JP6253830B2 - 超解像顕微鏡 - Google Patents
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Description
前記分子を安定状態から第1量子状態に励起するための第1照明光、及び、前記分子を更に他の量子状態に遷移させるための第2照明光を、一部空間的に重ね合わせて前記試料に集光して照射する照明光学系と、
前記第1照明光及び前記第2照明光と前記試料とを相対的に変位させて前記試料を走査する走査部と、
前記第1照明光及び前記第2照明光の照射により前記試料から発生する光応答信号を検出する検出部と、
前記照明光学系の前記第1照明光及び前記第2照明光が通る光路中に配置され、前記第2照明光の少なくとも一部を位相変調する複数M個の表面領域を有する位相板と、を備え、
前記位相板は、前記複数M個の表面領域が下記の条件式を満たす厚さで光学基板上に形成された単層の光学薄膜からなる、
ことを特徴とするものである。
前記分子を安定状態から第1量子状態に励起するための第1照明光、及び、前記分子を更に他の量子状態に遷移させるための第2照明光を、一部空間的に重ね合わせて前記試料に集光して照射する照明光学系と、
前記第1照明光及び前記第2照明光と前記試料とを相対的に変位させて前記試料を走査する走査部と、
前記第1照明光及び前記第2照明光の照射により前記試料から発生する光応答信号を検出する検出部と、
前記照明光学系の前記第1照明光及び前記第2照明光が通る光路中に配置され、前記第2照明光の少なくとも一部を位相変調する複数M個の表面領域を有する位相板と、を備え、
前記位相板は、前記複数M個の表面領域が下記の条件式を満たす厚さに光学基板をエッチングして形成されている、
ことを特徴とするものである。
図1は、本発明の一実施の形態に係る超解像顕微鏡に用いられる単層2色性スパイラル位相板の構成を説明するための図である。図1に示す単層2色性スパイラル位相板1は、4つに分割された表面領域S1〜S4を有する。4つの表面領域S1〜S4は、トポロジカルチャージ1の螺旋イレース光を生成するために、厚さd1、d2、d3、及びd4が以下の要件を満たさなければならない。
本発明者らは、図1に示した単層2色性スパイラル位相板1を、ガラス基板上にSiO2を単層堆積させて作製する場合を想定して種々のシミュレーションを行った。なお、以下のシミュレーションでは、物理パラメータを、λe=0.647μm、λp=0.532μm、ne=1.475、及びnp=1.479とした。
(1)照明が、均一な強度ではなく通常はガウシアン強度を有する。
(2)高NA集束でのベクトル効果(Bokor, Davidson: “Tight parabolic dark spot with high NA focusing with a circular Pi phase plate”, Opt. Comm. 270 (2007), 145-150参照)
(360/ne)×(ne−1)×dc=(2×k+1)×180 (4)
である。式中、kは整数である。この条件は、λeでの180°(モジュロ360°)の位相シフトに対応する。式(4)のk=0、1、2、・・・、10を満たす厚さdcで可能な値は表5の通りである。
Φp=(360/lp)×(np−1)×dc (5)
ケース1 dc=3.542μm:Φp=24.5°
ケース2 dc=9.209μm:Φp==351.7°(=−8.3°)
S1〜S4 表面領域
11 シングルモードファイバ
12 コリメータレンズ
13 1/4波長板
14 偏光ビームスプリッタ
15 単層2色性スパイラル位相板
16、17 ガルバノミラー
18 瞳投影レンズ系
19 対物レンズ
20 試料ステージ
21 試料
22 蛍光分離フィルタ
23 集光レンズ
24 共焦点ピンホール
25 光検出部
31 環状単層2色性位相板
31a 光学基板
31b 変調領域
Claims (7)
- 少なくとも2以上の励起量子状態をもつ分子を含む試料を観察する超解像顕微鏡であって、
前記分子を安定状態から第1量子状態に励起するための第1照明光、及び、前記分子を更に他の量子状態に遷移させるための第2照明光を、一部空間的に重ね合わせて前記試料に集光して照射する照明光学系と、
前記第1照明光及び前記第2照明光と前記試料とを相対的に変位させて前記試料を走査する走査部と、
前記第1照明光及び前記第2照明光の照射により前記試料から発生する光応答信号を検出する検出部と、
前記照明光学系の前記第1照明光及び前記第2照明光が通る光路中に配置され、前記第2照明光の少なくとも一部を位相変調する複数M個の表面領域を有する位相板と、を備え、
前記位相板は、前記複数M個の表面領域が下記の条件式を満たす厚さで光学基板上に形成された単層の光学薄膜からなる、
ことを特徴とする超解像顕微鏡。
- 前記位相板と独立して、または、前記位相板と一体で、光軸を中心に回転可能な波長板を有することを特徴とする請求項1に記載の超解像顕微鏡。
- 前記波長板は1/4波長板であり、前記第2照明光は直線偏光であることを特徴とする請求項2に記載の超解像顕微鏡。
- 少なくとも2以上の励起量子状態をもつ分子を含む試料を観察する超解像顕微鏡であって、
前記分子を安定状態から第1量子状態に励起するための第1照明光、及び、前記分子を更に他の量子状態に遷移させるための第2照明光を、一部空間的に重ね合わせて前記試料に集光して照射する照明光学系と、
前記第1照明光及び前記第2照明光と前記試料とを相対的に変位させて前記試料を走査する走査部と、
前記第1照明光及び前記第2照明光の照射により前記試料から発生する光応答信号を検出する検出部と、
前記照明光学系の前記第1照明光及び前記第2照明光が通る光路中に配置され、前記第2照明光の少なくとも一部を位相変調する複数M個の表面領域を有する位相板と、を備え、
前記位相板は、前記複数M個の表面領域が下記の条件式を満たす厚さに光学基板をエッチングして形成されている、
ことを特徴とする超解像顕微鏡。
- 前記位相板と独立して、または、前記位相板と一体で、光軸を中心に回転可能な波長板を有することを特徴とする請求項4に記載の超解像顕微鏡。
- 前記波長板は1/4波長板であり、前記第2照明光は直線偏光であることを特徴とする請求項5に記載の超解像顕微鏡。
- 前記光学薄膜は、前記第1照明光に対しては反射作用又は透過作用を有し、前記第2照明光に対しては透過型の位相変調作用を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の超解像顕微鏡。
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