JP6218619B2 - Defoaming device - Google Patents

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Description

本発明は、塗布装置にて塗布するための塗布液に混ざり込んだ気泡を除去する、脱泡装置に関するものである。   The present invention relates to a defoaming device that removes bubbles mixed in a coating solution for coating with a coating device.

従来、ガラスなどの基板の表面にペースト状の塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布工程において、高粘度の塗布液の内部に存在する気泡を塗布を行う前に除去する手段として、たとえば図8に示すような脱泡装置が用いられていた。   Conventionally, in a coating process in which a paste-like coating liquid is applied to the surface of a substrate such as glass to form a coating film, as a means for removing bubbles existing inside the high-viscosity coating liquid before coating, for example, A defoaming apparatus as shown in FIG. 8 was used.

この脱泡装置90は、中空の容器部91を有し、この容器部91の内部に液体Lが貯留される。   The defoaming device 90 has a hollow container portion 91, and the liquid L is stored inside the container portion 91.

さらに脱泡装置90は容器部91の内部空間と配管で接続されている減圧手段94を有しており、容器部91の内部空間が密閉状態である条件下で減圧手段94が作動することにより、容器部91の内部の空間の圧力が減少する。この圧力の減少にともなって、容器部91内部に貯留されている液体Lに混ざり込んでいる気泡が浮き上がり、上記内部の空間に溶け込む。これにより、液体L内の気泡が除去される。   Further, the defoaming device 90 has a pressure reducing means 94 connected to the internal space of the container portion 91 by piping, and the pressure reducing means 94 is operated under the condition that the internal space of the container portion 91 is in a sealed state. The pressure in the space inside the container portion 91 decreases. As the pressure decreases, the bubbles mixed in the liquid L stored in the container portion 91 are lifted and melted into the internal space. Thereby, the bubbles in the liquid L are removed.

このように気泡が除去された液体Lが、バルブ92が開状態のときに送液配管93を通って外部装置に供給され、塗布に用いられることにより、気泡の影響で塗布膜にムラや膜切れが生じることなく、品質の良い塗布膜を得ることができる。   The liquid L from which bubbles have been removed in this way is supplied to an external device through the liquid supply pipe 93 when the valve 92 is in an open state, and is used for coating. A good quality coating film can be obtained without cutting.

特開平8−120089号公報JP-A-8-120089

しかし、上記の脱泡装置90では、十分に液体L内の気泡が十分に除去されず、塗布膜の塗布品質に悪影響を及ぼすおそれがあった。具体的には、比較的液体Lの表面(容器部91の内部空間との界面)に近い気泡95aは容器部91の内部空間が減圧された際にその空間に溶けこみ易いが、気泡95bのように液体Lの表面から遠い位置にある場合、気泡95bの浮力が液体Lの粘度に負けて、気泡95bが浮上できずに液体L内に残ってしまうため、十分に気泡が除去されないという問題があった。   However, in the above defoaming device 90, the bubbles in the liquid L are not sufficiently removed, and there is a possibility that the coating quality of the coating film may be adversely affected. Specifically, the bubble 95a that is relatively close to the surface of the liquid L (interface with the internal space of the container portion 91) is likely to dissolve into the space when the internal space of the container portion 91 is depressurized. When the liquid L is far from the surface of the liquid L, the buoyancy of the bubbles 95b is lost to the viscosity of the liquid L, and the bubbles 95b cannot be lifted and remain in the liquid L, so that the bubbles are not sufficiently removed. was there.

本発明は、上記の問題点に鑑みてみなされたものであり、高粘度の液体に混ざり込んだ気泡を効率的に除去することができる脱泡装置を提供するものである。   The present invention has been considered in view of the above problems, and provides a defoaming device that can efficiently remove bubbles mixed in a high-viscosity liquid.

上記課題を解決するために本発明の脱泡装置は、液体を貯留する空間を内部に備える容器部と、前記容器部の内部の空間を減圧する減圧手段と、前記容器部の内部の空間の底面である減圧空間底面の一部に設けられ、当該減圧空間底面を上に凸の形態および下に凸の形態に変化させる可変部と、を備える脱泡装置であり、前記減圧手段により前記容器部の内部の空間が減圧された状態下で、前記可変部によりくぼみを有する下に凸の形態から上に凸の形態に変化させて前記減圧空間底面を下に凸の形態であり前記くぼみに液体が貯留された状態から上に凸の形態に変化させ、前記可変部から前記可変部の外周部へ液体を流れ落とさせることにより貯留される液体の厚さを薄くすることを特徴としている。
In order to solve the above-described problems, a defoaming device according to the present invention includes a container part having a space for storing a liquid therein, a decompression unit for decompressing the space inside the container part, and a space inside the container part. provided in a part of the vacuum space bottom a bottom, and a variable portion for changing the pressure reduction space bottom surface convex form and the downwardly convex form on a degassing apparatus equipped with the by pre-Symbol vacuum means Under the condition that the space inside the container part is depressurized, the bottom part of the decompression space is convex downward by changing from a downward convex form having a concave part to an upward convex form by the variable part. The thickness of the liquid to be stored is reduced by causing the liquid to flow from the state where the liquid is stored to a convex shape upward and causing the liquid to flow from the variable part to the outer peripheral part of the variable part. .

この脱泡装置によれば、減圧空間底面を下に凸の形態であり前記くぼみに液体が貯留された状態から上に凸の形態に変化させ、可変部から可変部の外周部へ液体を流れ落とさせることにより貯留される液体の厚さを薄くすることにより、効率良く液体内の気泡を除去することができる。具体的には、可変部から可変部の外周部へ液体を流れ落とさせる際に、液体が下に凸の形態である可変部に溜まった状態から減圧空間底面全体に広がった状態を形成することが可能であり、そのとき液体の表面と底面との距離が縮まる。したがって、全ての気泡が液体の表面から近くなるため、気泡を浮上させて除去することができる。
According to this defoaming device, the bottom surface of the decompression space is convex downward, and the liquid is changed from the state in which the liquid is stored in the recess to the upward convex shape, and the liquid flows from the variable portion to the outer peripheral portion of the variable portion. By reducing the thickness of the liquid stored by dropping, bubbles in the liquid can be efficiently removed. Specifically, when the liquid flows down from the variable portion to the outer peripheral portion of the variable portion, a state is formed in which the liquid spreads over the entire bottom surface of the decompression space from the state where the liquid is accumulated in the variable portion having a downward convex shape. At that time, the distance between the surface and the bottom of the liquid is reduced. Therefore, since all the bubbles are close to the surface of the liquid, the bubbles can be lifted and removed.

また、前記可変部は、可撓性を有する膜であることが望ましい。   The variable portion is preferably a flexible film.

こうすることにより、減圧空間底面が下に凸の形態から上に凸の形態に変化する際にせん断力が生じる箇所をなくすことができるため、キャビテーションが生じてそれが気泡の発生につながることを防ぐことができる。   By doing so, it is possible to eliminate the location where shearing force is generated when the bottom surface of the decompression space changes from a downward convex shape to an upward convex shape, so that cavitation occurs and this leads to the generation of bubbles. Can be prevented.

さらに、前記可変部と連通し、前記減圧空間底面が下に凸の形態である際に、当該下に凸の部分に貯留された液体を外部へ送液する送液路と、前記送液路の途中に設けられ、前記送液路からの送液の可否を切り換える切換手段と、前記可変部から前記切換手段までの送液路の内部の液体を前記可変部の方へ押し出す圧送手段をさらに有し、前記減圧空間底面が上に凸の形態である際に前記圧送手段が前記送液路の内部の液体を押し出す構成としても良い。   Further, when the bottom surface of the decompression space communicates with the variable portion and has a downwardly convex shape, a liquid supply path for supplying the liquid stored in the downwardly convex part to the outside, and the liquid supply path And a switching means for switching whether or not the liquid supply from the liquid supply path is possible, and a pressure feeding means for pushing the liquid inside the liquid supply path from the variable section to the switching means toward the variable section. It is good also as a structure which has the said decompression space bottom face and the said pressure feeding means pushes out the liquid inside the said liquid feeding path when it is a form convex upwards.

この構成によれば、送液路内に溜まった液体には気泡が残ったままの状態となることを防ぐことができる。   According to this configuration, it is possible to prevent bubbles from remaining in the liquid accumulated in the liquid feeding path.

本発明の脱泡装置によれば、高粘度の液体に混ざり込んだ気泡を効率的に除去することができる。   According to the defoaming apparatus of the present invention, it is possible to efficiently remove bubbles mixed in a high viscosity liquid.

本発明の一実施形態における脱泡装置の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the defoaming apparatus in one Embodiment of this invention. 本実施形態の脱泡装置の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the defoaming apparatus of this embodiment. 本実施形態の脱泡装置による脱泡動作を示す概略図である。It is the schematic which shows the defoaming operation | movement by the defoaming apparatus of this embodiment. 本実施形態の脱泡装置による脱泡動作の動作フローである。It is an operation | movement flow of the defoaming operation | movement by the defoaming apparatus of this embodiment. 他の実施形態における脱泡装置の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the defoaming apparatus in other embodiment. 他の実施形態における脱泡装置の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the defoaming apparatus in other embodiment. 他の実施形態における脱泡装置の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the defoaming apparatus in other embodiment. 従来の脱泡装置の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the conventional defoaming apparatus.

本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。   Embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1、図2は本発明の一実施形態における脱泡装置を示す概略図であり、図1は斜視図、図2は正面図である。   1 and 2 are schematic views showing a defoaming apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view and FIG. 2 is a front view.

脱泡装置1は、容器部2と減圧手段3とを有する。容器部2は中空の形状を有し、容器部2の内部の空間(減圧空間6)が減圧手段3と連通している。   The defoaming device 1 has a container part 2 and a decompression means 3. The container part 2 has a hollow shape, and a space (decompression space 6) inside the container part 2 communicates with the decompression means 3.

また、減圧空間6の底面にあたる減圧空間底面4の一部は形状が可変である可変部5となっており、この可変部5が動作することにより、減圧空間底面4は下に凸の形態と上に凸の形態とをとりうる。そして、容器部2内に液体Lを貯留した状態において減圧空間底面4の形態が変化することにより、後述の通り液体L内の気泡を除去する(脱泡する)ことができる。   Further, a part of the decompression space bottom surface 4 corresponding to the bottom surface of the decompression space 6 is a variable portion 5 having a variable shape, and the operation of the variable portion 5 causes the decompression space bottom surface 4 to have a downward convex shape. It can take a convex shape. Then, when the form of the decompression space bottom surface 4 is changed in a state where the liquid L is stored in the container portion 2, bubbles in the liquid L can be removed (defoamed) as described later.

容器部2は、液体Lを貯留する部分であり、容器部本体11、蓋部12、膜13、拘束部14およびロッド部15とを有する。   The container part 2 is a part that stores the liquid L, and includes a container part main body 11, a lid part 12, a film 13, a restraining part 14, and a rod part 15.

容器部本体11は、側壁部11aおよび底板11bから構成されている。側壁部11は、本実施形態では液体Lによって腐食するおそれのない材料(たとえばステンレス)の板状体を曲げて端部同士を接合することによって形成される円筒であり、この円筒の開口は鉛直方向(本説明におけるZ軸方向)を向いている。この側板11の底面は底板12とが接合される。   The container part main body 11 is comprised from the side wall part 11a and the baseplate 11b. In this embodiment, the side wall 11 is a cylinder formed by bending a plate-like body made of a material (for example, stainless steel) that is not corroded by the liquid L, and joining the ends to each other. It faces the direction (Z-axis direction in this description). The bottom surface of the side plate 11 is joined to the bottom plate 12.

底板11bは、円盤状の板状体であり、底板11bの外径は側壁部11aの外径と略同一である。この底板11bの外縁部と側壁部11aの底面とが接合され、下に凸の容器部本体11を形成している。なお、底板11bの材質は、側壁部11aの材質と同一で構わない。   The bottom plate 11b is a disk-like plate-like body, and the outer diameter of the bottom plate 11b is substantially the same as the outer diameter of the side wall portion 11a. The outer edge part of this bottom plate 11b and the bottom face of the side wall part 11a are joined, and the container part main body 11 which protrudes downward is formed. The material of the bottom plate 11b may be the same as that of the side wall portion 11a.

また、底板11bの中央部には、ロッド部15の外径と略同一の径を有する円状の開口が設けられており、この開口を通って、ロッド部15がZ軸方向に移動する。   In addition, a circular opening having a diameter substantially the same as the outer diameter of the rod portion 15 is provided at the center of the bottom plate 11b, and the rod portion 15 moves in the Z-axis direction through this opening.

蓋部12は、容器部本体11の上側の開口を蓋する部材であり、この蓋部12が蓋することにより、容器部2内に密閉された空間である減圧空間6が形成される。また、蓋部12を容器部本体11から外すことにより、容器部本体11の内部のメンテナンスが可能となり、また、容器部本体11の上側の開口から液体Lを投入することができる。なお、液体Lの注入は容器部本体11の上側の開口から行うだけでなく、容器部本体11の側壁部11aに図示しない配管を接続し、この配管を経由して容器部2へ液体Lを注入するようにしても良い。   The lid portion 12 is a member that covers the upper opening of the container portion main body 11, and the decompressed space 6 that is a sealed space in the container portion 2 is formed by the lid portion 12 being covered. Further, by removing the lid 12 from the container body 11, maintenance inside the container body 11 can be performed, and the liquid L can be poured from the upper opening of the container body 11. The liquid L is not only injected from the upper opening of the container body 11, but a pipe (not shown) is connected to the side wall 11 a of the container body 11, and the liquid L is supplied to the container 2 through this pipe. You may make it inject | pour.

蓋部12は、側壁部12aおよび天板12bを有する。   The lid portion 12 has a side wall portion 12a and a top plate 12b.

側壁部12aは、液体Lによって腐食するおそれのない材料(たとえばステンレス)の板状体を曲げて端部同士を接合することによって形成される円筒であり、この側壁部12aの内径は、容器部本体11の側壁部11aの外径と略同一である。   The side wall part 12a is a cylinder formed by bending a plate-like body made of a material (for example, stainless steel) that is not likely to be corroded by the liquid L, and joining the end parts to each other. The outer diameter of the side wall 11a of the main body 11 is substantially the same.

天板12bは、円盤状の板状体であり、天板12bの外径は側壁部12aの外径と略同一である。この天板12bの外縁部と側壁部12aの上面とが接合され、蓋部12を形成している。なお、天板12bの材質は、側壁部12aの材質と同一で構わない。   The top plate 12b is a disk-shaped plate-like body, and the outer diameter of the top plate 12b is substantially the same as the outer diameter of the side wall portion 12a. The outer edge portion of the top plate 12b and the upper surface of the side wall portion 12a are joined to form the lid portion 12. In addition, the material of the top plate 12b may be the same as the material of the side wall part 12a.

膜13は、可撓性を有するシート体であり、本実施形態では、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)を材料としている。   The film 13 is a flexible sheet, and in this embodiment, PTFE (polytetrafluoroethylene) is used as a material.

この膜13は、中央部にたるみを有し、この中央部以外の部分は、下面から拘束部14に拘束されており、これによって膜13が容器部本体11内で固定される。   The membrane 13 has a slack in the central portion, and portions other than the central portion are restrained by the restraining portion 14 from the lower surface, whereby the membrane 13 is fixed in the container portion main body 11.

また、膜13の外周の形状は容器部本体11の側壁部11aの内周の形状と同一の形状であり、膜13の外周は容器部本体11の内部にて側壁部11aの内周と接した状態となる。この膜13と側壁部11aと蓋体12の天板12aとで囲まれた空間が減圧空間6となり、膜13は、減圧空間6の底面である減圧空間底面4を形成する。   The outer periphery of the membrane 13 has the same shape as the inner periphery of the side wall 11 a of the container body 11, and the outer periphery of the membrane 13 is in contact with the inner periphery of the side wall 11 a inside the container body 11. It will be in the state. A space surrounded by the membrane 13, the side wall portion 11 a, and the top plate 12 a of the lid 12 becomes the decompression space 6, and the membrane 13 forms a decompression space bottom surface 4 that is a bottom surface of the decompression space 6.

また、膜13の中央部は下面がロッド部15に固定されており、ロッド部15が上下方向に移動することにより、膜13の形態、すなわち減圧空間底面4の形態が変化する。なお、本説明では、このように形態が変化する部分を可変部5と呼ぶ。   Further, the lower surface of the central portion of the membrane 13 is fixed to the rod portion 15, and the shape of the membrane 13, that is, the shape of the bottom surface 4 of the decompression space changes as the rod portion 15 moves in the vertical direction. In the present description, the portion where the form changes in this way is referred to as a variable portion 5.

拘束部14は、たとえばステンレスを材料とする円筒であり、拘束部14の外径は容器部本体11の側壁部11aの内径と同一であり、拘束部14の内径は容器部本体11の底板11bの開口の径より若干大きい。また、拘束部14の高さ(図2におけるZ軸方向の寸法)は、内壁部11の高さよりも低い。この拘束部14が側壁部11aの内周と接し、底板11b上に載置されるように容器部本体11に内挿され、また、容器部本体11に内挿された拘束部14の上面に膜13の下面が固定されることにより、前述の通り膜13は容器部本体11内に拘束される。   The restraining portion 14 is, for example, a cylinder made of stainless steel. The outer diameter of the restraining portion 14 is the same as the inner diameter of the side wall portion 11a of the container portion main body 11, and the inner diameter of the restraining portion 14 is the bottom plate 11b of the container portion main body 11. It is slightly larger than the diameter of the opening. Further, the height of the restraining portion 14 (the dimension in the Z-axis direction in FIG. 2) is lower than the height of the inner wall portion 11. The constraining part 14 is in contact with the inner periphery of the side wall part 11a and is inserted into the container part main body 11 so as to be placed on the bottom plate 11b, and also on the upper surface of the constraining part 14 inserted into the container part main body 11. By fixing the lower surface of the membrane 13, the membrane 13 is restrained in the container body 11 as described above.

ロッド部15は、たとえばステンレスを材料とし、容器部本体11の底板11bの開口の径と同等の径を有する円柱である。このロッド部15は底板11bの開口を通って底板11bを貫通し、上端部は容器部本体11内にあって下端部は容器部本体11から飛び出た状態を維持しながら上下動する。   The rod portion 15 is a cylinder made of stainless steel, for example, and having a diameter equivalent to the diameter of the opening of the bottom plate 11b of the container body 11. The rod portion 15 passes through the bottom plate 11 b through the opening of the bottom plate 11 b, and moves up and down while maintaining a state in which the upper end portion is in the container portion main body 11 and the lower end portion protrudes from the container portion main body 11.

このロッド部15の上端面には、膜13の中央部(たるんだ部分)が固定されており、ロッド部15が移動するにともなって、膜13の形態が変化する。なお、ロッド部15の上端面は、本実施形態では平滑面としているが、液体Lの粘度などの性質に応じて、たとえば上に凸の曲面などに変更しても良い。これにより、後述する通り液体Lが流れ落ちる際の速度を調節することができる。   The central part (sagging part) of the film 13 is fixed to the upper end surface of the rod part 15, and the form of the film 13 changes as the rod part 15 moves. In addition, although the upper end surface of the rod part 15 is made into the smooth surface in this embodiment, according to properties, such as the viscosity of the liquid L, you may change into an upward convex curved surface etc., for example. Thereby, the speed at which the liquid L flows down can be adjusted as will be described later.

また、ロッド部15の下端面には、スプリング16およびダンパ17が取り付けられており、スプリング16のばね定数に応じた力で常にロッド部15を下方に引っ張るようにし、また、ダンパ17によりロッド部15の移動を滑らかにして、ロッド部15の移動によって膜13にかかる負担を軽減している。   Further, a spring 16 and a damper 17 are attached to the lower end surface of the rod portion 15, and the rod portion 15 is always pulled downward by a force corresponding to the spring constant of the spring 16. The movement of 15 is made smooth, and the load on the film 13 is reduced by the movement of the rod portion 15.

また、ロッド部15には、容器部2内に貯留させた液体Lを外部へ送り出す送液路18およびバルブ19が設けられており、ロッド部15の上端面にこの送液路18の出口(開口)を有する。そして膜13には、この出口の位置においてロッド部15と接する部分に貫通孔が設けられている。この構成により膜13上の液体Lは送液路18を通って外部に流出することが可能であり、また、液体Lを容器部2に貯留する間は、液体Lが流出しないようにバルブ19が閉じられている。   Further, the rod portion 15 is provided with a liquid feeding path 18 and a valve 19 for sending the liquid L stored in the container portion 2 to the outside, and an outlet (of the liquid feeding path 18 (on the upper end surface of the rod portion 15). Opening). The membrane 13 is provided with a through hole at a portion in contact with the rod portion 15 at the outlet position. With this configuration, the liquid L on the film 13 can flow out through the liquid supply path 18, and the valve 19 prevents the liquid L from flowing out while the liquid L is stored in the container portion 2. Is closed.

減圧手段3は真空ポンプであり、配管20を通して容器部本体11内の減圧空間6と連通している。蓋部12が容器部本体11に取り付けられた状態で減圧手段3が作動することにより、減圧空間6が減圧される。   The decompression means 3 is a vacuum pump and communicates with the decompression space 6 in the container body 11 through the pipe 20. The decompression space 6 is decompressed by operating the decompression means 3 with the lid 12 attached to the container body 11.

ここで、効率的に減圧空間6の減圧が行われるよう、側壁部11aの接合部、側壁部11aと底板11bとの接合部は溶接などにより気密に接合され、また、側壁部11aと蓋部12とのはめ合わせ部および底板11bとロッド部15との摺動部にはOリングなど隙間を埋める部材が設けられていることが好ましい。   Here, so that the decompression space 6 is efficiently decompressed, the joint portion of the side wall portion 11a and the joint portion of the side wall portion 11a and the bottom plate 11b are airtightly joined by welding or the like, and the side wall portion 11a and the lid portion are joined. 12 and a sliding portion between the bottom plate 11b and the rod portion 15 are preferably provided with a member such as an O-ring that fills the gap.

次に、本実施形態の脱泡装置1による脱泡動作を図3に示す。図3(a)は、脱泡開始時の脱泡装置1の状態、図3(b)は脱泡開始から所定時間経過後の脱泡装置1の状態を示している。   Next, the defoaming operation by the defoaming apparatus 1 of this embodiment is shown in FIG. FIG. 3A shows the state of the defoaming device 1 at the start of defoaming, and FIG. 3B shows the state of the defoaming device 1 after a predetermined time has elapsed since the start of defoaming.

脱泡開始時は減圧空間6の圧力は大気圧と同等であり、このとき、ロッド部15はスプリング16に引っ張られて下方に位置している。これにより、膜13の可変部5にあたる部分は下方に引っ張られ、図3(a)に示すように減圧空間底面4は下に凸の形態をとっている。そして、容器部2に注入された液体Lは、この減圧空間底面4のくぼんだ部分に貯留される。   At the start of defoaming, the pressure in the decompression space 6 is equal to the atmospheric pressure. At this time, the rod portion 15 is pulled by the spring 16 and is positioned below. As a result, the portion corresponding to the variable portion 5 of the membrane 13 is pulled downward, and the decompression space bottom surface 4 has a downward convex shape as shown in FIG. And the liquid L inject | poured into the container part 2 is stored by the hollow part of this decompression space bottom face 4. FIG.

なお、液体Lは比較的高粘度の液体であり、内部に気泡(図3(a)に気泡21a、気泡21bで示す)が混入している。液体Lに気泡が混入したままでこの液体Lを塗布などに用いると、気泡の影響で塗布膜にムラや膜切れが生じるおそれがある。   The liquid L is a liquid having a relatively high viscosity, and bubbles (indicated by bubbles 21a and 21b in FIG. 3A) are mixed inside. If the liquid L is used for coating or the like while air bubbles are mixed in the liquid L, the coating film may be uneven or cut off due to the bubbles.

次に減圧手段3を作動させ、減圧空間6を減圧していくことにより、たとえば気泡21aのような、液体Lの表面(減圧空間6と液体Lの界面)に近い位置にある気泡は、減圧空間6の減圧雰囲気に引き寄せられて浮上し、前記界面に到達すると、減圧雰囲気に溶け込んでゆく。これによって、気泡が液体Lから除去される。   Next, by operating the decompression means 3 and depressurizing the decompression space 6, the bubbles near the surface of the liquid L (the interface between the decompression space 6 and the liquid L) such as the bubbles 21a are decompressed. The air is attracted to the reduced pressure atmosphere of the space 6 and floats, and when it reaches the interface, it melts into the reduced pressure atmosphere. Thereby, bubbles are removed from the liquid L.

しかし、気泡21bのように液体Lの表面から遠い位置にある気泡については、気泡が引き寄せられる力よりも液体Lの粘度が勝り、浮上できずに液体L内にとどまってしまう。したがって、液体L内から気泡は完全に除去されない。   However, for bubbles located far from the surface of the liquid L, such as the bubbles 21b, the viscosity of the liquid L is greater than the force with which the bubbles are attracted, and the bubbles cannot stay and remain in the liquid L. Accordingly, the bubbles are not completely removed from the liquid L.

これに対し、本発明では、減圧空間6が減圧された状態下で、減圧空間底面4を下に凸の形態から上に凸の形態に変化させている。なお、本実施形態では、減圧空間6が減圧されることにより膜13のうち可変部5にあたる部分およびロッド部15が引き上げられ、これにともなって減圧空間底面4は下に凸の形態から上に凸の形態に変化する。   On the other hand, in the present invention, the decompression space bottom surface 4 is changed from a downward convex shape to an upward convex shape while the decompressed space 6 is decompressed. In the present embodiment, when the decompression space 6 is decompressed, the portion corresponding to the variable portion 5 and the rod portion 15 of the film 13 are pulled up, and accordingly, the decompression space bottom surface 4 rises upward from a downwardly convex shape. It changes to a convex shape.

このように減圧空間底面4が上に凸に変化することにより、高い粘性を有する液体Lは、減圧空間底面4の形状が上に凸となった後、徐々に可変部5の位置から減圧空間底面4の外周部へ液体Lが流れ落ちる。   Since the decompression space bottom surface 4 is convexly raised in this way, the highly viscous liquid L gradually decreases from the position of the variable portion 5 to the decompression space after the decompression space bottom surface 4 becomes convex upward. The liquid L flows down to the outer periphery of the bottom surface 4.

その際、液体Lが減圧空間底面4の外周部へ落ちきるまでのしばらくの間、図3(b)に示すように液体Lが減圧空間底面4全体に広がった状態となる。このとき、図3(a)の状態と比較して液体Lの存在する部分の表面積が大きくなるため、図3(b)で厚さd2や厚さd3で示すような液体Lの厚さが図3(a)における液体Lの厚さ(深さ)d1よりも薄くなる。   At that time, for a while until the liquid L falls to the outer peripheral portion of the decompression space bottom surface 4, the liquid L spreads over the entire decompression space bottom surface 4 as shown in FIG. At this time, since the surface area of the portion where the liquid L exists is larger than the state of FIG. 3A, the thickness of the liquid L as shown by the thickness d2 and the thickness d3 in FIG. It becomes thinner than the thickness (depth) d1 of the liquid L in FIG.

このように液体Lの厚さが薄くなることによって、気泡21bのように図3(a)の状態では液体Lの表面から遠いために浮上しきれなかった気泡も、図3(b)の状態では液体Lの表面と近くなるため、液体Lの表面へと浮上することができるようになり、液体Lから除去されることが可能となる。すなわち、容器部2の内部の空間が減圧された状態下で、減圧空間底面4が下に凸の形態から上に凸の形態に変化することによって、液体L内の気泡が効率的に除去される。   By reducing the thickness of the liquid L in this way, bubbles that cannot be lifted up because they are far from the surface of the liquid L in the state of FIG. 3A, such as the bubbles 21b, are also in the state of FIG. Then, since it is close to the surface of the liquid L, it can float to the surface of the liquid L and can be removed from the liquid L. That is, the bubbles in the liquid L are efficiently removed by changing the bottom surface 4 of the decompression space from the downward convex shape to the upward convex shape while the space inside the container portion 2 is decompressed. The

次に、本実施形態の脱泡装置1による脱泡動作の動作フローを図4に示す。   Next, the operation | movement flow of the defoaming operation | movement by the defoaming apparatus 1 of this embodiment is shown in FIG.

まず、蓋部12を容器部本体11から取り外し、バルブ19を閉状態にした上で容器部本体11の開口から液体Lを投入する(ステップS1)。このとき、減圧空間6の圧力は大気圧と等しく、減圧空間底面4は下に凸の形態であり、この減圧空間底面4のくぼみに液体Lが貯留される。なお、このように液体Lを上方から投入する際、液体Lがエアを巻き込んで気泡が増えている可能性がある。   First, the lid 12 is removed from the container body 11 and the valve 19 is closed, and then the liquid L is introduced from the opening of the container body 11 (step S1). At this time, the pressure in the decompression space 6 is equal to the atmospheric pressure, the decompression space bottom surface 4 has a downward convex shape, and the liquid L is stored in the recess of the decompression space bottom surface 4. When the liquid L is introduced from above, there is a possibility that the liquid L entrains air and bubbles are increased.

次に、蓋部12を容器部本体11に取り付け、減圧空間6の減圧を開始する(ステップS2)。その後、減圧空間6の圧力が低くなるにしたがって、液体Lの表面に近い気泡は減圧雰囲気に引っ張られて浮上し、減圧雰囲気に溶け込む。   Next, the cover part 12 is attached to the container part main body 11, and decompression of the decompression space 6 is started (step S2). Thereafter, as the pressure in the decompression space 6 decreases, bubbles near the surface of the liquid L are pulled to the decompression atmosphere and float, and melt into the decompression atmosphere.

次に、減圧空間底面4を下に凸の形態から上に凸の形態に変化させる(ステップS3)。本実施形態では、減圧空間6の圧力が所定の値に達すると、スプリング16がロッド部15を引っ張る力を減圧雰囲気が可変部5を引っ張る力が上回り、自然に減圧空間底面4が下に凸の形態から上に凸の形態に変化する。減圧空間底面4が上に凸になった後、上述の通り液体Lは減圧空間底面4の外周部へと流れ落ち、その際液体Lの厚さが薄くなるため、ステップS2の段階では除去しきれなかった気泡も除去することができる。   Next, the decompression space bottom surface 4 is changed from a downward convex shape to an upward convex shape (step S3). In the present embodiment, when the pressure in the decompression space 6 reaches a predetermined value, the force in which the spring 16 pulls the rod portion 15 exceeds the force in which the decompression atmosphere pulls the variable portion 5, and the bottom surface 4 of the decompression space naturally protrudes downward. It changes from the form of the above to an upwardly convex form. After the decompression space bottom surface 4 becomes convex upward, as described above, the liquid L flows down to the outer peripheral portion of the decompression space bottom surface 4 and the thickness of the liquid L is reduced at that time, so that it can be completely removed in the step S2. Absent bubbles can also be removed.

脱泡作業が完了したら、次に減圧空間6を大気開放し(ステップS4)、減圧空間底面4を上に凸の形態から下に凸の形態に変化させる(ステップS5)。本実施形態では、減圧空間6を大気開放させるとスプリング16がロッド部15を引っ張る力によって自然に減圧空間底面4が上に凸の形態から下に凸の形態に変化する。このように減圧空間底面4の形態が変化すると、減圧空間底面4の外周部にあった液体Lは減圧空間底面4の中央部のくぼみに流れ落ちる。   When the defoaming operation is completed, the decompression space 6 is then opened to the atmosphere (step S4), and the decompression space bottom surface 4 is changed from an upward convex shape to a downward convex shape (step S5). In the present embodiment, when the decompression space 6 is opened to the atmosphere, the bottom surface 4 of the decompression space naturally changes from a convex shape upward to a convex shape due to the force with which the spring 16 pulls the rod portion 15. When the form of the decompression space bottom surface 4 changes in this way, the liquid L present on the outer peripheral portion of the decompression space bottom surface 4 flows down into a recess at the center of the decompression space bottom surface 4.

最後に、バルブ19を開状態にし、脱泡された液体Lを送液路18を通して外部へ送液する(ステップS6)。   Finally, the valve 19 is opened, and the defoamed liquid L is fed to the outside through the liquid feeding path 18 (step S6).

次に、他の実施形態における脱泡装置の構成を示す。   Next, the structure of the defoaming apparatus in other embodiment is shown.

図5の実施形態は、拘束部14を設けずに容器部本体11の底板11bに直接膜13を貼り付けた実施形態である。膜13の中央部を可変部5となるようにしておくことにより、減圧空間6の圧力が大気圧である間は減圧空間底面4(膜13)は下に凸の形態をとり、減圧空間6が減圧され、所定の圧力になると減圧空間底面4(膜13)は減圧雰囲気に引っ張られて上に凸の形態をとる。これにより、図2に示す本実施形態よりも簡素な構成で液の厚さを薄くして脱泡することができる。   The embodiment of FIG. 5 is an embodiment in which the film 13 is directly attached to the bottom plate 11 b of the container body 11 without providing the restraining portion 14. By setting the central portion of the membrane 13 to be the variable portion 5, while the pressure in the decompression space 6 is atmospheric pressure, the decompression space bottom surface 4 (membrane 13) has a downwardly convex shape, and the decompression space 6 When the pressure is reduced and reaches a predetermined pressure, the bottom face 4 (film 13) of the reduced pressure space is pulled into the reduced pressure atmosphere and takes a convex shape. Thereby, the thickness of the liquid can be reduced and defoamed with a simpler configuration than the present embodiment shown in FIG.

図6の実施形態は、膜を用いない実施形態である。このとき、拘束部14の表面とロッド部15の表面とで減圧空間底面4を形成し、特にロッド部15の表面は可変部5に相当する。このとき、ロッド部15の上下動作は、モータ駆動機構22によって駆動させている。   The embodiment of FIG. 6 is an embodiment that does not use a membrane. At this time, the decompressed space bottom surface 4 is formed by the surface of the restraining portion 14 and the surface of the rod portion 15, and in particular, the surface of the rod portion 15 corresponds to the variable portion 5. At this time, the vertical movement of the rod portion 15 is driven by the motor drive mechanism 22.

この構成によっても、図2に示す本実施形態よりも簡素な構成で、減圧空間6を減圧している間に減圧空間底面4が下に凸の形態から上に凸の形態に変化するようにすることができるが、ロッド部15が拘束部14に対して摺動する際にロッド部15上の液体Lにせん断力がかかり、キャビテーションが生じて気泡が発生するおそれがある。また、摺動の際にパーティクルが液体Lに混入するおそれがあるため、これらの可能性が懸念される場合は、本実施形態のように膜を用いることが好ましい。   Also with this configuration, the decompression space bottom surface 4 changes from a downward convex shape to an upward convex shape while decompressing the decompressed space 6 with a simpler configuration than the present embodiment shown in FIG. However, when the rod portion 15 slides with respect to the restraining portion 14, a shearing force is applied to the liquid L on the rod portion 15, and cavitation may occur to generate bubbles. In addition, since there is a possibility that particles may be mixed in the liquid L during sliding, when these possibilities are concerned, it is preferable to use a film as in this embodiment.

なお、図2に示す本実施形態ではスプリング16でロッド部15を下方へ引っ張り、減圧空間6を減圧すると自然にロッド部15が上方へ引っ張られる構成としていたが、この実施形態のようにモータでロッド部15を駆動させるようにしても良い。これにより、1回の脱泡プロセスにおいて減圧空間底面4を下に凸から上に凸とする動作を繰り返し行うことができ、より効率的に脱泡することができる。   In the present embodiment shown in FIG. 2, the rod portion 15 is pulled downward by the spring 16 and the rod portion 15 is naturally pulled upward when the decompression space 6 is depressurized. However, in this embodiment, a motor is used. The rod portion 15 may be driven. Thereby, the operation | movement which makes the decompression space bottom face 4 convex from the convex downward to the upward can be performed repeatedly in one defoaming process, and it can degas more efficiently.

図7の実施形態は、送液路18の可変部5側の出口とバルブ19との間に加圧手段23とつながる配管を接続している実施形態である。バルブ19が閉じられている状態でバルブ24が開くことにより、送液路18に圧縮空気などが送られ、送液路18内の液体Lを可変部5側へ押し出す。このように送液路18内の液体Lを押し出す動作を減圧空間底面4が上に凸の形態であるときに行うことにより、送液路18内に溜まっていた液体Lにも脱泡を行うことができ、送液路18内に溜まった液体Lには気泡が残ったままの状態となることを防ぐことができる。一般的に送液路18の径は細く、送液路18内の液体Lは少量であるため、送液路18内の液体Lの気泡までは懸念する必要は無いことが多いが、より完全に気泡を除去することを必要とするならば、本構成を用いて送液路18内の液体Lの気泡まで除去することが望ましい。   The embodiment of FIG. 7 is an embodiment in which a pipe connected to the pressurizing means 23 is connected between the outlet of the liquid supply path 18 on the variable portion 5 side and the valve 19. When the valve 24 is opened while the valve 19 is closed, compressed air or the like is sent to the liquid feeding path 18 to push the liquid L in the liquid feeding path 18 toward the variable portion 5 side. The operation of pushing out the liquid L in the liquid feeding path 18 in this way is performed when the decompression space bottom surface 4 has a convex shape upward, thereby defoaming the liquid L accumulated in the liquid feeding path 18. Therefore, it is possible to prevent bubbles from remaining in the liquid L accumulated in the liquid feeding path 18. In general, the diameter of the liquid supply path 18 is small and the amount of the liquid L in the liquid supply path 18 is small, so there is often no need to worry about bubbles of the liquid L in the liquid supply path 18, but more complete. If it is necessary to remove bubbles, it is desirable to remove even bubbles of the liquid L in the liquid feeding path 18 using this configuration.

以上の脱泡装置により、高粘度の液体に混ざり込んだ気泡を効率的に除去することができる。   With the above defoaming apparatus, bubbles mixed in the highly viscous liquid can be efficiently removed.

1 脱泡装置
2 容器部
3 減圧手段
4 減圧空間底面
5 可変部
6 減圧空間
11 容器部本体
11a 側壁部
11b 底板
12 蓋部
12a 側壁部
12b 天板
13 膜
14 拘束部
15 ロッド部
16 スプリング
17 ダンパ
18 送液路
19 バルブ
20 配管
21a 気泡
21b 気泡
21c 気泡
21d 気泡
22 モータ駆動機構
23 加圧手段
24 バルブ
90 脱泡装置
91 容器部
92 バルブ
93 送液配管
94 減圧手段
95a 気泡
95b 気泡
L 液体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Defoaming device 2 Container part 3 Pressure-reducing means 4 Pressure-reducing space bottom surface 5 Variable part 6 Pressure-reducing space 11 Container part main body 11a Side wall part 11b Bottom plate 12 Lid part 12a Side wall part 12b Top plate 13 Film | membrane 14 Restriction part 15 Rod part 16 Spring 17 Damper DESCRIPTION OF SYMBOLS 18 Liquid sending path 19 Valve 20 Piping 21a Bubble 21b Bubble 21c Bubble 21d Bubble 22 Motor drive mechanism 23 Pressurizing means 24 Valve 90 Defoaming device 91 Container part 92 Valve 93 Feeding pipe 94 Depressurizing means 95a Bubble 95b Bubble L Liquid

Claims (3)

液体を貯留する空間を内部に備える容器部と、
前記容器部の内部の空間を減圧する減圧手段と、
前記容器部の内部の空間の底面である減圧空間底面の一部に設けられ、当該減圧空間底面を上に凸の形態および下に凸の形態に変化させる可変部と、
を備える脱泡装置であり
前記減圧手段により前記容器部の内部の空間が減圧された状態下で、前記可変部によりくぼみを有する下に凸の形態から上に凸の形態に変化させて前記減圧空間底面を下に凸の形態であり前記くぼみに液体が貯留された状態から上に凸の形態に変化させ、前記可変部から前記可変部の外周部へ液体を流れ落とさせることにより貯留される液体の厚さを薄くすることを特徴とする、脱泡装置。
A container part having a space for storing liquid therein;
Decompression means for decompressing the space inside the container part;
A variable portion that is provided in a part of the bottom surface of the decompression space that is the bottom surface of the space inside the container portion, and that changes the bottom surface of the decompression space into a convex shape and a convex shape;
A defoaming device comprising :
In a state where the space inside the container part is decompressed by the decompression means, the variable part is changed from a downward convex form having a dent to a convex form upward to project the bottom face of the decompression space downward. The shape of the liquid is changed from a state in which the liquid is stored in the recess to a convex shape upward, and the liquid is made to flow from the variable part to the outer peripheral part of the variable part, thereby reducing the thickness of the stored liquid. A defoaming device characterized by that.
前記可変部は、可撓性を有する膜であることを特徴とする、請求項1に記載の脱泡装置。   The defoaming device according to claim 1, wherein the variable part is a flexible film. 前記可変部と連通し、前記減圧空間底面が下に凸の形態である際に、当該下に凸の部分に貯留された液体を外部へ送液する送液路と、前記送液路の途中に設けられ、前記送液路からの送液の可否を切り換える切換手段と、前記可変部から前記切換手段までの送液路の内部の液体を前記可変部の方へ押し出す圧送手段をさらに有し、前記減圧空間底面が上に凸の形態である際に前記圧送手段が前記送液路の内部の液体を押し出すことを特徴とする、請求項1または2のいずれかに記載の脱泡装置。   When the bottom surface of the decompression space communicates with the variable portion and has a downwardly convex shape, a liquid supply path for supplying the liquid stored in the downwardly convex part to the outside, and a middle of the liquid supply path And a switching means for switching whether or not liquid feeding from the liquid feeding path is possible, and a pressure feeding means for pushing the liquid inside the liquid feeding path from the variable section to the switching means toward the variable section. The defoaming device according to claim 1, wherein the pressure feeding unit pushes out the liquid inside the liquid feeding path when the bottom surface of the decompression space has a convex shape.
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