JP6254307B2 - めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記第2段階漏れ検査に合格した基板ホルダで保持した基板の、前記開口部から露出した表面を覆うようにシールケースを配置し、前記基板ホルダの前記第1保持部材と前記シールケースとの間をシールすることで前記基板ホルダと前記シールケースとの間に密閉空間を形成し、該密閉空間内にトレーサガスを導入しつつ前記内部空間を真空引きして、前記内部空間から吸引された空気内にトレーサガスが含まれているかを検査する第3段階漏れ検査を実施して前記第1突出部および前記第2突出部のシール性をさらに検査することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板ホルダの前記第2保持部材と前記シールケースとの間をシールすることで、前記密閉空間を、前記第2突出部が内部に配置される基板側密閉空間と、前記第1突出部が内部に配置されるホルダ側密閉空間の2つの密閉空間に分け、前記2つの密閉空間の少なくとも一方に対して前記第3段階漏れ試験を実施することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板ホルダの前記内部通路は前記第1保持部材に形成されており、前記基板ホルダは、前記内部通路に繋がる吸引ポートを備え、前記吸引ポートは前記吸引ラインに着脱可能に接続されるように構成されたことを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記めっき装置は、基板の前記基板ホルダへの着脱を行う基板着脱部を備え、第1段階漏れ検査および第2段階漏れ検査を前記基板着脱部で行うように構成されたことを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記めっき装置は、基板を収納するためのカセットを載置するカセットテーブルと、前記カセットテーブルと前記基板着脱部の間で基板を搬送する基板搬送装置と、基板ホルダを収納するストッカと、基板ホルダを搬送するための基板ホルダ搬送装置を備え、第1段階漏れ検査および第2段階漏れ検査に不合格になった基板ホルダに保持した基板を前記カセットに戻し、基板ホルダを前記ストッカに戻すように構成されたことを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板ホルダの前記第2保持部材と前記シールケースとの間をシールすることで、前記密閉空間を、前記第2突出部が内部に配置される基板側密閉空間と、前記第1突出部が内部に配置されるホルダ側密閉空間の2つの密閉空間に分け、前記2つの密閉空間の少なくとも一方に対して前記第3段階漏れ試験を実施することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記第1段階漏れ検査、前記第2段階漏れ検査、及び前記第3段階漏れ検査を、めっきすべき基板を前記基板ホルダに装着するための基板着脱部で実施することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板ホルダの前記第2保持部材と前記シールケースとの間をシールすることで、前記密閉空間を、前記基板側シール部材が内部に配置される基板側密閉空間と、前記ホルダ側シール部材が内部に配置されるホルダ側密閉空間の2つの密閉空間に分ける切分けシール部材をさらに有することを特徴とする。
図1は、本発明の実施形態におけるめっき装置の全体配置図を示す。図1に示すように、このめっき装置には、半導体ウエハ等の基板を収納したカセット10を搭載する2台のカセットテーブル12と、基板のオリフラやノッチなどの位置を所定の方向に合わせるアライナ14と、めっき処理後の基板を高速回転させて乾燥させるスピンリンスドライヤ16が備えられている。更に、この近くには、基板ホルダ18を載置して基板の該基板ホルダ18との着脱を行う基板着脱部20が設けられ、これらのユニットの中央には、これらの間で基板を搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置22が配置されている。
(2)基板Wの表面に形成されているレジスト(めっきすべきではない部分をマスキングする目的で基板表面に塗布される)の表面に凸凹があったり、シール部材の真下のレジストに欠けが生じていたり、レジストの外径寸法が小さかったり、レジストの外径と基板の外径が同芯でなかったりして、レジストが正常でなかった。
(3)シール部材66,68のシート面に傷があったり、シール部材66,68がめっき液の影響により弾性を失っていたりして、シール部材66,68が傷んでいた。
(4)一つ前に処理した基板のレジストが剥離して基板側シール部材66に付着した。
(2)基板ホルダ18から基板Wを取出し、次の基板と交換する。この場合、基板ホルダ18から取出した基板Wを回収し、主に基板Wのレジストの状態を点検する。
(3)基板ホルダ18を交換し回収して点検する。このようなケースを想定し、めっき装置内に予備の基板ホルダを収納して置くことが望ましく、運転中でも基板ホルダの出し入れができる構造を持つめっき装置を使用するようにしても良い。
先ず、図7に示すように、退避位置にあったシールケース142を検査すべき基板Wを保持した基板ホルダ18の直上方に移動させて下降させ、シールケース142のトレーサガスシール部材146を基板ホルダ18の第1保持部材54のシールライン144に沿った位置に、切分けシール部材148を第2保持部材58のシールホルダ62の表面に軽く接する程度に押し付ける。これによって、基板ホルダ18とシールケース1472との間に、トレーサガスシール部材146及び切分けシール部材148でシール(密閉)されたホルダ側密閉空間S1と基板側密閉空間S2を形成する。
24 ストッカ
26 プリウェット槽
28 プリソーク槽
30a,30b 水洗槽
32 ブロー槽
34 めっき槽
36 オーバーフロー槽
54 第1保持部材(固定保持部材)
58 第2保持部材(可動保持部材)
62 シールホルダ
64 押えリング
66 基板側シール部材
68 ホルダ側シール部材
74 クランパ
90 ハンド
100 内部通路
102 吸引ポート
106 吸引継手
112 真空源
114 吸引ライン
116 圧力センサ
120 マスター容器
126 差圧センサ
128 圧力変化検知部
130 バイパスライン
134 トレーサガスセンサ
136 テスタ本体
138 トレーサガステスタ
142 シールケース
144 シールライン
146 トレーサガスシール部材
148 切分けシール部材
150,150a,150b トレーサガス導入部
154,154a,154b ガス継手
156,156a,156b トレーサガスボンベ
158,158a,158b ガス供給ライン
166,166a,166b 空気供給ライン
170,170a,170b ガス排気ポート
174,174a,174b ガス排気ライン
R1 ホルダ側内部空間
R2 基板側内部空間
R 内部空間
S1 ホルダ側密閉空間
S2 基板側密閉空間
S 密閉空間
Claims (4)
- 第1保持部材と、開口部を有する第2保持部材とを備えた基板ホルダに対して漏れ検査を実施する方法であって、
基板の一方の面を前記第1保持部材で支持しつつ、前記第2保持部材を基板の他方の面に接触させ、前記第2保持部材の前記開口部から基板の前記他方の面を露出させた状態で該基板を前記基板ホルダで保持し、
前記基板ホルダで基板を保持した時に前記第2保持部材の第1突出部で前記第1保持部材と第2保持部材との間をシールしつつ、前記第2保持部材の第2突出部で前記基板の外周部をシールすることにより、前記第1保持部材と前記第2保持部材と前記基板とで前記基板ホルダ内に内部空間を形成し、
前記内部空間内を真空引きして該内部空間が一定時間後に所定真空圧力に達するかを検査する第1段階漏れ検査を実施して前記第1突出部および前記第2突出部のシール性を検査し、
前記第1段階漏れ検査に合格した基板を保持した基板ホルダに対して、前記内部空間を真空にした後に該内部空間を封止し該内部空間内の圧力が所定時間内に所定値以上に変化するか否かを検査する第2段階漏れ検査を実施して前記第1突出部および前記第2突出部のシール性をさらに検査することを特徴する方法。 - 前記内部空間内の圧力が所定時間内に所定値以上に変化するか否かを、前記内部空間内の封止後の圧力と、該内部空間内の真空引きによって同時に真空引して封止されるガス漏れのないマスター容器内の圧力との圧力差を差圧センサで測定して検査することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2段階漏れ検査に合格した基板ホルダで保持した基板の、前記開口部から露出した表面を覆うようにシールケースを配置し、前記基板ホルダの前記第1保持部材と前記シールケースとの間をシールすることで前記基板ホルダと前記シールケースとの間に密閉空間を形成し、該密閉空間内にトレーサガスを導入しつつ前記内部空間を真空引きして、前記内部空間から吸引された空気内にトレーサガスが含まれているかを検査する第3段階漏れ検査を実施して前記第1突出部および前記第2突出部のシール性をさらに検査することを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記基板ホルダの前記第2保持部材と前記シールケースとの間をシールすることで、前記密閉空間を、前記第2突出部が内部に配置される基板側密閉空間と、前記第1突出部が内部に配置されるホルダ側密閉空間の2つの密閉空間に分け、前記2つの密閉空間の少なくとも一方に対して前記第3段階漏れ試験を実施することを特徴とする請求項3に記載の方法。
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