JP6230282B2 - 質量分析装置 - Google Patents
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Description
試料に一次イオンを照射し、前記試料から放出される二次イオンを質量分析する質量分析装置であって、
前記試料を配置するチャンバーと、
前記試料に粒子を照射するための照射手段と、
前記試料から放出される二次イオンを質量分析手段へ導く引き出し電極と、を有し、
前記照射手段が、前記試料から二次イオンを放出させるための前記一次イオンを照射する第1のモードと、前記試料に付着させるための水分子を含む粒子を放出する第2のモードと、を切り替えて前記試料に粒子を照射する手段であり、且つ前記チャンバーに接続した共通の開口を介して前記一次イオンおよび前記水分子をそれぞれ前記試料に照射する手段であることを特徴とする。
また、上記目的を達成するために、本発明に係る質量分析装置の第二は、試料に一次イオンを照射し、前記試料から放出される二次イオンを質量分析する質量分析装置であって、
前記試料を配置するチャンバーと、
前記試料に粒子を照射するための照射手段と、
前記試料から放出される二次イオンを質量分析手段へ導く引き出し電極と、を有し、
前記照射手段が、前記試料から二次イオンを放出させるための前記一次イオンを照射する第1のモードと、前記試料に付着させるための水分子を含む粒子を放出する第2のモードと、を切り替えて前記試料に粒子を照射する手段であり、
前記照射手段は、前記一次イオンの一次イオンビームと、前記水分子を含むイオン粒子のビームを照射するビーム照射手段であり、前記第2のモードで前記粒子を照射する加速エネルギーが前記第1のモードで前記一次イオンを照射する加速エネルギーよりも低いことを特徴とする。
ビーム照射手段であるビーム発生部3の構成は、後述の各実施形態で詳細に説明するように種々の形態を採用することができるが、図1に示すような試料を配置する測定チャンバー5に連結可能な粒子生成チャンバー24と、ビームとなる粒子の導入部11または18、を少なくとも有する構成である。粒子生成チャンバー24は、導入部からの液体または気体の放出によって粒子を生成するために、チャンバー内の減圧、および加圧が可能なように耐圧チャンバーが用いられる。
ビーム発生部3から放出される、試料に付着させる水分子を含む粒子のビームは、水のモノマーのみから構成されてもよく、水クラスターのみから構成されてもよく、あるいは両者が混在していてもよい。また、Ar等のモノマーやクラスターと、水のモノマーや水クラスターが混在していてもよい。また、ヘリウムガスや窒素ガス等と水のモノマーや水クラスターが混在していてもよい。また、ビーム発生部に供給する水に予めエタノールやメタノールなどのアルコールなど、有機溶媒を含ませておいてもよい。また、ビーム発生部に供給する水に予めギ酸、酢酸、トリフルオロ酢酸などの酸を含ませておいてもよい。
ビーム発生部3から放出される一次イオンビームは、試料2から二次イオンを放出させることができるものであればよい。一次イオンの種類は特に限定されないが、例えば、Bi+若しくはGa+などの液体金属系イオン、Bi3+ 若しくはAu3+等の金属系のクラスターイオン、又はC60+等の炭素系クラスターイオン、又は水(H2O)等の液体系クラスターイオン、又はAr等のガス系のクラスターイオン等を用いることができる。生体試料に対しては、クラスターイオンはダメージを軽減する効果があるので特に有効である。
試料表面に水分子を付与するためには、まず測定チャンバー5内を真空にする。続いて試料を、導入する水または水溶液が固体または液体として存在可能な温度に保つ。その温度は真空チャンバーの圧力に依存し、導入する水または水溶液の蒸気圧曲線から求めることができる。そして水分子を含む非イオン粒子のビームを試料に照射する。このとき、水分子を含む非イオン粒子のビームの照射量、及び試料温度を調節することで、試料表面に付与される水分子の量を調節できる。
試料2表面に付与される水分子9の量を制御する方法として、水晶振動子センサー(QCM:Quarts Crystal Microbalance)を例えば試料位置に置き、予め水分子を含む非イオン粒子のビームの照射量と、試料に付与される水分子の量との関係を調べておく方法がその一例としてあげられる。あるいは、導入した水分子の数または試料へ衝突する水分子の数を計算することで水分子の付着量を計算し、適切な量の水分子が付与されるように制御する方法がその一例としてあげられる。水分子9の付与面積が十分広い場合、赤外光や可視光の反射率変化を用いて水分子の付着量を計測し、適切な量の水分子が付与されるように制御する方法がその一例としてあげられる。
水分子9を付与した後、試料2の温度を保ったまま、一次イオンビームを照射し、質量分析を行う。表面に付与された水分子9の働きにより試料構成成分へのプロトン付加が促進され、高感度に試料2構成成分を検出することができる。また、溶液成分が固体(氷)状態で付着する場合、試料2の水溶成分の流出を抑えることができ、試料2構成成分の本来の分布情報を維持したままの検出が可能となる。さらに、水または氷の蒸気圧曲線図を参照し、質量分析中も試料温度を水または氷の蒸発温度以下に保ち、かつ真空中に残存する水分子の付着を抑えることのできる温度と真空状態に保つことで水分子9の付着量を一定に長時間保持することができ、長時間の安定した検出が可能となる。
次に、試料表面に付与した水分子の量と、試料構成成分のイオン検出強度について図2を用いて説明する。
本発明に係る第一の実施形態のビーム発生部3について、図1(a)を用いて説明する。ビーム発生部以外の構成は上述した内容と同様であるため省略する。
本発明に係る第二の実施形態では、水分子を含む非イオン粒子のビームと一次イオンビームとを共通の第一の導入部11を介してビーム発生部3に導入する。
本発明に係る第三の実施形態では、第2のモードにおける試料に付着させるための粒子として、水分子を含むイオン粒子を用いる。
本発明に係る第四の実施形態では、水分子を含む非イオン粒子のビームと一次イオンビームの照射を交互に切り替えて行う。照射方法以外は第一および第二の実施形態と同様である。
本発明に係る第五の実施形態では、一次イオン照射1回につき得られる水分子由来のイオンの信号強度が一定となるように、水分子由来のイオンの信号強度に応じ水分子を付与または除去するタイミングを制御する。タイミング制御方法以外は、第一から第四の実施形態と同様である。
本発明は、上記のような質量分析装置を有する質量画像分析システムをも提供する。
2 試料
3 ビーム発生部
4 二次イオン検出部
5 測定チャンバー
6 試料冷却部
7 加熱部
8 温度モニター
9 水分子
10 二次イオン
11 第一の導入部
12 ビーム形成部
13 イオン化室
14 引出電極
15 第一偏向電極
16 一次イオンサイズ選別部
17 第二偏向電極
18 第二の導入部
19 イオンビーム形成部
20 第三偏向電極
21 1つ目の非イオン粒子のビームパルス
22 一次イオンビーム
23 2つ目の非イオン粒子のビームパルス
24 粒子生成チャンバー
51 基板
Claims (17)
- 試料に一次イオンを照射し、前記試料から放出される二次イオンを質量分析する質量分析装置であって、
前記試料を配置するチャンバーと、
前記試料に粒子を照射するための照射手段と、
前記試料から放出される二次イオンを質量分析手段へ導く引き出し電極と、を有し、
前記照射手段が、前記試料から二次イオンを放出させるための前記一次イオンを照射する第1のモードと、前記試料に付着させるための水分子を含む粒子を放出する第2のモードと、を切り替えて前記試料に粒子を照射する手段であり、且つ前記チャンバーに接続した共通の開口を介して前記一次イオンおよび前記水分子をそれぞれ前記試料に照射する手段である
ことを特徴とする質量分析装置。 - 前記水分子を含む粒子が、非イオン粒子である請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記照射手段は、前記一次イオンの一次イオンビームと、前記非イオン粒子のビームと、を前記試料に照射するビーム照射手段である請求項2に記載の質量分析装置。
- 試料に一次イオンを照射し、前記試料から放出される二次イオンを質量分析する質量分析装置であって、
前記試料を配置するチャンバーと、
前記試料に粒子を照射するための照射手段と、
前記試料から放出される二次イオンを質量分析手段へ導く引き出し電極と、を有し、
前記照射手段が、前記試料から二次イオンを放出させるための前記一次イオンを照射する第1のモードと、前記試料に付着させるための水分子を含む粒子を放出する第2のモードと、を切り替えて前記試料に粒子を照射する手段であり、
前記照射手段は、前記一次イオンの一次イオンビームと、前記水分子を含むイオン粒子のビームを照射するビーム照射手段であり、前記第2のモードで前記粒子を照射する加速エネルギーが前記第1のモードで前記一次イオンを照射する加速エネルギーよりも低いことを特徴とする質量分析装置。 - 前記チャンバー内の前記試料を冷却する冷却部を更に有する請求項1から4のいずれかに記載の質量分析装置。
- 前記試料の表面に水分子を付与することで該表面に水分子の膜を形成する請求項1から5のいずれかに記載の質量分析装置。
- 前記一次イオンが水分子を含むものであり、前記照射手段へ水分子を含む原料を導入する導入部について、前記一次イオンを生成するための導入部と、前記試料に水を付着させるための水分子を含む粒子を生成するための導入部とが、同一または複数の異なる導入部であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 前記一次イオンが水クラスターイオンであり、前記水分子を含む粒子が水クラスターを含む粒子であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 前記照射手段が、イオンを照射する加速エネルギーを変更するものであり、前記第2のモードにおける前記粒子の加速エネルギーが、前記第1のモードにおける前記一次イオンを照射することにより発生する試料の損傷に比べ、無視できる程度の損傷に抑える加速エネルギーであることを特徴とする、請求項4から8のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 前記照射手段が、前記一次イオンビームまたは前記粒子のビームをパルス化して照射するためのパルスバルブを備える、請求項3から9のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 前記第2のモードにおける粒子のビームと前記第1のモードにおける一次イオンビームとが前記試料に交互に照射されることを特徴とする請求項3乃至10のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 前記水クラスターイオンのビームは、パルス化された前記水クラスターの一部をイオン化して形成したビームであることを特徴とする請求項8から11のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 前記ビームの照射1回につき得られる水分子由来のイオンの信号強度が一定となるように、水分子由来のイオンの信号強度に応じ水分子を付与または除去するタイミングを制御することを特徴とする請求項12に記載の質量分析装置。
- 前記試料に照射する前記粒子のビームの照射径は、前記一次イオンビームの照射径と同等かそれ以上であることを特徴とする請求項3から11のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 前記試料の表面に付与する水分子の量が0.1ng/mm2以上20ng/mm2以下となることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の質量分析装置。
- 以下の(1)から(6)のいずれかの方法を用いて前記試料の表面に付与する水分子の量を制御して行なわれる請求項1乃至13のいずれか一項に記載の質量分析装置。
(1)赤外光または可視光の反射率変化を用いる方法
(2)水晶振動子センサーを用いる方法
(3)導入した水分子の数または試料に照射される水分子の数を用いる方法
(4)水分子を含む非イオン粒子のビームの導入されるパルス数を用いる方法
(5)水分子由来のイオンと試料構成成分イオンとの質量分析における信号強度相関表を用いる方法
(6)水分子を含む非イオン粒子のビームの導入されるパルス数と試料構成成分イオンとの質量分析における信号強度相関表を用いる方法 - 請求項1から16のいずれかに記載の質量分析装置を有する質量画像分析システムであって、
前記質量分析装置で得られた質量分析データに基づいて質量画像データを取得する画像データ取得手段と、取得された前記質量画像データを画像として表示する表示手段と、を有する質量画像分析システム。
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