JP6237355B2 - ガラスセル、機能デバイス及び機能デバイスの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラスセル、機能デバイス及び機能デバイスの製造方法に関する。

従来、発光デバイスなどの種々のデバイスに、ガラスセルが用いられている。特許文献１には、ひとつの内部空間を有するガラスセルが記載されている。また、特許文献１には、そのガラスセル内に液体の発光体が封入された発光デバイスが記載されている。

特開２０１３−１６５８３号公報

ガラスセルの温度が上昇すると、ガラスセルの内圧が上昇する。このため、ガラスセルには、温度上昇時の内圧に耐えうる機械的強度を有することが求められる。最近では、ガラスセルには、複数の内部空間を有することが求められている。ガラスセルが複数の内部空間を有する場合、個々の内部空間の液体の内圧が上昇するため、ガラスセルを構成する材料の機械的強度を高めるのみならず、内圧により破損しにくい構造とすることが求められる。

本発明の主な目的は、複数の内部空間を有し、温度が変化したときに破損しにくいガラスセルを提供することにある。

本発明に係るガラスセルは、第１のガラス板と、第２のガラス板と、側壁部材と、連通口とを備える。第２のガラス板は、第１のガラス板と間隔を置いて対向している。側壁部材は、第１のガラス板と第２のガラス板との間に配されている。側壁部材は、第１及び第２のガラス板と共に複数の内部空間を区画形成している。連通口は、複数の内部空間のそれぞれを外部に連通させている。一の内部空間に接続された連通口が第１のガラス板と側壁部材との間に設けられている一方、他の内部空間に接続された連通口が第２のガラス板と側壁部材との間に設けられている。

本発明に係るガラスセルでは、平面視において、複数の内部空間が、一の方向に沿って配列されていてもよい。その場合、平面視において、一の内部空間に接続された連通口が、一の方向に対して垂直な他の方向において複数の内部空間の一方側に位置している一方、他の内部空間に接続された連通口が、他の方向において複数の内部空間の他方側に位置していてもよい。平面視において、一の内部空間に接続された連通口と、他の内部空間に接続された連通口とのそれぞれが、一の方向に対して垂直な他の方向において複数の内部空間の一方側に接続されていてもよい。

本発明に係るガラスセルでは、複数の連通口の全てがガラスセルの一の側面まで延伸されていてもよい。

本発明に係るガラスセルでは、側壁部材がガラス材、セラミック材又は金属材により構成されていてもよい。

本発明に係るガラスセルでは、第１及び第２のガラス板と側壁部材とが陽極接合により接合されていることが好ましい。

本発明に係るガラスセルでは、内部空間が４つ以上設けられていてもよい。

本発明に係るガラスセルでは、内部空間が偶数個設けられており、第１のガラス板と側壁部材との間に設けられている連通口の数と、第２のガラス板と側壁部材との間に設けられている連通口の数とが等しいことが好ましい。

本発明に係る機能デバイスは、本発明に係るガラスセルと、機能剤とを備える。機能剤は、内部空間に封入されている。

本発明に係る機能デバイスでは、機能剤が液体であってもよい。

本発明に係る機能デバイスの製造方法は、本発明に係る機能デバイスであって、機能剤が液体である機能デバイスを製造するための方法に関する。本発明に係る機能デバイスの製造方法は、第１の真空注入工程と、第２の真空注入工程とを備える。第１の真空注入工程では、複数の連通口のうちの一部を除いた連通口を閉口させた状態で、閉口されていない連通口に接続された内部空間に機能剤を真空注入する。第２の真空注入工程では、第１の真空注入工程の後に、機能剤が真空注入された内部空間に接続された連通口を閉口させる一方、他の連通口の少なくとも一部の閉口を解除した状態で、閉口されていない連通口に接続された内部空間に機能剤を真空注入する。

本発明に係る機能デバイスの製造方法は、第１のガラス板を構成するための第１のマザーガラス板と、第２のガラス板を構成するための第２のマザーガラス板とを、側壁部材を介在させて接合することにより、複数の内部空間と複数の内部空間のそれぞれを外部に連通させる連通孔を備えるマザー積層体を作製する。第１の真空注入工程と、第２の真空注入工程とを備える。第１の真空注入工程では、複数の連通口のうちの一部を除いた連通口を閉口させた状態で、閉口されていない連通口に接続された内部空間に機能剤を真空注入する。第２の真空注入工程では、第１の真空注入工程の後に、機能剤が真空注入された内部空間に接続された連通口を閉口させる一方、他の連通口の少なくとも一部の閉口を解除した状態で、閉口されていない連通口に接続された内部空間に機能剤を真空注入する。機能剤が注入されたマザー積層体を複数に分断することにより複数の機能デバイスを得る。

本発明に係る機能デバイスの製造方法では、マザー積層体において、一の機能デバイスを構成するための部分に含まれる一の内部空間に接続された連通口と、他の機能デバイスを構成するための部分に含まれる一の内部空間に接続された連通口とが接続されていることが好ましい。

本発明によれば、複数の内部空間を有し、温度が変化したときに破損しにくいガラスセルを提供することができる。

第１の実施形態に係る機能デバイスの模式的平面図である。 図１の線ＩＩ−ＩＩにおける模式的断面図である。 図１の線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける模式的断面図である。 図１の線ＩＶ−ＩＶにおける模式的断面図である。 図１の矢印Ｖから視たときの機能デバイスの模式的正面図である。 マザー積層体の模式的平面図である。 第２の実施形態に係る機能デバイスの模式的平面図である。 第３の実施形態に係る機能デバイスの模式的平面図である。

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。

また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。特に、第１の実施形態では、図３〜図５は、描画の便宜上、他の図面よりも大きく描画されている。

（第１の実施形態）
（機能デバイス１の製造方法）
図１は、第１の実施形態に係る機能デバイス１の模式的平面図である。図２は、図１の線ＩＩ−ＩＩにおける模式的断面図である。図３は、図１の線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける模式的断面図である。図４は、図１の線ＩＶ−ＩＶにおける模式的断面図である。図５は、図１の矢印Ｖから視たときの機能デバイスの模式的正面図である。

機能デバイス１は、ガラスセル１０を備えている。ガラスセル１０は、複数の内部空間を有する。具体的には、本実施形態では、ガラスセル１０は、４つ以上の内部空間を有する。より具体的には、ガラスセル１０は、第１の内部空間１０ａと、第２の内部空間１０ｂと、第３の内部空間１０ｃと、第４の内部空間１０ｄとの４つの内部空間を有する。第１〜第４の内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄは、ｙ軸方向に沿って直線状に配列されている。

なお、本実施形態では、図１に示されるように、第１〜第４の内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのそれぞれの平面視形状は、円形である。但し、本発明において、内部空間の形状寸法は、特に限定されない。内部空間の形状寸法は、機能デバイスに要求される特性等に応じて適宜決定することができる。

第１〜第４の内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのそれぞれには、機能剤１１が封入されている。機能剤１１は、機能デバイス１の機能を実現するためのものである。機能デバイス１が、発光デバイスである場合には、機能剤１１として、発光剤が用いられる。好ましく用いられる発光剤の具体例としては、蛍光体や量子ドットを含む溶液等が挙げられる。機能デバイス１が液晶レンズ等の液晶素子である場合は、機能剤１１として、液晶が用いられる。

機能剤１１は、液体であることが好ましい。なお、本発明において、液体の機能剤には、量子ドットなどの粒子が分散した液体、エマルジョン等が含まれるものとする。

図２〜図５に示されるように、ガラスセル１０は、第１のガラス板２１と、第２のガラス板２２とを有する。第１のガラス板２１と、第２のガラス板２２とは、相互に間隔を置いて対向している。第１及び第２のガラス板２１，２２のそれぞれの厚みは、特に限定されない。第１及び第２のガラス板２１，２２のそれぞれの厚みは、例えば、０．０１ｍｍ〜１ｍｍ程度とすることができる。

第１のガラス板２１と第２のガラス板２２との間には、側壁部材２３が配されている。第１のガラス板２１と第２のガラス板２２とは、それぞれ側壁部材２３と接合されている。この側壁部材２３と、第１及び第２のガラス板２１，２２とにより第１〜第４の内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄが区画形成されている。

本実施形態では、側壁部材２３は、どのような材質の部材により構成されていてもよい。側壁部材２３は、例えば、ガラス材、セラミック材又は金属材により構成することができる。例えば、薄い内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを実現する観点からは、側壁部材２３として、ガラスシートや金属箔を用いることが好ましい。なお、本発明においては、ガラスシートとは、厚みが１ｍｍ以下、通常は、厚みが０．００５ｍｍ〜０．１ｍｍであるガラス材のことをいう。

本実施形態では、側壁部材２３がガラスシートにより構成されている例について説明する。

本発明において、ガラスセルの全体がガラスにより構成されている必要はない。本発明において、ガラスセルは、第１及び第２のガラス板を有しているセル全般を意味する。

側壁部材２３とガラス板２１，２２との接合方法は、特に限定されない。側壁部材２３とガラス板２１，２２とは、例えば、接着剤を用いて接着されていてもよい。本実施形態では、側壁部材２３と、第１及び第２のガラス板２１，２２とのそれぞれは、陽極接合により接合されている。具体的には、側壁部材２３の第１のガラス板２１側の表面又は第１のガラス板２１の側壁部材２３側の表面の上に金属膜２４が形成されている。第１のガラス板２１と側壁部材２３とのうち、金属膜２４が形成されていない側の部材は、アルカリ金属酸化物を含むガラスにより構成されている。金属膜２４と第１のガラス板２１又は側壁部材２３とが陽極接合されている。側壁部材２３の第２のガラス板２２側の表面又は第２のガラス板２２の側壁部材２３側の表面の上に金属膜２５が形成されている。第２のガラス板２２と側壁部材２３とのうち、金属膜２５が形成されていない側の部材は、アルカリ金属酸化物を含むガラスにより構成されている。金属膜２５と第２のガラス板２２又は側壁部材２３とが陽極接合されている。このように、側壁部材２３と、ガラス板２１，２２とを陽極接合することにより、側壁部材２３とガラス板２１，２２との接合強度を高めることができる。

図１に示されるように、ガラスセル１０には、第１の連通口３１と、第２の連通口３２と、第３の連通口３３と、第４の連通口３４とが設けられている。

第１の連通口３１は、第１の内部空間１０ａに接続されている。第１の連通口３１は、第１の内部空間１０ａのｘ１側に位置している。第１の連通口３１は、第１の内部空間１０ａと外部とを連通している。第１の連通口３１は、第１の部分３１ａと、第２の部分３１ｂとを有する。第１の部分３１ａは、第１の内部空間１０ａからｘ軸方向に沿ってｘ１側に延びている。第２の部分３１ｂは、第１の部分３１ａのｘ１側の先端部に接続されている。第２の部分３１ｂは、ｙ軸方向に沿って延びている。第２の部分３１ｂは、ガラスセル１０の第１及び第２の側面１０ｅ、１０ｆのそれぞれに開口している。第１の連通口３１の各開口は、第１または第２の側面１０ｅ、１０ｆの上に設けられた閉口材４１ａ、４１ｂによって閉口されている。これら閉口材４１ａ、４１ｂと、後述する閉口材４２ａ、４２ｂ、４３ａ、４３ｂ、４４ａ、４４ｂとは、それぞれ、例えば、ガラス、樹脂、セラミックスなどにより構成することができる。

第２の連通口３２は、第２の内部空間１０ｂに接続されている。第２の連通口３２は、第２の内部空間１０ｂのｘ１側に位置している。第２の連通口３２は、第２の内部空間１０ｂと外部とを連通している。第２の連通口３２は、第１の部分３２ａと、第２の部分３２ｂとを有する。第１の部分３２ａは、第２の内部空間１０ｂからｘ軸方向に沿ってｘ１側に延びている。第２の部分３２ｂは、第１の部分３２ａのｘ１側の先端部に接続されている。第２の部分３１ｂは、ｙ軸方向に沿って延びている。第２の部分３２ｂは、ガラスセル１０の第１及び第２の側面１０ｅ、１０ｆのそれぞれに開口している。第２の連通口３２の各開口は、第１または第２の側面１０ｅ、１０ｆの上に設けられた閉口材４２ａ、４２ｂによって閉口されている。

本実施形態では、第２の部分３２ｂは、図１の平面視において、第２の部分３１ｂと重なっていない。第２の部分３１ｂは、第２の部分３２ｂよりもｘ１側に位置している。

第３の連通口３３は、第３の内部空間１０ｃに接続されている。第３の連通口３３は、第３の内部空間１０ｃのｘ２側に位置している。第３の連通口３３は、第３の内部空間１０ｃと外部とを連通している。第３の連通口３３は、第１の部分３３ａおｔ、第２の部分３３ｂとを有する。第１の部分３３ａは、第３の内部空間１０ｃからｘ軸方向に沿ってｘ２側に延びている。第２の部分３３ｂは、第１の部分３３ａのｘ２側の先端部に接続されている。第２の部分３３ｂは、ｙ軸方向に沿って延びている。第２の部分３３ｂは、ガラスセル１０の第１及び第２の側面１０ｅ、１０ｆのそれぞれに開口している。第３の連通口３３の各開口は、第１または第２の側面１０ｅ、１０ｆの上に設けられた閉口材４３ａ、４３ｂによって閉口されている。

第４の連通口３４は、第４の内部空間１０ｄに接続されている。第４の連通口３４は、第４の内部空間１０ｄのｘ２側に位置している。第４の連通口３４は、第４の内部空間１０ｄと外部とを連通している。第４の連通口３４は、第１の部分３４ａと、第２の部分３４ｂとを有する。第１の部分３４ａは、第４の内部空間１０ｄからｘ軸方向に沿ってｘ２側に延びている。第２の部分３４ｂは、第１の部分３４ａのｘ２側の先端部に接続されている。第２の部分３４ｂは、ｙ軸方向に沿って延びている。第２の部分３４ｂは、ガラスセル１０の第１及び第２の側面１０ｅ、１０ｆのそれぞれに開口している。第４の連通口３４の各開口は、第１または第２の側面１０ｅ、１０ｆの上に設けられた閉口材４４ａ、４４ｂによって閉口されている。

本実施形態では、第２の部分３４ｂは、図１の平面視において、第２の部分３３ｂと重なっていない。第２の部分３４ｂは、第２の部分３３ｂよりもｘ２側に位置している。

第１〜第４の連通口３１〜３４は、それぞれ、例えば、ガラス板２１，２２及び側壁部材２３の少なくとも一方に設けられた溝により構成することができる。連通口３１〜３４を構成するための溝は、例えばレーザー光の照射やエッチングによって形成することができる。

このように、本実施形態では、複数の連通口３１〜３４の全てが、第１及び第２の側面１０ｅ、１０ｆのそれぞれまで延伸している。

図３及び図４に示されるように、内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ１側に設けられた第１及び第２の連通口３１，３２のうちの第１の連通口３１は、第２のガラス板２２と側壁部材２３との間に設けられている一方、第２の連通口３２は、第１のガラス板２１と側壁部材２３との間に設けられている。内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ２側に設けられた第３及び第４の連通口３３，３４のうちの第３の連通口３３は、第１のガラス板２１と側壁部材２３との間に設けられている一方、第４の連通口３４は、第２のガラス板２２と側壁部材２３との間に設けられている。

ところで、第１〜第４の内部空間は、密閉空間である。このため、機能デバイスの温度が上昇すると、第１〜第４の内部空間の内圧が上昇する。例えば、複数の連通口の全てが第１のガラス板と側壁部材との間に設けられている場合は、第１〜第４の内部空間の内圧が、第１のガラス板と側壁部材との間に集中的に加わる。このため、第１のガラス板と側壁部材とが剥離しやすい。

一方、本実施形態では、複数の連通口３１〜３４のうちの一部の連通口３２，３３が第１のガラス板２１と側壁部材２３との間に設けられており、他の連通口３１，３４が第２のガラス板２２と側壁部材２３との間に設けられている。このため、機能デバイス１の温度が上昇し、内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄの内圧が上昇した場合、第１のガラス板２１と側壁部材２３との間と、第２のガラス板２２と側壁部材２３との間との両方に分散して応力が加わる。従って、ガラス板２１，２２と側壁部材２３とが剥離しにくい。よって、機能デバイス１の温度が変化したときにもガラスセル１０は破損しにくい。

温度変化に伴うガラスセル１０の破損をより効果的に抑制する観点から、第１の連通口３１が内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ１側において第２のガラス板２２と側壁部材２３との間に設けられており、第２の連通口３２が内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ１側において第１のガラス板２１と側壁部材２３との間に設けられており、第３の連通口３３が内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ２側において第１のガラス板２１と側壁部材２３との間に設けられており、第４の連通口３４が内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ２側において第２のガラス板２２と側壁部材２３との間に設けられていることが好ましい。

特に、本実施形態のように、内部空間が偶数個の場合、第１のガラス板２１と側壁部材２３との間に設けられている第１の連通孔３１と、第２のガラス板２２と側壁部材２３との間に設けられている第２の連通孔３２との個数が等しいことが好ましい。

ガラスセル１０では、全ての連通口３１〜３４が側面１０ｅ、１０ｆまで延伸している。このため、内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを減圧した状態で、側面１０ｅ、１０ｆを液体である機能剤に接触させることにより、内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに機能剤を容易に真空注入することができる。

なお、本実施形態では、内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ１側に位置している第２の部分３１ｂと第２の部分３２ｂとが図１の平面視において重なっておらず、内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ２側に位置している第２の部分３３ｂと第２の部分３４ｂとが図１の平面視において重なっていない例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ１側に位置している第２の部分３１ｂと第２の部分３２ｂとが図１の平面視において重なっていてもよい。内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのｘ２側に位置している第２の部分３３ｂと第２の部分３４ｂとが図１の平面視において重なっていてもよい。

（機能デバイス１の製造方法）
次に、機能デバイス１の製造方法の一例について説明する。

まず、複数の第１のガラス板２１を構成するための第１のマザーガラス板５１（図６を参照）と、複数の第２のガラス板２２を構成するための第２のマザーガラス板５２と、複数の側壁部材２３を構成するためのマザー側壁部材５３とを用意する。次に、第１のマザーガラス板５１と、マザー側壁部材５３と、第２のマザーガラス板５２とを積層し、接合させることによりマザー積層体５４を作製する。マザー積層体５４には、ガラスセル１０を構成するための部分がマトリクス状に複数設けられている。以下、マザー積層体５４の、ガラスセル１０を構成するための部分を、ガラスセル部５４ａと称呼する。

マザー積層体５４では、ｙ軸方向に沿って配された複数のガラスセル部５４ａのそれぞれの第１の連通口３１の第２の部分３１ｂは、相互に接続されており、マザー積層体５４の一の側面５４ｂまで延伸している。ｙ軸方向に沿って配された複数のガラスセル部５４ａのそれぞれの第２の連通口３２は、相互に接続されており、は、相互に接続されており、マザー積層体５４の一の側面５４ｂまで延伸している。ｙ軸方向に沿って配された複数のガラスセル部５４ａのそれぞれの第３の連通口３３は、相互に接続されており、マザー積層体５４の一の側面５４ｂまで延伸している。ｙ軸方向に沿って配された複数のガラスセル部５４ａのそれぞれの第４の連通口３４は、相互に接続されており、マザー積層体５４の一の側面５４ｂまで延伸している。

次に、各ガラスセル部５４ａの第１の内部空間１０ａ、１０ｇ、１０ｋ、第２の内部空間１０ｂ、１０ｈ、１０ｌ、第３の内部空間１０ｃ、１０ｉ、１０ｍ、第４の内部空間１０ｄ、１０ｊ、１０ｎに機能剤を注入する。これらの内部空間への機能剤の注入は、例えば、真空注入により行うことができる。具体的には、例えば以下の要領で機能剤の真空注入を行うことができる。まず、第１〜第４の連通口３１〜３４のうち、第１の連通口３１を除く、第２〜第４の連通口３２〜３４を、例えば樹脂等を用いて閉口させる。次に、第１の内部空間１０ａを減圧させた状態で、マザー積層体５４の側面５４ｂ側の部分を機能剤に浸漬する。これにより、機能剤を第１の内部空間１０ａ、１０ｇ、１０ｋに真空注入する。次に、第１の連通口３１の側面５４ｂにおける開口を閉口材４１ｂを用いて閉口する一方、閉口されていた第２の連通口３２を開口させる。第２の連通口３２の開口は、第２の連通口３２の側面５４ｂにおける開口部にレーザーを照射することにより閉口させていた樹脂等を除去することにより行うことができる。次に、第２の内部空間１０ｂを減圧させた状態で、マザー積層体５４の側面５４ｂ側の部分を機能剤に浸漬する。これにより、機能剤を第２の内部空間１０ｂ、１０ｈ、１０ｌに真空注入する。次に、第２の連通口３２の側面５４ｂにおける開口を閉口材４２ｂを用いて閉口する一方、閉口されていた第３の連通口３３を開口させる。次に、第３の内部空間１０ｃを減圧させた状態で、マザー積層体５４の側面５４ｂ側の部分を機能剤に浸漬する。これにより、機能剤を第３の内部空間１０ｃ、１０ｉ、１０ｍに真空注入する。次に、第３の連通口３３の側面５４ｂにおける開口を閉口材４３ｂを用いて閉口する一方、閉口されていた第４の連通口３４を開口させる。次に、第４の内部空間１０ｄを減圧させた状態で、マザー積層体５４の側面５４ｂ側の部分を機能剤に浸漬する。これにより、機能剤を第４の内部空間１０ｄ、１０ｊ、１０ｎに真空注入する。次に、第４の連通口３４の側面５４ｂにおける開口を閉口材４４ｂを用いて閉口する。以上の工程により、これらの内部空間のそれぞれに機能剤を注入することができる。

その後、マザー積層体５４をカットラインＣＬに沿って切断することにより複数に分断し、その後、連通口３１〜３４の開口部を閉口材４１ｂ、４２ｂ、４３ｂ、４４ｂを用いて閉口させることにより複数の機能デバイス１を完成させることができる。

本実施形態の製造方法にれば、複数の機能デバイス１を効率的に製造することができる。

なお、本発明において、「真空注入」とは、内部空間を減圧した状態で、内部空間に接続された連通口を液体に接触させることにより内部空間に液体を導入することを意味する。

以下、本発明の好ましい実施形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。

（第２及び第３の実施形態）
図７は、第２の実施形態に係る
機能デバイスの模式的平面図である。図８は、第３の実施形態に係る機能デバイスの模式的平面図である。

第１の実施形態では、ガラスセル１０が、４つの内部空間１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを有する例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。本発明において、ガラスセルは、例えば、２つ又は３つの内部空間を有していてもよいし、５つ以上の内部空間を有していてもよい。

図７及び図８に示されるように、機能デバイス１ａ、１ｂのガラスセル１０は、第１の内部空間１０ａと第２の内部空間１０ｂとの２つの内部空間を有する。

図７に示されるように、第２の実施形態に係る機能デバイス１ａでは、第１の連通口３１が第１及び第２の内部空間１０ａ、１０ｂのｘ１側に設けられている一方、第２の連通口３２が第１及び第２の内部空間１０ａ、１０ｂのｘ２側に設けられている。第１の連通口３１は、第１及び第２のガラス板２１，２２の一方と側壁部材２３との間に設けられており、第２の連通口３２は、第１及び第２のガラス板２１，２２の他方と側壁部材２３との間に設けられている。

図８に示されるように、第３の実施形態に係る機能デバイス１ｂでは、第１及び第２の連通口３１，３２の両方が、第１及び第２の内部空間１０ａ、１０ｂのｘ１側に設けられている。第１の連通口３１は、第１及び第２のガラス板２１，２２の一方と側壁部材２３との間に設けられており、第２の連通口３２は、第１及び第２のガラス板２１，２２の他方と側壁部材２３との間に設けられている。

機能デバイス１ａ、１ｂにおいても、第１の実施形態と同様の効果が奏される。

１，１ａ，１ｂ 機能デバイス
１０ ガラスセル
１０ａ，１０ｇ，１０ｋ 第１の内部空間
１０ｂ，１０ｈ，１０ｌ 第２の内部空間
１０ｃ，１０ｉ，１０ｍ 第３の内部空間
１０ｄ，１０ｊ，１０ｎ 第４の内部空間
１０ｅ 第１の側面
１０ｆ 第２の側面
１１ 機能剤
２１ 第１のガラス板
２２ 第２のガラス板
２３ 側壁部材
２４，２５ 金属膜
３１ 第１の連通口
３２ 第２の連通口
３３ 第３の連通口
３４ 第４の連通口
３１ａ，３２ａ，３３ａ，３４ａ 第１の部分
３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ，３４ｂ 第２の部分
４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ 閉口材
５１ 第１のマザーガラス板
５２ 第２のマザーガラス板
５３ マザー側壁部材
５４ マザー積層体
５４ａ ガラスセル部
ＣＬ カットライン

Claims (12)

1. 第１のガラス板と、
   前記第１のガラス板と間隔を置いて対向している第２のガラス板と、
   前記第１のガラス板と前記第２のガラス板との間に配されており、前記第１及び第２のガラス板と共に複数の内部空間を区画形成している側壁部材と、
   前記複数の内部空間のそれぞれを外部に連通させる連通口と、
   を備え、
   一の前記内部空間に接続された連通口が前記第１のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている一方、他の前記内部空間に接続された連通口が前記第２のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている、ガラスセル。
2. 平面視において、前記複数の内部空間が、一の方向に沿って配列されており、
   平面視において、前記一の内部空間に接続された連通口が、前記一の方向に対して垂直な他の方向において前記複数の内部空間の一方側に位置している一方、前記他の内部空間に接続された連通口が、前記他の方向において前記複数の内部空間の他方側に位置している、請求項１に記載のガラスセル。
3. 平面視において、前記複数の内部空間が、一の方向に沿って配列されており、
   平面視において、前記一の内部空間に接続された連通口と、前記他の内部空間に接続された連通口とのそれぞれが、前記一の方向に対して垂直な他の方向において前記複数の内部空間の一方側に接続されている、請求項１に記載のガラスセル。
4. 前記複数の連通口の全てが前記ガラスセルの一の側面まで延伸されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載のガラスセル。
5. 前記側壁部材がガラス材、セラミック材又は金属材により構成されている、請求項１〜４のいずれか一項に記載のガラスセル。
6. 前記第１及び第２のガラス板と前記側壁部材とが陽極接合により接合されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載のガラスセル。
7. 前記内部空間が４つ以上設けられている、請求項１〜６のいずれか一項に記載のガラスセル。
8. 前記内部空間が偶数個設けられており、前記第１のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている連通口の数と、前記第２のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている連通口の数とが等しい、請求項１〜６のいずれか一項に記載のガラスセル。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のガラスセルと、
   前記内部空間に封入された機能剤と、
   を備える、機能デバイス。
10. 請求項９に記載の機能デバイスの製造方法であって、
    前記複数の連通口のうちの一部を除いた連通口を閉口させた状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第１の真空注入工程と、
    前記第１の真空注入工程の後に、前記機能剤が真空注入された内部空間に接続された連通口を閉口させる一方、他の前記連通口の少なくとも一部の閉口を解除した状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第２の真空注入工程と、
    を備える、機能デバイスの製造方法。
11. 請求項９に記載の機能デバイスの製造方法であって、
    前記第１のガラス板を構成するための第１のマザーガラス板と、前記第２のガラス板を構成するための第２のマザーガラス板とを、前記側壁部材を介在させて接合することにより、複数の内部空間と前記複数の内部空間のそれぞれを外部に連通させる連通孔とを備えるマザー積層体を作製する工程と、
    前記複数の連通口のうちの一部を除いた連通口を閉口させた状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第１の真空注入工程と、
    前記第１の真空注入工程の後に、前記機能剤が真空注入された内部空間に接続された連通口を閉口させる一方、他の前記連通口の少なくとも一部の閉口を解除した状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第２の真空注入工程と、
    前記機能剤が注入されたマザー積層体を複数に分断することにより複数の機能デバイスを得る工程と、
    を備える、機能デバイスの製造方法。
12. 前記マザー積層体において、一の前記機能デバイスを構成するための部分に含まれる一の前記内部空間に接続された連通口と、他の前記機能デバイスを構成するための部分に含まれる一の前記内部空間に接続された連通口とが接続されている、請求項１１に記載の機能デバイスの製造方法。