JP6247967B2 - 除電装置 - Google Patents

Description

本発明は、除電対象物を除電する除電装置に関する。

半導体デバイス等の製造が行われるクリーンルームには、例えば空気中の静電気を除去するため、または製造対象となるワークの帯電を防止するために除電装置が用いられる。特許文献１に記載された除電装置は、装置本体およびルーバを備える。装置本体には放電電極およびファンが収納される。放電電極より発生したイオンがファンの回転により、ルーバを介して外部に送り出される。

ルーバは、フレーム内に格子状に設けられたフィンを含む。ファンの径方向に関して中央側のフィンの部分ほどファンの軸方向に関して厚く形成される。ファンにより押し出されたイオン流は、フィンの厚く形成された部分により直進方向に進行するように規制される。これにより、イオン流の直進性が高められ、より広範囲のエリアに対して除電効果が得られる。

特開２００７−３１１２２９号公報

除電装置による除電効果は、除電対象物の周囲の環境により変化する。したがって、季節によっては特許文献１の除電装置の除電効果では不十分になることがある。

本発明の目的は、周囲の環境によらず十分に除電を行うことが可能な除電装置を提供することである。

（１）第１の発明に係る除電装置は、対象物の除電を行う除電装置であって、空気を加湿して加湿空気を生成する加湿空気生成部と、加湿空気生成部により生成された加湿空気を流出させる流出口を有する保持体と、保持体に保持される１または複数の除電電極と、保持体に保持される電極と、コロナ放電を発生させるために１または複数の除電電極と電極との間に電圧を印加する電源装置と、空気を温度調整する温度調整部と、流出口から流出する加湿空気の絶対湿度が対象物の周囲の空気の飽和水蒸気量以下になるように温度調整部を制御する第１の制御部とを備え、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが流出口から流出される加湿空気により送り出されるように保持体に配置され、加湿空気生成部は、温度調整部により温度調整された空気を加湿する。

この除電装置においては、空気が加湿空気生成部により加湿されることにより、加湿空気が生成される。加湿空気は、保持体の流出口から流出される。また、保持体には、１または複数の除電電極および電極が保持される。１または複数の除電電極と電極との間には、電源装置によりコロナ放電を発生させるための電圧が印加される。

ここで、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが加湿空気により送り出されるように保持体に配置される。この構成によれば、加湿空気が対象物に供給されることにより対象物が除電されるとともに、イオンが対象物に供給されることにより対象物がさらに除電される。また、湿度が低い空気によりイオンが送り出される場合よりも除電効果が向上する。さらに、湿度が低い環境下でも一定以上の除電効果が得られる。その結果、周囲の環境によらず十分に除電を行うことが可能になる。

また、除電装置は、空気を温度調整する温度調整部をさらに備え、加湿空気生成部は、温度調整部により温度調整された空気を加湿する。

この場合、空気が温度調整されるので、空気が加湿空気生成部から取得可能な水分量を増加させることができる。これにより、除電効率をより向上させることができる。

さらに、除電装置は、流出口から流出する加湿空気の絶対湿度が対象物の周囲の空気の飽和水蒸気量以下になるように温度調整部を制御する第１の制御部をさらに備える。

この場合、対象物に供給される加湿空気の絶対湿度は、対象物の周囲の空気の飽和水蒸気量以下になる。これにより、対象物の結露を防止することができる。

（２）除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気の温度を測定する温度測定部と、外部空気の温度を取得する外部温度取得部とをさらに備え、第１の制御部は、温度測定部により測定された加湿空気の温度が外部温度取得部により取得された外部空気の温度以下になるように温度調整部を制御してもよい。

この場合、温度測定部により測定された加湿空気の温度および外部温度取得部により取得された外部空気の温度に基づいて、対象物の結露を容易に防止することができる。また、この構成によれば、除電装置の内部および流出口の相対湿度を直接測定する必要がないので、除電装置の構成を簡単にすることができる。

（３）除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気の温度を測定する温度測定部と、外部空気の温度を取得する外部温度取得部と、目標相対湿度を入力するための入力部と、温度測定部により測定された加湿空気の温度に基づいて加湿空気の絶対湿度を推定し、絶対湿度に基づいて算出される外部温度取得部により取得された外部空気の温度における相対湿度が目標相対湿度となるように温度調整部を制御する第２の制御部とをさらに備えてもよい。

この場合、温度測定部により測定された加湿空気の温度および外部温度取得部により取得された外部空気の温度に基づいて、容易に湿度制御を行うことができる。また、この構成によれば、除電装置の内部および流出口の絶対湿度および相対湿度を直接測定する必要がないので、除電装置の構成を簡単にすることができる。

（４）電極は、互いに対向するように配置される第１および第２の対向電極を含み、１または複数の除電電極は、第１の対向電極と第２の対向電極との間に配置され、流出口は、第１の対向電極と１または複数の除電電極との間に加湿空気を流出させる第１の流出口と、第２の対向電極と１または複数の除電電極との間に加湿空気を流出させる第２の流出口とを含んでもよい。

この場合、第１の対向電極と１または複数の除電電極との間で生成されるイオンが第１の流出口から流出される加湿空気により送り出される。また、第２の対向電極と１または複数の除電電極との間で生成されるイオンが第２の流出口から流出される加湿空気により送り出される。この構成によれば、各除電電極の両側に生成されるイオンを加湿空気で効率的に送り出すことが可能である。したがって、対象物を効率よく除電することができる。

（５）１または複数の除電電極は、流出口から流出される加湿空気中に位置するように設けられてもよい。

この場合、各除電電極の周囲に生成されるイオンを加湿空気で効率的に送り出すことが可能になる。したがって、対象物を効率よく除電することが容易になる。

（６）電極は、各除電電極の周囲を環状に取り囲むように形成され、流出口は、各除電電極と電極との間の環状の領域に加湿空気を流出させてもよい。

この場合、各除電電極の周囲に生成されるイオンを加湿空気で効率的に送り出すことが可能になる。したがって、対象物を効率よく除電することが容易になる。

（７）保持体は、内部空間、流入口および流出口を有するとともに１または複数の除電電極の少なくとも一部を収容する筐体を含み、除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気を筐体の流入口に導く供給管をさらに備えてもよい。

この場合、加湿空気生成部により生成された加湿空気が供給管により筐体に導かれる。そのため、筐体と加湿空気生成部とを離間させることができる。これにより、筐体の１または複数の除電電極を対象物の付近に配置することが容易になる。その結果、除電効率を向上させることができる。

（８）第２の発明に係る除電装置は、対象物の除電を行う除電装置であって、空気を加湿して加湿空気を生成する加湿空気生成部と、加湿空気生成部により生成された加湿空気を流出させる流出口を有する保持体と、保持体に保持される１または複数の除電電極と、保持体に保持される電極と、コロナ放電を発生させるために１または複数の除電電極と電極との間に電圧を印加する電源装置とを備え、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが流出口から流出される加湿空気により送り出されるように保持体に配置され、保持体は、内部空間、流入口および流出口を有するとともに１または複数の除電電極の少なくとも一部を収容する筐体を含み、除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気を筐体の流入口に導く供給管をさらに備え、筐体は第１および第２の筐体を含み、１または複数の除電電極は、第１の筐体に保持される第１の数の第１の除電電極と、第２の筐体に保持される第２の数の第２の除電電極とを含み、第１の数は第２の数よりも多く、電極は、第１の筐体に保持される第１の電極と、第２の筐体に保持される第２の電極とを含み、電源装置は、第１の除電電極と第１の電極との間に電圧を印加する第１の電源装置と、第２の除電電極と第２の電極との間に電圧を印加する第２の電源装置とを含み、第１の筐体、第１の除電電極、第１の電極および第１の電源装置が第１の除電ヘッドを構成し、第２の筐体、第２の除電電極および第２の電極が第２の除電ヘッドを構成し、第１および第２の除電ヘッドは、選択的に加湿空気生成部に接続および取り外し可能に構成される。

この除電装置においては、空気が加湿空気生成部により加湿されることにより、加湿空気が生成される。加湿空気は、保持体の流出口から流出される。また、保持体には、１または複数の除電電極および電極が保持される。１または複数の除電電極と電極との間には、電源装置によりコロナ放電を発生させるための電圧が印加される。
ここで、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが加湿空気により送り出されるように保持体に配置される。この構成によれば、加湿空気が対象物に供給されることにより対象物が除電されるとともに、イオンが対象物に供給されることにより対象物がさらに除電される。また、湿度が低い空気によりイオンが送り出される場合よりも除電効果が向上する。さらに、湿度が低い環境下でも一定以上の除電効果が得られる。その結果、周囲の環境によらず十分に除電を行うことが可能になる。
また、保持体は、内部空間、流入口および流出口を有するとともに１または複数の除電電極の少なくとも一部を収容する筐体を含み、除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気を筐体の流入口に導く供給管をさらに備える。この場合、加湿空気生成部により生成された加湿空気が供給管により筐体に導かれる。そのため、筐体と加湿空気生成部とを離間させることができる。これにより、筐体の１または複数の除電電極を対象物の付近に配置することが容易になる。その結果、除電効率を向上させることができる。
さらに、用途および対象物の形状に応じて加湿空気生成部に接続する除電ヘッドを選択することができる。第２の除電ヘッドの第２の除電電極は、第１の除電ヘッドの第１の除電電極よりも少ない。また、第２の除電ヘッドは第２の電源装置を含まなくてもよいので、第２の除電ヘッドは、第１の除電ヘッドよりも小型化することが容易になる。したがって、第１の除電ヘッドを用いることにより比較的広い範囲または比較的大型の対象物を容易に除電することができ、第２の除電ヘッドを用いることにより比較的狭い範囲または比較的小型の対象物を容易に除電することができる。

（９）保持体は、流出口を有するとともに１または複数の除電電極の少なくとも一部および加湿空気生成部を収容する筐体を含んでもよい。

この場合、流出口、１または複数の除電電極の少なくとも一部および加湿空気生成部が一体的に設けられる。これにより、除電装置の構成を単純にし、かつ除電装置をコンパクト化および軽量化することができる。

（１０）電極は、各除電電極に垂直でかつ各除電電極の先端に位置する平面に交差するように配置されてもよい。

この場合、コロナ放電の効率が向上する。これにより、除電効率をより向上させることができる。

（１１）除電装置は、保持体に保持される整流板をさらに備え、整流板は、流出口から流出される加湿空気を一定方向に整流するように設けられてもよい。

この場合、流出口から送り出される加湿空気が、流出口の周囲の空気中で拡散することが抑制される。これにより、遠方まで加湿空気が送り出される。その結果、除電効率をより向上させることができる。

（１２）１または複数の除電電極は、加湿空気の流出方向において整流板の先端よりも突出するように配置されてもよい。

この場合、生成されたイオンが整流板に帯電することが低減される。これにより、除電効率をより向上させることができる。

本発明によれば、周囲の環境によらず十分に除電を行うことが可能になる。

本発明の第１の実施の形態に係る除電装置の外観斜視図である。 図１の除電装置の加湿空気生成部の内部構成を示す模式図である。 第１の例における除電ヘッドを示す外観斜視図である。 図３の除電ヘッドの幅方向の縦断面図である。 図３のＡ部の拡大図である。 図３の除電ヘッドの長手方向の断面図である。 図３の除電ヘッドの幅方向の断面斜視図である。 図７のＢ部の拡大断面図である。 第２の例における除電ヘッドを示す外観斜視図である。 図９の除電ヘッドの縦断面図である。 図９の除電ヘッドの整流板ユニットの正面図である。 図９のＣ部の拡大図である。 第３の例における除電ヘッドを示す外観斜視図である。 図１３の除電ヘッドの縦断面図である。 制御部による加湿空気の温度制御処理の一例を示すフローチャートである。 制御部による加湿空気の温度制御処理の他の例を示すフローチャートである。 第２の実施の形態に係る除電装置の模式的な外観斜視図である。 図１７のＤ部の拡大図である。 他の方式における加湿フィルタの構成を示す模式的である。 除電ヘッドの整流板ユニットの第１の変形例を示す平面図である。 除電ヘッドの整流板ユニットの第２の変形例を示す平面図である。 実施例１の除電ヘッドおよびそれを用いた除電装置の除電性能を示す図である。 実施例２〜４の除電ヘッドを用いた除電装置の除電性能を示す図である。 実施例５〜７の除電ヘッドを用いた除電装置の除電性能を示す図である。 実施例８の除電ヘッドの複数の隔壁を示す図である。 実施例９の除電ヘッドの複数の隔壁を示す図である。 実施例１０の除電ヘッドの複数の隔壁を示す図である。 実施例１１の除電ヘッドの複数の隔壁を示す図である。 実施例８〜１１の除電ヘッドを用いた除電装置の除電性能を示す図である。 実施例１２〜１５の除電ヘッドを示す図である。 実施例１２〜１５の除電ヘッドを用いた除電装置の除電性能を示す図である。 実施例１６〜１９の除電ヘッドを示す図である。 実施例１６〜１９の除電ヘッドを用いた除電装置の除電性能を示す図である。 整流板が設けられない場合における除電ヘッドを示す外観斜視図である。 除電ヘッドからの位置と空気の相対湿度との関係を示すグラフである。

［１］第１の実施の形態
以下、本発明の第１の実施の形態に係る除電装置について図面を参照しながら説明する。

（１）除電装置の構成
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る除電装置の外観斜視図である。図１に示すように、除電装置１００は、除電ヘッド２００および加湿空気生成部３００により構成される。除電ヘッド２００と加湿空気生成部３００とが蛇腹状のホース１０１により接続される。図１においては、ホース１０１の一端部および他端部のみが図示されている。加湿空気生成部３００には、種々の除電ヘッド２００を接続することができる。図１には、後述する第１の例の除電ヘッド２００が示される。

図２は、図１の除電装置の加湿空気生成部の内部構成を示す模式図である。図２に示すように、加湿空気生成部３００は、筺体３１０、ヒータ３２０、加湿フィルタ３３０、ターボファン３４０、電子基板３５０およびヒートシンク３６０を含む。本例においては、加湿空気生成部３００は、ハイブリッド気化方式により加湿空気を生成する。ハイブリッド気化方式では、ヒータ３２０で空気を加熱することにより空気が気化方式の加湿フィルタ３３０から取得可能な水分量を増加させることができる。

筺体３１０は、４つの側面部３１０ａ、底面部３１０ｂおよび上面部３１０ｃからなる略直方体状を有する。筺体３１０内にヒータ３２０、加湿フィルタ３３０、ターボファン３４０、電子基板３５０およびヒートシンク３６０が配置される。筺体３１０の１つの側面部３１０ａの上部には、筺体３１０の内部に空気を流入させるための空気流入口３１１が形成される。筺体３１０の上面部３１０ｃには、筺体３１０の内部の空気を流出させるための空気流出口３１２が形成される。空気流出口３１２には図１のホース１０１の一端が接続される。

筺体３１０の上面部３１０ｃには、表示部３１３（図１参照）が設けられている。表示部３１３は、例えばＬＥＤ（発光ダイオード）パネルからなり、除電装置１００の動作状態等を表示する。また、除電装置１００の使用者は、表示部３１３を操作することにより、予め除電対象物の表面における相対湿度の設定値を入力または選択することができる。これにより、使用者の所望の設定値になるように除電対象物の表面の相対湿度を制御することができる。その結果、除電対象物を結露させることなく除電対象物を除電することが可能となる。詳細は後述する。

筺体３１０の内部における空気の流路を図２に太い点線の矢印で示す。空気流入口３１１から筺体３１０内に流入した空気は、水平方向に進行した後、下方に進行してヒータ３２０を通過する。これにより、空気が加熱される。ヒータ３２０を通過した空気は、筺体３１０内の下部において、水平方向に進行して加湿フィルタ３３０を通過する。

加湿フィルタ３３０は、水が供給された加湿材を含む。加湿材は、例えば不織布である。加湿材は、例えば多孔質の透湿膜を用いた透湿膜式の加湿材であってもよい。加湿材は、空気との接触面積を増加させるためにコルゲート形状（段ボールの断面形状）またはプリーツ状（アコーディオンの形状）に織られている。

本例においては、加湿材の一部が水に浸されることにより毛細管現象で加湿材の全体に水が供給される毛細管式が採用される。加湿材の上部から水が滴下されることにより加湿材の全体に水が供給される滴下浸透式が採用されてもよい。あるいは、加湿材の一部が水に浸された状態で加湿材が回転されることにより加湿材の全体に水が供給される回転式が採用されてもよい。

空気が加湿フィルタ３３０の加湿材を通過することにより、加湿材から水分を取得する。これにより、空気の湿度が増加する。加湿フィルタ３３０を通過した空気は加湿空気として上方に進行し、ターボファン３４０により空気流出口３１２に接続されたホース１０１に送り出される。ターボファン３４０の付近には、加湿フィルタ３３０を通過した加湿空気の温度を測定するための温度測定部３１４が配置される。

温度測定部３１４の近傍に加湿フィルタ３３０を通過した加湿空気の相対湿度を測定するための相対湿度測定部が設けられてもよい。あるいは、温度測定部３１４近傍における加湿フィルタ３３０を通過した加湿空気の相対湿度が９０％〜９５％程度になるように予め設計されていてもよい。温度および相対湿度に基づいて、加湿空気の絶対湿度または所定温度における加湿空気の相対湿度を推定することができる。ここで、本実施の形態における絶対湿度は、容積絶対湿度であり、大気の単位容積［ｍ^３］当たりに含まれる水蒸気の質量［ｇ］を意味する。

電子基板３５０には、ヒータ３２０およびターボファン３４０の動作を制御するＣＰＵ（中央演算処理装置）等を含む制御部３５１が実装される。また、電子基板３５０には、ヒータ３２０、ターボファン３４０および制御部３５１等に電力を供給する電源装置３５２が実装される。ヒートシンク３６０は、電子基板３５０に配置される。ヒートシンク３６０は、電子基板３５０上の発熱部品を冷却する。

（２）除電ヘッド
（ａ）第１の例
図３は、第１の例における除電ヘッド２００を示す外観斜視図である。図４は、図３の除電ヘッド２００の幅方向の縦断面図である。図５は、図３のＡ部の拡大図である。図６は、図３の除電ヘッド２００の長手方向の断面図である。図７は、図３の除電ヘッド２００の幅方向の断面斜視図である。図８は、図７のＢ部の拡大断面図である。以下、図３の第１の例における除電ヘッド２００を除電ヘッド２００Ａと呼ぶ。

図３〜図６に示すように、除電ヘッド２００Ａは、筺体２１０、複数の除電針２２０（図６）、一対のグランド電極２３０（図４）および複数の整流板２４０（図４および図６）を含む。一対のグランド電極２３０は互いに電気的に接続されている。除電ヘッド２００Ａの筺体２１０は、略矩形状の断面を有するとともに一方向（長手方向）に沿って長尺状に延びる。筺体２１０の長手方向における長さは、例えば４００ｍｍである。筺体２１０の長手方向における長さは、例えば７００ｍｍであってもよいし、１０００ｍｍであってもよい。あるいは、筺体２１０の長手方向における長さは、１０００ｍｍを超えてもよい。

図３に示すように、筺体２１０の一端部には、筺体２１０の内部に加湿空気を流入させるための空気流入口２１１が形成される。筺体２１０の下面には、筺体２１０の内部の加湿空気を流出させるための一対の空気流出口２１２が形成される。空気流入口２１１は、筺体２１０の長手方向における一端面に設けられる。空気流入口２１１には図１のホース１０１の他端が接続される。空気流入口２１１のホース１０１を通して加湿空気生成部３００から筺体２１０に加湿空気が流入される。流入された加湿空気は、空気流出口２１２から除電対象物に噴出される。

図６に示すように、筺体２１０の内部には、筺体２１０内の加湿空気の温度を測定する温度測定部２１４が設けられる。温度測定部２１４は、加湿空気に直接接触せず、筺体２１０の外部の空気に接触する位置に配置される。これにより、筺体２１０の外部の空気の温度を測定することが可能になる。

また、筺体２１０の内部には、電源装置２１５が設けられる。筺体２１０の下面の幅方向における略中央部には、長手方向に沿って並ぶように複数（図６の例では５個）の円形の開口部２１３が形成される。複数の除電針２２０が、下方（筺体２１０の外方）を向くように筺体２１０の内部に設けられる。

図５に示すように、各開口部２１３から除電針２２０が突出する。開口部２１３の周囲には、複数（本例では４個）の突起部２１８が設けられる。複数の突起部２１８の下面は除電針２２０の先端よりも下方に位置する。これにより、複数の突起部２１８は、除電針２２０を保護する機能を有する。複数の突起部２１８により除電針２２０が除電対象物または他の物体に衝突した場合でも除電針２２０の針先が曲がることが防止される。

図４および図８に示すように、グランド電極２３０は、長手方向に延びるように筺体２１０の幅方向における両側面の下部に設けられる。空気流出口２１２は、長手方向に沿って延びるように筺体２１０の幅方向における両端部に設けられる。したがって、一方の空気流出口２１２は、一方のグランド電極２３０と複数の除電針２２０との間に位置し、他方の空気流出口２１２は、他方のグランド電極２３０と複数の除電針２２０との間に位置する。各空気流出口２１２には、複数の平面状の整流板２４０が配置される。

除電針２２０とグランド電極２３０とを結ぶ直線上に隣り合う２つの突起部２１８間の間隙が位置する。この場合、除電針２２０の針先とグランド電極２３０との間に障害物が配置されないので、除電針２２０とグランド電極２３０との間で効率よくコロナ放電を発生させることができる。

図６および図７に矢印で示すように、空気流入口２１１から流入した加湿空気は、長手方向に進行し、整流板２４０により下方向に整流されつつ空気流出口２１２から流出される。整流板２４０は、空気流出口２１２から噴出される加湿空気が筺体２１０の周囲の空気中で拡散することを抑制する。これにより、除電ヘッド２００はより遠方まで加湿空気を噴出することができる。

図８に示すように、各除電針２２０は、加湿空気が流出する方向（本例においては下方向）において、各整流板２４０よりも距離Ｌだけ突出するように配置される。図６の筺体２１０内の電源装置２１５により、複数の除電針２２０とグランド電極２３０との間に高電圧が印加される。これにより、複数の除電針２２０とグランド電極２３０との間でコロナ放電が発生する。コロナ放電によりイオンが生成される。発生されたイオンは、空気流出口２１２から流出する加湿空気により送り出され、除電対象物に噴出される。

このように、除電ヘッド２００Ａにおいては、一方のグランド電極２３０と複数の除電針２２０との間で生成されるイオンが一方の空気流出口２１２から流出される加湿空気により送り出される。また、他方のグランド電極２３０と複数の除電針２２０との間で生成されるイオンが他方の空気流出口２１２から流出される加湿空気により送り出される。

この構成によれば、複数の除電針２２０の両側に生成されるイオンが加湿空気で効率的に送り出される。これにより、広範囲に渡って除電が行われるので、除電ヘッド２００Ａは、例えば幅広の除電対象物またはライン状の除電対象物（例えば紙、フィルムまたはガラス）の除電に適する。

（ｂ）第２の例
図９は、第２の例における除電ヘッド２００を示す外観斜視図である。図１０は、図９の除電ヘッド２００の縦断面図である。図１１は、図９の除電ヘッド２００の整流板ユニットの正面図である。図１２は、図９のＣ部の拡大図である。以下、図９の第２の例における除電ヘッド２００を除電ヘッド２００Ｂと呼ぶ。

図９に示すように、除電ヘッド２００Ｂの筺体２１０は略円盤形状を有する。筺体２１０の一面（背面）に空気流入口２１１が設けられる。他面（前面）に複数の空気流出口２１２が設けられる。図１０に示すように、筺体２１０の内部には、筺体２１０の外部の空気の温度を測定する温度測定部２１４が設けられる。温度測定部２１４は、加湿空気に直接接触せず、筺体２１０の外部の空気に接触する位置に配置される。これにより、筺体２１０の外部の空気の温度を測定することが可能になる。また、筺体２１０の内部には、電源装置２１５が設けられる。

図９に示すように、複数の除電針２２０が、略等しい角度間隔でかつ前方を向くように筺体２１０の内部に設けられる。本例では、６個の除電針２２０が約６０°の間隔で配置される。また、筺体２１０の前面にグランド電極２３０が配置される。グランド電極２３０は、内電極２３１、複数の接続電極２３２および外電極２３３を含む。

内電極２３１は、筺体２１０の前面の略中心を取り囲む円環形状を有する電極である。外電極２３３は、内電極２３１と同心でかつ内電極２３１を取り囲む円環形状を有する電極である。複数の接続電極２３２は、内電極２３１と外電極２３３とを電気的に接続する。本例においては、６個の接続電極２３２は、約６０°間隔で配置される。

図１１に示すように、除電ヘッド２００Ｂには、複数の整流板２４０を含む整流板ユニット２４０Ｕが設けられる。整流板ユニット２４０Ｕは、複数の整流板２４０に加えて、保持部材２４１、複数の保持部材２４２、保持部材２４３，２４４，２４５および複数の隔壁２４６を含む。

複数の整流板２４０および複数の隔壁２４６は一体的に形成される。複数の整流板２４０および複数の隔壁２４６は、複数の正六角形からなるハニカム構造を形成するように配置される。複数の隔壁２４６により形成される各正六角形の内部が開口部２１３となる。

保持部材２４１，２４３〜２４５は、円環形状を有し、内側からこの順で同心に形成される。複数の保持部材２４２は、保持部材２４１と保持部材２４３とを接続する。本例においては、６個の保持部材２４２が約６０°間隔で配置される。本例においては、複数の開口部２１３が、保持部材２４１、隣り合う２つの保持部材２４２および保持部材２４３により取り囲まれる複数の領域にそれぞれ配置される。

保持部材２４４，２４５は図９の筺体２１０に固定される。これにより、筺体２１０に整流板ユニット２４０Ｕが固定される。整流板ユニット２４０Ｕが筺体２１０に固定された状態において、図９の内電極２３１が保持部材２４１上に位置する。図９の複数の接続電極２３２は複数の保持部材２４２上にそれぞれ位置する。図９の外電極２３３は保持部材２４３〜２４５上に位置する。

この構成によれば、図１２に示すように、各除電針２２０が複数の隔壁２４６により取り囲まれる。これにより、複数の開口部２１３からそれぞれ複数の除電針２２０が突出する。また、各除電針２２０が内電極２３１、接続電極２３２および外電極２３３により取り囲まれる。

図１０に矢印で示すように、空気流入口２１１から流入した加湿空気が、整流板２４０により一方向に整流されつつ空気流出口２１２から流出される。本例においては、除電針２２０が存在する開口部２１３からも加湿空気が流出される。したがって、各除電針２２０は、空気流出口２１２から流出される加湿空気中に位置する。各除電針２２０は、加湿空気が流出する方向（本例においては前方）において、各整流板２４０よりも距離Ｌだけ突出するように配置される。

筺体２１０内の電源装置２１５により、複数の除電針２２０とグランド電極２３０との間に高電圧が印加される。これにより、複数の除電針２２０とグランド電極２３０との間でコロナ放電が発生する。コロナ放電によりイオンが生成される。発生されたイオンは、複数の空気流出口２１２から流出する加湿空気により送り出され、除電対象物に噴出される。

本例においては、各除電針２２０の針先とグランド電極２３０との間の障害物が削減されるように、各除電針２２０を取り囲む複数の隔壁２４６の一部に切り欠きが形成される。これにより、複数の隔壁２４６により除電針２２０を保護しつつ複数の除電針２２０とグランド電極２３０との間で効率よくコロナ放電を発生させることができる。

このように、除電ヘッド２００Ｂにおいては、複数の除電針２２０が空気流出口２１２から流出される加湿空気中に位置するように設けられる。それにより、各除電針２２０の周囲に生成されるイオンが加湿空気で効率的に送り出される。この構成によれば、筺体２１０に比較的多数の除電針２２０を設けることが可能である。これにより、広範囲に渡って除電が行われるので、除電ヘッド２００Ｂは、例えば、セル生産における除電対象物またはパーツフィーダ上の小型部品の除電に適する。

（ｃ）第３の例
図１３は、第３の例における除電ヘッド２００を示す外観斜視図である。図１４は、図１３の除電ヘッド２００の縦断面図である。以下、図１３の第３の例における除電ヘッド２００を除電ヘッド２００Ｃと呼ぶ。

図１３および図１４に示すように、除電ヘッド２００Ｃの筺体２１０は略円筒形状を有する。筺体２１０の一端部（以下、後端部と呼ぶ）に空気流入口２１１が設けられ、他端部（以下、先端部と呼ぶ）に空気流出口２１２が設けられる。除電針２２０が先端を向くように筺体２１０の内部に設けられる。図１４に示すように、筺体２１０の内部には、筺体２１０の外部の空気の温度を測定する温度測定部２１４が設けられる。温度測定部２１４は、加湿空気に直接接触せず、筺体２１０の外部の空気に接触する位置に配置される。これにより、筺体２１０の外部の空気の温度を測定することが可能になる。なお、本例においては、筺体２１０の内部に電源装置が設けられない。

筺体２１０の先端部には、複数の整流板２４０を含む整流板ユニット２４０Ｕが設けられる。整流板ユニット２４０Ｕは、複数の整流板２４０に加えて、筐体２４７および隔壁２４８を含む。

複数の整流板２４０および隔壁２４８は一体的に形成される。隔壁２４８は円筒形状を有する。隔壁２４８の内部が開口部２１３となる。複数の整流板２４０は、隔壁２４８を取り囲み、かつハニカム構造を形成するように配置される。筐体２４７は円筒形状を有する。複数の整流板２４０および隔壁２４８は、筐体２４７の内部に保持される。

筐体２４７は筺体２１０に固定される。これにより、筺体２１０に整流板ユニット２４０Ｕが固定される。整流板ユニット２４０Ｕが筺体２１０に固定された状態において、除電針２２０が隔壁２４８により取り囲まれる。これにより、開口部２１３から除電針２２０が突出する。整流板ユニット２４０Ｕの筐体２４７の外周面に円筒形状を有するグランド電極２３０が嵌め込まれる。空気流出口２１２は隔壁２４８とグランド電極２３０との間の円環状の領域に位置する。

図１４に矢印で示すように、空気流入口２１１から流入した加湿空気が、整流板２４０により一方向に整流されつつ空気流出口２１２から流出される。除電針２２０は、加湿空気が流出する方向（本例においては先端方向）において、各整流板２４０よりも距離Ｌだけ突出するように配置される。

除電ヘッド２００Ｃにおいては、図２の加湿空気生成部３００の図示しない高電圧電源により、除電針２２０とグランド電極２３０との間に高電圧が印加される。これにより、除電針２２０とグランド電極２３０との間でコロナ放電が発生する。コロナ放電によりイオンが生成される。発生されたイオンは、複数の空気流出口２１２から流出する加湿空気により送り出され、除電対象物に噴出される。

このように、除電ヘッド２００Ｃにおいては、グランド電極２３０が除電針２２０の周囲を環状に取り囲むように形成され、空気流出口２１２は除電針２２０とグランド電極２３０との間の環状の領域に加湿空気を流出させる。それにより、除電針２２０の周囲に生成されるイオンが加湿空気で効率的に送り出される。この構成によれば、筺体２１０が細く形成される。これにより、狭い範囲に限定して除電が行われるので、除電ヘッド２００Ｃは、例えば、出射成型された部品または電子部品等の小型部品の除電に適する。

（３）加湿空気の温度制御処理
図２の加湿空気生成部３００の制御部３５１は、除電ヘッド２００から噴出される加湿空気により除電対象物が結露しないように、加湿空気の温度制御処理を実行する。図１５は、制御部３５１による加湿空気の温度制御処理を示すフローチャートである。

制御部３５１は、図２の温度測定部３１４から加湿空気生成部３００の筺体３１０内の加湿空気の温度を取得する（ステップＳ１）。なお、温度測定部３１４は、ターボファン３４０の付近に設けられている。したがって、温度測定部３１４により取得される温度は、ターボファン３４０の付近の加湿空気の温度である。

本例においては、図２の加湿フィルタ３３０を通過した加湿空気の相対湿度は予め９０〜９５％程度になるように設定されている。制御部３５１は、予め設定された相対湿度および温度測定部３１４から取得した温度に基づいて、加湿空気生成部３００の筺体３１０内の加湿空気の絶対湿度を算出する（ステップＳ２）。

次に、制御部３５１は、図６、図１０または図１４の温度測定部２１４から除電ヘッド２００の周囲の空気の温度を取得する（ステップＳ３）。表示部３１３は、使用者により除電ヘッド２００の周囲の温度を入力可能に構成されていてもよい。この場合、除電ヘッド２００に温度測定部２１４が設けられなくてもよい。制御部３５１は、入力された除電ヘッド２００の周囲の温度を表示部３１３から取得することができる。続いて、制御部３５１は、温度測定部２１４または表示部３１３から取得した温度に基づいて、除電ヘッド２００の周囲の空気の飽和水蒸気量を算出する（ステップＳ４）。

その後、制御部３５１は、算出された除電ヘッド２００の筺体２１０内の加湿空気の絶対湿度が除電ヘッド２００の周囲の空気の飽和水蒸気量以下であるか否か判定する（ステップＳ５）。ステップＳ５において、除電ヘッド２００の筺体２１０内の加湿空気の絶対湿度が除電ヘッド２００の周囲の空気の飽和水蒸気量以下である場合、制御部３５１はヒータ３２０の出力を増加させる（ステップＳ６）。その後、制御部３５１はステップＳ１の処理に戻る。

一方、ステップＳ５において、除電ヘッド２００の筺体２１０内の加湿空気の絶対湿度が除電ヘッド２００の周囲の空気の飽和水蒸気量を超える場合、制御部３５１はヒータ３２０の出力を減少させる（ステップＳ７）。その後、制御部３５１はステップＳ１の処理に戻る。以上の手順を繰り返すことにより、除電対象物を結露させることなく除電対象物を除電することが可能となる。

図１６は、制御部３５１による加湿空気の温度制御処理の他の例を示すフローチャートである。図１６のステップＳ１１〜Ｓ１３の処理は、図１５のステップＳ１〜Ｓ３の処理と同様である。

ステップＳ１３の処理の後、制御部３５１は、目標相対湿度を図１の表示部３１３から取得する（ステップＳ１４）。目標相対湿度は、対象物の周囲の空気の相対湿度の目標値であってもよいし、簡易的には、除電ヘッド２００から噴出される加湿空気が除電ヘッド２００の周囲の空気の温度となったときの相対湿度の目標値としてもよい。あるいは、目標相対湿度は、図２の電子基板３５０に実装された図示しないメモリに予め記憶されていてもよい。次に、制御部３５１は、温度測定部２１４または表示部３１３から取得した温度に基づいて、目標相対湿度を絶対湿度に換算する（ステップＳ１５）。

その後、制御部３５１は、算出された除電ヘッド２００の筺体２１０内の加湿空気の絶対湿度が換算された絶対湿度以下であるか否か判定する（ステップＳ１６）。ステップＳ１６において、除電ヘッド２００の筺体２１０内の加湿空気の絶対湿度が換算された絶対湿度以下である場合、制御部３５１はヒータ３２０の出力を増加させる（ステップＳ１７）。その後、制御部３５１はステップＳ１１の処理に戻る。

一方、ステップＳ１６において、除電ヘッド２００の筺体２１０内の加湿空気の絶対湿度が換算された絶対湿度を超える場合、制御部３５１はヒータ３２０の出力を減少させる（ステップＳ１８）。その後、制御部３５１はステップＳ１１の処理に戻る。以上の手順を繰り返すことにより、除電対象物を結露させることなく除電対象物を除電することが可能となる。

ステップＳ１５の処理に代えて、加湿空気生成部３００の筺体３１０内の加湿空気の絶対湿度、および温度測定部２１４または表示部３１３により取得された温度に基づいて、除電ヘッド２００の周囲の空気の相対湿度が算出されてもよい。この場合、ステップＳ１６の処理において、算出された除電対象物の周囲の空気の相対湿度が目標相対湿度以下であるか否かが判定される。

算出された除電対象物の周囲の空気の相対湿度が目標相対湿度以下である場合、ヒータ３２０の出力が増加される。一方、算出された除電対象物の周囲の空気の相対湿度が目標相対湿度を超える場合、ヒータ３２０の出力が減少される。

制御部３５１の他の機能として、制御部３５１は、温度測定部３１４により測定される温度が温度測定部２１４または表示部３１３により取得される温度となるようにヒータ３２０を制御する。当該処理におけるヒータ３２０の制御、図１５の処理におけるヒータ３２０の制御および図１６の処理におけるヒータ３２０の制御は、単一の制御部３５１により行われてもよいし、それぞれ別個の制御部により行われてもよい。

制御部３５１のさらに他の機能として、制御部３５１は、イオン電流を測定することによりイオンバランスのフィードバック制御を行う機能を有してもよい。さらに、制御部３５１は、イオンの量を検出する機能または異常放電が発生した場合に警報を出力する機能を有してもよい。

（４）効果
本実施の形態に係る除電装置１００においては、加湿空気生成部３００により生成された加湿空気が、除電ヘッド２００の空気流出口２１２から流出される。除電ヘッド２００には、１または複数の除電針２２０およびグランド電極２３０が保持される。１または複数の除電針２２０とグランド電極２３０との間には、コロナ放電を発生させるための高電圧が印加される。

１または複数の除電針２２０は、コロナ放電により生成されるイオンが加湿空気により送り出されるように除電ヘッド２００に配置される。この構成によれば、加湿空気が除電対象物に供給されることにより除電対象物が除電されるとともに、イオンが除電対象物に供給されることにより除電対象物がさらに除電される。また、湿度が低い空気によりイオンが送り出される場合よりも除電効果が向上する。さらに、湿度が低い環境下でも一定以上の除電効果が得られる。その結果、周囲の環境によらず十分に除電対象物の除電を行うことが可能になる。

また、本実施の形態においては、加湿空気生成部３００により生成された加湿空気がホース１０１により除電ヘッド２００に導かれる。そのため、除電ヘッド２００と加湿空気生成部３００とを離間させることができる。これにより、除電ヘッド２００の１または複数の除電針２２０を除電対象物の付近に配置することが容易になる。その結果、除電効率を向上させることができる。

さらに、本実施の形態においては、用途および除電対象物の形状に応じて加湿空気生成部３００に接続する除電ヘッド２００Ａ〜２００Ｃを選択することができる。除電ヘッド２００Ｃの除電針２２０は、除電ヘッド２００Ａ，２００Ｂの除電針２２０よりも少ない。また、除電ヘッド２００Ｃは、内部に電源装置を含まなくてもよいので、除電ヘッド２００Ａ，２００Ｂよりも小型化される。

したがって、除電ヘッド２００Ａ，２００Ｂを用いることにより比較的広い範囲または比較的大型の除電対象物を容易に除電することができ、除電ヘッド２００Ｃを用いることにより比較的狭い範囲または比較的小型の除電対象物を容易に除電することができる。

本実施の形態においては、複数の除電ヘッド２００のいずれかが着脱自在に加湿空気生成部３００に取り付けられるように構成されるが、これに限定されない。２つ以上の除電ヘッド２００が湿空気生成部３００に取り付けられるように構成されてもよい。

［２］第２の実施の形態
（１）除電装置の構成
第２の実施の形態に係る除電装置について、第１の実施の形態に係る除電装置１００と異なる点を説明する。図１７は、第２の実施の形態に係る除電装置の模式的な外観斜視図である。図１８は、図１７のＤ部の拡大図である。

図１７および図１８に示すように、本実施の形態に係る除電装置１００は、筺体１１０、除電針１２０、グランド電極１３０、整流板１４０および水供給部１５０を含む。除電針１２０，グランド電極１３０および整流板１４０は、それぞれ図１３の除電針２２０、グランド電極２３０および整流板２４０と同様の構成および機能を有する。

筺体１１０は、略直方体状を有する。筺体１１０内には、図２のヒータ３２０、加湿フィルタ３３０および電子基板３５０とそれぞれ同様のヒータ、加湿フィルタおよび電子基板が設けられる。また、筺体１１０内には、図示しない温度測定部が設けられる。筺体１１０内の電子基板に実装された制御部は、温度測定部により取得される温度に基づいて、図１５と同様の加湿空気の温度制御処理を実行することができる。

筺体１１０に一方の端面に隣接するように水供給部１５０が配置される。水供給部１５０は、例えば貯水タンクであり、容器１５１および蓋部１５２を含む。水供給部１５０は、例えばペットボトルであってもよい。あるいは、水供給部１５０は、水配管に直接接続される構成であってもよい。

容器１５１には注入口１５３および排出口１５４が形成される。注入口１５３から容器１５１の内部に水が注入され、容器１５１内に水が収容される。蓋部１５２は、容器１５１の注入口１５３を閉塞可能に容器１５１に取り付けられる。容器１５１内に収容された水は、排出口１５４から隣接する筺体１１０の内部に供給される。

筺体１１０の上面には、図１の表示部３１３と同様の表示部１１３が設けられる。また、筺体１１０の上面には、筺体１１０の内部に圧縮空気を供給するための空気流入口１１１が形成される。空気流入口１１１には、圧縮空気配管１０２が接続される。なお、筺体１１０の内部に空気を取り込むための小型ファンが設けられる場合には、空気流入口１１１に圧縮空気配管１０２が接続されなくてもよい。

図１８に示すように、筺体１１０の他方の端面から突出するように円筒形状を有する整流板ユニット１４０Ｕが設けられる。整流板ユニット１４０Ｕの一端部には空気流出口１１２が設けられる。整流板ユニット１４０Ｕは、複数の整流板１４０、筐体１４１および隔壁１４２を含む。

複数の整流板１４０および隔壁１４２は一体的に形成される。隔壁１４２は円筒形状を有する。隔壁１４２の内部に開口部１１４が形成される。複数の整流板１４０は、隔壁１４２を取り囲み、かつハニカム構造を形成するように配置される。筐体１４１は円筒形状を有する。複数の整流板１４０および隔壁１４２は、筐体１４１の内部に保持される。

筐体１４１は筺体１１０に固定される。これにより、筺体１１０に整流板ユニット１４０Ｕが固定される。整流板ユニット１４０Ｕが筺体１１０に固定された状態において、除電針１２０が隔壁１４２により取り囲まれる。これにより、開口部１１４から除電針１２０が突出する。筐体１４１の外周面上に円筒形状を有するグランド電極１３０が嵌め込まれる。空気流出口２１２は隔壁１４２とグランド電極２３０との間の円環状の領域に位置する。

空気流入口１１１から流入した空気が筺体１１０内で加湿され、加湿空気として整流板１４０により一方向に整流されつつ空気流出口１１２から流出される。除電針１２０は、加湿空気が流出する方向において、各整流板１４０よりも距離Ｌだけ突出するように配置される。

筺体１１０内の図示しない電子基板に実装された電源装置により、除電針１２０とグランド電極１３０との間に高電圧が印加される。これにより、除電針１２０とグランド電極１３０との間でコロナ放電が発生する。コロナ放電によりイオンが生成される。発生されたイオンは、複数の空気流出口１１２から流出する加湿空気により送り出され、除電対象物に噴出される。

電源装置は、高周波交流電源装置であることが好ましい。この場合、除電装置１００を小型化することができる。あるいは、筺体１１０に正極用の除電針１２０と負極用の除電針１２０とが設けられる場合、電源装置は直流電源装置であってもよい。この場合でもイオンバランスを良好に保ちつつ除電装置１００を小型化することができる。

第１の実施の形態と同様に、筺体１１０内の図示しない電子基板に実装された制御部は、イオン電流を測定することによりイオンバランスのフィードバック制御を行う機能を有してもよい。また、制御部は、イオンの量を検出する機能または異常放電が発生した場合に警報を出力する機能を有してもよい。

（２）効果
本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、加湿空気が除電対象物に供給されることにより除電対象物が除電されるとともに、イオンが除電対象物に供給されることにより除電対象物がさらに除電される。また、湿度が低い空気によりイオンが送り出される場合よりも除電効果が向上する。さらに、湿度が低い環境下でも一定以上の除電効果が得られる。その結果、周囲の環境によらず十分に除電対象物の除電を行うことが可能になる。

また、本実施の形態においては、空気流出口１１２、１または複数の除電針１２０の少なくとも一部および加湿フィルタ３３０が一体的に筺体１１０，１４１に設けられる。これにより、除電装置１００の構成を単純にし、かつ除電装置１００をコンパクト化および軽量化することができる。

［３］他の実施の形態
（１）第１および第２の実施の形態において、加湿フィルタ３３０は気化方式の加湿フィルタであるが、これに限定されない。加湿フィルタ３３０は他の方式の加湿フィルタであってもよい。図１９は、他の方式における加湿フィルタ３３０の構成を示す模式的である。

図１９の加湿フィルタ３３０は、フィルタ部３３１および加湿部３３２を含む。フィルタ部３３１は、空気を透過させかつ水滴を除去可能なフィルタ材である。加湿部３３２は、例えばスプレーであり、フィルタ部３３１に水滴を供給する。図１９に矢印で示すように、空気はフィルタ部３３１を通過することにより加湿され、加湿空気となる。

（２）第１の実施の形態において、除電ヘッド２００Ａ，２００Ｂの筺体２１０の内部に電源装置２１５が設けられるが、これに限定されない。除電ヘッド２００Ａ，２００Ｂの筺体２１０の内部に電源装置２１５が設けられなくてもよい。この場合、加湿空気生成部３００の図示しない高電圧電源により、除電針２２０とグランド電極２３０との間に高電圧が印加される。

また、除電ヘッド２００Ｃの筺体２１０の内部に電源装置が設けられないが、これに限定されない。除電ヘッド２００Ｃの筺体２１０の内部に十分なスペースがある場合には、筺体２１０の内部に電源装置が設けられてもよい。この場合、除電ヘッド２００Ｃの筺体２１０の内部の電源装置により、除電針２２０とグランド電極２３０との間に高電圧が印加される。

（３）第１の実施の形態において、除電ヘッド２００Ｂの整流板ユニット２４０Ｕの複数の整流板２４０はハニカム構造を形成するように配置されるが、これに限定されない。複数の整流板２４０は、複数の他の形状からなる構造を形成するように配置されてもよい。

図２０は、除電ヘッド２００Ｂの整流板ユニット２４０Ｕの第１の変形例を示す平面図である。図２０に示すように、整流板ユニット２４０Ｕの第１の変形例においては、複数の整流板２４０は、複数の正方形からなる構造を形成するように配置される。また、複数の隔壁２４６は、正方形を形成するように配置される。複数の隔壁２４６により形成される各正方形の内部が開口部２１３となる。

図２１は、除電ヘッド２００Ｂの整流板ユニット２４０Ｕの第２の変形例を示す平面図である。図２１に示すように、整流板ユニット２４０Ｕの第２の変形例においては、複数の整流板２４０は、複数の円形からなる構造を形成するように配置される。また、複数の隔壁２４６は、円形を形成するように配置される。複数の隔壁２４６により形成される各円形の内部が開口部２１３となる。

同様に、第１の実施の形態において、除電ヘッド２００Ｃの整流板ユニット２４０Ｕの複数の整流板２４０は、複数の他の形状からなる構造を形成するように配置されてもよい。第２の実施の形態において、除電装置１００の整流板ユニット１４０Ｕの複数の整流板１４０は、複数の他の形状からなる構造を形成するように配置されてもよい。

（４）第１の実施の形態において、除電ヘッド２００Ａの筺体２１０の幅方向における略中央に除電針２２０が配置されるが、これに限定されない。実施例１の除電ヘッド２００Ａにおいては、筺体２１０の幅方向における中央とは異なる位置に除電針２２０が配置される。

ここで、実施例１の除電ヘッド２００Ａを用いて除電対象物の除電を行った。図２２は、実施例１の除電ヘッド２００Ａおよびそれを用いた除電装置１００の除電性能を示す図である。

図２２（ａ）は、実施例の除電ヘッド２００Ａの一部の模式的断面図を示す。図２２（ａ）の除電ヘッド２００Ａの筺体２１０は、５０ｍｍの幅を有する。筺体２１０の幅方向における中央から一方側に２０ｍｍ変位した位置に除電針２２０が配置され、他方側に５ｍｍ変位した位置にグランド電極２３０が配置される。

図２２（ｂ）は、図２２（ａ）の除電ヘッド２００Ａを用いた除電装置１００の除電性能を示す。図２２（ｂ）の縦軸は除電時間を示し、筺体２１０の幅方向における中央からの位置を示し、除電対象物の除電時間を示す。図２２（ｂ）においては、筺体２１０の幅方向における中央から一方側に変位した位置を正の位置とし、他方側に変位した位置を負の位置としている。

筺体２１０の幅方向における中央とは異なる位置に除電針２２０を配置した場合には、除電可能領域に僅かに偏りが生じる。そのため、図２２（ｂ）に示すように、筺体２１０の幅方向における端部付近での除電対象物の除電時間が中央付近での除電対象物の除電時間よりも僅かに増加した。このような除電時間の増加を許容できる場合には、除電ヘッド２００Ａの筺体２１０の幅方向における中央とは異なる位置に除電針２２０が配置されてもよい。

同様に、第１の実施の形態の除電ヘッド２００Ｃにおいて、筺体２１０の略中央に除電針２２０が配置されるが、これに限定されない。除電時間の増加を許容できる場合には、除電ヘッド２００Ｃの筺体２１０の中央とは異なる位置に除電針２２０が配置されてもよい。第１の実施の形態の除電ヘッド２００Ｂにおいて、複数の除電針２２０が略等しい角度間隔で配置されるがこれに限定されない。除電時間の増加を許容できる場合には、複数の除電針２２０が略等しい角度間隔で配置されなくてもよい。

第２の実施の形態の除電装置１００において、筺体１１０の空気流出口１１２の略中央に除電針１２０が配置されるが、これに限定されない。除電時間の増加を許容できる場合には、筺体１１０の空気流入口１１１の中央とは異なる位置に除電針１２０が配置されてもよい。

（５）第１の実施の形態において、除電ヘッド２００Ｂのグランド電極２３０は内電極２３１および外電極２３３を含むが、これに限定されない。実施例２の除電ヘッド２００Ｂにおいては、グランド電極２３０は内電極２３１および外電極２３３を含む。内電極２３１と外電極２３３とが１つの接続電極２３２により電気的に接続される。実施例３の除電ヘッド２００Ｂにおいては、グランド電極２３０は内電極２３１を含み、接続電極２３２および外電極２３３を含まない。実施例４の除電ヘッド２００Ｂにおいては、グランド電極２３０は外電極２３３を含み、内電極２３１および接続電極２３２を含まない。

実施例２〜４の除電ヘッド２００Ｂを用いて除電対象物の除電を行った。ここで、各除電針２２０に周波数３３Ｈｚの交流電圧を印加した。各除電針２２０に印加される正の電圧を５．３ｋＶとし、負の電圧を−３．７ｋＶとした。なお、正の電圧と負の電圧とが異なるのは、正の電圧を印加する期間と負の電圧を印加する期間との比（デューティ比）が異なるためである。各除電針２２０の針先と除電対象物との間の距離を３００ｍｍとし、空気流出口２１２から除電対象物に噴出される加湿空気の風速は１ｍ／ｓｅｃとした。

図２３は、実施例２〜４の除電ヘッド２００Ｂを用いた除電装置１００の除電性能を示す図である。図２３の縦軸は除電対象物の除電時間を示す。図２３に示すように、実施例３，４における除電時間は、実施例２における除電時間よりも増加した。このような除電時間の増加を許容できる場合には、除電ヘッド２００Ｂのグランド電極２３０は内電極２３１または外電極２３３を含まなくてもよい。さらに、除電ヘッド２００にグランド電極２３０を配置しない場合でも、安定したコロナ放電を発生させることができる場合には、除電ヘッド２００にグランド電極２３０を配置しなくてもよい。

また、内電極２３１と各除電針２２０との間の距離を変化させた複数の除電ヘッド２００Ｂを作製した。実施例５，６，７の除電ヘッド２００Ｂにおいては、内電極２３１と各除電針２２０との間の距離をそれぞれ１０ｍｍ、２０ｍｍおよび３０ｍｍとした。実施例５〜７の除電ヘッド２００Ｂを用いて除電対象物の除電を行った。除電の条件は、実施例２〜４における除電の条件と同様である。

図２４は、実施例５〜７の除電ヘッド２００Ｂを用いた除電装置１００の除電性能を示す図である。図２４の縦軸は除電対象物の除電時間を示す。図２４に示すように、実施例６における除電時間は、実施例５における除電時間よりも短縮された。実施例７における除電時間は、実施例６における除電時間よりも短縮された。これらの結果から、内電極２３１と各除電針２２０との間の距離を大きくすることにより、除電対象物の除電時間を短縮することができることが確認された。

しかしながら、内電極２３１と各除電針２２０との間の距離を３０ｍｍよりも大きくした場合の除電装置１００の除電時間は、実施例７における除電時間よりも増加した。これは、外電極２３３と各除電針２２０との間の距離が小さくなることが原因であると考えられる。したがって、各除電針２２０を内電極２３１と外電極２３３との間における最適な位置に配置することにより、最適な除電性能を得ることができることが確認された。

（６）第１の実施の形態において、除電ヘッド２００Ｂの各除電針２２０を取り囲む複数の隔壁２４６の一部に切り欠きが形成されるが、これに限定されない。図２５〜図２８は、それぞれ実施例８〜１１の除電ヘッド２００Ｂの複数の隔壁２４６を示す図である。図２５（ａ）〜図２８（ａ）は複数の隔壁２４６の斜視図を示し、図２５（ｂ）〜図２８（ｂ）は複数の隔壁２４６の平面図を示す。

実施例８〜１１の除電ヘッド２００Ｂにおいては、６個の隔壁２４６ａ〜２４６ｆが除電針２２０を取り囲みかつ正六角形を形成するように配置される。また、６個の隔壁２４６ａ〜２４６ｆは、この順で隣接するように配置される。したがって、隔壁２４６ａと隔壁２４６ｄとが除電針２２０を挟んで対向する。隔壁２４６ｂと隔壁２４６ｅとが除電針２２０を挟んで対向する。隔壁２４６ｃと隔壁２４６ｆとが除電針２２０を挟んで対向する。

実施例８の除電ヘッド２００Ｂにおいては、図２５（ａ），（ｂ）に示すように、いずれの隔壁２４６ａ〜２４６ｆにも切り欠きが形成されない。実施例９の除電ヘッド２００Ｂにおいては、図２６（ａ），（ｂ）に示すように、除電針２２０を挟んで対向する一対の隔壁２４６ａ，２４６ｄに略台形状の切り欠きが形成される。

実施例１０の除電ヘッド２００Ｂにおいては、図２７（ａ），（ｂ）に示すように、除電針２２０を挟んで対向する一対の隔壁２４６ａ，２４６ｄおよび他の２つの隔壁２４６ｃ，２４６ｅに略台形状の切り欠きが形成される。実施例１１の除電ヘッド２００Ｂにおいては、図２８（ａ），（ｂ）に示すように、全ての隔壁２４６ａ〜２４６ｆに略台形状の切り欠きが形成される。なお、図２５（ｂ）〜図２８（ｂ）においては、切り欠きが形成された隔壁２４６ａ〜２４６ｆの部分にハッチングパターンが付されている。

実施例８〜１１の除電ヘッド２００Ｂを用いて除電対象物の除電を行った。除電の条件は、実施例２〜４における除電の条件と同様である。図２９は、実施例８〜１１の除電ヘッド２００Ｂを用いた除電装置１００の除電性能を示す図である。図２９（ａ）の縦軸は、除電針２２０に正の電圧が印加されたときに発生するコロナ放電によるイオン電流を示す。図２９（ｂ）の縦軸は、除電針２２０に負の電圧が印加されたときに発生するコロナ放電によるイオン電流を示す。

図２９（ａ），（ｂ）に示すように、実施例９におけるイオン電流は、実施例８におけるイオン電流よりも増加した。実施例１０におけるイオン電流は、実施例９におけるイオン電流よりも増加した。実施例１１におけるイオン電流は、実施例１０におけるイオン電流よりも増加した。これらの結果から、複数の隔壁２４６ａ〜２４６ｆに切り欠きを形成することによりイオン電流を増加させることができることが確認された。

これは、除電針２２０の針先とグランド電極２３０との間の障害物が削減されることにより、除電針２２０とグランド電極２３０との間で効率よくコロナ放電が発生するためであると考えられる。したがって、十分に高い効率でコロナ放電を発生させることができる場合には、複数の隔壁２４６ａ〜２４６ｆの一部に切り欠きを形成しなくてもよい。

本例においては、複数の隔壁２４６ａ〜２４６ｆに略台形状の切り欠きが形成されるので、複数の隔壁２４６ａ〜２４６ｆの境界部分（正六角形の角部）に複数の突出部２４６ｓが形成される。複数の突出部２４６ｓは、図５の複数の突起部２１８と同様に、除電針２２０を保護する機能を有する。複数の突出部２４６ｓにより除電針２２０が除電対象物または他の物体に衝突した場合でも除電針２２０の針先が曲がることが防止される。

除電針２２０を保護する機能が不要である場合には、突出部２４６ｓが形成されないように複数の隔壁２４６ａ〜２４６ｆの一部が除去されてもよい。あるいは、複数の隔壁２４６ａ〜２４６ｆが周囲の複数の整流板２４０と面一になるように複数の隔壁２４６ａ〜２４６ｆの一部が除去されてもよい。

（７）第１の実施の形態において、加湿空気が流出する方向における整流板２４０の端部（以下、一方の端部と呼ぶ）から針先が突出するように除電針２２０が配置されるが、これに限定されない。同様に、第２の実施の形態において、整流板１４０の一方の端部から針先が突出するように除電針１２０が配置されるが、これに限定されない。図３０は、実施例１２〜１５の除電ヘッドを示す図である。図３０の除電ヘッドは、図９の除電ヘッド２００Ｂと同様の形状を有する。図３０（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ実施例１２〜１５の除電ヘッドの断面の一部を示す。

実施例１２の除電ヘッドにおいては、図３０（ａ）に示すように、除電針２２０の針先は整流板２４０の一方の端部から突出する。整流板２４０の一方の端部から除電針１２０の針先までの距離Ｌは１０ｍｍである。実施例１３の除電ヘッドにおいては、図３０（ｂ）に示すように、除電針２２０の針先は加湿空気が流出する方向における整流板２４０の中央に位置する。整流板２４０の一方の端部から除電針１２０の針先までの距離Ｌは−５ｍｍである。

実施例１４の除電ヘッドにおいては、図３０（ｃ）に示すように、除電針２２０の針先は整流板２４０の他方の端部と面一となる平面に位置する。整流板２４０の一方の端部から除電針１２０の針先までの距離Ｌは−１０ｍｍである。実施例１５の除電ヘッドにおいては、図３０（ｄ）に示すように、除電針２２０の針先は整流板２４０の上方に位置する。整流板２４０の一方の端部から除電針２２０の針先までの距離Ｌは−１６ｍｍである。

実施例１２〜１５の除電ヘッドを用いて除電対象物の除電を行った。除電の条件は、実施例２〜４における除電の条件と同様である。図３１は、実施例１２〜１５の除電ヘッドを用いた除電装置の除電性能を示す図である。図３１の縦軸は除電対象物の除電時間を示す。

図３１に示すように、実施例１３における除電時間は、実施例１２における除電時間よりも僅かに増加した。実施例１４における除電時間は、実施例１３における除電時間よりも僅かに増加した。実施例１５における除電時間は、実施例１４における除電時間よりも増加した。これらの結果から、除電針２２０の針先をより加湿空気のより下流側の位置に配置することにより、除電対象物の除電時間を短縮することができることが確認された。これは、生成されたイオンが整流板２４０に付着（帯電）することが原因であると考えられる。

一方で、このような除電時間の増加を許容できる場合には、第１の実施の形態において、整流板２４０の方の端部から針先が突出するように除電針２２０が配置されなくてもよい。同様に、第２の実施の形態において、整流板１４０の方の端部から針先が突出するように除電針１２０が配置されなくてもよい。

（８）第１の実施の形態において、除電針２２０の針先の少なくとも一部を取り囲むようにグランド電極２３０が配置されるが、これに限定されない。同様に、第２の実施の形態において、除電針１２０の針先の少なくとも一部を取り囲むようにグランド電極１３０が配置されるが、これに限定されない。

図３２は、実施例１６〜１９の除電ヘッドを示す図である。図３２の除電ヘッドは、図１３の除電ヘッド２００Ｃと同様の形状を有する。図３２（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ実施例１６〜１９の除電ヘッドにおける除電針２２０とグランド電極２３０と整流板２４０との位置関係を示す。なお、図３２（ａ）〜（ｄ）においては、理解を容易にするため、グランド電極２３０にハッチングパターンが付され、整流板２４０にドットパターンが付されている。

実施例１６の除電ヘッドにおいては、図３２（ａ）に示すように、グランド電極２３０が除電針２２０の針先に配置され、整流板２４０が除電針２２０の針先よりも加湿空気の下流側に配置される。実施例１７の除電ヘッドにおいては、図３２（ｂ）に示すように、グランド電極２３０および整流板２４０が除電針２２０の針先よりも加湿空気の下流側に配置される。

実施例１８の除電ヘッドにおいては、図３２（ｃ）に示すように、グランド電極２３０が除電針２２０の針先よりも加湿空気の上流側に配置され、整流板２４０が除電針２２０の針先よりも加湿空気の下流側に配置される。実施例１９の除電ヘッドにおいては、図３２（ｄ）に示すように、グランド電極２３０が除電針２２０の針先に配置され、整流板２４０が除電針２２０の針先よりも加湿空気の上流側に配置される。

実施例１６〜１９の除電ヘッドを用いて除電対象物の除電を行った。除電の条件は、実施例２〜４における除電の条件と同様である。図３３は、実施例１６〜１９の除電ヘッドを用いた除電装置の除電性能を示す図である。図３３の縦軸は除電対象物の除電時間を示す。

図３３に示すように、実施例１６〜１８における除電時間は、実施例１９における除電時間よりも増加した。これらの結果から、グランド電極２３０を除電針２２０の針先に配置し、整流板２４０を除電針２２０の針先よりも加湿空気の上流側に配置することにより、除電対象物の除電時間を短縮することができることが確認された。

これは、グランド電極２３０を除電針２２０に垂直でかつ除電針２２０の先端に位置する平面に交差するように配置することにより、コロナ放電の効率が向上するためであると考えられる。また、除電針２２０を加湿空気の流出方向において整流板２４０の先端よりも突出するように配置することにより、生成されたイオンが整流板２４０に帯電することが低減されるためであると考えられる。

一方で、このような除電時間の増加を許容できる場合には、第１の実施の形態において、グランド電極２３０を除電針２２０の針先とは異なる位置に配置してもよい。また、整流板２４０を除電針２２０の針先よりも加湿空気の下流側に配置してもよい。同様に、第２の実施の形態において、グランド電極１３０を除電針１２０の針先とは異なる位置に配置してもよい。また、整流板１４０を除電針１２０の針先よりも加湿空気の下流側に配置してもよい。

（９）第１の実施の形態において、除電ヘッド２００に整流板２４０が設けられるが、これに限定されない。同様に、第２の実施の形態において、除電装置１００に整流板１４０が設けられるが、これに限定されない。図３４は、整流板２４０が設けられない場合における除電ヘッドを示す外観斜視図である。図３４の除電ヘッドにおいては、整流板ユニット２４０Ｕに整流板２４０および隔壁２４８が設けられない。したがって、整流板ユニット２４０Ｕの筐体２４７の内部が開口部２１３となる。

実施例２０，２１として、それぞれ図１３および図３４の除電ヘッドから０．３ｍ^３／ｍｉｎの風量で、周囲温度２５℃の環境に加湿空気を噴出させた。これらの場合において、各除電ヘッドから離間した位置における空気の相対湿度を測定した。

図３５は、除電ヘッドからの位置と空気の相対湿度との関係を示すグラフである。図３５の横軸は各除電ヘッドの空気流出口２１２からの位置を示し、縦軸は空気の相対湿度を示す。整流板２４０を有する図１３の除電ヘッドについての結果を黒丸で示し、整流板２４０を有しない図３４の除電ヘッドについての結果を黒い四角で示す。

図３５に示すように、図１３の除電ヘッドからの任意の位置における空気の相対湿度は、図３４の除電ヘッドからの同位置における空気の相対湿度よりも高くなった。これにより、整流板２４０を設けた除電ヘッド２００は、整流板２４０を設けない除電ヘッド２００よりも遠方まで加湿空気を噴出することができることが確認された。

一方、除電ヘッド２００の遠方まで加湿空気を噴出する必要がない場合には、除電ヘッド２００に整流板２４０が設けられなくてもよい。同様に、除電装置１００の空気流出口１１２の遠方まで加湿空気を噴出する必要がない場合には、除電装置１００に整流板１４０が設けられなくてもよい。

（１０）上記実施の形態において、除電針１２０，２２０が除電電極として用いられるが、これに限定されない。除電針１２０，２２０に代えて、ワイヤ等の他の電極が除電電極として用いられてもよい。

［４］請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。

上記実施の形態においては、除電装置１００が除電装置の例であり、電源装置３５２が電源装置の例であり、ヒータ３２０が温度調整部の例である。制御部３５１が第１および第２の制御部の例であり、温度測定部３１４が温度測定部の例であり、温度測定部２１４または表示部３１３が外部温度取得部の例である。

第１の実施の形態においては、加湿空気生成部３００が加湿空気生成部の例であり、空気流出口２１２が流出口の例であり、除電ヘッド２００が保持体の例であり、除電針２２０が除電針の例であり、グランド電極２３０が電極の例である。電源装置２１５，３５２がそれぞれ第１および第２の電源装置の例であり、表示部３１３が入力部の例であり、空気流入口２１１が流入口の例であり、筺体２１０が筺体の例であり、ホース１０１が供給管の例であり、整流板２４０が整流板の例である。

除電ヘッド２００の第１の例においては、除電ヘッド２００Ａが第１の除電ヘッドの例であり、グランド電極２３０が第１および第２の対向電極の例または第１の電極の例である。空気流出口２１２が第１および第２の流出口の例であり、筺体２１０が第１の筺体の例であり、除電針２２０が第１の除電針の例である。

除電ヘッド２００の第２の例においては、除電ヘッド２００Ｂが第１の除電ヘッドの例であり、筺体２１０が第１の筺体の例であり、除電針２２０が第１の除電針の例であり、グランド電極２３０が第１の電極の例である。除電ヘッド２００の第３の例においては、除電ヘッド２００Ｃが第２の除電ヘッドの例であり、筺体２１０が第２の筺体の例であり、除電針２２０が第２の除電針の例であり、グランド電極２３０が第２の電極の例である。

第２の実施の形態においては、加湿フィルタ３３０が加湿空気生成部の例であり、空気流出口１１２が流出口の例であり、筺体１１０，１４１が保持体または筺体の例である。除電針１２０が除電針の例であり、グランド電極１３０が電極の例であり、表示部１１３が入力部の例であり、空気流入口１１１が流入口の例であり、整流板１４０が整流板の例である。

請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
［５］参考形態
（１）第１の参考形態に係る除電装置は、対象物の除電を行う除電装置であって、空気を加湿して加湿空気を生成する加湿空気生成部と、加湿空気生成部により生成された加湿空気を流出させる流出口を有する保持体と、保持体に保持される１または複数の除電電極と、保持体に保持される電極と、コロナ放電を発生させるために１または複数の除電電極と電極との間に電圧を印加する電源装置とを備え、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが流出口から流出される加湿空気により送り出されるように保持体に配置される。
この除電装置においては、空気が加湿空気生成部により加湿されることにより、加湿空気が生成される。加湿空気は、保持体の流出口から流出される。また、保持体には、１または複数の除電電極および電極が保持される。１または複数の除電電極と電極との間には、電源装置によりコロナ放電を発生させるための電圧が印加される。
ここで、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが加湿空気により送り出されるように保持体に配置される。この構成によれば、加湿空気が対象物に供給されることにより対象物が除電されるとともに、イオンが対象物に供給されることにより対象物がさらに除電される。また、湿度が低い空気によりイオンが送り出される場合よりも除電効果が向上する。さらに、湿度が低い環境下でも一定以上の除電効果が得られる。その結果、周囲の環境によらず十分に除電を行うことが可能になる。
（２）除電装置は、空気を温度調整する温度調整部をさらに備え、加湿空気生成部は、温度調整部により温度調整された空気を加湿してもよい。
この場合、空気が温度調整されるので、空気が加湿空気生成部から取得可能な水分量を増加させることができる。これにより、除電効率をより向上させることができる。
（３）除電装置は、流出口から流出する加湿空気の絶対湿度が対象物の周囲の空気の飽和水蒸気量以下になるように温度調整部を制御する第１の制御部をさらに備えてもよい。
この場合、対象物に供給される加湿空気の絶対湿度は、対象物の周囲の空気の飽和水蒸気量以下になる。これにより、対象物の結露を防止することができる。
（４）除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気の温度を測定する温度測定部と、外部空気の温度を取得する外部温度取得部とをさらに備え、第１の制御部は、温度測定部により測定された加湿空気の温度が外部温度取得部により取得された外部空気の温度以下になるように温度調整部を制御してもよい。
この場合、温度測定部により測定された加湿空気の温度および外部温度取得部により取得された外部空気の温度に基づいて、対象物の結露を容易に防止することができる。また、この構成によれば、除電装置の内部および流出口の相対湿度を直接測定する必要がないので、除電装置の構成を簡単にすることができる。
（５）除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気の温度を測定する温度測定部と、外部空気の温度を取得する外部温度取得部と、目標相対湿度を入力するための入力部と、温度測定部により測定された加湿空気の温度に基づいて加湿空気の絶対湿度を推定し、絶対湿度に基づいて算出される外部温度取得部により取得された外部空気の温度における相対湿度が目標相対湿度となるように温度調整部を制御する第２の制御部とをさらに備えてもよい。
この場合、温度測定部により測定された加湿空気の温度および外部温度取得部により取得された外部空気の温度に基づいて、容易に湿度制御を行うことができる。また、この構成によれば、除電装置の内部および流出口の絶対湿度および相対湿度を直接測定する必要がないので、除電装置の構成を簡単にすることができる。
（６）電極は、互いに対向するように配置される第１および第２の対向電極を含み、１または複数の除電電極は、第１の対向電極と第２の対向電極との間に配置され、流出口は、第１の対向電極と１または複数の除電電極との間に加湿空気を流出させる第１の流出口と、第２の対向電極と１または複数の除電電極との間に加湿空気を流出させる第２の流出口とを含んでもよい。
この場合、第１の対向電極と１または複数の除電電極との間で生成されるイオンが第１の流出口から流出される加湿空気により送り出される。また、第２の対向電極と１または複数の除電電極との間で生成されるイオンが第２の流出口から流出される加湿空気により送り出される。この構成によれば、各除電電極の両側に生成されるイオンを加湿空気で効率的に送り出すことが可能である。したがって、対象物を効率よく除電することができる。
（７）１または複数の除電電極は、流出口から流出される加湿空気中に位置するように設けられてもよい。
この場合、各除電電極の周囲に生成されるイオンを加湿空気で効率的に送り出すことが可能になる。したがって、対象物を効率よく除電することが容易になる。
（８）電極は、各除電電極の周囲を環状に取り囲むように形成され、流出口は、各除電電極と電極との間の環状の領域に加湿空気を流出させてもよい。
この場合、各除電電極の周囲に生成されるイオンを加湿空気で効率的に送り出すことが可能になる。したがって、対象物を効率よく除電することが容易になる。
（９）保持体は、内部空間、流入口および流出口を有するとともに１または複数の除電電極の少なくとも一部を収容する筐体を含み、除電装置は、加湿空気生成部により生成された加湿空気を筐体の流入口に導く供給管をさらに備えてもよい。
この場合、加湿空気生成部により生成された加湿空気が供給管により筐体に導かれる。そのため、筐体と加湿空気生成部とを離間させることができる。これにより、筐体の１または複数の除電電極を対象物の付近に配置することが容易になる。その結果、除電効率を向上させることができる。
（１０）筐体は第１および第２の筐体を含み、１または複数の除電電極は、第１の筐体に保持される第１の数の第１の除電電極と、第２の筐体に保持される第２の数の第２の除電電極とを含み、第１の数は第２の数よりも多く、電極は、第１の筐体に保持される第１の電極と、第２の筐体に保持される第２の電極とを含み、電源装置は、第１の除電電極と第１の電極との間に電圧を印加する第１の電源装置と、第２の除電電極と第２の電極との間に電圧を印加する第２の電源装置とを含み、第１の筐体、第１の除電電極、第１の電極および第１の電源装置が第１の除電ヘッドを構成し、第２の筐体、第２の除電電極および第２の電極が第２の除電ヘッドを構成し、第１および第２の除電ヘッドは、選択的に加湿空気生成部に接続および取り外し可能に構成されてもよい。
この場合、用途および対象物の形状に応じて加湿空気生成部に接続する除電ヘッドを選択することができる。第２の除電ヘッドの第２の除電電極は、第１の除電ヘッドの第１の除電電極よりも少ない。また、第２の除電ヘッドは第２の電源装置を含まなくてもよいので、第２の除電ヘッドは、第１の除電ヘッドよりも小型化することが容易になる。したがって、第１の除電ヘッドを用いることにより比較的広い範囲または比較的大型の対象物を容易に除電することができ、第２の除電ヘッドを用いることにより比較的狭い範囲または比較的小型の対象物を容易に除電することができる。
（１１）保持体は、流出口を有するとともに１または複数の除電電極の少なくとも一部および加湿空気生成部を収容する筐体を含んでもよい。
この場合、流出口、１または複数の除電電極の少なくとも一部および加湿空気生成部が一体的に設けられる。これにより、除電装置の構成を単純にし、かつ除電装置をコンパクト化および軽量化することができる。
（１２）電極は、各除電電極に垂直でかつ各除電電極の先端に位置する平面に交差するように配置されてもよい。
この場合、コロナ放電の効率が向上する。これにより、除電効率をより向上させることができる。
（１３）除電装置は、保持体に保持される整流板をさらに備え、整流板は、流出口から流出される加湿空気を一定方向に整流するように設けられてもよい。
この場合、流出口から送り出される加湿空気が、流出口の周囲の空気中で拡散することが抑制される。これにより、遠方まで加湿空気が送り出される。その結果、除電効率をより向上させることができる。
（１４）１または複数の除電電極は、加湿空気の流出方向において整流板の先端よりも突出するように配置されてもよい。
この場合、生成されたイオンが整流板に帯電することが低減される。これにより、除電効率をより向上させることができる。
（１５）第２の参考形態に係る除電ヘッドは、空気を加湿して加湿空気を生成する加湿空気生成部に供給管により接続可能に構成され、対象物の除電を行う除電ヘッドであって、供給管により加湿空気生成部に接続可能に構成され、加湿空気生成部により生成された加湿空気を流出させる流出口を有する保持体と、コロナ放電を発生させるための電圧を印加可能に構成され、保持体に保持される１または複数の除電電極と、コロナ放電を発生させるための電圧を印加可能に構成され、保持体に保持される電極とを備え、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが流出口から流出される加湿空気により送り出されるように保持体に配置される。
この除電ヘッドにおいては、加湿空気生成部により生成された加湿空気が供給管を通して保持体に供給され、保持体の流出口から流出される。また、保持体には、１または複数の除電電極および電極が保持される。１または複数の除電電極と電極との間には、電源装置によりコロナ放電を発生させるための電圧が印加される。
ここで、１または複数の除電電極は、コロナ放電により生成されるイオンが加湿空気により送り出されるように保持体に配置される。この構成によれば、加湿空気が対象物に供給されることにより対象物が除電されるとともに、イオンが対象物に供給されることにより対象物がさらに除電される。また、湿度が低い空気によりイオンが送り出される場合よりも除電効果が向上する。さらに、湿度が低い環境下でも一定以上の除電効果が得られる。その結果、周囲の環境によらず十分に除電を行うことが可能になる。

本発明は、除電対象物の帯電を防止するために有効に利用することができる。

１００ 除電装置
１０１ ホース
１０２ 圧縮空気配管
１１０，１４１，２１０，２４７，３１０ 筺体
１１１，２１１，３１１ 空気流入口
１１２，２１２，３１２ 空気流出口
１１３，３１３ 表示部
１１４，２１３ 開口部
１２０，２２０ 除電針
１３０，２３０ グランド電極
１４０，２４０ 整流板
１４０Ｕ，２４０Ｕ 整流板ユニット
２４１〜２４５ 保持部材
１４２，２４６，２４６ａ〜２４６ｆ，２４８ 隔壁
１５０ 水供給部
１５１ 容器
１５２ 蓋部
１５３ 注入口
１５４ 排出口
２００，２００Ａ〜２００Ｃ 除電ヘッド
２１４，３１４ 温度測定部
２１５，３５２ 電源装置
２１８ 突起部
２３１ 内電極
２３２ 接続電極
２３３ 外電極
２４６ｓ 突出部
３００ 加湿空気生成部
３１０ａ 側面部
３１０ｂ 底面部
３１０ｃ 上面部
３２０ ヒータ
３３０ 加湿フィルタ
３３１ フィルタ部
３３２ 加湿部
３４０ ターボファン
３５０ 電子基板
３５１ 制御部
３６０ ヒートシンク

Claims (12)

1. 対象物の除電を行う除電装置であって、
   空気を加湿して加湿空気を生成する加湿空気生成部と、
   前記加湿空気生成部により生成された加湿空気を流出させる流出口を有する保持体と、
   前記保持体に保持される１または複数の除電電極と、
   前記保持体に保持される電極と、
   コロナ放電を発生させるために前記１または複数の除電電極と前記電極との間に電圧を印加する電源装置と、
   空気を温度調整する温度調整部と、
   前記流出口から流出する加湿空気の絶対湿度が前記対象物の周囲の空気の飽和水蒸気量以下になるように前記温度調整部を制御する第１の制御部とを備え、
   前記１または複数の除電電極は、前記コロナ放電により生成されるイオンが前記流出口から流出される加湿空気により送り出されるように前記保持体に配置され、
   前記加湿空気生成部は、前記温度調整部により温度調整された空気を加湿する、除電装置。
2. 前記加湿空気生成部により生成された加湿空気の温度を測定する温度測定部と、
   外部空気の温度を取得する外部温度取得部とをさらに備え、
   前記第１の制御部は、前記温度測定部により測定された加湿空気の温度が前記外部温度取得部により取得された外部空気の温度以下になるように前記温度調整部を制御する、請求項１記載の除電装置。
3. 前記加湿空気生成部により生成された加湿空気の温度を測定する温度測定部と、
   外部空気の温度を取得する外部温度取得部と、
   目標相対湿度を入力するための入力部と、
   前記温度測定部により測定された加湿空気の温度に基づいて加湿空気の絶対湿度を推定し、前記絶対湿度に基づいて算出される前記外部温度取得部により取得された外部空気の温度における相対湿度が前記目標相対湿度となるように前記温度調整部を制御する第２の制御部とをさらに備える、請求項１記載の除電装置。
4. 前記電極は、互いに対向するように配置される第１および第２の対向電極を含み、
   前記１または複数の除電電極は、前記第１の対向電極と前記第２の対向電極との間に配置され、
   前記流出口は、前記第１の対向電極と前記１または複数の除電電極との間に加湿空気を流出させる第１の流出口と、前記第２の対向電極と前記１または複数の除電電極との間に加湿空気を流出させる第２の流出口とを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の除電装置。
5. 前記１または複数の除電電極は、前記流出口から流出される加湿空気中に位置するように設けられる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の除電装置。
6. 前記電極は、各除電電極の周囲を環状に取り囲むように形成され、
   前記流出口は、各除電電極と前記電極との間の環状の領域に加湿空気を流出させる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の除電装置。
7. 前記保持体は、内部空間、流入口および前記流出口を有するとともに前記１または複数の除電電極の少なくとも一部を収容する筐体を含み、
   前記除電装置は、前記加湿空気生成部により生成された加湿空気を前記筐体の前記流入口に導く供給管をさらに備える、請求項１〜６のいずれか一項に記載の除電装置。
8. 対象物の除電を行う除電装置であって、
   空気を加湿して加湿空気を生成する加湿空気生成部と、
   前記加湿空気生成部により生成された加湿空気を流出させる流出口を有する保持体と、
   前記保持体に保持される１または複数の除電電極と、
   前記保持体に保持される電極と、
   コロナ放電を発生させるために前記１または複数の除電電極と前記電極との間に電圧を印加する電源装置とを備え、
   前記１または複数の除電電極は、前記コロナ放電により生成されるイオンが前記流出口から流出される加湿空気により送り出されるように前記保持体に配置され、
   前記保持体は、内部空間、流入口および前記流出口を有するとともに前記１または複数の除電電極の少なくとも一部を収容する筐体を含み、
   前記除電装置は、前記加湿空気生成部により生成された加湿空気を前記筐体の前記流入口に導く供給管をさらに備え、
   前記筐体は第１および第２の筐体を含み、
   前記１または複数の除電電極は、前記第１の筐体に保持される第１の数の第１の除電電極と、前記第２の筐体に保持される第２の数の第２の除電電極とを含み、
   前記第１の数は前記第２の数よりも多く、
   前記電極は、前記第１の筐体に保持される第１の電極と、前記第２の筐体に保持される第２の電極とを含み、
   前記電源装置は、前記第１の除電電極と前記第１の電極との間に電圧を印加する第１の電源装置と、前記第２の除電電極と前記第２の電極との間に電圧を印加する第２の電源装置とを含み、
   前記第１の筐体、前記第１の除電電極、前記第１の電極および前記第１の電源装置が第１の除電ヘッドを構成し、
   前記第２の筐体、前記第２の除電電極および前記第２の電極が第２の除電ヘッドを構成し、
   前記第１および第２の除電ヘッドは、選択的に前記加湿空気生成部に接続および取り外し可能に構成される、除電装置。
9. 前記保持体は、前記流出口を有するとともに前記１または複数の除電電極の少なくとも一部および前記加湿空気生成部を収容する筐体を含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載の除電装置。
10. 前記電極は、各除電電極に垂直でかつ各除電電極の先端に位置する平面に交差するように配置される、請求項１〜９のいずれか一項に記載の除電装置。
11. 前記保持体に保持される整流板をさらに備え、
    前記整流板は、前記流出口から流出される加湿空気を一定方向に整流するように設けられる、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の除電装置。
12. 前記１または複数の除電電極は、加湿空気の流出方向において前記整流板の先端よりも突出するように配置される、請求項１１記載の除電装置。

Images