JP6193725B2 - Piezoelectric ceramic substrate, piezoelectric actuator substrate using the same, liquid discharge head, and recording apparatus - Google Patents

Description

本発明は、圧電セラミック基体、およびそれを用いた圧電アクチュエータ基板、液体吐出ヘッドならびに記録装置に関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric ceramic substrate, a piezoelectric actuator substrate using the same, a liquid discharge head, and a recording apparatus.

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、マニホールド（共通流路）およびマニホールドから複数の加圧室をそれぞれ介して繋がる吐出孔を有した平板状の流路部材と、加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有する圧電アクチュエータ基板とを積層して構成される（例えば、特許文献１を参照。）。   Conventionally, as a liquid ejection head, for example, an inkjet head that performs various types of printing by ejecting a liquid onto a recording medium is known. The liquid discharge head is provided so as to cover, for example, a manifold (common flow path) and a flat plate-like flow path member having discharge holes connected from the manifold via a plurality of pressure chambers, and the pressure chamber, respectively. A piezoelectric actuator substrate having a plurality of displacement elements is laminated (see, for example, Patent Document 1).

国際公開第１３／０１４９７７号パンフレットInternational Publication No. 13/014777 Pamphlet

特許文献１に記載されている圧電アクチュエータ基板は、厚さが４０μｍと非常に薄く、割れなどが生じやすいため、取り扱いが非常に難しかった。   The piezoelectric actuator substrate described in Patent Document 1 is very thin with a thickness of 40 μm, and it is very difficult to handle because it is easily cracked.

したがって、本発明の目的は、取り扱いにより割れ難い圧電セラミック基体、およびそれを用いた圧電アクチュエータ基板、液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a piezoelectric ceramic substrate that is difficult to break by handling, a piezoelectric actuator substrate using the same, a liquid discharge head, and a recording apparatus.

本発明の圧電セラミック基板は、ジルコン酸チタン酸鉛を主成分とする平板状の圧電セラミック基体であって、少なくとも一方の主面から深さ１０μｍの位置において、粒界部のカルシウム含有率が、結晶粒子内部のカルシウム含有率よりも高く、０．２質量％以上であることを特徴とする。   The piezoelectric ceramic substrate of the present invention is a plate-like piezoelectric ceramic substrate mainly composed of lead zirconate titanate, and at a position of 10 μm deep from at least one main surface, the calcium content of the grain boundary part is It is higher than the calcium content in the crystal grains and is 0.2% by mass or more.

また、本発明の圧電アクチュエータ基板は、前記圧電セラミック基体と１対の電極とを含むことを特徴とする。   The piezoelectric actuator substrate of the present invention includes the piezoelectric ceramic substrate and a pair of electrodes.

さらに、本発明の液体吐出ヘッドは、前記圧電アクチュエータ基板と、該圧電アクチュエータ基板に積層されている、液体を吐出する吐出孔を有する流路部材とを含むことを特徴とする。   Furthermore, the liquid discharge head according to the present invention includes the piezoelectric actuator substrate and a flow path member that is stacked on the piezoelectric actuator substrate and has discharge holes for discharging the liquid.

またさらに、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記圧電アクチュエータ基板を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。   Furthermore, the recording apparatus of the present invention includes the liquid discharge head, a transport unit that transports a recording medium to the liquid discharge head, and a control unit that controls the piezoelectric actuator substrate. To do.

本発明によれば、圧電セラミック基体に割れや欠け生じ難くなるので、取り扱いが容易になる。   According to the present invention, cracks and chips are less likely to occur in the piezoelectric ceramic substrate, so that handling becomes easy.

（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。(A) is a side view of a recording apparatus including a liquid ejection head according to an embodiment of the present invention, and (b) is a plan view. 図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a head body that is a main part of the liquid ejection head of FIG. 1. 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。FIG. 3 is an enlarged view of a region surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。FIG. 3 is an enlarged view of a region surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. （ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、（ｂ）は、測定領域を示す圧電アクチュエータ基板の縦断面図である。(A) is a longitudinal cross-sectional view along the VV line of FIG. 3, (b) is a longitudinal cross-sectional view of the piezoelectric actuator board | substrate which shows a measurement area | region.

ジルコン酸チタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスは、構造材料などとしても使用されるアルミナセラミックスなど比較して、強度が低く、割れや欠けなどが生じやすい。厚さ１ｍｍ以下、特に厚さ１００μｍ以下の薄い圧電セラミック基体は、製造工程中などで割れや欠けなどが生じやすいので、慎重な取り扱いが必要になる。   Piezoelectric ceramics mainly composed of lead zirconate titanate have lower strength and are more likely to crack or chip compared to alumina ceramics that are also used as structural materials. A thin piezoelectric ceramic substrate having a thickness of 1 mm or less, in particular, a thickness of 100 μm or less, is likely to be cracked or chipped during the manufacturing process or the like, and therefore needs to be handled with care.

ジルコン酸チタン酸鉛にＣａ（カルシウム）を添加すると、添加量にしたがって、セラミック結晶粒子が小さくなり、圧電セラミック基体の強度（抗折強度など）を高くできる。他方、Ｃａの添加は、圧電ｄ定数など、本来、圧電セラミック基体に必要とされる特性を低下させる傾向があり、いたずらに添加量を増やすわけにもいかない。   When Ca (calcium) is added to lead zirconate titanate, ceramic crystal particles are reduced in accordance with the amount added, and the strength (such as bending strength) of the piezoelectric ceramic substrate can be increased. On the other hand, the addition of Ca tends to lower the characteristics that are originally required for the piezoelectric ceramic substrate, such as the piezoelectric d constant, and the amount of addition cannot be increased unnecessarily.

そこで、圧電セラミック基体の粒界部におけるＣａ含有率を高くするとともに、結晶粒子内部におけるＣａ含有率を、粒界部におけるＣａ含有率よりも低くする。そのようにすることで、粒界からの破壊を起き難くするとともに、圧電セラミック基体の圧電ｄ定数などの特性を、比較的高い状態にすることとができる。   Therefore, the Ca content in the grain boundary part of the piezoelectric ceramic substrate is increased, and the Ca content in the crystal grains is made lower than the Ca content in the grain boundary part. By doing so, breakage from the grain boundary is less likely to occur, and characteristics such as the piezoelectric d constant of the piezoelectric ceramic substrate can be made relatively high.

粒界部におけるＣａ含有率は、圧電セラミック基体の主面から１０μｍの位置において、０．２質量％以上、さらに０．４質量％以上であることが好ましい。また、圧電セラミック基体の主面から１０μｍより深い位置における結晶粒子内部のＣａ含有率は、１０μｍの位置における結晶粒子内部のＣａ含有率より低いことにより、１０μｍより深い位置における圧電セラミック基体の圧電ｄ定数などの特性を、比較的高い状態にすることができる。なお、ここで言う深いとは、圧電セラミック基体の厚さ方向の中心に近いということであり、他方の主面に近づいたところで、Ｃａ含有率が高くなっても構わない。   The Ca content in the grain boundary part is preferably 0.2% by mass or more, and more preferably 0.4% by mass or more at a position of 10 μm from the main surface of the piezoelectric ceramic substrate. Further, since the Ca content inside the crystal grains at a position deeper than 10 μm from the main surface of the piezoelectric ceramic base is lower than the Ca content inside the crystal grains at a position 10 μm, the piezoelectric d of the piezoelectric ceramic base at a position deeper than 10 μm. Characteristics such as constants can be made relatively high. The term “deep” as used herein means close to the center of the piezoelectric ceramic substrate in the thickness direction, and the Ca content may be increased when approaching the other main surface.

そのような圧電セラミック基体は、例えば、圧電セラミック基体となる原料粉末を含んだグリーンシートの主面と、Ｃａを含んだ部材とを接触させながら焼成することで作製できる。Ｃａは、焼成中に主に粒界を伝わって圧電セラミック基体に拡散していくため、結晶粒子内部のＣａ含有率を低くしたまま、粒界部のＣａ含有率を高くできる。   Such a piezoelectric ceramic substrate can be produced, for example, by firing while bringing the main surface of a green sheet containing raw material powder to be a piezoelectric ceramic substrate into contact with a member containing Ca. Since Ca is mainly transmitted through the grain boundary during diffusion and diffuses into the piezoelectric ceramic substrate, the Ca content in the grain boundary portion can be increased while the Ca content in the crystal grains is kept low.

具体的には、焼成時に平板状のジルコニアセッター上に、圧電セラミック基体となるグリーンシートなどを置いて焼成すればよい。圧電セラミック基体の両方の主面においてＣａ含有率を高くしたい場合は、圧電セラミック基体となるグリーンシートなどを平板状のジルコニアセッターの間に挟んで焼成すればよい。   Specifically, a green sheet or the like serving as a piezoelectric ceramic substrate may be placed on a flat zirconia setter during firing and fired. When it is desired to increase the Ca content on both main surfaces of the piezoelectric ceramic substrate, a green sheet or the like serving as the piezoelectric ceramic substrate may be sandwiched between flat zirconia setters and fired.

なお、あらかじめ原料粉末中にＣａを含ませておくと、Ｃａ含有率は、結晶粒子内部と粒界部とで差がなくなるか、Ｃａはチタン酸ジルコン酸鉛に固溶するため、むしろ結晶粒子内部の方が、Ｃａ含有率が高くなってしまう。   If Ca is contained in the raw material powder in advance, the Ca content will not be different between the inside of the crystal particle and the grain boundary part, or Ca is dissolved in lead zirconate titanate. The Ca content is higher in the interior.

圧電セラミック基体の強度が高くなるのは、Ｃａにより結晶粒子の粒成長が抑制されて
、結晶粒子の大きさが小さくなることによると考えられる。圧電セラミック基体の表面から１０μｍ以上の内部の断面における結晶粒子径と比較して、圧電セラミック基体表面の結晶粒子径は半部以下になる。具体的には、圧電セラミック基体の内部の断面における結晶粒子径は５〜８μｍ程度、表面における結晶粒子径は２〜３μｍになる。 It is considered that the strength of the piezoelectric ceramic substrate is increased because the growth of crystal grains is suppressed by Ca and the size of the crystal grains is reduced. Compared with the crystal particle diameter in the internal cross section of 10 μm or more from the surface of the piezoelectric ceramic substrate, the crystal particle diameter on the surface of the piezoelectric ceramic substrate is less than half. Specifically, the crystal particle diameter in the cross section inside the piezoelectric ceramic substrate is about 5 to 8 μm, and the crystal particle diameter on the surface is 2 to 3 μm.

Ｃａを含んだ部材の材質は、例えばジルコニアである。ジルコニアに含まれるＣａの含有率は、圧電セラミック基体を焼成する際に必要となる焼成温度および焼成時間において、ジルコニアのＣａ含有率と、拡散により圧電セラミック基体の粒界部に含まれるＣａ含有率の関係を調べることで、決めることができる。   The material of the member containing Ca is, for example, zirconia. The content of Ca contained in zirconia is determined by the Ca content of zirconia and the Ca content contained in the grain boundary portion of the piezoelectric ceramic substrate due to diffusion at the firing temperature and firing time required for firing the piezoelectric ceramic substrate. You can decide by examining the relationship.

圧電セラミック基体の特性のために、少量のＣａが含まれていた方が好ましい場合は、原料中にもＣａを含ませ、原料に含まれていたＣａと拡散によるＣａとが合わさったか含有率が上述の範囲内となるようにしてもよい。   When it is preferable that a small amount of Ca is contained due to the characteristics of the piezoelectric ceramic substrate, the Ca is also contained in the raw material, and the Ca contained in the raw material is combined with the Ca by diffusion. You may make it become in the above-mentioned range.

以上説明した、粒界部のＣａ含有率は、次のように測定できる。図５（ｂ）は、本発明の一実施形態の圧電セラミック基体である圧電アクチュエータ基板２１の断面図である。圧電アクチュエータ基板２１については、後で詳述するが、主面に個別電極３５のない部分測定を行なう。圧電アクチュエータ基板２１にそのような部分がない場合、酸などにより個別電極３５を除去してもよい。   The Ca content of the grain boundary described above can be measured as follows. FIG. 5B is a cross-sectional view of the piezoelectric actuator substrate 21 which is a piezoelectric ceramic substrate according to an embodiment of the present invention. The piezoelectric actuator substrate 21 will be described in detail later, but partial measurement without the individual electrode 35 on the main surface is performed. If the piezoelectric actuator substrate 21 does not have such a portion, the individual electrode 35 may be removed with acid or the like.

深さＤμｍにおける測定を行なう場合は、圧電セラミック基体を断面研磨し、深さＤμｍの位置で主面とほぼ平行な帯状の測定領域Ｍにおける平均Ｃａ含有率を、ＥＰＭＡ（Electron Probe Micro Analyzer）で測定する。測定領域Ｍの深さ方向の幅は、例えば１〜
５μｍであり、測定領域Ｍの深さ方向の中央の深さをＤμｍとする。測定領域Ｍの長さは、例えば１０〜１００μｍである。 When measurement is performed at a depth of D μm, the piezoelectric ceramic substrate is subjected to cross-sectional polishing, and the average Ca content in the strip-shaped measurement region M substantially parallel to the main surface at the depth of D μm is measured with an EPMA (Electron Probe Micro Analyzer). taking measurement. The width of the measurement region M in the depth direction is, for example, 1 to 1.
5 μm, and the center depth in the depth direction of the measurement region M is D μm. The length of the measurement region M is, for example, 10 to 100 μm.

続いて、深さＤμｍにおける結晶粒子内部のＣａ含有率を測定する。ＴＥＭ（Transmission Electron Microscope）によって、断面の深さＤμｍの位置にある（断面における結晶粒子の面積重心がＤ±１μｍ程度以内）任意の結晶粒子において、結晶粒子の外周のうちの任意の一点と、結晶粒子面積重心との中点のＣａ含有率を測定し、これを結晶粒子内部のＣａ含有率とする。   Subsequently, the Ca content in the crystal grains at a depth of D μm is measured. With an arbitrary crystal particle at a position of a depth D μm of the cross section by a TEM (Transmission Electron Microscope) (the center of gravity of the crystal particle in the cross section is within about D ± 1 μm), The Ca content at the midpoint with respect to the center of gravity of the crystal grain area is measured, and this is defined as the Ca content within the crystal grain.

粒界部のＣａ含有率は、上述の測定領域Ｍにおける平均Ｃａ含有率から結晶粒子内部のＣａ含有率を引いた値とする。直接粒界部のＣａ含有率を測定しようすると、粒界部の幅の選び方によりＣａ含有率の値が変わることになるが、上述のように算出すれば、この問題を回避できる。   The Ca content in the grain boundary part is a value obtained by subtracting the Ca content in the crystal grains from the average Ca content in the measurement region M described above. If the Ca content of the grain boundary portion is directly measured, the value of the Ca content varies depending on how the width of the grain boundary portion is selected. However, this problem can be avoided by calculating as described above.

続いて、このような圧電セラミック基体を用いた、圧電アクチュエータ基板、液体吐出ヘッドおよび記録装置について説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置である（カラーインクジェット）プリンタ１の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。   Subsequently, a piezoelectric actuator substrate, a liquid discharge head, and a recording apparatus using such a piezoelectric ceramic substrate will be described. FIG. 1A is a schematic side view of a (color inkjet) printer 1 which is a recording apparatus including a liquid discharge head 2 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a schematic plan view. It is. The printer 1 moves the printing paper P relative to the liquid ejection head 2 by transporting the printing paper P that is a recording medium from the transporting roller 80 a to the transporting roller 80 b. The control unit 88 controls the liquid ejection head 2 based on image and character data, ejects liquid toward the recording medium P, causes droplets to land on the printing paper P, and prints on the printing paper P. Record such as.

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリ
アルプリンタが挙げられる。 In the present embodiment, the liquid discharge head 2 is fixed to the printer 1, and the printer 1 is a so-called line printer. As another embodiment of the recording apparatus of the present invention, the operation of moving the liquid ejection head 2 by reciprocating in the direction intersecting the transport direction of the printing paper P, for example, the direction substantially orthogonal, and the printing paper P There is a so-called serial printer that alternately conveys.

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状の（ヘッド搭載）フレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。   A flat plate (head mounting) frame 70 is fixed to the printer 1 so as to be substantially parallel to the printing paper P. The frame 70 is provided with 20 holes (not shown), and the 20 liquid discharge heads 2 are mounted in the respective hole portions, and the portion of the liquid discharge head 2 that discharges the liquid is the printing paper P. It has come to face. The distance between the liquid ejection head 2 and the printing paper P is, for example, about 0.5 to 20 mm. The five liquid ejection heads 2 constitute one head group 72, and the printer 1 has four head groups 72.

液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つ液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。   The liquid discharge head 2 has a long and narrow shape in the direction from the front to the back in FIG. 1A and in the vertical direction in FIG. This long direction is sometimes called the longitudinal direction. Within one head group 72, the three liquid ejection heads 2 are arranged along a direction that intersects the conveyance direction of the printing paper P, for example, a substantially orthogonal direction, and the other two liquid ejection heads 2 are conveyed. Each of the three liquid ejection heads 2 is arranged at a position shifted along the direction. The liquid discharge heads 2 are arranged so that the printable range of each liquid discharge head 2 is connected in the width direction of the print paper P (in the direction intersecting the conveyance direction of the print paper P) or the ends overlap. Thus, printing without gaps in the width direction of the printing paper P is possible.

４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体（インク）が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。   The four head groups 72 are arranged along the conveyance direction of the recording paper P. Liquid (ink) is supplied to each liquid discharge head 2 from a liquid tank (not shown). The liquid ejection heads 2 belonging to one head group 72 are supplied with the same color ink, and four color inks can be printed by the four head groups. The colors of ink ejected from each head group 72 are, for example, magenta (M), yellow (Y), cyan (C), and black (K). A color image can be printed by printing such ink under the control of the control unit 88.

プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッドの群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッドの群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度（搬送速度）を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。   The number of liquid ejection heads 2 mounted on the printer 1 may be one if it is a single color and the range that can be printed by one liquid ejection head 2 is printed. The number of the liquid ejection heads 2 included in the head group 72 and the number of the head groups 72 can be appropriately changed according to the printing target and printing conditions. For example, the number of head groups 72 may be increased to perform multicolor printing. Also, by arranging a plurality of head groups 72 that print in the same color and printing alternately in the transport direction, the printing speed (transport speed) can be increased. Alternatively, a plurality of head groups 72 for printing in the same color may be prepared and arranged so as to be shifted in a direction crossing the transport direction, so that the resolution in the width direction of the print paper P may be increased.

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。   Further, in addition to printing colored inks, a liquid such as a coating agent may be printed for surface treatment of the printing paper P.

プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。   The printer 1 performs printing on a printing paper P that is a recording medium. The printing paper P is wound around the paper feed roller 80a, passes between the two guide rollers 82a, passes through the lower side of the liquid ejection head 2 mounted on the frame 70, It passes between the two conveying rollers 82b and is collected by the collecting roller 80b. When printing, the printing paper P is conveyed at a constant speed by rotating the conveyance roller 82 b and printed by the liquid ejection head 2. The collection roller 80b winds up the printing paper P sent out from the conveyance roller 82b. The conveyance speed is, for example, 75 m / min. Each roller may be controlled by the controller 88 or may be manually operated by a person.

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどにしてもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パター
ンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。 In addition to the printing paper P, the recording medium may be a cloth or the like. In addition, the printer 1 is configured to convey a conveyance belt instead of the printing paper P, and the recording medium is not only a roll-shaped one, but also a sheet, cut cloth, wood, It may be a tile. Furthermore, a wiring pattern of an electronic device may be printed by discharging a liquid containing conductive particles from the liquid discharge head 2. Still further, the chemical may be produced by discharging a predetermined amount of liquid chemical agent or liquid containing the chemical agent from the liquid discharge head 2 toward the reaction container or the like and reacting.

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。   In addition, a position sensor, a speed sensor, a temperature sensor, and the like may be attached to the printer 1, and the control unit 88 may control each part of the printer 1 according to the state of each part of the printer 1 that can be understood from information from each sensor. In particular, if the discharge characteristics (discharge amount, discharge speed, etc.) of the liquid discharged from the liquid discharge head 2 are affected by the outside, the temperature of the liquid discharge head 2, the temperature of the liquid in the liquid tank, the liquid tank Depending on the pressure applied by the liquid to the liquid ejection head 2, the drive signal for ejecting the liquid in the liquid ejection head 2 may be changed.

次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体１３を示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体１３の一部である。図３では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４は、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０（加圧室群９）、しぼり１２および吐出孔８などを実線で描いている。図５（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、（ｂ）は、測定領域を示す圧電アクチュエータ基板の縦断面図である。   Next, the liquid discharge head 2 according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a plan view showing a head body 13 which is a main part of the liquid ejection head 2 shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged plan view of a region surrounded by a one-dot chain line in FIG. 2 and is a part of the head main body 13. In FIG. 3, for the sake of explanation, some of the flow paths are omitted. FIG. 4 is an enlarged plan view at the same position as FIG. 3, and a part of the flow path different from FIG. 3 is omitted. 3 and 4, in order to make the drawings easy to understand, the pressurizing chamber 10 (pressurizing chamber group 9), the squeezing chamber 12, the discharge hole 8, and the like that are to be drawn by broken lines below the piezoelectric actuator substrate 21 are illustrated. It is drawn with a solid line. FIG. 5A is a longitudinal sectional view taken along line VV in FIG. 3, and FIG. 5B is a longitudinal sectional view of a piezoelectric actuator substrate showing a measurement region.

ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に、接着積層された圧電アクチュエータ基板２１とを有している。圧電アクチュエータ基板２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータ基板２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータ基板２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット２１を駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータ基板２１により吐出された液滴が混在して着弾することになる。   The head body 13 includes a flat plate-like flow path member 4 and a piezoelectric actuator substrate 21 that is bonded and laminated on the flow path member 4. The piezoelectric actuator substrate 21 has a trapezoidal shape, and is disposed on the upper surface of the flow path member 4 so that a pair of parallel opposing sides of the trapezoid is parallel to the longitudinal direction of the flow path member 4. In addition, two piezoelectric actuator substrates 21 are arranged on the flow path member 4 as a whole in a zigzag manner, two along each of the two virtual straight lines parallel to the longitudinal direction of the flow path member 4. Yes. The oblique sides of the piezoelectric actuator substrates 21 adjacent to each other on the flow path member 4 partially overlap in the short direction of the flow path member 4. In the area printed by driving the overlapping piezoelectric actuator unit 21, the droplets ejected by the two piezoelectric actuator substrates 21 are mixed and landed.

流路部材４の内部には液体流路の一部であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータ基板２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。   A manifold 5 that is a part of the liquid flow path is formed inside the flow path member 4. The manifold 5 has an elongated shape extending along the longitudinal direction of the flow path member 4, and an opening 5 b of the manifold 5 is formed on the upper surface of the flow path member 4. A total of ten openings 5 b are formed along each of two straight lines (imaginary lines) parallel to the longitudinal direction of the flow path member 4. The opening 5b is formed at a position that avoids a region where the four piezoelectric actuator substrates 21 are disposed. The manifold 5 is supplied with liquid from a liquid tank (not shown) through the opening 5b.

流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがある）。開口５ｂに繋がるマニホールド５は、圧電アクチュエータ基板２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータ基板２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータ基板２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体１３の長手方向に延在している。   The manifold 5 formed in the flow path member 4 is branched into a plurality of branches (the manifold 5 at the branched portion may be referred to as a sub-manifold 5a). The manifold 5 connected to the opening 5 b extends along the oblique side of the piezoelectric actuator substrate 21 and is disposed so as to intersect with the longitudinal direction of the flow path member 4. In the region sandwiched between the two piezoelectric actuator substrates 21, one manifold 5 is shared by the adjacent piezoelectric actuator substrates 21, and the sub-manifold 5 a is branched from both sides of the manifold 5. These sub-manifolds 5 a extend in the longitudinal direction of the head main body 13 adjacent to each other in regions facing the piezoelectric actuator substrates 21 inside the flow path member 4.

流路部材４は、複数の加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に
形成されている４つの加圧室群９を有している。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域のほぼ全面に渡って配列されている。したがって、これらの加圧室１０によって形成された各加圧室群９は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接着されることで閉塞されている。 The flow path member 4 has four pressure chamber groups 9 in which a plurality of pressure chambers 10 are formed in a matrix (that is, two-dimensionally and regularly). The pressurizing chamber 10 is a hollow region having a substantially rhombic planar shape with rounded corners. The pressurizing chamber 10 is formed so as to open on the upper surface of the flow path member 4. These pressurizing chambers 10 are arranged over almost the entire surface of the upper surface of the flow path member 4 facing the piezoelectric actuator substrate 21. Accordingly, each pressurizing chamber group 9 formed by these pressurizing chambers 10 occupies a region having substantially the same shape as the piezoelectric actuator substrate 21. Further, the opening of each pressurizing chamber 10 is closed by adhering the piezoelectric actuator substrate 21 to the upper surface of the flow path member 4.

本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the manifold 5 branches into four rows of E1-E4 sub-manifolds 5a arranged in parallel with each other in the short direction of the flow path member 4, and each sub-manifold The pressurizing chambers 10 connected to 5a constitute a row of the pressurizing chambers 10 arranged in the longitudinal direction of the flow path member 4 at equal intervals, and the four rows are arranged in parallel to each other in the lateral direction. Two rows of the pressure chambers 10 connected to the sub-manifold 5a are arranged on both sides of the sub-manifold 5a.

全体では、マニホールド５から繋がる加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室１０の数は、アクチュエータである変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。   As a whole, the pressurizing chambers 10 connected from the manifold 5 constitute rows of the pressurizing chambers 10 arranged in the longitudinal direction of the flow path member 4 at equal intervals, and the rows are arranged in 16 rows parallel to each other in the short side direction. ing. The number of pressurizing chambers 10 included in each pressurizing chamber row is arranged so as to gradually decrease from the long side toward the short side corresponding to the outer shape of the displacement element 50 that is an actuator. . The discharge holes 8 are also arranged in the same manner. As a result, it is possible to form an image with a resolution of 600 dpi in the longitudinal direction as a whole.

つまり、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図３に示した仮想直線のＲの範囲に、各副マニホールド５ａ繋がっている４つの吐出孔８、つまり全部で１６個の吐出孔８が６００ｄｐｉの等間隔になっている。また、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されているということである。   That is, when the discharge holes 8 are projected so as to be orthogonal to a virtual straight line parallel to the longitudinal direction of the flow path member 4, the four sub-manifolds 5a connected to the range of R of the virtual straight line shown in FIG. The discharge holes 8, that is, a total of 16 discharge holes 8 are equally spaced at 600 dpi. Moreover, the individual flow paths 32 are connected to the sub manifolds 5a at intervals corresponding to 150 dpi on average. This is because when the discharge holes 8 for 600 dpi are divided and connected to the four sub-manifolds 5a, the individual flow paths 32 connected to the sub-manifolds 5a are not always connected at equal intervals. In other words, the individual flow paths 32 are formed at intervals of an average of 170 μm (25.4 mm / 150 = 169 μm intervals if 150 dpi) in the main scanning direction.

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０および後述のダミー加圧室に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。すなわち、個別電極３５は、圧電アクチュエータ基板２１の上面に、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。個別電極３５は加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。   Individual electrodes 35 to be described later are formed on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21 at positions facing the respective pressure chambers 10 and a dummy pressure chamber to be described later. That is, the individual electrode 35 is formed on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21 in the first direction and in a direction different from the first direction. The individual electrode 35 is slightly smaller than the pressurizing chamber 10, has a shape substantially similar to the pressurizing chamber 10, and is disposed so as to be within a region facing the pressurizing chamber 10 on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21. ing.

流路部材４の下面の液体吐出面には多数の吐出孔８が形成されている。これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子５０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。吐出孔８の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。   A large number of discharge holes 8 are formed in the liquid discharge surface on the lower surface of the flow path member 4. These discharge holes 8 are arranged at positions avoiding the area facing the sub-manifold 5a arranged on the lower surface side of the flow path member 4. Further, these discharge holes 8 are arranged in a region facing the piezoelectric actuator substrate 21 on the lower surface side of the flow path member 4. These discharge hole groups occupy an area having almost the same shape as the piezoelectric actuator substrate 21, and droplets can be discharged from the discharge holes 8 by displacing the corresponding displacement elements 50 of the piezoelectric actuator substrate 21. The arrangement of the discharge holes 8 will be described in detail later. The discharge holes 8 in each region are arranged at equal intervals along a plurality of straight lines parallel to the longitudinal direction of the flow path member 4.

以上の流路は、液滴の吐出に直接関係する流路であるが、流路部材４には、図では省略してあるダミー加圧室が設けられている。ダミー加圧室は、加圧室１０が設けられている台形状の領域の周囲に一列形成されている。ダミー加圧室により、加圧室１０のうちの最
も外側にある加圧室１０の周囲の流路部材４の剛性などが、他の加圧室１０の状態と近くなるので、液体吐出特性のばらつきを少なくできる。ダミー加圧室の形状は加圧室と同じであるが、他の流路に繋がってはいない。ダミー加圧室の配置は、加圧室１０のマトリクス状の配置を延長するように配置される。 The above flow paths are flow paths that are directly related to the discharge of liquid droplets, but the flow path member 4 is provided with a dummy pressurizing chamber that is omitted in the drawing. The dummy pressurizing chambers are formed in a line around the trapezoidal region where the pressurizing chamber 10 is provided. Due to the dummy pressurizing chamber, the rigidity of the flow path member 4 around the pressurizing chamber 10 that is the outermost of the pressurizing chambers 10 is close to the state of the other pressurizing chambers 10, so that the liquid ejection characteristics Variation can be reduced. The shape of the dummy pressurizing chamber is the same as that of the pressurizing chamber, but it is not connected to other flow paths. The dummy pressurizing chambers are arranged so as to extend the matrix-like arrangement of the pressurizing chambers 10.

ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体１３は、図６に示されているように、加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介して副マニホールド５ａと吐出孔８とが繋がる構成を有している。   The flow path member 4 included in the head body 13 has a stacked structure in which a plurality of plates are stacked. These plates are a cavity plate 22, a base plate 23, an aperture (squeezing) plate 24, supply plates 25 and 26, manifold plates 27, 28 and 29, a cover plate 30 and a nozzle plate 31 in order from the upper surface of the flow path member 4. is there. A number of holes are formed in these plates. Each plate is aligned and laminated so that these holes communicate with each other to form the individual flow path 32 and the sub-manifold 5a. As shown in FIG. 6, the head main body 13 has the pressurizing chamber 10 on the upper surface of the flow path member 4, the sub-manifold 5 a on the inner lower surface side, and the discharge holes 8 on the lower surface, and the individual flow paths 32. Are arranged close to each other at different positions, and the sub-manifold 5 a and the discharge hole 8 are connected via the pressurizing chamber 10.

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。   The holes formed in each plate will be described. These holes include the following. First, the pressurizing chamber 10 formed in the cavity plate 22. Secondly, there is a communication hole that constitutes a flow path that connects from one end of the pressurizing chamber 10 to the sub-manifold 5a. This communication hole is formed in each plate from the base plate 23 (specifically, the inlet of the pressurizing chamber 10) to the supply plate 25 (specifically, the outlet of the sub-manifold 5a). The communication hole includes the aperture 12 formed in the aperture plate 24 and the individual supply flow path 6 formed in the supply plates 25 and 26.

第３に、加圧室１０の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔である。この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。   Third, there is a communication hole that constitutes a flow path that communicates from the other end of the pressurizing chamber 10 to the discharge hole 8. This communication hole is referred to as a descender (partial flow path) in the following description. The descender is formed on each plate from the base plate 23 (specifically, the outlet of the pressurizing chamber 10) to the nozzle plate 31 (specifically, the discharge hole 8). Fourthly, there is a communication hole constituting the sub-manifold 5a. The communication holes are formed in the manifold plates 27 to 29.

このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８へと進む。   Such communication holes are connected to each other to form an individual flow path 32 extending from the liquid inflow port (the outlet of the submanifold 5a) from the submanifold 5a to the discharge hole 8. The liquid supplied to the sub-manifold 5a is discharged from the discharge hole 8 through the following path. First, from the sub-manifold 5a, it passes through the individual supply flow path 6 and reaches one end of the aperture 12. Next, it proceeds horizontally along the extending direction of the aperture 12 and reaches the other end of the aperture 12. From there, it reaches one end of the pressurizing chamber 10 upward. Furthermore, it progresses horizontally along the extending direction of the pressurizing chamber 10 and reaches the other end of the pressurizing chamber 10. While moving little by little in the horizontal direction from there, it proceeds mainly downward and proceeds to the discharge hole 8 opened in the lower surface.

圧電アクチュエータ基板２１は、図６に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂの厚さは、それぞれ１５〜２５μｍ程度である。圧電アクチュエータ基板２１は、流路部材４の加圧室１０の開口している平面状の面に積層されており、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。圧電セラミック層２１ａは、セラミック振動板として働いており、圧電性を有する必要性は特になく、ジルコニアなどの他のセラミックス材料を用いてもよい。   As shown in FIG. 6, the piezoelectric actuator substrate 21 has a laminated structure including two piezoelectric ceramic layers 21a and 21b. The thickness of the piezoelectric ceramic layers 21a and 21b of the piezoelectric actuator substrate 21 is about 15 to 25 μm. The piezoelectric actuator substrate 21 is laminated on the planar surface of the flow path member 4 where the pressurizing chamber 10 is open, and the piezoelectric ceramic layers 21 a and 21 b straddle the plurality of pressurizing chambers 10. (See FIG. 3). The piezoelectric ceramic layers 21a and 21b are made of a lead zirconate titanate (PZT) ceramic material having ferroelectricity. The piezoelectric ceramic layer 21a functions as a ceramic diaphragm, and is not particularly required to have piezoelectricity, and other ceramic materials such as zirconia may be used.

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる、内部電極であ
る共通電極３４、Ａｕ系などの金属材料からなる第１の表面電極である個別電極３５、個別電極３５の上に形成されているＡｇ系などの金属材料からなる接続ランド３６を有している。個別電極３５だけをＡｇ系の金属材料で形成してもよい。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０およびダミー加圧室と対向する位置に配置されている個別電極本体３５ａと、個別電極本体３５ａから加圧室１０のない位置まで引き出されている接続電極３５ｂとを含んでいる。Ａｕ系導体の形成する場合の個別電極３５の厚さは、０．３〜１μｍであり、Ａｇ系導体の形成する場合の個別電極３５の厚さは、１〜３μｍである。接続電極３５ｂには接続ランド３６が形成されている。接続ランド３６は例えばガラスフリットを含む銀からなり、厚さが５〜１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続ランド３６には、必要に応じてさらに接続バンプを形成した上、図示されていないＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部８８からＦＰＣを通じて駆動信号（駆動電圧）が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。 The piezoelectric actuator substrate 21 is formed on a common electrode 34 that is an internal electrode made of a metal material such as Ag—Pd, an individual electrode 35 that is a first surface electrode made of a metal material such as Au, and the individual electrode 35. A connection land 36 made of a metal material such as an Ag-based material is formed. Only the individual electrode 35 may be formed of an Ag-based metal material. As described above, the individual electrode 35 is disposed on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21 at a position facing the pressurizing chamber 10 and the dummy pressurizing chamber, and the individual electrode main body 35a to the pressurizing chamber 10 is not provided. And a connection electrode 35b drawn to a position. The thickness of the individual electrode 35 when forming the Au-based conductor is 0.3 to 1 μm, and the thickness of the individual electrode 35 when forming the Ag-based conductor is 1 to 3 μm. A connection land 36 is formed on the connection electrode 35b. The connection land 36 is made of, for example, silver containing glass frit, and has a convex shape with a thickness of about 5 to 15 μm. Further, connection bumps are further formed on the connection lands 36 as necessary, and are electrically joined to electrodes provided on an FPC (Flexible Printed Circuit) (not shown). Although details will be described later, a drive signal (drive voltage) is supplied from the control unit 88 to the individual electrode 35 through the FPC. The drive signal is supplied in a constant cycle in synchronization with the conveyance speed of the print medium P.

なお、以上は、圧電アクチュエータ基板２１が２層の圧電セラミック層の場合の構造であるが、３相層以上の圧電セラミック層を積層して、個別電極３５と共通電極３４が交互になるように配置してもよい。   The above is the structure in the case where the piezoelectric actuator substrate 21 has two piezoelectric ceramic layers. However, the piezoelectric ceramic layers having three or more phases are laminated so that the individual electrodes 35 and the common electrodes 34 are alternately arranged. You may arrange.

個別電極３５は、圧電アクチュエータ基板２１の一方の主面の略全面に渡ってマトリクス状に形成されている。すなわち、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。   The individual electrodes 35 are formed in a matrix over substantially the entire surface of one main surface of the piezoelectric actuator substrate 21. That is, the first direction and the first direction are formed in different directions.

図５（ａ）に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータ基板２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータ基板２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。   As shown in FIG. 5A, the common electrode 34 and the individual electrode 35 are disposed so as to sandwich only the uppermost piezoelectric ceramic layer 21b. A region sandwiched between the individual electrode 35 and the common electrode 34 in the piezoelectric ceramic layer 21b is called an active portion, and the piezoelectric ceramic in that portion is polarized in the thickness direction. In the piezoelectric actuator substrate 21 of the present embodiment, only the uppermost piezoelectric ceramic layer 21b includes an active portion, and the piezoelectric ceramic 21a does not include an active portion and functions as a diaphragm. The piezoelectric actuator substrate 21 has a so-called unimorph type configuration.

なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極３５に対応する加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図６に示されているような構造を単位構造とする変位素子５０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐＬ（ピコリットル）程度である。   As will be described later, when a predetermined drive signal is selectively supplied to the individual electrode 35, pressure is applied to the liquid in the pressurizing chamber 10 corresponding to the individual electrode 35. As a result, droplets are discharged from the corresponding liquid discharge ports 8 through the individual flow paths 32. That is, the portion of the piezoelectric actuator substrate 21 facing each pressurizing chamber 10 corresponds to an individual displacement element 50 (actuator) corresponding to each pressurizing chamber 10 and the liquid discharge port 8. That is, in the laminate composed of two piezoelectric ceramic layers, the displacement element 50 having a unit structure as shown in FIG. 6 is positioned immediately above the pressurizing chamber 10 for each pressurizing chamber 10. The diaphragm 21a, the common electrode 34, the piezoelectric ceramic layer 21b, and the individual electrode 35 are formed. The piezoelectric actuator substrate 21 includes a plurality of displacement elements 50. In the present embodiment, the amount of liquid ejected from the liquid ejection port 8 by one ejection operation is about 5 to 7 pL (picoliter).

多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがＦＰＣ上のコンタクトおよび配線を介して、個別にアクチュエータ制御手段に電気的に接続されている。   A large number of individual electrodes 35 are individually electrically connected to the actuator control means via contacts and wirings on the FPC so that potentials can be individually controlled.

本実施形態における圧電アクチュエータ基板２１の液体吐出時の駆動方法の一例を、個別電極３５に供給される駆動電圧（駆動信号）に関して説明する。個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加し
たとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。電界が加わったとき、圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向に収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータ基板２１は、上側（つまり、加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。 An example of a driving method at the time of liquid ejection of the piezoelectric actuator substrate 21 in the present embodiment will be described with respect to a driving voltage (drive signal) supplied to the individual electrode 35. When an electric field is applied to the piezoelectric ceramic layer 21b in the polarization direction by setting the individual electrode 35 to a potential different from that of the common electrode 34, the portion to which the electric field is applied functions as an active portion that is distorted by the piezoelectric effect. When an electric field is applied, the piezoelectric ceramic layer 21b expands or contracts in the thickness direction, that is, the stacking direction, and tends to contract or extend in the direction perpendicular to the stacking direction, that is, the plane direction, due to the piezoelectric lateral effect. On the other hand, since the remaining piezoelectric ceramic layer 21a is an inactive layer that does not have a region sandwiched between the individual electrode 35 and the common electrode 34, it does not spontaneously deform. That is, the piezoelectric actuator substrate 21 has the piezoelectric ceramic layer 21b on the upper side (that is, the side away from the pressurizing chamber 10) as a layer including the active portion and the lower side (that is, the side close to the pressurizing chamber 10). This piezoceramic layer 21a is a so-called unimorph type structure having an inactive layer.

この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。   In this configuration, when the individual electrode 35 is set to a predetermined positive or negative potential with respect to the common electrode 34 by the actuator controller so that the electric field and the polarization are in the same direction, a portion sandwiched between the electrodes of the piezoelectric ceramic layer 21b. (Active part) contracts in the surface direction. On the other hand, the piezoelectric ceramic layer 21a, which is an inactive layer, is not affected by an electric field, so that it does not spontaneously shrink and tries to restrict deformation of the active portion. As a result, there is a difference in strain in the polarization direction between the piezoelectric ceramic layer 21b and the piezoelectric ceramic layer 21a, and the piezoelectric ceramic layer 21b is deformed so as to protrude toward the pressurizing chamber 10 (unimorph deformation).

本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極３５を共通電極３４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。
これによると、加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。 In an actual driving procedure in the present embodiment, the individual electrode 35 is set to a potential higher than the common electrode 34 (hereinafter referred to as a high potential) in advance, and the individual electrode 35 is temporarily set to the same potential as the common electrode 34 every time there is a discharge request. (Hereinafter referred to as a low potential), and then set to a high potential again at a predetermined timing. As a result, the piezoelectric ceramic layers 21a and 21b return to their original shapes at the timing when the individual electrodes 35 become low potential, and the volume of the pressurizing chamber 10 increases compared to the initial state (the state where the potentials of both electrodes are different). To do. At this time, a negative pressure is applied to the pressurizing chamber 10 and the liquid is sucked into the pressurizing chamber 10 from the manifold 5 side. Thereafter, at the timing when the individual electrode 35 is set to a high potential again, the piezoelectric ceramic layers 21a and 21b are deformed so as to protrude toward the pressurizing chamber 10, and the pressure in the pressurizing chamber 10 is reduced due to the volume reduction of the pressurizing chamber 10. The pressure becomes positive and the pressure on the liquid rises, and droplets are ejected. That is, a drive signal including a pulse based on a high potential is supplied to the individual electrode 35 in order to eject a droplet. This pulse width is ideally AL (Acoustic Length), which is the length of time during which the pressure wave propagates from the manifold 5 to the discharge hole 8 in the pressurizing chamber 10.
According to this, when the inside of the pressurizing chamber 10 is reversed from the negative pressure state to the positive pressure state, both pressures are combined, and the liquid droplets can be discharged at a stronger pressure.

以上のような液体吐出ヘッド２は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。   The liquid discharge head 2 as described above is manufactured as follows, for example. A tape composed of a piezoelectric ceramic powder and an organic composition is formed by a general tape forming method such as a roll coater method or a slit coater method, and a plurality of green sheets that become piezoelectric ceramic layers 21a and 21b after firing are produced. .

続いて、グリーンシートの一部には、その表面に共通電極３４となる電極ペーストを印刷等により形成する。さらに、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を、Ｃａを含有したジルコニアセッターの間に挟んで高濃度酸素雰囲気下で焼成し、圧電アクチュエータ素体を作製する。その後、Ａｇペーストを用いて圧電アクチュエータ素体表面に個別電極３５および共通電極用表面電極３７を印刷した後、焼成する。   Subsequently, an electrode paste to be the common electrode 34 is formed on a part of the green sheet by printing or the like. Furthermore, each green sheet is laminated | stacked, a laminated body is produced, and pressure adhesion is performed. The laminated body after pressure contact is sandwiched between Ca-containing zirconia setters and fired in a high-concentration oxygen atmosphere to produce a piezoelectric actuator body. Thereafter, the individual electrodes 35 and the common electrode surface electrode 37 are printed on the surface of the piezoelectric actuator element body using Ag paste, and then fired.

次に、流路部材４と、圧延法等により得られプレート２２〜３１とを、接着層を介して積層して作製する。プレート２２〜３１に、マニホールド５、個別供給流路６、加圧室１０およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。   Next, the flow path member 4 and the plates 22 to 31 obtained by a rolling method or the like are laminated and produced through an adhesive layer. Holes to be the manifold 5, the individual supply flow path 6, the pressurizing chamber 10, the descender, and the like are processed in the plates 22 to 31 into a predetermined shape by etching.

これらプレート２２〜３１は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体として
インクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。 These plates 22 to 31 are preferably formed of at least one metal selected from the group consisting of Fe—Cr, Fe—Ni, and WC—TiC, particularly when ink is used as a liquid. Since it is desired to be made of a material having excellent corrosion resistance against ink, Fe-Cr is more preferable.

圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ基板２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを加熱接合することができる。   The piezoelectric actuator substrate 21 and the flow path member 4 can be laminated and bonded through, for example, an adhesive layer. As the adhesive layer, a known material can be used, but in order not to affect the piezoelectric actuator substrate 21 and the flow path member 4, an epoxy resin, phenol resin, polyphenylene having a thermosetting temperature of 100 to 150 ° C. It is preferable to use at least one thermosetting resin adhesive selected from the group of ether resins. By heating to the thermosetting temperature using such an adhesive layer, the piezoelectric actuator substrate 21 and the flow path member 4 can be heat-bonded.

図２〜５に示した圧電アクチュエータ基板２１を作製して評価した。表１の試料Ｎｏ．１〜３は、Ｃａの含有率が不純物量程度であるチタン酸ジルコン酸鉛を原料として作製した。試料Ｎｏ．４〜６は、上述のチタン酸ジルコン酸鉛を原料に対して、Ｃａの含有率が、それぞれ０．１質量％、０．２質量％、０．５質量％程度となるようにＣａ（を含んだ原料）を添加して作製した。   The piezoelectric actuator substrate 21 shown in FIGS. 2 to 5 was produced and evaluated. Sample No. in Table 1 1 to 3 were prepared using lead zirconate titanate having a Ca content of about the amount of impurities as a raw material. Sample No. 4-6 are the above-mentioned lead zirconate titanate, and the Ca content is about 0.1% by mass, 0.2% by mass and 0.5% by mass with respect to the raw materials. It was prepared by adding a raw material containing).

試料Ｎｏ．４〜６は、Ｃａを含まない（不純物程度の）ジルコニアセッターに挟んで焼成し、試料Ｎｏ．１〜３は、Ｃａの含有率を変えたジルコニアセッターに挟んで焼成した。焼成条件は、原料によって調整したが、１０５０℃、３時間程度であり、試料Ｎｏ．１〜３に用いたジルコニアセッターのＣａの含有率は、５〜１０モル％程度である。   Sample No. Nos. 4 to 6 were fired by sandwiching them between zirconia setters containing no Ca (impurity level). 1-3 were baked by being sandwiched between zirconia setters having different Ca contents. The firing conditions were adjusted according to the raw material, but were about 1050 ° C. for about 3 hours. The Ca content of the zirconia setter used in 1 to 3 is about 5 to 10 mol%.

作製した圧電アクチュエータ基板２１のＣａ含有率および、落下試験結果を表１に示す。Ｃａ含有率は、主面から深さ１０μｍの位置で行なった。結晶粒子内部のＣａ含有率は、ＴＥＭで測定した値であり、粒界部のＣ含有率は、ＥＰＭＡで測定した、図５（ｂ）に示した帯状の測定領域Ｍの平均Ｃａ含有率から結晶粒子内部のＣａ含有率を引いた値である。落下試験は、各試料５０個行ない、割れが４個以下の場合を◎、５以上１９個以下の場合を○、２０個以上の場合を×で表した。   Table 1 shows the Ca content of the produced piezoelectric actuator substrate 21 and the drop test results. The Ca content was measured at a depth of 10 μm from the main surface. The Ca content inside the crystal grain is a value measured by TEM, and the C content of the grain boundary part is measured from the average Ca content of the strip-shaped measurement region M shown in FIG. It is a value obtained by subtracting the Ca content inside the crystal grains. The drop test was performed for 50 samples, ◯ when the number of cracks was 4 or less, ◯ when 5 or more and 19 or less, and × when 20 or more.

本発明の範囲外の試料Ｎｏ．４〜６に対して、本発明の範囲内の試料Ｎｏ．１〜６は、落下試験の結果が良好であった。また、粒界部におけるＣａ含有率が０．４質量％以上であった、試料Ｎｏ．２および３は、粒界部におけるＣａ含有率が０．２質量％である試料Ｎｏ．１よりも落下試験の結果が良好であった。   Sample No. outside the scope of the present invention. For samples 4-6, sample nos. As for 1-6, the result of the drop test was favorable. Further, Sample No. in which the Ca content in the grain boundary part was 0.4% by mass or more. Nos. 2 and 3 are sample Nos. 1 and 2 having a Ca content of 0.2 mass% at the grain boundary. The result of the drop test was better than 1.

１・・・（カラーインクジェット）プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口
６・・・個別供給流路
８・・・吐出孔
９・・・加圧室群
１０・・・加圧室
１１ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・液体吐出ヘッド本体
１５ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・吐出孔列
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（セラミック振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極（内部電極）
３５・・・個別電極（第１の表面電極）
３５ａ・・・個別電極本体
３５ｂ・・・接続電極
３６・・・接続ランド
５０・・・加圧部（変位素子）
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
Ｄ・・・測定部深さ
Ｍ・・・量測定領域
Ｐ・・・印刷用紙 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... (Color inkjet) Printer 2 ... Liquid discharge head 4 ... Flow path member 5 ... Manifold 5a ... Sub manifold 5b ... Manifold opening 6 ... Individual supply flow path 8 ... Discharge hole 9 ... Pressure chamber group 10 ... Pressure chamber 11a, b, c, d ... Pressure chamber row 12 ... Squeeze 13 ... Liquid discharge head body 15a, b , C, d: discharge hole array 21: piezoelectric actuator substrate 21a: piezoelectric ceramic layer (ceramic diaphragm)
21b: Piezoelectric ceramic layer 22-31: Plate 32: Individual flow path 34: Common electrode (internal electrode)
35 ... Individual electrode (first surface electrode)
35a ... Individual electrode body 35b ... Connection electrode 36 ... Connection land 50 ... Pressure part (displacement element)
70 ... (head mounting) frame 72 ... head group 80a ... paper feed roller 80b ... collection roller 82a ... guide roller 82b ... transport roller 88 ... control unit D ... Measuring part depth M ... Quantity measuring area P ... Printing paper

Claims (5)

ジルコン酸チタン酸鉛を主成分とする平板状の圧電セラミック基体であって、少なくとも一方の主面から深さ１０μｍの位置において、粒界部のカルシウム含有率が、結晶粒子内部のカルシウム含有率よりも高く、０．２質量％以上であり、前記圧電セラミック基体の表面の結晶粒子径は、前記圧電セラミック基体の表面から１０μｍ以上の内部の断面における結晶粒子径と比較して半分以下であり、２〜３μｍであることを特徴とする圧電セラミック基体。 A tabular piezoelectric ceramic substrate mainly composed of lead zirconate titanate, wherein the calcium content in the grain boundary portion is more than the calcium content in the crystal grains at a position 10 μm deep from at least one main surface. is high state, and are 0.2 mass% or more, the crystal grain size of the surface of the piezoelectric ceramic substrate is located less than half compared crystal grain size and in the interior of the cross section from the surface 10μm or more of the piezoelectric ceramic substrate 2. A piezoelectric ceramic substrate having a thickness of 2 to 3 μm . 前記主面から深さ１０μｍよりも深い位置における結晶粒子内部のカルシウム含有率が、前記主面から深さ１０μｍの位置における結晶粒子内部のカルシウム含有率より低いことを特徴とする請求項１に記載の圧電セラミック基体。   The calcium content inside the crystal grain at a position deeper than 10 μm deep from the main surface is lower than the calcium content inside the crystal grain at a position 10 μm deep from the main surface. Piezoelectric ceramic substrate. 請求項１または２に記載の圧電セラミック基体と１対の電極とを含むことを特徴とする圧電アクチュエータ基板。   A piezoelectric actuator substrate comprising the piezoelectric ceramic substrate according to claim 1 and a pair of electrodes. 請求項３に記載の圧電アクチュエータ基板と、該圧電アクチュエータ基板に積層されている、液体を吐出する吐出孔を有する流路部材とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。   A liquid discharge head comprising: the piezoelectric actuator substrate according to claim 3; and a flow path member that is laminated on the piezoelectric actuator substrate and has a discharge hole for discharging a liquid. 請求項４に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記圧電アクチュエータ基板を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。   A recording apparatus comprising: the liquid discharge head according to claim 4; a transport unit that transports a recording medium to the liquid discharge head; and a control unit that controls the piezoelectric actuator substrate.

Images