JP6252176B2 - ガス分析計 - Google Patents
ガス分析計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6252176B2 JP6252176B2 JP2014000444A JP2014000444A JP6252176B2 JP 6252176 B2 JP6252176 B2 JP 6252176B2 JP 2014000444 A JP2014000444 A JP 2014000444A JP 2014000444 A JP2014000444 A JP 2014000444A JP 6252176 B2 JP6252176 B2 JP 6252176B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- mirrors
- wavelength
- cell
- absorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
図1は、この発明の実施の形態1であるガス分析計1の全体構成を示す模式図である。ガス分析計1は、ガスセル2を有する。ガス濃度測定対象の複数のガス成分G1,G2を含むサンプルガスは、ガスセル2の一端側部に設けられたサンプルガス入口2aからガスセル2に流入し、ガスセル2の他端側部に設けられたサンプルガス出口2bから流出する。なお、ガスセル2には、ガスセル2内のガス温度を測定する温度計3およびガスセル2内のガス圧力を測定する圧力計4が設けられる。
つぎに、この発明の実施の形態2について説明する。図2は、この発明の実施の形態2であるガス分析計1aの全体構成を示す模式図である。この実施の形態2では、実施の形態1のミラーM3,M6に対応するミラーM3a,M6aをそれぞれ圧電素子31,32を介してガスセル2に接続される。具体的に、ミラーM3a,M6aの裏面に圧電素子31,32が取り付けられる。そして、ミラーM3a,M6aは、ガスセル2の内部に設けられる。
つぎに、実施の形態1に対応する実施例について説明する。この実施例では、異なる特定の複数種類のガス成分として、炭素12同位体のメタンガス12CH4と炭素13同位体のメタンガス13CH4との2種類のガス成分のガス濃度を測定する。
1,11,12 レーザ素子
2 ガスセル
2a サンプルガス入口
2b サンプルガス出口
3 温度計
4 圧力計
21,22 光検出器
31,32 圧電素子
C1,C2 光共振器
G1,G2 ガス成分
M1〜M6,M3a,M6a ミラー
λ1,λ2 波長
Claims (4)
- キャビティリングダウン分光法をもとにサンプルガス中の異なる特定の複数種類のガス濃度を同時に測定するガス分析計であって、
前記サンプルガスを流通するガスセルと、
前記ガスセル内で前記異なる特定の複数種類のガスの吸収が観測できるように、光電場が共鳴して存在するように設けられた複数の光共振器と、
前記異なる特定の複数種類のガスの吸収に共鳴する波長でそれぞれ発光する複数のレーザ素子と、
前記複数のレーザ素子の発光波長に対してそれぞれ感度を有し、前記異なる特定の複数種類のガスの吸収を検出する複数の光検出器と、
を備え、
前記複数の光共振器のそれぞれは、前記複数のレーザ素子のそれぞれの発光波長帯域において高反射率を有する複数枚のミラーからなり、前記複数のレーザ素子からのレーザ光がそれぞれ結合されるように配置されることを特徴とするガス分析計。 - 各光共振器を構成する前記複数枚のミラーのうちの少なくとも1枚のミラーは、圧電素子を介して前記ガスセルに接続され、前記圧電素子への電圧印加によって前記複数枚のミラーが形成する光共振器の共振器長を可変設定することを特徴とする請求項1に記載のガス分析計。
- 各共振器を構成する前記複数枚のミラーは、ガスセルの壁面の一部を形成し、前記ガスセルの内部ガスと外部ガスとを隔絶することを特徴とする請求項1に記載のガス分析計。
- 前記異なる特定の複数種類のガスは、炭素12同位体のメタンガスおよび炭素13同位体のメタンガスであり、
炭素12同位体のメタンガスに対する分析波長は、1.6μm帯であり、
炭素13同位体のメタンガスに対する分析波長は、3.2μm帯であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のガス分析計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014000444A JP6252176B2 (ja) | 2014-01-06 | 2014-01-06 | ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014000444A JP6252176B2 (ja) | 2014-01-06 | 2014-01-06 | ガス分析計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015129653A JP2015129653A (ja) | 2015-07-16 |
JP6252176B2 true JP6252176B2 (ja) | 2017-12-27 |
Family
ID=53760487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014000444A Expired - Fee Related JP6252176B2 (ja) | 2014-01-06 | 2014-01-06 | ガス分析計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6252176B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111630370A (zh) * | 2018-01-22 | 2020-09-04 | 积水医疗株式会社 | 碳同位素分析设备以及碳同位素分析方法 |
CN108398393B (zh) * | 2018-04-17 | 2019-12-20 | 中国计量科学研究院 | 一种快速测量温室气体含量的光腔衰荡光谱仪及测量方法 |
JP7440869B2 (ja) * | 2018-11-21 | 2024-02-29 | 積水メディカル株式会社 | 光共振器並びにそれを用いた炭素同位体分析装置及び炭素同位体分析方法 |
CN109580541B (zh) * | 2018-12-07 | 2020-12-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学外差法腔衰荡光谱测量装置及方法 |
CN109682777B (zh) * | 2019-02-28 | 2024-01-23 | 山东非金属材料研究所 | 一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的*** |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4312294B2 (ja) * | 1999-03-26 | 2009-08-12 | 独立行政法人科学技術振興機構 | アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法 |
GB0120027D0 (en) * | 2001-08-16 | 2001-10-10 | Isis Innovation | Spectroscopic breath analysis |
US20060084180A1 (en) * | 2004-10-14 | 2006-04-20 | Barbara Paldus | Method for increasing the dynamic range of a cavity enhanced optical spectrometer |
CA2671122C (en) * | 2006-12-18 | 2013-05-07 | John Cormier | Apparatus and method for rapid and accurate quantification of an unknown, complex mixture |
JP5695301B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2015-04-01 | 理研計器株式会社 | マルチパスセルおよびガス測定器 |
DE102009045458B3 (de) * | 2009-08-28 | 2011-06-22 | Freie Universität Berlin, 14195 | Verfahren zur Bestimmung des 14C-Gehaltes eines Gasgemisches und hierfür geeignete Anordnung |
-
2014
- 2014-01-06 JP JP2014000444A patent/JP6252176B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015129653A (ja) | 2015-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6252176B2 (ja) | ガス分析計 | |
De Cumis et al. | Widely-tunable mid-infrared fiber-coupled quartz-enhanced photoacoustic sensor for environmental monitoring | |
AU2007238517B2 (en) | Measuring water vapor in hydrocarbons | |
EP3218695B1 (en) | Target analyte detection and quantification in sample gases with complex background compositions | |
US8240189B2 (en) | Thermal selectivity multivariate optical computing | |
US8120775B2 (en) | Sensor device and for determining a physical value | |
WO2009119790A1 (ja) | 光分析計及び分析計用波長安定化レーザ装置 | |
WO2018200416A1 (en) | Ultra-sensitive, real-time trace gas detection using high-power, multi-mode semiconductor laser and cavity ringdown spectroscopy | |
WO2006085646A1 (ja) | ガス相関法によるガス濃度測定装置 | |
US20170356842A1 (en) | Real-time trace gas sensor using a multi-mode diode laser and multiple line integrated cavity enhanced absorption spectroscopy | |
US7796261B2 (en) | Spectrophotometer | |
Jahjah et al. | A QEPAS based methane sensor with a 2.35 μm antimonide laser | |
KR20210127719A (ko) | 분자 종의 광학 감지를 위한 분광 장치, 시스템, 및 방법 | |
Tittel et al. | Emerging infrared laser absorption spectroscopic techniques for gas analysis | |
Wang et al. | Gas concentration sensing based on fiber loop ring-down spectroscopy: a review | |
US20050062972A1 (en) | System and method for cavity ring-down spectroscopy using continuously varying continuous wave excitation | |
Mitra | Mid-infrared spectroscopy and challenges in industrial environment | |
JP5188858B2 (ja) | 光分析装置 | |
Lambrecht | Quantum cascade lasers, systems, and applications in Europe | |
Bleotu et al. | Setup for quantum cascade lasers characterisation using the Labview programming environment | |
JP2016080431A (ja) | 光プローブ、測定装置及び測定方法 | |
Werle | Fundamentals of spectral detection | |
WO2024090042A1 (ja) | 分析装置、レーザ素子の駆動方法、及び、分析方法 | |
Fanchenko et al. | Multicomponent hydrocarbons monitoring by infrared LED arrays | |
Dakin et al. | Optical fibre chemical sensing using direct spectroscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171020 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171031 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171113 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6252176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |