JP6273365B2 - サーモグラフィ検査システム - Google Patents
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Description
ここで、Tsurf(t)は、時間tにおける面温度であり、Tsurf(0)は、時間0における面温度であり、Qは単位面積当たりの入力熱エネルギーであり、kは熱伝導率であり、ρは密度であり、cは熱容量である。
Claims (20)
- 物体の外表面に着脱可能に取り付けられるように構成された熱源と、
前記熱源の熱画像を取得する熱撮像装置と、
前記熱画像に基づいて、前記物体内にある欠陥の位置を決定する分析装置と、を備え、
前記熱源は、前記物体と前記熱撮像装置との間に配置され、
前記分析装置は、前記熱源が前記物体に取り付けられているときに、前記熱源の面温度を決定して、前記物体内にある欠陥の位置を決定する、
サーモグラフィ検査システム。 - 前記熱源はシート形状を有するヒーターである、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記熱源は熱を生じ、該熱は熱伝導により前記物体の外表面に伝わる、請求項1記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記熱源は前記物体の外表面に直接接触した、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記熱源は前記ヒーターを前記外表面に結合する接着フィルムをさらに含む、請求項2に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記熱源は独立的に制御可能な複数の加熱素子を含む、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記複数の加熱素子は、前記物体の外表面に沿って配置された、請求項6に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記複数の加熱素子は異なって通電され、異なる熱エネルギーを提供する、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記複数の加熱素子は、同時に通電される、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記熱源は、ポリイミドヒーターを含む、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記熱撮像装置は赤外線カメラを含む、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記赤外線カメラは、所定の時間にわたって複数の熱画像を取得する、請求項11に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 前記分析装置は、前記外表面の温度上昇に基づいて前記欠陥の位置を決定する、請求項1に記載のサーモグラフィ検査システム。
- 物体を検査する方法であって、
着脱可能に物体の外表面に熱源を取り付ける工程と、
前記熱源を通電して、熱を生じさせる工程と
前記熱を熱伝導により前記物体の外表面に伝える工程と、
前記熱源が前記物体の外表面に取り付けられているときに、前記熱源の外表面の熱画像を取得する工程と、
前記熱画像に基づいて、前記物体内にある欠陥の位置を決定する工程と、を備える方法。 - 接着フィルムを用いて、着脱可能に前記物体の外表面に前記熱源を取り付ける、請求項14に記載の方法。
- 前記熱源は、複数の抵抗加熱素子を含む、請求項15に記載の方法。
- 前記複数の抵抗加熱素子を独立的に制御する工程をさらに備える、請求項16に記載の方法。
- 前記複数の抵抗加熱素子を前記物体の外表面に沿ってアレイ状に並べる工程をさらに備える、請求項16に記載の方法。
- 前記複数の抵抗加熱素子の各々に対応する位置で前記外表面の温度を分析して、前記欠陥の位置を決定する工程をさらに備える、請求項16に記載の方法。
- 物体を検査する方法であって、
着脱可能に物体の外表面に熱源を取り付ける工程と、
熱伝導により、前記熱源から前記物体の外表面を通して前記物体に熱を入れる工程と、
前記熱源が前記物体の外表面に取り付けられているときに、前記熱源の外表面の熱画像を取得する工程と、
前記熱画像に基づいて、前記物体内にある欠陥の位置を決定する工程と、を備える方法。
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US6840666B2 (en) * | 2002-01-23 | 2005-01-11 | Marena Systems Corporation | Methods and systems employing infrared thermography for defect detection and analysis |
DE10392293T5 (de) | 2002-02-15 | 2005-09-22 | Lm Glasfiber A/S | Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen des Vorhandenseins von Polymer in einem Windturbinenblatt |
US7060991B2 (en) | 2002-04-11 | 2006-06-13 | Reilly Thomas L | Method and apparatus for the portable identification of material thickness and defects along uneven surfaces using spatially controlled heat application |
JP2005012172A (ja) | 2003-05-23 | 2005-01-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
US8680443B2 (en) | 2004-01-06 | 2014-03-25 | Watlow Electric Manufacturing Company | Combined material layering technologies for electric heaters |
FR2871650B1 (fr) * | 2004-06-11 | 2006-09-22 | Seb Sa | Element chauffant, son procede de fabrication, article dote d'un tel element et son procede de fabrication |
JP2006112940A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Railway Technical Res Inst | コンクリート部材の損傷診断方法 |
JP2006189410A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-07-20 | Raito Kogyo Co Ltd | 構造物の非破壊検査方法及びその装置 |
US8038796B2 (en) | 2004-12-30 | 2011-10-18 | Lam Research Corporation | Apparatus for spatial and temporal control of temperature on a substrate |
US7419298B2 (en) * | 2005-05-24 | 2008-09-02 | United Technologies Corporation | Thermal imaging method and apparatus |
US7287902B2 (en) * | 2005-06-07 | 2007-10-30 | The Boeing Company | Systems and methods for thermographic inspection of composite structures |
US20060289447A1 (en) | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Mohamed Zakaria A | Heating chuck assembly |
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WO2009141472A1 (es) * | 2008-05-20 | 2009-11-26 | Antonio Miravete De Marco | Sistemay método de monitorización del daño en estructuras |
EP2350627B1 (en) * | 2008-09-17 | 2013-11-06 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Method for detecting defect in material and system for the method |
CN102217054B (zh) | 2008-11-25 | 2013-05-08 | 京瓷株式会社 | 晶片加热装置、静电卡盘以及晶片加热装置的制造方法 |
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