JP6232947B2 - 平坦度検出装置及び平坦度検出方法 - Google Patents
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Description
この特許文献1に記載の粗さ曲線の抽出方法では、断面曲線のデータを間引き率Dでダウンサンプリングして断面曲線の間引きデータを得てから、間引きデータにカットオフ波長λ'c=λc/Dのガウシアンフィルターを適用して、カットオフ波長λc以上の長波長成分を抽出し、断面曲線からカットオフ波長λc以上の長波長成分を減算して粗さ曲線を得るようになっている。
この発明では、各小領域の平均z積分値を算出する。これにより、例えば、所定の小領域と当該所定の小領域に隣接する領域の面積が異なった場合であっても、物体表面における所定の小領域と当該所定の小領域に隣接する領域との凹凸の変化を精度よく検出できる。
この発明では、各小領域の平均z積分値を算出する。これにより、例えば、所定の小領域と当該所定の小領域に隣接する領域の面積が異なった場合であっても、物体表面における所定の小領域と当該所定の小領域に隣接する領域との凹凸の変化を精度よく検出できる。
この発明では、所定の小領域の平均z積分値と当該所定の小領域に隣接する小領域の平均z積分値との差異が、所定の閾値を超えている場合にその小領域を表示部に表示させる。これにより、使用者は、表示部を視認することにより、物体表面の凹凸の変化、すなわち、物体表面の平坦度の変化があった位置を容易に認識することができる。ここで、平均z積分値の差異における所定の閾値は、使用者が自由に設定することができる。これにより、使用者が物体表面の平坦度の変化のうち、所望の平坦度の変化量を超える位置を検出することが可能となる。
ここで、三次元測定装置として、非接触型の三次元測定装置(例えば光切断法等、レーザー光の反射を利用してその反射光を撮像手段により撮像する場合、レーザー光の反射位置や撮像素子の感度や反射光の輝度のバラつき等によって、三次元位置を取得できないことがある。このような場合であっても、この発明では、座標変換手段により整数化されたx座標値及びy座標値に最も近い座標がない場合に、当該座標、及びその座標におけるz座標代表値が補完される。これにより、z積分高さ算出手段がこれらの補完されたz座標代表値を用いて算出されるべき積分高さを補完するので、正確に物体表面の凹凸の変化、すなわち、物体表面の平坦度が変化した位置を認識することができる。
この発明では、例えば使用者により入力された設定条件に基づいて、算出すべき小領域を所望の範囲に設定することができる。これにより、使用者は、例えば、大まかな所定領域における平坦度を検出した後、物体表面の積分高さ(平均高さ)の変化量が大きいと判定された部分を所定領域として設定し、再度、設定した所定領域内の平坦度を検出することができる。すなわち、平坦度の検出を必要としない範囲(領域)については、再度その領域を含む範囲の平坦度の検出をする必要が無いので、より平坦度の検出を高速化することができる。
図1は、本実施形態の平坦度検出装置の概略構成を示すブロック図である。
本実施形態の平坦度検出装置1は、図1に示すように、ワーク40(図2参照)の欠陥を検出するための装置である。この平坦度検出装置1としては、例えばパーソナルコンピューター等の汎用コンピューターを用いることができる。そして、平坦度検出装置1は、図1に示すように、操作部11と、入出力端子部12と、記憶部13と、表示部14と、制御部20と、を備える。
入出力端子部12は、外部接続機器と通信可能に接続する部位であり、三次元測定装置2が接続される。この入出力端子部12には、例えば、制御部20で処理されたデータ等をプリントするプリンターなどが接続される。
計測センサーは、ワーク40の表面(物体表面)上の複数点の三次元位置(x,y,z)を形状計測する。また、三次元形状計測手段は、計測センサーを制御してワーク40の計測データを取得し、取得された計測データから点群データ(形状計測がなされた複数箇所それぞれの三次元位置により構築されるデータ)を生成する。
計測センサー及び三次元形状計測手段としては、ワーク40の外周表面を複数の計測点で精度よく取得できるものであれば特に限定されない。例えば、2台のカメラを用いステレオ法により各計測点の三次元座標を検出するものであってもよく、スリット光を照射して、各計測点の三次元座標を検出する光切断法や、光パターンを投影することで各計測点の三次元座標を検出するパターン投影法などを用いてもよい。
例えば、ワーク40に対してフィルム50を貼り付ける場合を例示する。図2は、ワークの一例を示す図である。図3は、ワークにフィルムを圧着した状態を示す簡易図である。
図2において、ワーク40は、例えば、液体の供給口であり、第1部材41及び第2部材42の表面にフィルム50を圧着して貼り付けることで、第1部材41及び第2部材42の間が封止される。
本発明は、このような課題を解決するために考え出された発明であり、急激に平坦度が変化する位置を特定するため、ワーク40の平坦度を検出する。
記憶部13に記憶される各種データとしては、三次元測定装置2から入力された計測データなどが挙げられる。
計測データは、上述したように、ワーク40を三次元測定装置2により外周表面の形状計測を行って得られた点群データであり、ワーク40の外周面を構築する複数の計測点を備えている。
表示部14には、制御部20により処理されるプログラムや、プログラムを実行することにより求められた各種情報が表示される。
この整数化フィルターとしては、例えば、下記式(1)に示すような、整数化フィルターを用いることができる。
領域設定手段25は、条件取得手段24により取得した設定条件に基づいて、点群データを取得したワーク40の第1部材41における検査対象とすべき位置及び範囲である小領域(例えば、P)を設定する(図5参照)。小領域Pには、複数の小領域P1、P2、P3、及び、P4が隣接している。
この積分高さフィルターとしては、例えば、下記式(2)に示すような、積分高さフィルターを用いることができる。
この平均高さフィルターとしては、下記式(3)に示すような、平均高さフィルターを用いることができる。
なお、比較手段28は、対象領域Pと各小領域(隣接領域P1,P2,P3,P4)とのサイズ、すなわち、面積が同一であれば、平均高さではなく、積分高さを比較するようにしてもよい。
次に、上述のような平坦度検出装置の動作について図面に基づいて説明する。
図4は、本実施形態の平坦度検出装置1の動作を示すフローチャートである。
この際、変換後の座標のz座標値として、複数の点群データが同一のx座標及びy座標に写像される場合は、これらの点群データのz座標値の平均値を高さデータz(x,y)とする。なお、上述のように高さデータz(x,y)としてメディアン値等を用いてもよい。
すなわち、座標(xi,yi)に対する高さデータz(xi,yi)がないと判定された場合は、高さデータ補完手段23は、その周囲の整数座標(xi−1,yi−1)、(xi−1,yi)、(xi−1,yi+1)、(xi,yi−1)、(xi,yi+1)、(xi+1,yi−1)、(xi+1,yi)、(xi+1,yi+1)の高さデータから、座標(xi,yi)に対する高さデータz(xi,yi)を補完する。
なお、ステップS4の処理は、測定前に予め実施され、記憶部13に記憶されていてもよい。
この後、積分高さ算出手段26は、xy平面領域において、原点位置から小領域Pにおける頂点までの領域の積分高さを上記式(2)により算出する(S6:z積分値算出ステップ)。
ステップS6において、原点位置としては、例えば、図5における(0,0)を原点としてもよく、ステップS1において点群データが得られた測定範囲(x1≦x≦x2,y1≦y≦y2)における4頂点のいずれか(例えば点(x1,y1))を原点としてもよい。また、小領域P,P1,P2,P3,P4を1つのグループとして、例えば、小領域P3における1つの頂点(xp3,yp3)を原点としてもよい。
この後、平均高さ算出手段27は、各小領域(P,P1,P2,P3,P4)における平均高さを、上記式(3)に基づいて、算出する(S7)。上記式(3)において、小領域の各頂点までの積分高さは、ステップS6により求められている。
例えば、原点位置を(0,0)とし、小領域Pの平均高さを算出する場合、平均高さ算出手段27は、図5に示すように、小領域Pを含む点(xp2,yp2)までの積分高さ、及び点(xp1,yp2)までの積分高さを減じ、点(xp1,yp1)までの積分高さを加算する。これにより、小領域Pに対する積分高さが算出される。そして、この小領域に対する積分高さを小領域Pの面積で除することで、加減算5回及び除算1回を行うのみで、単位面積当たりの平均高さが、高速に求められる。
また、これと同様の方法により、平均高さ算出手段27は、その他の各小領域P1,P2,P3,P4の平均高さを算出する。
ステップS7において、平均高さの差が、所定の閾値を超えていると判定された場合(S7;Yes)、比較手段28は、平坦度が低い(平坦ではない)と判定する。この場合、表示制御手段29は、対象領域Pの平坦度が低い旨を表示部14に表示させる(S8)。
表示制御手段29は、図6に示すように、上記式(3)により算出した平均高さの差異の大きさ、すなわち、平坦度の急激に変化した平坦度の変化量の大きさを、例えば、図6に示すように、グレースケールで表示する。換言すれば、表示制御手段29は、平坦度の変化量に応じて表示の濃淡を制御し、平坦度の変化量が大きいほど、濃い色で表示部14に当該平坦度の変化量を表示させる。これにより、図6に示す画像が表示された表示部14を視認することで、ユーザーは、領域R2より領域R1の表示色が濃いことから、直感的に、領域R1の平坦度の変化量が高いことを認識することができる。
次に、図2に示したようなワーク40に対する平坦度検出結果について説明する。上述したように、ワーク40は、第1部材41及び第2部材42にフィルム50を圧着させるため、圧着時に隙間が生じないよう、第1部材41及び第2部材42の表面における平坦度を検出する必要がある。
図7(A)〜(D)は、本実施形態の平坦度検出装置により検出されたワークの凸部の平坦度(高さ変化量)の一例を示す図である。
これらの図7(A)〜(D)において、x軸は、ワーク40の第1部材41の表面410の幅方向を示し、z軸は、ワーク40の第1部材41の表面410の高さ変化量(例えば、積分高さの変化量)を示している。また、図7(A)〜(D)におけるワーク40の第1部材41の表面410の幅方向は、一定の幅ごとの各小領域に区分けされている。
図7(C)において、積分高さの変化量の高低差は、極めて小さい。さらに、各小領域を対象領域とし、平坦度の検出を行った場合であっても、当該対象領域の平均高さと対象領域に隣接する小領域の平均高さとの差は、所定の閾値Δαより小さい。このような場合、図7(B)に示す場合と同様に、平坦度検出装置1の制御部20の比較手段28は、平坦であると判定するので、表示制御手段29による各小領域の表示部14への表示がなされない。これにより、使用者は、表示部14に各小領域が表示されないことを受けて、ワーク40とフィルム50とが正常に圧着されることを認識できる。
上記のように、本実施形態の平坦度検出装置1及び平坦度検出方法では、座標変換手段22によりx座標値及びy座標値を整数化するため、x座標値及びy座標値を実測値のまま用いる場合等に比較して、積分高さを算出する時間が短縮化される。例えば、検出された(x,y)座標が、(1.1,1.3)、(1.4,1.2)の場合、これらの2つの座標が整数化されると、いずれも(1,1)となり、そのz座標代表値を用いるので、結果として計算に用いる座標数を減少させることができる。
また、各小領域Pの積分高さを算出し、これらの各小領域における積分高さを比較する。これにより、物体表面の凹凸の有無や凹凸による高さの変化量を検出することができる。すなわち、本実施形態では、各小領域(P,P1,P2,P3,P4)の高さデータz(x,y)の積分高さを算出するだけでよく、測定点を詳細に設定する等の必要もないので、処理時間を短縮できる。さらに、本発明では、各小領域(P,P1,P2,P3,P4)のz座標代表値の積分高さを比較することにより(対象領域P及び隣接領域P1〜P4の領域サイズが同一の場合)、物体表面の凹凸の変化、すなわち、物体表面の平坦度の変化があった位置を容易に検出できる。この際、上記のように、各小領域の積分高さを算出する手法では、その算出に係る時間が短く、高速で物体表面の平坦度を検出できる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、上記実施形態では、ワーク40の第1部材41に対して平坦度検出を実施する例を示したが、ワーク40のその他の面、例えば、第2部材42の平坦度検出においても同様の処理を用いて検出することができる。さらに、フィルム50をワーク40に圧着させる際に用いたが、これに限らず、平坦度を検出する必要がある物体であれば、如何なる物体の平坦度を検出するようにしてもよい。
なお、所定の閾値は、領域設定手段25により設定された小領域(対象領域P)の面積に対応して定められる。例えば、対象領域Pの面積が大きければ大きいほど、閾値はそれに応じて大きく設定され、対象領域Pの面積が小さければ小さいほど、閾値はそれに応じて小さく設定される。ただし、具体的な小領域Pの面積と閾値は、平坦度を検出すべき物体とフィルムの材質、圧着方法により適宜決定され、前述の基準に限られない。
Claims (5)
- 物体表面の複数箇所の三次元位置(x,y,z)を形状計測し、当該複数箇所それぞれの三次元位置により構築される点群データを生成する三次元測定装置から、当該点群データを取得する点群データ取得手段と、
前記点群データにおける前記三次元位置(x,y,z)のうちx座標値及びy座標値を整数化し、各x,y座標値に対するz座標代表値を算出する座標変換手段と、
xy平面領域を分割した複数の小領域に対し前記z座標代表値を積分したz積分値を算出するz積分値算出手段と、
前記小領域の前記z積分値の単位面積当たりの平均値である平均z積分値を算出する平均z積分値算出手段と、
所定の前記小領域の前記平均z積分値と当該所定の小領域に隣接する小領域の前記平均z積分値とを比較する比較手段と、を備えることを特徴とする平坦度検出装置。 - 請求項1に記載の平坦度検出装置において、
表示部と、
前記所定の小領域と当該所定の小領域に隣接する小領域との前記平均z積分値の差が所定の閾値を超えている場合に、前記所定の小領域を前記表示部に表示させる表示制御手段と、を備えることを特徴とする平坦度検出装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の平坦度検出装置において、
前記座標変換手段による整数化後にx座標が最も近い2点間のx座標の差が2以上、またはy座標が最も近い2点間のy座標の差が2以上である場合に、これらの2点間の間の座標及び当該座標に対するz座標を補完するz座標値補完手段を備え、
前記z積分値算出手段は、前記z座標値補完手段により補完されたz座標値を用いて前記小領域における前記z積分値を算出することを特徴とする平坦度検出装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の平坦度検出装置において、
前記小領域の範囲を設定する設定条件を取得する条件取得手段と、
取得した前記設定条件に応じて前記小領域の範囲を設定する領域設定手段と、を備えることを特徴とする平坦度検出装置。 - 物体表面の複数箇所の三次元位置(x,y,z)を形状計測し、当該複数箇所それぞれの三次元位置により構築される点群データを生成する三次元測定装置から、当該点群データを取得する点群データ取得ステップと、
前記点群データにおける前記三次元位置(x,y,z)のうちx座標値及びy座標値を整数化し、各x,y座標値に対するz座標代表値を算出する座標変換ステップと、
xy平面領域を分割した複数の小領域に対し前記z座標代表値を積分したz積分値を算出するz積分値算出ステップと、
前記小領域の前記z積分値の単位面積当たりの平均値である平均z積分値を算出する平均z積分値算出ステップと、
所定の前記小領域の前記平均z積分値と当該所定の小領域に隣接する小領域の前記平均z積分値とを比較する比較ステップと、を実施することを特徴とする平坦度検出方法。
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