JP6171490B2 - Euv露光用マスクの製造方法 - Google Patents
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Description
この問題に対して、チップ境界の反射光を低減するためにEUV光の反射に寄与する多層反射膜をパターンを形成する吸収層に引き続きエッチングなどの手段で除去し、母材の石英表面を露出させるマスク構造の提案もある(例えば、特許文献2参照)。しかしながら、アウトオブバンド光は母材の石英を透過してEUVマスクのパターン側とは反対面に形成された窒化クロム(CrN)などの裏面導電膜にて反射し、再度石英を透過して半導体基板側に放射し半導体基板に塗布されたレジストを感光する問題が残っている。
基板の一方の面上に、EUV光を反射する多層反射膜を備えたEUV露光用マスクの製造方法であって、
基板の一方の面に犠牲膜を形成し、他方の面に透明導電膜を形成してブランクを用意する工程と、ブランクの犠牲膜にレジストを塗布し、所定の回路パターンを描画、現像を行い、犠牲膜をエッチングする工程と、エッチングした犠牲膜をマスクとして基板をエッチングして多層反射膜埋め込み溝を作製する工程と、多層反射膜埋め込み溝にEUV露光のための多層反射膜を積層する工程と、犠牲膜上に積層された多層反射膜、および犠牲膜を剥離する工程と、を含む事を特徴とするEUV露光用マスクの製造方法としたものである。
犠牲膜は、基板とのエッチング選択比が確保できる材料で形成され、透明導電膜は、単
層構造もしくは積層構造で、インジウムと錫の酸化物であるITO、酸化錫(SnO2)にアンチモン(Sb)を添加したATO、酸化錫(SnO2)にフッ素(F)を添加したFTO、酸化亜鉛(ZnO)にアルミナ(Al2O3)を添加したAZO、酸化亜鉛(ZnO)に酸化ガリウム(Ga2O3)を添加したGZOの、いずれかを含む材料で形成されることを特徴とする請求項1に記載のEUV露光用マスクの製造方法としたものである。
液などで現像(S3)を行い、これにより形成したレジスト21のパターンをマスクにしてフッ素系ガスや塩素系ガスを用いたガスプラズマにより犠牲膜14をエッチング(S4)する。ここでは犠牲膜14はクロム(Cr)であるため、塩素系プラズマによりエッチングを行い、不要なレジスト21のパターンを酸素プラズマによる灰化や硫酸やオゾン水などの酸化薬液による分解ないし有機溶剤などで溶解除去(S5)する。その後必要に応じて、酸・アルカリ系薬品やオゾンガスや水素ガスなどを溶解した超純水や有機アルカリ系薬品、界面活性剤などによる洗浄処理(S6)と、遠心力を利用したスピン乾燥(S7)を行う。
11 基板
12 多層反射膜
13 裏面導電膜
14 犠牲膜
21 レジスト(パターン)
100 反射型マスクブランク
Claims (2)
- 基板の一方の面上に、EUV光を反射する多層反射膜を備えたEUV露光用マスクの製造方法であって、
基板の一方の面に犠牲膜を形成し、他方の面に透明導電膜を形成してブランクを用意する工程と、ブランクの犠牲膜にレジストを塗布し、所定の回路パターンを描画、現像を行い、犠牲膜をエッチングする工程と、エッチングした犠牲膜をマスクとして基板をエッチングして多層反射膜埋め込み溝を作製する工程と、多層反射膜埋め込み溝にEUV露光のための多層反射膜を積層する工程と、犠牲膜上に積層された多層反射膜、および犠牲膜を剥離する工程と、を含む事を特徴とするEUV露光用マスクの製造方法。 - 犠牲膜は、基板とのエッチング選択比が確保できる材料で形成され、透明導電膜は、単層構造もしくは積層構造で、インジウムと錫の酸化物であるITO、酸化錫(SnO2)にアンチモン(Sb)を添加したATO、酸化錫(SnO2)にフッ素(F)を添加したFTO、酸化亜鉛(ZnO)にアルミナ(Al2O3)を添加したAZO、酸化亜鉛(ZnO)に酸化ガリウム(Ga2O3)を添加したGZOの、いずれかを含む材料で形成されることを特徴とする請求項1に記載のEUV露光用マスクの製造方法。
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