may be used alone or in combination of two or more. Moreover, the sheath part may be made of polyethylene, polypropylene, copolyester or the like, and the core part may be a composite fiber made of polypropylene, polyester or the like. Furthermore, the crossing portions of the fibers may be joined by melting or may be joined by an adhesive substance.
また、細孔シートの場合にシート(b)に用いられる材質としては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、環状オレフィンコポリマー、ポリメチルペンテン等に代表されるポリオレフィン系樹脂;エチレン−四フッ化エチレン共重合体、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、ペルフルオロアルコキシフッ素、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル等に代表されるフッ素系樹脂;ナイロン6、ナイロン66、共重合ポリアミド等のポリアミド系樹脂;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート、共重合ポリエステル等のポリエステル系樹脂;アイオノマー、ポリウレタン、セロファン、ポリ乳酸、トリアセチルセルロース、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアリレート、ポリアセタール、変性ポリフェニレンエーテル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフェニレンサルファイド、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル等が挙げられる。これらは単独で用いても2種類以上混合して用いてもよい。 In addition, the material used for the sheet (b) in the case of the pore sheet is not particularly limited, but for example, polyethylene, polypropylene, ethylene vinyl acetate copolymer, ethylene-vinyl alcohol copolymer, ethylene-methacrylic acid copolymer. Polyolefin resin represented by polymer, cyclic olefin copolymer, polymethylpentene, etc .; ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, ethylene-chlorotrifluoroethylene copolymer Fluorine resins typified by coalescence, perfluoroalkoxy fluorine, polytetrafluoroethylene, polychlorotrifluoroethylene, polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, etc .; polyamide resins such as nylon 6, nylon 66, copolymer polyamide; Sauce Polyester resins such as polyester, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate, and copolyester; ionomer, polyurethane, cellophane, polylactic acid, triacetyl cellulose, polyether ether ketone, polyimide, polyether imide, polyarylate, polyacetal, modified Examples include polyphenylene ether, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyphenylene sulfide, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polycarbonate, polystyrene, polyacrylonitrile and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
本実施形態に係るシート(b)の表面粗さ(Ra)は、0.1〜20μmであり、0.1〜10μmが好ましく、0.1〜5μmがより好ましく、0.1〜3μmがさらに好ましい。表面粗さ(Ra)が上記範囲内であることにより、表面平滑性の部分的なバラつきが少なく、表面平滑性により優れる。表面粗さ(Ra)は、触針式表面粗さ計(株式会社東京精密社製「ハンディサーフE−35B」)を用い、先端径R:5μm、速度:0.6mm/s、測定長:12.5mm、カットオフ値λc:2.5mm、測定回数:n=5の条件にて測定して得ることができる。より詳細には、表面粗さ(Ra)は実施例に記載の方法により測定することができる。 The surface roughness (Ra) of the sheet (b) according to this embodiment is 0.1 to 20 μm, preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.1 to 5 μm, and further 0.1 to 3 μm. preferable. When the surface roughness (Ra) is within the above range, the surface smoothness is less likely to be partially varied, and the surface smoothness is more excellent. Surface roughness (Ra) was measured using a stylus type surface roughness meter (“Handy Surf E-35B” manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.), tip diameter R: 5 μm, speed: 0.6 mm / s, measurement length: It can be obtained by measurement under the conditions of 12.5 mm, cut-off value λc: 2.5 mm, number of measurements: n = 5. More specifically, the surface roughness (Ra) can be measured by the method described in the examples.
シートの表面粗さ(Ra)は、織布であれば用いる繊維の繊維径やメッシュ数で、不織布であれば気孔径で、細孔シートであれば細孔の形状やサイズによって調整することができる。用いる材質によっても異なるが、平織の織布であればメッシュ数を150メッシュ以上とすることにより、Raを20μm以下にすることができる。また不織布であればパームポロメーターにて測定できる平均気孔径を100μm以下とすることにより、表面粗さ(Ra)を20μm以下にすることができる。繊維を経緯に組み合わせて作った織布であれば、メッシュ数は150メッシュ以上が好ましく、250メッシュ以上がより好ましく、420メッシュ以上がさらに好ましい。メッシュ数が150メッシュ以上であることにより、表面平滑性により優れる傾向にある。さらに、420メッシュ以上の織物に表面平滑性を向上させるカレンダー加工や開口部を小さくするシュリンク加工を行ったシート(b)も好ましい。このような加工を施したシート(b)を用いることにより、表面平滑性にさらに優れる傾向にある。ここでいう「メッシュ数」とは、1インチあたりの糸の本数である。 The surface roughness (Ra) of the sheet can be adjusted by the fiber diameter and the number of meshes of fibers used in the case of a woven fabric, the pore diameter in the case of a nonwoven fabric, and the shape and size of the pores in the case of a pore sheet. it can. Although it depends on the material used, Ra can be made 20 μm or less by setting the number of meshes to 150 mesh or more in the case of plain woven fabric. Moreover, if it is a nonwoven fabric, surface roughness (Ra) can be 20 micrometers or less by making the average pore diameter which can be measured with a palm porometer into 100 micrometers or less. In the case of a woven fabric made by combining fibers with the background, the number of meshes is preferably 150 mesh or more, more preferably 250 mesh or more, and further preferably 420 mesh or more. When the number of meshes is 150 mesh or more, the surface smoothness tends to be superior. Furthermore, the sheet | seat (b) which performed the calendar process which improves surface smoothness, and the shrink process which makes an opening part small for the textile fabric of 420 mesh or more is also preferable. By using the sheet (b) subjected to such processing, the surface smoothness tends to be further improved. Here, the “number of meshes” is the number of yarns per inch.
一方、細孔シートであればシートの厚みによっても異なるが、例えば厚み0.05mmであれば開口径100μm以下とすることにより、表面粗さ(Ra)を20μm以下にすることができる。 On the other hand, if the sheet is a pore sheet, the surface roughness (Ra) can be reduced to 20 μm or less by setting the opening diameter to 100 μm or less, for example, if the thickness is 0.05 mm, depending on the thickness of the sheet.
シート(b)の厚さは、0.001〜5mmが好ましく、0.01〜2mmがより好ましく、0.01〜0.2mmがさらに好ましく、0.02〜0.1mmがよりさらに好ましい。厚さが上記範囲内にあることにより、取扱の簡便さに、及びコストにより優れる傾向にある。多孔質積層体中のシート(b)の厚みを測定する場合は、多孔質積層体を厚さ方向に沿って切断し、その切断面を光学顕微鏡(株式会社キーエンス社製「マイクロスコープVH−Z100UR」)を用いて観察することで測定することができる。 The thickness of the sheet (b) is preferably 0.001 to 5 mm, more preferably 0.01 to 2 mm, further preferably 0.01 to 0.2 mm, and still more preferably 0.02 to 0.1 mm. When the thickness is within the above range, it tends to be easier to handle and more cost effective. When measuring the thickness of the sheet (b) in the porous laminate, the porous laminate is cut along the thickness direction, and the cut surface is optical microscope ("Microscope VH-Z100UR" manufactured by Keyence Corporation). It can measure by observing using ").
シート(b)は、同じ開口部の面積でも空隙率の異なる仕様のシートの製造が容易で、またその開口部の面積や厚みの安定性という観点で、産業上極めて有効である。 The sheet (b) is very effective in the industry from the viewpoint of the stability of the area and thickness of the opening, since it is easy to produce a sheet having different porosity even in the same opening area.
〔多孔質積層体の製造方法〕
樹脂多孔体(a)とシート(b)を積層させるには、接着剤等を用いて接着してもよいし、熱によって融着させてもよい。
[Method for producing porous laminate]
In order to laminate the resin porous body (a) and the sheet (b), they may be bonded using an adhesive or the like, or may be fused by heat.
通気性を確保するために、前記両素材を部分的に接着、及び/又は熱による融着をすることが好ましい。このような積層方法としては、特に限定されないが、例えば、スプレー式粘着剤、接着剤を用いて点状、繊維状等の接着面の形成する方法、グラビアコータ、ロールコータ、スクリーン印刷機等を用いて点状、網目状、筋状等に接着面を形成する方法、粒子形状、ネット形状の熱可塑性樹脂を介して、加圧加熱して融着させる方法、超音波ウエルダー機、超音波ミシン等を用いスポット溶接させる方法、シート(b)と接する樹脂多孔体(a)の表面をわずかに溶融することで融着させる方法等により行うことができる。中でも、スプレー式接着剤を用い点状、繊維状等の接着面を形成する方法は簡便であるため好ましい。 In order to ensure air permeability, it is preferable that the two materials are partially bonded and / or fused by heat. Such a laminating method is not particularly limited, but includes, for example, a spray-type pressure-sensitive adhesive, a method of forming an adhesive surface such as a dot or fiber using an adhesive, a gravure coater, a roll coater, a screen printing machine, or the like. Method of forming adhesive surfaces in the form of dots, meshes, streaks, etc., method of pressurizing and fusing through a thermoplastic resin of particle shape or net shape, ultrasonic welder machine, ultrasonic sewing machine Or the like, or a method of fusing the surface of the porous resin body (a) in contact with the sheet (b) by slightly melting it. Among these, a method of forming a dotted or fibrous adhesive surface using a spray adhesive is preferable because it is simple.
スプレー式粘着剤及び接着剤としては、特に限定されないが、例えば、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、α−オレフィン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ウレタン系樹脂、エーテル系セルロース、ニトロセルロース、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルピロリドン系樹脂、ポリビニルブチラール系樹脂、ポリベンズイミダソール系樹脂、ポリメタクリレート系樹脂、メラミン系樹脂、ユリア系樹脂、レゾルシノール系樹脂、エチレン酢酸ビニル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、エポキシ系樹脂、塩化ビニル系樹脂、クロロプレンゴム系樹脂、スチレンブタジエンゴム系樹脂、ニトリルゴム系樹脂、シアノアクリレート系樹脂、水性高分子、イソシアネート系樹脂、シリコーン系樹脂、変性シリコーン系樹脂、フェノール系樹脂、フッ素系樹脂、もしくはエチレン酢酸ビニル樹脂ホットメルト、反応性ホットメルト、ポリアミド樹脂ホットメルト、ポリウレタンホットメルト、ポリオレフィンホットメルト等の既存のものを採用可能である。 Although it does not specifically limit as a spray-type adhesive and an adhesive agent, For example, polyester-type resin, acrylic resin, polyamide-type resin, polyimide-type resin, alpha-olefin resin, polyolefin-type resin, urethane type resin, ether-type cellulose, for example , Nitrocellulose, polyvinyl acetate resin, polystyrene resin, polyvinyl alcohol resin, polyvinyl pyrrolidone resin, polyvinyl butyral resin, polybenzimidazole resin, polymethacrylate resin, melamine resin, urea resin, Resorcinol resin, ethylene vinyl acetate resin, vinyl acetate resin, epoxy resin, vinyl chloride resin, chloroprene rubber resin, styrene butadiene rubber resin, nitrile rubber resin, cyanoacrylate resin, aqueous polymer, Nate resin, silicone resin, modified silicone resin, phenol resin, fluorine resin, or ethylene vinyl acetate resin hot melt, reactive hot melt, polyamide resin hot melt, polyurethane hot melt, polyolefin hot melt, etc. Can be adopted.
樹脂多孔体(a)とシート(b)を積層させるには、接着剤付き織布を使用することもできる。接着剤層を織布の線状部分上のみに設ける製法が公知の方法(例えば、特開2009−167275号公報に記載)を用いることもできる。 In order to laminate the porous resin body (a) and the sheet (b), a woven fabric with an adhesive can also be used. A known method (for example, described in JP-A No. 2009-167275) can be used as a production method in which the adhesive layer is provided only on the linear portion of the woven fabric.
本実施形態に係る多孔質積層体の厚さは、0.06〜15mmが好ましく、0.06〜5mmがより好ましく、0.1〜3mmがさらに好ましく、0.2〜3mmがよりさらに好ましい。厚さが上記範囲内であることにより、取扱の簡便さやコストにより優れる傾向にある。ここで、「厚さ」とは、1/1000mm読みのマイクロメータ(株式会社ミツトヨ社製「MDC−SB」)を用いて測定したものである。 The thickness of the porous laminate according to this embodiment is preferably 0.06 to 15 mm, more preferably 0.06 to 5 mm, still more preferably 0.1 to 3 mm, and still more preferably 0.2 to 3 mm. When the thickness is within the above range, it tends to be superior in terms of ease of handling and cost. Here, the “thickness” is measured using a micrometer having a reading of 1/1000 mm (“MDC-SB” manufactured by Mitutoyo Corporation).
本実施形態に係る多孔質積層体の曲げ弾性率は、30〜3000MPaが好ましく、200〜3000MPaがより好ましく、200〜1000MPaがさらに好ましく、200〜800MPaがよりさらに好ましい。曲げ弾性率が上記範囲内であることにより、吸着緩衝材としての剛性と適度なクッション性により優れる傾向にある。ここで、「曲げ弾性率」とは、JIS K 7171:1994に従い、試験速度5mm/min、支持点間30mmの条件にて測定したものである。 The bending elastic modulus of the porous laminate according to this embodiment is preferably 30 to 3000 MPa, more preferably 200 to 3000 MPa, further preferably 200 to 1000 MPa, and still more preferably 200 to 800 MPa. When the bending elastic modulus is within the above range, the rigidity as an adsorption buffer material and an appropriate cushioning property tend to be excellent. Here, the “flexural modulus” is measured according to JIS K 7171: 1994 under the conditions of a test speed of 5 mm / min and a support point distance of 30 mm.
本実施形態に係る多孔質積層体の通気量は、0.3〜30cm3/cm2/sが好ましく、0.3〜10cm3/cm2/sがより好ましく、1〜10cm3/cm2/sがさらに好ましい。通気量が上記範囲内であることにより、吸着緩衝材としての通気性により優れる傾向にある。ここで、「通気量」とは、通気度測定機(TEXTEST社製「FX3360PORTAIR」)を用い、測定範囲20cm2、測定差圧125Paの条件にて測定したものである。 Aeration rate of the porous laminate according to the present embodiment is preferably 0.3~30cm 3 / cm 2 / s, more preferably 0.3~10cm 3 / cm 2 / s, 1~10cm 3 / cm 2 / S is more preferable. When the air flow rate is within the above range, the air permeability as an adsorption buffer material tends to be superior. Here, the “aeration amount” is measured using a permeability measuring device (“FX3360PORTAIR” manufactured by TEXTEST) under the conditions of a measurement range of 20 cm 2 and a measurement differential pressure of 125 Pa.
〔吸着緩衝材〕
本実施形態に係る吸着緩衝材は、上記多孔質積層体を含む。本実施形態に係る多孔質積層体は、優れた表面平滑性、その表面平滑性に部分的なバラつきが少ないこと、原料粒子の脱落がないことから、吸着緩衝材として好適に用いることができる。吸着緩衝材とは、液晶用ガラス板や積層セラミックコンデンサ用のシート等の、薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定又は搬送するための手段のひとつに、減圧吸引での吸着ステージで吸着固定又は吸着搬送する方法があるが、その吸着ステージの吸着面に装着するものである。
[Adsorption buffer material]
The adsorption buffer material according to the present embodiment includes the porous laminate. The porous laminate according to the present embodiment can be suitably used as an adsorption buffer material because it has excellent surface smoothness, there is little partial variation in the surface smoothness, and there is no loss of raw material particles. Adsorption buffer is one of the means for fixing or transporting thin-film, plate- or film-like objects such as liquid crystal glass plates and multilayer ceramic capacitor sheets, and is a suction stage using vacuum suction. There is a method of suction fixation or suction conveyance, which is attached to the suction surface of the suction stage.
吸着緩衝材としては、上記多孔質積層体をそのまま用いてもよい。また、吸着緩衝材として加工する方法としては、特に限定されないが、例えば、吸着ステージに装着する際、必要に応じて、吸着ステージに粘着加工を施すことや、多孔質積層体を所定のサイズにカットする方法が挙げられる。 As the adsorption buffer material, the porous laminate may be used as it is. In addition, the method of processing as an adsorption buffer material is not particularly limited, but for example, when attached to the adsorption stage, if necessary, the adsorption stage may be subjected to adhesive processing, or the porous laminate may be set to a predetermined size. The method of cutting is mentioned.
〔吸着方法〕
本実施形態に係る吸着方法は、吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する工程を有する。より具体的には、吸着緩衝材を吸着ステージの吸着面に装着し、吸着緩衝材上に薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定し、搬送することができる。吸着緩衝材の装着は減圧吸引などにより行なうことができる。
[Adsorption method]
The adsorption method according to the present embodiment includes a step of adsorbing a thin film using an adsorption buffer material. More specifically, an adsorption buffer material is attached to the adsorption surface of the adsorption stage, and a thin film, plate, or film object can be fixed on the adsorption buffer material and conveyed. The adsorption buffer material can be attached by vacuum suction or the like.
ここで、固定又は搬送される薄膜としては、特に限定されないが、例えば、セラミックグリーンシートが挙げられる。セラミックグリーンシートは、通常、セラミック粉体、バインダ(アクリル系樹脂、ブチラール系樹脂等)、可塑剤(フタル酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類)及び有機溶剤(トルエン、MEK、アセトン等)からなるセラミック塗料を準備し、このセラミック塗料を、ドクターブレード法等によりキャリアシート上に塗布し、加熱乾燥させたものである。 Here, the thin film to be fixed or conveyed is not particularly limited, and examples thereof include a ceramic green sheet. Ceramic green sheets are usually ceramic powder, binders (acrylic resin, butyral resin, etc.), plasticizers (phthalates, glycols, adipic acid, phosphates) and organic solvents (toluene, MEK, acetone). Etc.) is prepared, and this ceramic paint is applied onto a carrier sheet by the doctor blade method or the like and dried by heating.
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施形態はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。 Next, the present embodiment will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. However, the present embodiment is not limited to the following examples unless it exceeds the gist.
各材料の各物性の測定は以下のとおりに行った。
[表面粗さ(Ra)平均及び表面粗さ(Ra)バラつきの測定方法]
表面粗さ(Ra)の測定は、触針式表面粗さ計(株式会社東京精密社製「ハンディサーフE−35B」)を用い、先端径R:5μm、速度:0.6mm/s、測定長:12.5mm、カットオフ値λc:2.5mmの条件にて測定した。測定位置は、被測定物の面の中心1箇所と、面をできるだけ同じ形状になるように4等分した際、その4等分された面の中心1箇所ずつ、合計5箇所を測定した。
表面粗さ(Ra)平均は、上記5箇所の測定の平均値として求めた。
表面粗さ(Ra)バラつきは、上記5箇所の測定の最大値と最小値の差であり、以下の判定基準に基づき、評価した。
○:最大値と最小値の差が、平均値の10%以下のもの。
×:最大値と最小値の差が、平均値の10%を超えるもの。
Each physical property of each material was measured as follows.
[Measurement method of surface roughness (Ra) average and surface roughness (Ra) variation]
Surface roughness (Ra) was measured using a stylus type surface roughness meter (“Handy Surf E-35B” manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.), tip diameter R: 5 μm, speed: 0.6 mm / s, measurement. Measurement was performed under the conditions of length: 12.5 mm and cut-off value λc: 2.5 mm. The measurement position was measured at a total of five locations, one at the center of the surface of the object to be measured and one at the center of the four equally divided surfaces when the surface was equally divided into four as much as possible.
The average surface roughness (Ra) was determined as the average value of the above five measurements.
The surface roughness (Ra) variation is a difference between the maximum value and the minimum value of the above five measurements, and was evaluated based on the following criteria.
○: The difference between the maximum value and the minimum value is 10% or less of the average value.
X: The difference between the maximum value and the minimum value exceeds 10% of the average value.
[粉落ち性]
粉落ち性の測定は、原料粒子の色と反対色の紙の上で、200mm×200mmサイズの1枚のシートをバイブレータ(神鋼電機株式会社製「バイブレートリパッカVP−15D」)を用いて2分間振動を加えた後、反対色の紙の上に原料粒子があるか否かを目視で確認し、以下の判定基準に基づき、評価した。
◎:原料樹脂の脱落が殆どなかった。
○:原料樹脂の脱落が極少量であった。
×:原料樹脂の脱落が多数あった。
[Powder removal]
The measurement of powder fall-off property is performed using a vibrator (“Vibrated Repacker VP-15D” manufactured by Shinko Electric Co., Ltd.) on a sheet of 200 mm × 200 mm size on paper of the color opposite to the color of the raw material particles. After applying vibration for a minute, it was visually confirmed whether or not there were raw material particles on the opposite color paper, and evaluated based on the following criteria.
A: There was almost no dropout of the raw material resin.
○: Dropping of the raw material resin was extremely small.
X: There were many dropouts of the raw material resin.
[曲げ弾性率]
曲げ弾性率の測定は、JIS K 7171:1994に従い、試験速度5mm/min、支持点間30mmの条件にて測定した。
[Bending elastic modulus]
The flexural modulus was measured according to JIS K 7171: 1994 under the conditions of a test speed of 5 mm / min and a support point distance of 30 mm.
[通気量]
通気量の測定は、通気度測定機(TEXTEST社製「FX3360PORTAIR」)を用い、測定範囲20cm2、測定差圧125Paの条件にて測定した。
[Air flow rate]
The air flow rate was measured using an air permeability measuring device (“FX3360PORTAIR” manufactured by TEXTEST) under the conditions of a measurement range of 20 cm 2 and a measurement differential pressure of 125 Pa.
[厚さ]
本実施形態における多孔質積層体の厚さは、1/1000mm読みのマイクロメータ(株式会社ミツトヨ社製「MDC−SB」)を用いて測定した。なお、測定数値は、小数点以下第3位まで測定し、小数点以下第3位の値を四捨五入した。
[thickness]
The thickness of the porous laminate in the present embodiment was measured using a micrometer having a reading of 1/1000 mm (“MDC-SB” manufactured by Mitutoyo Corporation). In addition, the measured numerical value was measured to the third decimal place, and the value of the third decimal place was rounded off.
積層された後の樹脂多孔体(a)と、シート(b)の厚さは、積層された多孔質積層体を厚さ方向に沿って切断し、その切断面を光学顕微鏡(株式会社キーエンス社製「マイクロスコープVH−Z100UR」)を用い観察することで測定した。なお、測定数値は、小数点以下第3位まで測定し、小数点以下第3位の値を四捨五入した。 The thickness of the laminated resin porous body (a) and sheet (b) is determined by cutting the laminated porous laminate along the thickness direction, and cutting the cut surface with an optical microscope (Keyence Corporation). It was measured by observing using “Microscope VH-Z100UR”. In addition, the measured numerical value was measured to the third decimal place, and the value of the third decimal place was rounded off.
[実施例1]
高密度ポリエチレン粉末サンファイン(商標)SH801(旭化成ケミカルズ株式会社製、密度955kg/m3)を金属の平板上に厚さ2.1mm以上堆積させ、金属の平板上から2.1mmのクリアランスを設けた擦切り部を通過させることで、2.1mmの厚さで均一に堆積させたものを180℃にセットされた加熱炉に投入し、10分間静置させた後、加熱炉から取り出し、室温で冷却することで厚み2.0mmの焼結成形体を樹脂多孔体(a)として得た。該樹脂多孔体にポリオレフィン系ホットメルト接着剤を160℃に設定したホットメルトアプリケーターを用い20g/m2で繊維状にスプレー塗布した。シート(b)として、織物(経糸/緯糸:ポリエチレンテレフタレートモノフィラメント)L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)を用い、これを樹脂多孔体(a)上に積層させることで多孔質積層体を得た。多孔質積層体の特性を表1に示す。
[Example 1]
High-density polyethylene powder Sun Fine (trademark) SH801 (made by Asahi Kasei Chemicals Corporation, density 955 kg / m 3 ) is deposited on a metal flat plate with a thickness of 2.1 mm or more to provide a clearance of 2.1 mm from the metal flat plate. By passing through the scraped portion, the material uniformly deposited with a thickness of 2.1 mm was put into a heating furnace set at 180 ° C., allowed to stand for 10 minutes, then removed from the heating furnace, and at room temperature. By cooling, a sintered compact having a thickness of 2.0 mm was obtained as a porous resin body (a). A polyolefin hot melt adhesive was spray-coated on the porous resin body in a fibrous form at 20 g / m 2 using a hot melt applicator set at 160 ° C. As the sheet (b), a woven fabric (warp / weft: polyethylene terephthalate monofilament) L-screen165-027 / 420PW (manufactured by NBC Meshtec Co., Ltd.) is used, and porous by laminating this on the resin porous body (a). A layered product was obtained. Table 1 shows the characteristics of the porous laminate.
[実施例2]
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)にカレンダー加工を施した織物を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
[Example 2]
As a sheet (b), instead of L-screen165-027 / 420PW (manufactured by NBC Meshtec Co., Ltd.), a fabric obtained by calendering L-screen165-027 / 420PW (manufactured by NBC Meshtec Co., Ltd.) is used. A porous laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that it was used. Evaluation similar to Example 1 was performed, and the measurement results are shown in Table 1.
[実施例3]
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織物(経糸/緯糸:ポリアミド系モノフィラメント)NY10−HC(Sefar社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
[Example 3]
A sheet (b) is made of woven fabric (warp / weft: polyamide monofilament) NY10-HC (manufactured by Sefar) instead of L-screen165-027 / 420PW (manufactured by NBC Meshtec Co., Ltd.). A porous laminate was obtained in the same manner as in Example 1. Evaluation similar to Example 1 was performed, and the measurement results are shown in Table 1.
[実施例4]
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織物(経糸/緯糸:ステンレス材)BS−400/25(アサダメッシュ株式会社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
[Example 4]
As the sheet (b), a woven fabric (warp / weft: stainless steel) BS-400 / 25 (manufactured by Asada Mesh Co., Ltd.) was used instead of L-screen165-027 / 420PW (manufactured by NBC Meshtec Co., Ltd.). Except for this, a porous laminate was obtained in the same manner as in Example 1. Evaluation similar to Example 1 was performed, and the measurement results are shown in Table 1.
[実施例5]
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織物(経糸/緯糸:ステンレス材)BS−200/40(アサダメッシュ株式会社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
[Example 5]
As the sheet (b), a woven fabric (warp / weft: stainless steel) BS-200 / 40 (manufactured by Asada Mesh Co., Ltd.) was used instead of L-screen165-027 / 420PW (manufactured by NBC Meshtec Co., Ltd.). Except for this, a porous laminate was obtained in the same manner as in Example 1. Evaluation similar to Example 1 was performed, and the measurement results are shown in Table 1.
[比較例1]
高密度ポリエチレン粉末サンファイン(商標)SH801(旭化成ケミカルズ株式会社製)を用い、実施例1と同様に厚み2mmの焼結成形体を樹脂多孔体として得た。該樹脂多孔体にシート(b)を積層させずにそのまま用いて、実施例1と同様の特性を評価した。結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
Using a high-density polyethylene powder Sun Fine (trademark) SH801 (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation), a sintered molded body having a thickness of 2 mm was obtained as a porous resin body in the same manner as in Example 1. The same characteristics as in Example 1 were evaluated using the resin porous material as it was without laminating the sheet (b). The results are shown in Table 1.
[比較例2]
樹脂多孔体(a)として、超高分子量ポリエチレン粉末XM−220(三井化学株式会社製)を用いたこと以外は比較例1と同様の操作、評価を行った。結果を表1に示す。
[Comparative Example 2]
The same operation and evaluation as in Comparative Example 1 were performed except that ultra high molecular weight polyethylene powder XM-220 (Mitsui Chemicals, Inc.) was used as the porous resin body (a). The results are shown in Table 1.
[比較例3]
シート(b)として、織物(経糸/緯糸:ポリエチレンテレフタレートモノフィラメント)L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)を用い、樹脂多孔体(a)を積層させずに、実施例1と同様の特性の評価を行った。結果を表1に示す。
[Comparative Example 3]
Example 1 using a woven fabric (warp / weft: polyethylene terephthalate monofilament) L-screen165-027 / 420PW (manufactured by NBC Meshtec Co., Ltd.) as the sheet (b) without laminating the porous resin body (a). The same characteristics were evaluated. The results are shown in Table 1.
表1が示す結果より、通気性を有する樹脂多孔体において、少なくとも片面に通気性を有し表面平滑性に優れたシートを実質一体化されて成る多孔質積層体は、優れた表面平滑性、剛性、及び通気性を有し、その表面平滑性に部分的なバラつきが少なく、原料粒子の脱落が少ないことが分かった。 From the results shown in Table 1, in the porous resin body having air permeability, the porous laminate formed by substantially integrating a sheet having air permeability and excellent surface smoothness on at least one side has excellent surface smoothness, It has been found that it has rigidity and air permeability, there is little partial variation in the surface smoothness, and there is little dropout of raw material particles.
本発明の多孔質積層体は、液晶用ガラス板や積層セラミックコンデンサ用のグリーンシート等、薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定又は搬送するための方法において産業上の利用可能性を有する。 The porous laminate of the present invention has industrial applicability in a method for fixing or transporting thin-film, plate-like, or film-like objects such as glass plates for liquid crystals and green sheets for multilayer ceramic capacitors. Have.
Claims (11)
該樹脂多孔体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されており、
前記シート(b)が、織布、不織布、又は細孔シートのいずれかであり、
前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、2.0〜12.9μmである、
多孔質積層体。 Having a porous resin body (a),
A sheet (b) having air permeability and a surface roughness (Ra) of 0.1 to 20 μm is laminated on at least one surface of the resin porous body (a),
Said sheet (b) is a woven, nonwoven, or Der either pores sheet is,
The surface roughness (Ra) of the sheet (b) is 2.0 to 12.9 μm .
Porous laminate.
通気量が0.3〜30cm3/cm2/sである、請求項1〜7のいずれか1項に記載の多孔質積層体。 The flexural modulus is 30 to 3000 MPa,
Aeration is 0.3~30cm 3 / cm 2 / s, the porous laminate according to any one of claims 1-7.
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