JP6181622B2 - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記研磨制御部は、前記基板の初期角度を前記研磨装置の外部から通信手段を介して取得することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板に形成されたノッチを検出するノッチ検出器をさらに備え、前記研磨制御部は、前記ノッチの位置から前記基板の初期角度を取得することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨装置は、前記リテーナリングを前記研磨面に押し付けるリテーナリング押圧機構をさらに備えており、前記研磨制御部は、前記リテーナリング押圧機構を操作して前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記リテーナリングの前記研磨面に対する圧力を周期的に変化させることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨装置は、前記リテーナリングの一部に局所荷重を加える局所荷重付与装置をさらに備えており、前記研磨制御部は、前記局所荷重付与装置を操作して前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記局所荷重を周期的に変化させることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨制御部は、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの角速度を周期的に変化させることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの前記基板に加える押圧力を周期的に変化させることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドは、前記基板を囲むように配置された、前記研磨面に接触するリテーナリングを有しており、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記リテーナリングの前記研磨面に対する圧力を周期的に変化させることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの高さを周期的に変化させることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドは、前記基板を囲むように配置された、前記研磨面に接触するリテーナリングを有しており、前記研磨ヘッドを回転させながら前記研磨ヘッドで該基板を前記研磨面に押圧する工程は、前記研磨ヘッドを回転させながら前記研磨ヘッドで該基板を前記研磨面に押圧しつつ前記リテーナリングの一部に局所荷重を加える工程であり、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記局所荷重を周期的に変化させることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの角速度を周期的に変化させることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態における研磨装置を示す模式図である。図1に示すように、研磨装置は、基板の一例であるウェハWを保持して回転させる研磨ヘッド(基板保持装置)1と、研磨パッド2を支持する研磨テーブル3と、研磨パッド2に研磨液(スラリー)を供給する研磨液供給ノズル5とを備えている。
2 研磨パッド
3 研磨テーブル
5 研磨液供給ノズル
7 膜厚センサ
9 研磨制御部
10 ヘッド本体
11 研磨ヘッドシャフト
12 回転筒
13 テーブルモータ
14 タイミングプーリ
16 ヘッドアーム
18 研磨ヘッドモータ
20 タイミングプーリ
21 アームシャフト
25 ロータリージョイント
26 軸受
27 上下動機構
28 ブリッジ
29 支持台
30 支柱
32 ボールねじ
38 サーボモータ
39 研磨ヘッド高さセンサ
40 リテーナリング
41 ロータリエンコーダ(回転角度検出器)
45 弾性膜
45a 押圧面
50〜53 圧力室
60 リテーナリング押圧機構
61 ピストン
62 ローリングダイヤフラム
63 リテーナリング圧力室
65 流体供給源
70 磁石
75 連結部材
76 軸部
77 ハブ
78 スポーク
80 駆動カラー
85 球面軸受
110 局所荷重付与装置
111 荷重伝達部材
112 ガイドリング
114 エアシリンダ
115 車輪
116 車輪軸
Claims (16)
- 基板を研磨面に摺接させて該基板を研磨する研磨装置であって、
前記基板を前記研磨面に対して押し付ける弾性膜を有するとともに、前記基板を囲むように配置された、前記研磨面に接触するリテーナリングを有する研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドをその軸心を中心として回転させる回転機構と、
前記研磨ヘッドの回転角度を検出する回転角度検出器と、
前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記基板の研磨条件を周期的に変更することで、前記基板の周方向の膜厚分布のばらつきを低減させる研磨制御部とを備えたことを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨制御部は、
前記研磨ヘッドに保持される前の前記基板の周方向の向きを示す前記基板の初期角度を取得し、
前記基板を保持する前の前記研磨ヘッドの初期回転角度を取得することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨制御部は、前記基板の初期角度を前記研磨装置の外部から通信手段を介して取得することを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記基板に形成されたノッチを検出するノッチ検出器をさらに備え、
前記研磨制御部は、前記ノッチの位置から前記基板の初期角度を取得することを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。 - 前記弾性膜は前記基板を前記研磨面に押圧するための流体が供給される環状の圧力室を形成し、
前記研磨装置は、前記環状の圧力室内の流体の圧力を調整する圧力レギュレータをさらに備えており、
前記研磨制御部は、前記圧力レギュレータを操作して前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記環状の圧力室内の圧力を周期的に変化させることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨装置は、前記リテーナリングを前記研磨面に押し付けるリテーナリング押圧機構をさらに備えており、
前記研磨制御部は、前記リテーナリング押圧機構を操作して前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記リテーナリングの前記研磨面に対する圧力を周期的に変化させることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨装置は、前記研磨ヘッドを上下動させる上下動機構をさらに備えており、
前記研磨制御部は、前記上下動機構を操作して前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの高さを周期的に変化させることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨装置は、前記リテーナリングの一部に局所荷重を加える局所荷重付与装置をさらに備えており、
前記研磨制御部は、前記局所荷重付与装置を操作して前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記局所荷重を周期的に変化させることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨制御部は、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの角速度を周期的に変化させることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 基板を研磨面に摺接させて該基板を研磨する研磨方法であって、
研磨ヘッドで前記基板を保持し、
前記研磨ヘッドを回転させながら該研磨ヘッドで前記基板を前記研磨面に押圧し、
前記基板を前記研磨面に押圧しているときに、前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記基板の研磨条件を周期的に変更することで、前記基板の周方向の膜厚分布のばらつきを低減させることを特徴とする研磨方法。 - 前記研磨ヘッドに保持される前の前記基板の周方向の向きを示す前記基板の初期角度を取得し、
前記基板を保持する前の前記研磨ヘッドの初期回転角度を取得する工程をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの前記基板に加える押圧力を周期的に変化させることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。
- 前記研磨ヘッドは、前記基板を囲むように配置された、前記研磨面に接触するリテーナリングを有しており、
前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記リテーナリングの前記研磨面に対する圧力を周期的に変化させることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの高さを周期的に変化させることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。
- 前記研磨ヘッドは、前記基板を囲むように配置された、前記研磨面に接触するリテーナリングを有しており、
前記研磨ヘッドを回転させながら前記研磨ヘッドで該基板を前記研磨面に押圧する工程は、前記研磨ヘッドを回転させながら前記研磨ヘッドで該基板を前記研磨面に押圧しつつ前記リテーナリングの一部に局所荷重を加える工程であり、
前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記局所荷重を周期的に変化させることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 前記研磨ヘッドの回転角度に同期させて前記研磨ヘッドの角速度を周期的に変化させることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。
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