JP6239989B2 - 光路変換構造体、発光モジュール及び受光モジュール - Google Patents
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Description
前記平面導波回路における前記溝の前記端面に対向する面は開放面であり、前記ハンドリング部と前記開放面に隣接する前記平面導波回路の両端面が面で接触してもよい。
本願発明の第一の実施形態に係る光路変換構造体10の斜視図の一例を図1に示す。また、図1の光路変換構造体10から、ミラー構造体810を取り外した状態の斜視図を図2に示す。本実施形態に係る光路変換構造体10は、ミラー構造体810と、基板11と、平面導波回路12とを備える。図1ではミラー構造体810を太線で示した。ミラー構造体810は、ミラー支持体810aと、ハンドリング部810bを備える。ミラー支持体810aと、ハンドリング部810bは一体構造となっている。
図12に、本発明の第二の実施形態に係る発光モジュールを示す。本実施形態に係る発光モジュールは、光路変換構造体10と、発光素子91と、光学素子固定基板93とを備える。911は発光素子91が出力した光がミラー81に反射されるまでの光路、912は発光素子91が出力した光がミラー81で反射された後の光路である。92は発光素子91がLD(Laser Diode)等の端面発光素子の場合に、発光素子91の出力光を光路911へと導くための反射面である。つまり、発光素子91が面発光素子であり、発光面がミラー81の上部にあり、発光素子91からの出射光が光路911及び光路912を通る場合には、反射面92は不要である。
図13に本発明の第三の実施形態に係る受光モジュールの一例を示す。本実施形態に係る受光モジュールは、光路変換構造体10と、受光素子101とを備える。本実施形態では、第一の実施形態が備えていた発光素子91を受光素子101に置き換え、第一の実施形態が発光素子91を用いるために備えていた光学素子固定基板93及び反射面92を省略している。受光素子が受光する光の光路が1011及び1012である。1011は受光素子101が受光する光がミラー81で反射された後の光路、1012は受光素子101が受光する光がミラー81で反射される前の光路である。平面導波回路12を導波する光は、ミラー81が反射して光路変換し、受光素子101に入力される。
11:基板
12:平面導波回路
12a:端部
12b:端面
13:PLC側突き当て部
14:溝の辺
15:ミラー構造体側突き当て部
16:光路
17:光路
18:溝
21:マスク層
22:ミラー形成層
23:接続層
24:支持基板
25:マスク層
32:レジスト
42:レジスト
65:ミラー支持面
66:ミラー支持面
67:斜面
68:斜面
81:ミラー
82:反射膜
83:ミラー
84:反射膜
85:下面から除去する部分
810:ミラー構造体
810a:ミラー支持体
810b:ハンドリング部
811:ミラー構造体
91:発光素子
92:反射面
93:光学素子固定基板
911:光路
912:光路
101:受光素子
1011:光路
1012:光路
Claims (4)
- 基板上に形成された光導波路に溝を有し、前記溝の壁面の一部に前記光導波路の端面が配置され、前記溝の前記端面に対向する面は開放面である平面導波回路と、
ミラー形成層の結晶面に沿った斜面の少なくとも一部に形成されたミラーを有し、前記端面から出射された光の光路上に前記ミラーが位置するように前記溝に配置されたミラー支持体と、
前記ミラー支持体と一体に形成され、前記溝の幅よりも幅が大きく、前記溝の外部の前記基板上に配置され、前記開放面に隣接する前記平面導波回路の両端面と面で接触するハンドリング部と、
を備える光路変換構造体。 - 前記ミラーの前記斜面は、凹面である
請求項1に記載の光路変換構造体。 - 請求項1又は2に記載の光路変換構造体と、
前記ミラーへと光を入射させる発光素子と、
を備える発光モジュール。 - 請求項1又は2に記載の光路変換構造体と、
前記ミラーから光を受光する受光素子と、
を備える受光モジュール。
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