JP6174316B2 - 除害装置 - Google Patents
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Description
2NH3 → N2+3H2
2 マニホールド
3 燃焼炉
4 水素供給手段
5 ガスセンサ
6 制御手段
7 マスフローコントローラ
B1 バルブ
P プロセス装置
CH プロセスチャンバ
PM 真空ポンプ
Claims (3)
- 少なくともアンモニアを含む排気ガスの除害装置であって、
前記排気ガスを排出する複数のプロセス装置の下流に接続したマニホールドと、
前記排気ガスを除害する燃焼炉と、
前記マニホールドと前記燃焼炉を接続するガス配管の途中から前記除害装置に水素を導入する水素供給手段と、
前記マニホールドと前記燃焼炉を接続するガス配管の途中又は前記マニホールドに設けたガスセンサと、
前記水素供給手段を制御する制御手段と、を備え、
前記ガスセンサは、前記ガス配管内のアンモニアと水素の濃度を測定し、その測定情報を前記制御手段へ出力し、
前記制御手段は、前記測定情報に基づき、前記水素供給手段から導入される前記水素の導入量を設定する機能を有し、
前記測定情報より得られるアンモニアと水素の濃度比率(アンモニアの濃度/水素の濃度)が2以下のとき、前記制御手段は、前記除害装置への前記水素の前記導入量を0に設定し、それ以外のとき、前記制御手段は、前記濃度比率が2以下となるように、前記除害装置への前記水素の前記導入量を設定すること
を特徴とする除害装置。 - 少なくともアンモニアを含む排気ガスの除害装置であって、
前記排気ガスを排出する複数のプロセス装置の下流に接続した燃焼炉と、
前記複数のプロセス装置と前記燃焼炉を接続するガス配管の途中から前記除害装置に水素を導入する水素供給手段と、
前記プロセス装置と前記燃焼炉を接続するガス配管と、
前記除害装置に導入するガスのガス情報を出力する出力手段と、
前記水素供給手段を制御する制御手段と、を備え、
前記出力手段は、前記ガス情報として、少なくとも水素とアンモニアの流量を出力し、
前記制御手段は、前記ガス情報に基づき、前記水素供給手段から導入される前記水素の導入量を設定する機能を有し、
前記測定情報より得られるアンモニアと水素の濃度比率(アンモニアの濃度/水素の濃度)が2以下のとき、前記制御手段は、前記除害装置への前記水素の前記導入量を0に設定し、それ以外のとき、前記制御手段は、前記濃度比率が2以下となるように、前記除害装置への前記水素の前記導入量を設定すること
を特徴とする除害装置。 - 前記ガス配管はマニホールドを形成しており、
前記ガス情報は前記複数のプロセス装置からの出力をまとめた情報であり、
前記導入量は前記ガス情報に基づき設定されること
を特徴とする請求項2に記載の除害装置。
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