JP6169376B2 - 電池管理ユニット、保護回路、蓄電装置 - Google Patents

電池管理ユニット、保護回路、蓄電装置 Download PDF

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Description

本発明は、二次電池への充電を制御するための保護回路と、保護回路が用いられた充電装置に関する。さらに、本発明は、保護回路または充電装置に二次電池が設けられた蓄電装置に関する。
リチウムイオン電池などの二次電池は、過充電や過放電が行われるとその寿命が短くなるばかりではなく、内部短絡による発火が引き起こされる。そのため、二次電池の充電を行うための充電装置(または、充電器とも呼ぶ)には、充電制御回路や保護回路などと呼ばれる、過充電または過放電を防ぐための回路が、電源回路と共に搭載されている場合が多い。
上記保護回路は、二次電池の端子間の電圧(端子電圧)を監視することで、二次電池の充電状態を把握する。そして、端子電圧が上限を超えると、二次電池において満充電の状態からさらに充電が行われると判断し、二次電池に供給される電流の経路を遮断させ、二次電池が過充電の状態に陥るのを防ぐ機能を有する。或いは、端子電圧が下限を下回ると、二次電池において残すべき容量を超えて放電が行われると判断し、二次電池から放電される電流の経路を遮断させ、二次電池が過放電の状態に陥るのを防ぐ機能を有する。
ところで、電子機器の性能を評価する上で、低消費電力であることは重要なポイントの一つである。とりわけ、携帯型の電子機器は、消費電力の高さが連続使用時間の短縮化というデメリットに繋がるため、低消費電力化を図ることが強く要求される。二次電池は、携帯電話などの携帯型の電子機器に使用されることが多く、二次電池の充電が行われていないとき、保護回路が動作するのに要する電力は二次電池から賄われる。そのため、保護回路にも低消費電力であることが求められる。
下記の特許文献1には、過充電検出回路が定周期で短時間だけオンとされて過充電検出動作を行うことにより、消費電力が低減される保護回路について記載されている。また、下記の特許文献2には、二次電池の端子間電圧に応じて、過充電制御回路及び過放電検出回路の監視動作間隔を制御することで、消費電力を低減することができる保護回路について記載されている。
特開平8−23639号公報 特開2011−176940号公報
しかし、上記特許文献1及び特許文献2の場合、二次電池における端子電圧の測定回数を削減しても、保護回路への電源電圧の供給は連続して行われている。そのため、消費電力に占めるリーク電力の割合は低くなく、保護回路における消費電力の削減の余地がかなり残されていると考えられる。
保護回路は、測定された端子電圧のデータを用いて、二次電池の容量が適切な範囲内に収まっているか否かを判断するプロセッサを有する。保護回路への電源電圧の供給を停止する場合、プロセッサに用いられているフリップフロップやSRAMなどの緩衝記憶装置は揮発性であるために、上記緩衝記憶装置内のデータを退避させる必要がある。ハードディスクやフラッシュメモリ等の不揮発性を有する外部記憶装置に、上記データを退避させることは可能であるが、上記外部記憶装置から保護回路内の緩衝記憶装置にデータを戻すのには時間を要するため、上記方法は消費電力の低減を目的とした短時間の電源停止には適さない。
上述したような技術的背景のもと、本発明では、消費電力を抑えることができる保護回路、充電装置、または蓄電装置の提供を、課題の一つとする。
本発明の一態様に係る保護回路は、電池管理ユニット(BMU:Battery Management Unit)と、電池管理ユニットへの電源電圧の供給を制御するパワースイッチと、パワースイッチの動作を制御するパワーコントローラとを有する。電池管理ユニットは、検出された二次電池の端子電圧の値から、二次電池における充電が要か不要かの判断を行う機能を有する。そして、保護回路における二次電池の端子電圧の検出は間欠的に行われるため、電池管理ユニットにおける上記充電が要か不要かの判断も、端子電圧の検出に付随して、間欠的に行われる。パワーコントローラは、端子電圧が検出された後、次に上記電圧が検出される前に、パワースイッチがオフ(非導通)となるようその動作を制御することで、電池管理ユニットへの電源電圧の供給を停止する機能を有する。
また、本発明の一態様では、電源電圧の供給によりデータの書き込みと読み出しが可能である揮発性の記憶素子と、電源電圧の供給が停止する前に上記揮発性の記憶素子に格納されているデータを退避させることができる記憶素子とを併せ持った緩衝記憶装置を、電池管理ユニットの緩衝記憶装置として用いる。上記構成により、電池管理ユニットへの電源電圧の供給が停止されても、緩衝記憶装置に格納されていたデータが消失されるのを防ぎ、電池管理ユニットへの電源電圧の供給が再開された後でも、上記データの読み出しが可能となる。よって、電池管理ユニットへの電源電圧の供給が停止する前に、外部記憶装置にデータを退避させる必要がないため、保護回路において端子電圧の検出が行われない期間に、電池管理ユニットへの電源電圧の供給を停止することができる。その結果、電池管理ユニットにおいて生じるリーク電力を大幅に削減し、それにより保護回路の消費電力を低減させることができる。
上記緩衝記憶装置が有する揮発性の記憶素子は、出力端子の電位が互いの入力端子に与えられ、なおかつ、入力端子の電位の極性を反転させて出力端子から出力する第1論理素子及び第2論理素子を有する。具体的に、揮発性の記憶素子として、フリップフロップやSRAMなどを用いることができる。また、上記緩衝記憶装置が有する、データを退避させるための記憶素子には、電源電圧の供給が停止されてもデータを保持することができる、オフ電流の著しく小さいトランジスタにより容量素子やフローティングノードへの電荷の供給、保持、放出が制御される記憶素子や、MRAM、ReRAM、FeRAMなどの記憶素子を用いることができる。
特に、オフ電流の著しく小さいトランジスタにより容量素子やフローティングノードへの電荷の供給、保持、放出が制御される記憶素子を用いた場合、電荷の供給によりデータの書き込みを行うので、MRAMなどに比べてデータの書き込みに要する電流を1/100程度に抑えることができる。よって、上記記憶素子を有する緩衝記憶装置を電池管理ユニットに用いることで、保護回路の消費電力をさらに抑えることができる。
具体的に、本発明の一態様に係る保護回路は、二次電池における端子間の電圧を間欠的に検出する検出部と、緩衝記憶装置及びプロセッサを有し、プロセッサにおいて実行される、上記緩衝記憶装置を用いた演算処理により、上記電圧の値から二次電池における充電が要か不要かの判断を行う電池管理ユニットと、二次電池に電流を供給する機能、及び二次電池からの電流を消費する機能を有する上位システムと、二次電池との間を、導通または非導通とするスイッチ回路と、電池管理ユニットにおける上記判断に従い、スイッチ回路における導通または非導通の選択を行うスイッチ制御部と、二次電池から電池管理ユニットへの電源電圧の供給を制御するスイッチと、検出部において上記電圧が検出された後、次に上記電圧が検出される前に、上記スイッチを非導通とすることで、電池管理ユニットへの電源電圧の供給を停止するパワーコントローラと、を有し、上記緩衝記憶装置は、電源電圧の供給によりデータの書き込みと読み出しが可能である揮発性の記憶素子と、電源電圧の供給が停止する前に上記揮発性の記憶素子に格納されているデータを退避させることができる記憶素子と、を有する。
また、本発明の一態様に係る充電装置は、上記保護回路と、上位システムとの間に電源回路を有する。
また、本発明の一態様に係る蓄電装置は、上記保護回路に加えて二次電池を有する。
本発明の一態様では、上記構成により、消費電力を抑えることができる保護回路、充電装置、または蓄電装置を提供することができる。
保護回路及び蓄電装置の構成を示す図。 保護回路、充電装置、及び蓄電装置の構成を示す図。 保護回路及び蓄電装置の構成を示す図。 BMU、パワースイッチ、パワーコントローラの構成を示す図。 パワーコントローラの構成を示す図。 単位記憶回路の回路図。 単位記憶回路の動作を示すタイミングチャート。 単位記憶回路の回路図。 緩衝記憶装置の構成を示す図。 単位記憶回路の断面図。 電子機器の図。
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
(実施の形態1)
図1に、本発明の一態様に係る保護回路100と、蓄電装置102の構成を、ブロック図で一例として示す。なお、本明細書に示すブロック図では、構成要素が機能ごとに分類され、互いに独立したブロックとして示されているが、実際の構成要素は機能ごとに完全に切り分けることが難しく、一つの構成要素が複数の機能に係わることもあり得る。
図1に示す保護回路100は、検出部103、BMU(電池管理ユニット)104、スイッチ回路105、スイッチ制御部106、パワースイッチ107、及びパワーコントローラ108を有する。蓄電装置102は、保護回路100に二次電池101が付加された構成を有する。
二次電池101として、例えば、鉛蓄電池、ニッケルカドミウム電池、ニッケル水素電池、リチウムイオン電池等を用いることができる。
検出部103は、二次電池101が有する端子電圧を検出する機能を有する。さらに、検出部103は、充電時において二次電池101に供給される電流(充電電流)を検出する機能を、有していても良い。
BMU104は、検出部103において検出された端子電圧の値や充電電流の値などの検出値を用いて、二次電池101における充電が要か不要かの判断を行う機能を有する。
具体的に、BMU104はプロセッサ109と、レジスタやキャッシュなどの緩衝記憶装置111とを有する。プロセッサ109は、制御装置及び演算装置としての機能を有する。具体的にプロセッサ109は、入力された命令をデコードし、実行する機能と、四則演算、論理演算などの各種演算処理を行う機能とを有する。
緩衝記憶装置111の1つであるレジスタは、プロセッサ109において行われる演算処理の途中で得られたデータ、プロセッサ109において行われた演算処理の結果得られたデータ、プロセッサ109において次に実行される命令のデータやそのアドレスなどを記憶する機能を有する。緩衝記憶装置111の1つであるキャッシュは、使用頻度の高いデータを一時的に記憶しておく機能を有する。
よって、検出部103において得られた検出値を用いて、プロセッサ109において各種の演算処理が行われることで、BMU104は、二次電池101における充電が要か不要かの判断を行うことができる。
なお、充電が要か不要かの判断の方法は、二次電池101の種類によって異ならせることができる。例えば、二次電池101として、ニッケルカドミウム電池やニッケル水素電池が用いられている場合、充電開始から、二次電池101が満充電の状態となる前までは、端子電圧は上昇を続けるが、満充電の状態を過ぎると端子電圧は下降を始める。よって、二次電池101にニッケルカドミウム電池やニッケル水素電池が用いられている場合は、端子電圧の最高値からある規定された電圧だけ下降した時点で、満充電の状態になって充電が不要になったことを、BMU104において判断することができる。
なお、充電時における二次電池101の端子電圧は、保護回路100の内部インピーダンスにより、二次電池101に保護回路100が接続されていないときの端子電圧よりも高くなる傾向にある。そのため、上記内部インピーダンスが高い場合は特に、充電時の端子電圧だけでは満充電であるか否かを、BMU104にて判断するのが難しい。充電電流を検出する機能を検出部103が有している場合、満充電に近づくに連れて充電電流は減少するので、端子電圧だけで満充電であるか否かの判断が難しくても、充電電流が規定の値に達した時点で満充電の状態であると、BMU104において正確に判断することができる。
スイッチ回路105は、二次電池101に電流を供給する機能、及び二次電池101からの電流を消費する機能を有する上位システム112と、二次電池101との間を、導通または非導通とする機能を有する。スイッチ制御部106は、BMU104において行われた、二次電池101における充電が要か不要かの判断に従い、スイッチ回路105における導通または非導通の選択を行う機能を有する。
スイッチ制御部106によりスイッチ回路105がオン(導通)となるよう制御されることで、上位システム112と二次電池101は接続される。そして、二次電池101に上位システム112を介して外部電源113から電流が供給されることで、二次電池101の充電が行われる。二次電池101からの電流が上位システム112に供給されることで、二次電池101の放電が行われる。また、スイッチ制御部106によりスイッチ回路105がオフ(非導通)となるよう制御されることで、上位システム112と二次電池101は電気的に分離する。
なお、本明細書において接続とは電気的な接続を意味しており、電流、電圧または電位が、供給可能、或いは伝送可能な状態に相当する。従って、接続している状態とは、直接接続している状態を必ずしも指すわけではなく、電流、電圧または電位が、供給可能、或いは伝送可能であるように、抵抗、ダイオード、トランジスタ、容量素子などの回路素子を介して間接的に接続している状態も、その範疇に含む。
パワースイッチ107は、二次電池101からBMU104への電源電圧の供給を制御する機能を有する。パワースイッチ107は、単数または複数のスイッチを有する。パワースイッチ107が複数のスイッチを有する場合、複数のスイッチは、BMU104が有するプロセッサ109、緩衝記憶装置111などの各構成要素への電源電圧の供給をそれぞれ制御することができる。具体的に、複数のスイッチのいずれかのスイッチがオンである場合、上記スイッチを介して対応する構成要素への電源電圧の供給が行われる。また、複数のスイッチのいずれかのスイッチがオフである場合、上記スイッチにより対応する構成要素への電源電圧の供給が停止される。
なお、複数のスイッチのそれぞれにより電源電圧の供給が制御される構成要素は、BMU104が有する、プロセッサ109及び緩衝記憶装置111以外の構成要素であっても良い。或いは、複数のスイッチにより、プロセッサ109に含まれる各種の構成要素、或いは緩衝記憶装置111に含まれる各種の構成要素への、電源電圧の供給がそれぞれ制御されても良い。
パワーコントローラ108は、パワースイッチ107の動作を制御することで、BMU104が有する各構成要素への、電源電圧の供給を管理する機能を有する。具体的には、パワースイッチ107のうち、電源電圧の供給を行う構成要素に対応するスイッチをオンにするための命令を、パワースイッチ107に送る。また、パワースイッチ107のうち、電源電圧の供給を停止する構成要素に対応するスイッチを、オフにするための命令を、パワースイッチ107に送る。
なお、検出部103における、二次電池101の検出値の取得は間欠的に行われるため、BMU104では、二次電池101における充電が要か不要かの判断も、検出値の取得に付随して、間欠的に行われる。よって、BMU104は、上記判断が行われていない期間において、待機状態にあると言える。そこで、本発明の一態様において、パワーコントローラ108は、検出部103において検出値が取得された後、或いはBMU104において上記充電が要か不要かの判断が終了した後、次に上記検出値が取得される前、或いは次にBMU104において上記充電が要か不要かの判断が行われる前に、パワースイッチ107がオフになるよう制御することで、BMU104への電源電圧の供給を停止する。
本発明の一態様では、上記構成により、待機状態の時にBMU104において生じるリーク電力を、大幅に削減することができ、それにより保護回路100の消費電力を低減させることができる。
例えば、図1に示す保護回路100において、BMU104が1秒おきに二次電池101における充電が要か不要かの判断を行うために0.01秒間動作し、且つ、上記0.01秒間にスイッチ回路105の動作の切り替えが完了する場合、BMU104は残りの0.99秒間において待機状態となる。よって、上記0.99秒間にBMU104への電源電圧の供給を停止することで、保護回路100の消費電力を削減することができる。
なお、パワーコントローラ108は、保護回路100が有する、BMU104以外への電源電圧の供給を制御する機能を有していても良い。
なお、BMU104では短い期間内に電源の遮断が行われるので、キャッシュまたはレジスタとして用いる緩衝記憶装置111には、電源が遮断されてもデータの保持が可能であることのみならず、動作の高速性が要求される。不揮発性の記憶装置であるフラッシュメモリは、上記高速性を満たせず、またデータの書き換え回数が、キャッシュまたはレジスタとして用いるのには不十分である。そこで、本発明の一態様に係る保護回路100では、電源電圧の供給によりデータの書き込みと読み出しが可能である揮発性の記憶素子と、電源電圧の供給が停止する前に上記揮発性の記憶素子に格納されているデータを退避させることができ、フラッシュメモリよりも高速動作が可能で、なおかつ書き換え回数が多く、電源が遮断されてもデータの保持が可能である記憶素子とを併せ持った緩衝記憶装置111を用いる。
上記構成を有する緩衝記憶装置111を用いることで、BMU104への電源電圧の供給が停止されても、緩衝記憶装置111に格納されていたデータが消失されるのを防ぎ、BMU104への電源電圧の供給が再開された後でも、上記データの読み出しが可能となる。よって、BMU104への電源電圧の供給が停止される前に、外部記憶装置にデータを退避させる必要がないため、保護回路100において端子電圧の検出が行われない期間が、60秒のように長い期間であっても、ミリ秒程度の短い期間であっても、BMU104への電源電圧の供給を停止することができる。その結果、BMU104において生じるリーク電力を大幅に削減し、それにより保護回路100の消費電力を低減させることができる。
具体的に、上記緩衝記憶装置111が有する揮発性の記憶素子は、出力端子の電位が互いの入力端子に与えられ、なおかつ、入力端子の電位の極性を反転させて出力端子から出力する2つの論理素子を有する。例えば、揮発性の記憶素子として、フリップフロップやSRAMなどを用いることができる。また、上記緩衝記憶装置111が有する記憶素子には、電源電圧の供給が停止されてもデータを保持することができる、オフ電流の著しく小さいトランジスタにより容量素子やフローティングノードへの電荷の供給、保持、放出が制御される記憶素子や、MRAM、ReRAM、FeRAMなどの記憶素子を用いることができる。
次いで、図1に示す保護回路100を用いた充電装置の構成を、図2に一例としてブロック図で示す。図2に示す充電装置115は、図1に示した保護回路100と上位システム112の間に、電源回路114を有する。また、図2に示す蓄電装置102は、充電装置115と、二次電池101とを有する。
電源回路114は、二次電池101から出力される電源電圧の値を調整し、上位システム112に与える機能を有する。或いは、電源回路114は、外部電源113から上位システム112を介して充電装置115に供給される電源電圧の値を調整し、保護回路100を介して二次電池101に与える機能を有する。
上位システム112と、保護回路100または蓄電装置102とが組み合わされることで、電子機器が構成される。
次いで、図1に示した保護回路100及び蓄電装置102の、より具体的な構成の一例について説明する。
図3に、本発明の一態様に係る保護回路100及び蓄電装置102の構成を一例として示す。図3に示す保護回路100は、図1に示す保護回路100と同様に、検出部103、BMU104、スイッチ回路105、スイッチ制御部106、パワースイッチ107、及びパワーコントローラ108を有する。
そして、図3に示す蓄電装置102は、3つの直列に接続された二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cが保護回路100に付加された構成を有する。なお、蓄電装置102が有する二次電池の数は、単数であっても良いし、3以外の複数であっても良い。
また、図3に示す保護回路100では、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cの端子電圧をそれぞれ検出する機能を有する電圧検出部116と、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cに流れる充電電流を検出する機能を有する電流検出部117とを、検出部103が有する。
また、図3に示す保護回路100では、BMU104が、プロセッサ109及び緩衝記憶装置111に加え、記憶装置110、IF(インターフェース)118、ADC(アナログデジタル変換回路)119、及びADC120を有する。
記憶装置110には、電圧検出部116において検出された端子電圧の値や、電流検出部117において検出された充電電流の値などの検出値と、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cのそれぞれにおける充電の要または不要とが関連づけられた、データの集合体であるデータベースが、格納されている。さらに、記憶装置110には、プロセッサ109の演算処理に用いられる各種データや、プロセッサ109において実行される命令などが記憶されている。
よって、検出部103において得られた検出値と、データベースに格納されているデータとを用いて、プロセッサ109において各種の演算処理が行われることで、BMU104は、二次電池101における充電が要か不要かの判断を行うことができる。
IF118は、上位システム112とプロセッサ109の間において信号の授受を行う際に、信号のフォーマットを変換する機能を有する。BMU104は、上位システム112からの信号に含まれる命令に従って、検出部103において取得された検出値を用い、充電が要か不要かの判断を行うようにしても良い。或いは、BMU104は、上位システム112からの信号に含まれる命令に従って、過充電或いは過放電にならない限りにおいて、充電が要か不要かの判断に従わずに、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cにおける充電を開始或いは終了させるようにしても良い。また、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cにおける充電の終了或いは開始を、BMU104から上位システム112に信号で通知しても良い。
また、図3に示す保護回路100では、スイッチ回路105が、スイッチ121及びスイッチ122と、ダイオード123及びダイオード124とを有する。スイッチ121とスイッチ122とは、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cと、上位システム112との間に存在する電流の経路において、直列に接続されている。ダイオード123はスイッチ121と並列に接続されており、ダイオード124はスイッチ122と並列に接続されている。よって、ダイオード123とダイオード124とは、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cと、上位システム112との間に存在する電流の経路において、直列に接続されている。ただし、ダイオード123とダイオード124とは、順方向に流れる電流の向きが互いに逆になるように、直列に接続されているものとする。
上記構成により、スイッチ回路105では、スイッチ制御部106によりスイッチ121がオン、スイッチ122がオフになるように制御された場合、スイッチ121及びダイオード124を介して、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cから上位システム112に向かって電流が流れる。そのため、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cは放電する。また、スイッチ回路105では、スイッチ制御部106によりスイッチ121がオフ、スイッチ122がオンになるように制御された場合、スイッチ122及びダイオード123を介して、上位システム112から二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cに向かって電流が流れる。そのため、二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cは充電される。
次いで、図3に示したパワースイッチ107のより具体的な構成の一例を、図4に示す。図4では、図3に示した保護回路100のうち、BMU104、パワースイッチ107、パワーコントローラ108のみを図示している。
図4に示すパワースイッチ107は、スイッチ107a乃至スイッチ107fを有する。なお、パワースイッチ107が有するスイッチの数は、上述したように単数であっても良いし、6以外の複数であっても良い。
配線125及び配線126は、図3に示した二次電池101a、二次電池101b、及び二次電池101cと、上位システム112との間に流れる電流の経路としての機能を有する。そして、配線125及び配線126のうち、一方にはハイレベルの電位が与えられ、他方にはローレベルの電位が与えられる。
図4では、スイッチ107a乃至スイッチ107fが、BMU104への配線125の電位の供給を、制御する機能を有する。配線126の電位は、スイッチ107a乃至スイッチ107fのオンまたはオフに関わらず、BMU104に供給される。
なお、本発明の一態様に係る保護回路100は、スイッチ107a乃至スイッチ107fが、BMU104への配線126の電位の供給を、制御する機能を有し、配線125の電位が、スイッチ107a乃至スイッチ107fのオンまたはオフに関わらず、BMU104に供給される構成を有していても良い。或いは、本発明の一態様に係る保護回路100は、BMU104への配線125の電位の供給を制御するパワースイッチと、BMU104への配線126の電位の供給を制御するパワースイッチとを、併せ持っていても良い。
図4では、スイッチ107aがオンになることで、配線125の電位と配線126の電位差が、電源電圧としてADC120に供給される。スイッチ107bがオンになることで、配線125の電位と配線126の電位差が、電源電圧としてADC119に供給される。スイッチ107cがオンになることで、配線125の電位と配線126の電位差が、電源電圧としてプロセッサ109に供給される。スイッチ107dがオンになることで、配線125の電位と配線126の電位差が、電源電圧としてIF118に供給される。スイッチ107eがオンになることで、配線125の電位と配線126の電位差が、電源電圧として記憶装置110に供給される。スイッチ107fがオンになることで、配線125の電位と配線126の電位差が、電源電圧として緩衝記憶装置111に供給される。
そして、上述したように、本発明の一態様においてパワーコントローラ108は、検出部103において検出値が取得された後、或いはBMU104において上記充電が要か不要かの判断が終了した後、次に上記検出値が取得される前、或いは次にBMU104において上記充電が要か不要かの判断が行われる前に、パワースイッチ107がオフになるよう制御することで、BMU104への電源電圧の供給を停止する。ただし、パワースイッチ107をオフにする際、スイッチ107a乃至スイッチ107fの全てをオフにする必要はなく、少なくとも1つをオフにすることでも、本発明の一態様による消費電力低減の効果は得られる。また、スイッチ107a乃至スイッチ107fは、少なくとも1つのスイッチが他のスイッチと、オフになるタイミングとオンになるタイミングとが異なっていても良い。
図4に示すように、複数のスイッチをパワースイッチに設け、BMU104が有する構成要素ごとに、待機状態である期間において電源電圧の供給を停止することで、BMU104全体への電源電圧の供給を一のスイッチで制御する場合に比べて、BMU104において生じるリーク電力を、より削減することができる。そして、それにより、保護回路100の消費電力を低減させることができる。
(実施の形態2)
次いで、本発明の一態様において、図1に示した緩衝記憶装置111の構成の一例について説明する。本発明の一態様において、緩衝記憶装置111は、揮発性の記憶素子と、電源電圧の供給が停止した後、60秒のように長い期間であっても、ミリ秒程度の短い期間であっても、データを保持することができる記憶素子とを併せ持った単位記憶回路を、複数有する。図6に、単位記憶回路200の回路図の一例を示す。
単位記憶回路200は、第1記憶素子201と、第2記憶素子202と、スイッチ203と、スイッチ204と、スイッチ205と、入力された信号の極性を反転させて出力する論理素子206と、容量素子207と、を有する。第1記憶素子201は、電源電圧が供給されている期間のみデータを保持する揮発性の記憶素子に相当する。第2記憶素子202は、電源電圧の供給が停止した後もデータを保持することができる記憶素子に相当する。第2記憶素子202は、記憶部に相当する容量素子208及びトランジスタ210と、記憶部における電荷の供給、保持、放出を制御するトランジスタ209と、を有する。
なお、単位記憶回路200は、必要に応じて、ダイオード、抵抗素子、インダクタなどのその他の回路素子をさらに有していても良い。
トランジスタ209は、オフ電流が著しく小さいことが望ましい。トランジスタ209のオフ電流が小さいことで、記憶部からリークする電荷の量を小さく抑えることができるので、第2記憶素子202においてデータが保持される期間を長く確保することができる。バンドギャップが広く、電子供与体(ドナー)となる水分または水素などの不純物が低減され、なおかつ酸素欠損が低減されることにより高純度化された半導体をチャネル形成領域に含むトランジスタは、オフ電流が著しく小さいので、トランジスタ209として用いるのに望ましい。
図6では、スイッチ203は、一導電型(例えば、nチャネル型)のトランジスタ213を用いて構成され、スイッチ204は、一導電型とは異なる導電型(例えば、pチャネル型)のトランジスタ214を用いて構成した例を示す。
スイッチ203の第1の端子は、トランジスタ213のソース端子またはドレイン端子の一方に対応し、スイッチ203の第2の端子はトランジスタ213のソース端子またはドレイン端子の他方に対応し、スイッチ203はトランジスタ213のゲート電極に入力される制御信号S2によって、第1の端子と第2の端子の間の導通または非導通(つまり、トランジスタ213のオンまたはオフ)が選択される。
なお、トランジスタのソース端子とは、活性層の一部であるソース領域、或いは活性層に接続されたソース電極を意味する。同様に、トランジスタのドレイン端子とは、活性層の一部であるドレイン領域、或いは活性層に接続されたドレイン電極を意味する。
また、トランジスタが有するソース端子とドレイン端子は、トランジスタのチャネル型及びソース端子とドレイン端子に与えられる電位の高低によって、その呼び方が入れ替わる。一般的に、nチャネル型のトランジスタでは、ソース端子とドレイン端子のうち、低い電位が与えられる方がソース端子と呼ばれ、高い電位が与えられる方がドレイン端子と呼ばれる。また、pチャネル型のトランジスタでは、ソース端子とドレイン端子のうち、低い電位が与えられる方がドレイン端子と呼ばれ、高い電位が与えられる方がソース端子と呼ばれる。本明細書では、便宜上、ソース端子とドレイン端子とが固定されているものと仮定して、トランジスタの接続関係を説明する場合があるが、実際には上記電位の関係に従ってソース端子とドレイン端子の呼び方が入れ替わる。
スイッチ204の第1の端子はトランジスタ214のソース端子またはドレイン端子の一方に対応し、スイッチ204の第2の端子はトランジスタ214のソース端子またはドレイン端子の他方に対応し、スイッチ204はトランジスタ214のゲート電極に入力される制御信号S2によって、第1の端子と第2の端子の間の導通または非導通(つまり、トランジスタ214のオンまたはオフ)が選択される。
トランジスタ209のソース端子またはドレイン端子の一方は、容量素子208の一対の電極のうちの一方、及びトランジスタ210のゲート電極と接続される。トランジスタ210のゲート電極をノードM2とする。
トランジスタ210のソース端子またはドレイン端子の一方は、電位V1が与えられる配線に接続され、他方は、スイッチ203の第1の端子と接続される。スイッチ203の第2の端子はスイッチ204の第1の端子と接続される。スイッチ204の第2の端子は電位V2が与えられる配線と接続される。スイッチ203の第2の端子と、スイッチ204の第1の端子と、論理素子206の入力端子と、容量素子207の一対の電極のうちの一方とは、接続される。スイッチ203の第2の端子及びスイッチ204の第1の端子を、ノードM1とする。
容量素子207の一対の電極のうちの他方は、一定の電位が与えられる構成とすることができる。例えば、ローレベルの電位(接地電位等)またはハイレベルの電位が与えられる構成とすることができる。容量素子207の一対の電極のうちの他方は、電位V1が与えられる配線と接続されていてもよい。容量素子208の一対の電極のうちの他方は、一定の電位が与えられる構成とすることができる。例えば、ローレベルの電位(接地電位等)またはハイレベルの電位が与えられる構成とすることができる。容量素子208の一対の電極のうちの他方は、電位V1が与えられる配線と接続されていてもよい。図6では、容量素子207の一対の電極のうちの他方、及び容量素子208の一対の電極のうちの他方が、電位V1が与えられる配線と接続されている例を示す。
なお、容量素子207は、寄生容量等を積極的に利用することによって省略することも可能である。容量素子208は、トランジスタ210のゲート容量等を積極的に利用することによって省略することも可能である。なお、ゲート容量とは、ゲート電極と活性層の間に形成される容量に相当する。
トランジスタ209のゲート電極には、制御信号S1が入力される。スイッチ203及びスイッチ204は、制御信号S1とは異なる制御信号S2によって第1の端子と第2の端子の間の導通または非導通が選択され、一方のスイッチの第1の端子と第2の端子の間が導通のとき他方のスイッチの第1の端子と第2の端子の間は非導通の状態となる。スイッチ205は、制御信号S1及び制御信号S2とは異なる制御信号S3によって第1の端子と第2の端子の間の導通または非導通を選択される。
トランジスタ209のソース端子またはドレイン端子の他方には、第1記憶素子201に保持されたデータに対応する信号が入力される。図6では、第1記憶素子201の出力端子OUTから出力された信号が、トランジスタ209のソース端子またはドレイン端子の他方に入力される例を示した。スイッチ203の第2の端子から出力される信号は、論理素子206によってその極性が反転された反転信号となり、制御信号S3によって第1の端子と第2の端子間が導通の状態となったスイッチ205を介して第1記憶素子201に入力される。
なお、図6では、スイッチ203の第2の端子から出力される信号は、論理素子206及びスイッチ205を介して第1記憶素子201の入力端子(図6中、INと記載)に入力する例を示したが、本発明の一態様はこの構成に限定されない。スイッチ203の第2の端子から出力される信号が、極性を反転させられることなく、第1記憶素子201に入力されてもよい。例えば、第1記憶素子201内に、入力端子から入力された信号の極性が反転した信号が保持されるノードが存在する場合に、スイッチ203の第2の端子から出力される信号を当該ノードに入力することができる。
図6において、電位V1と電位V2の電位差に相当する電圧が、電源電圧として単位記憶回路200に供給されている。第1記憶素子201には電位V1と電位V2の電位差に相当する電圧が、電源電圧として供給される。第1記憶素子201に電源電圧が供給されない期間では、電位V1と電位V2をほぼ等電位とする。
なお、スイッチ205は、トランジスタを用いて構成することができる。当該トランジスタはnチャネル型トランジスタであってもよいし、pチャネル型トランジスタであってもよい。また、nチャネル型トランジスタとpチャネル型トランジスタを組み合わせて用いてもよい。例えば、スイッチ205として、アナログスイッチを用いることができる。
図6において、トランジスタ209は、酸化物半導体を含む半導体膜を挟んで上下に2つのゲート電極を有するトランジスタとすることもできる。一方のゲート電極に制御信号S1を入力し、他方のゲート電極には、制御信号S4を入力することができる。制御信号S4は、一定の電位の信号であってもよい。一定の電位は、電位V1や電位V2であってもよい。なお、半導体膜を挟んで上下に設けられた2つのゲート電極を接続し、制御信号S1を入力してもよい。トランジスタ209の他方のゲート電極に入力される信号によって、トランジスタ209の閾値電圧を制御することができる。閾値電圧を制御することで、トランジスタ209のオフ電流を更に低減することもできる。
図6において、単位記憶回路200に用いられるトランジスタのうち、トランジスタ209以外のトランジスタは、チャネル形成領域に含まれる半導体は、酸化物半導体などのバンドギャップの広い半導体以外の半導体であっても良い。例えば、トランジスタ209以外のトランジスタは、シリコンを含む半導体膜またはシリコン基板に、チャネル形成領域が形成されていても良い。
また、図6では、トランジスタ209がシングルゲート構造である場合を例示しているが、トランジスタ209は、電気的に接続された複数のゲート電極を有することで、チャネル形成領域を複数有する、マルチゲート構造であっても良い。
図6における第1記憶素子201は、第1の論理素子及び第2の論理素子を有する。そして、第1の論理素子の入力端子は第2の論理素子の出力端子と接続され、第2の論理素子の入力端子は第1の論理素子の出力端子と接続された構成を有する。第1の論理素子及び第2の論理素子は、それぞれ電源電圧が供給されている期間のみ、入力された信号に対応する信号を出力する。
また、第1の論理素子または/及び第2の論理素子としては、例えばインバータやクロックドインバータ等を用いることができる。
次いで、図6に示す単位記憶回路200の駆動方法について、図7のタイミングチャートを用いて説明する。
図7のタイミングチャートにおいて、220は第1記憶素子201に保持されているデータを示し、S1は制御信号S1の電位を示し、S2は制御信号S2の電位を示し、S3は制御信号S3の電位を示し、V1は電位V1を示し、V2は電位V2を示す。電源電圧が単位記憶回路200に供給されていない場合、電位V1と電位V2の電位差Vは、ほぼ0となる。M1はノードM1の電位を示し、M2はノードM2の電位を示す。
なお、以下に示す駆動方法では、図6に示した構成において、スイッチ203をnチャネル型トランジスタとし、スイッチ204をpチャネル型トランジスタとして、制御信号S2の電位がハイレベルの場合に、スイッチ203の第1の端子と第2の端子の間が導通の状態となり、且つスイッチ204の第1の端子と第2の端子の間が非導通の状態となり、制御信号S2の電位がローレベルの場合に、スイッチ203の第1の端子と第2の端子の間が非導通の状態となり、且つスイッチ204の第1の端子と第2の端子の間が導通の状態となる例を示す。また、スイッチ205は、制御信号S3の電位がハイレベルの場合に第1の端子と第2の端子の間が導通の状態となり、制御信号S3の電位がローレベルの場合に第1の端子と第2の端子の間が非導通の状態となる例を示す。また、トランジスタ209をnチャネル型トランジスタとして、制御信号S1の電位がハイレベルの場合に、トランジスタ209がオンとなり、制御信号S1の電位がローレベルの場合に、トランジスタ209がオフとなる例を示す。
しかしながら、以下の説明における、スイッチ203、スイッチ204、スイッチ205、トランジスタ209の状態が同じとなるように、各制御信号の電位を定めることもできる。
また、電位V1をローレベルの電位VSSとし、電位V2をハイレベルの電位VDDと電位VSSとで切り替える場合の例を示す。電位VSSは、例えば接地電位とすれば良い。なお、本発明の一態様では、上記構成に限定されず、電位V2を電位VSSとし、電位V1を電位VDDと電位VSSとで切り替えてもよい。
(通常動作)
図7の、期間1の動作について説明する。期間1では、電源電圧が単位記憶回路200に供給されている。期間1において、電位V2は電位VDDである。単位記憶回路200へ電源電圧が供給されている間は、第1記憶素子201がデータ(図7中、dataXと表記)を保持する。この際、制御信号S3の電位をローレベルとして、スイッチ205の第1の端子と第2の端子の間は非導通の状態とする。なお、スイッチ203及びスイッチ204の第1の端子と第2の端子の間の状態(導通、非導通)はどちらの状態であってもよい。即ち、制御信号S2の電位は、ハイレベルであってもローレベルであってもよい(図7中、Aと表記)。また、トランジスタ209の状態(オン、オフ)はどちらの状態であってもよい。即ち、制御信号S1の電位は、ハイレベルであってもローレベルであってもよい(図7中、Aと表記)。期間1において、ノードM1の電位は、ハイレベルであってもローレベルであってもよい(図7中、Aと表記)。期間1において、ノードM2の電位は、ハイレベルであってもローレベルであってもよい(図7中、Aと表記)。期間1の動作を通常動作と呼ぶ。
(電源電圧供給停止前の動作)
図7の、期間2の動作について説明する。単位記憶回路200への電源電圧の供給を停止する前に、制御信号S1の電位をハイレベルとして、トランジスタ209をオンとする。上記動作により、第1記憶素子201に保持されたデータ(dataX)に対応する信号が、トランジスタ209を介してトランジスタ210のゲート電極に入力される。トランジスタ210のゲート電極に入力された信号は、容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量によって保持される。よって、ノードM2の電位は、第1記憶素子201に保持されたデータに対応する信号電位(図7中、VXと表記)となる。その後、制御信号S1の電位をローレベルとしてトランジスタ209をオフとする。上記動作により、第1記憶素子201に保持されたデータに対応する信号が第2記憶素子202に保持される。期間2の間も、制御信号S3によって、スイッチ205の第1の端子と第2の端子の間は非導通の状態となる。スイッチ203及びスイッチ204の第1の端子と第2の端子の間の状態(導通、非導通)はどちらであってもよい。即ち、制御信号S2の電位はハイレベルであってもローレベルであってもよい(図7中、Aと表記)。期間2において、ノードM1はハイレベルであってもローレベルであってもよい(図7中、Aと表記)。期間2の動作を電源電圧供給停止前の動作と呼ぶ。
図7の、期間3の動作について説明する。電源電圧供給停止前の動作を行った後、期間3のはじめに、電位V2を電位VSSとし、単位記憶回路200への電源電圧の供給を停止する。電源電圧の供給が停止すると、第1記憶素子201に保持されていたデータ(dataX)は消失する。しかし、単位記憶回路200への電源電圧の供給が停止した後においても、容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量によって、第1記憶素子201に保持されていたデータ(dataX)に対応する信号電位(VX)が、ノードM2に保持される。トランジスタ209はオフ電流が極めて小さいため、容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量によって保持された電位(ノードM2の電位VX)を長期間保つことができる。よって、単位記憶回路200は、電源電圧の供給が停止した後も、データ(dataX)を保持する。期間3は、単位記憶回路200への電源電圧の供給が停止している期間に対応する。
(電源電圧供給再開の動作)
図7の、期間4の動作について説明する。電位V2を電位VDDにすることで、単位記憶回路200への電源電圧の供給を再開した後、制御信号S2の電位をローレベルとして、スイッチ204の第1の端子と第2の端子の間を導通の状態とし、スイッチ203の第1の端子と第2の端子の間を非導通の状態とする。この際、制御信号S1の電位はローレベルであり、トランジスタ209はオフのままである。また、制御信号S3の電位はローレベルであり、スイッチ205の第1の端子と第2の端子の間は非導通である。よって、スイッチ203の第2の端子及びスイッチ204の第1の端子(ノードM1)に、一定の電位である電位VDDを与える(以下、プリチャージ動作と呼ぶ)ことができる。ノードM1の電位は、容量素子207によって保持される。
上記プリチャージ動作の後、期間5において、制御信号S2の電位をハイレベルとすることによって、スイッチ203の第1の端子と第2の端子の間を導通の状態とし、スイッチ204の第1の端子と第2の端子の間を非導通の状態とする。この際、制御信号S1の電位はローレベルのままであり、トランジスタ209はオフのままである。また、制御信号S3の電位はローレベルであり、スイッチ205の第1の端子と第2の端子の間は非導通である。そして、容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量に保持された信号(ノードM2の電位VX)に応じて、トランジスタ210のオンまたはオフが選択されることで、スイッチ203の第2の端子及びスイッチ204の第1の端子(ノードM1)の電位が定まる。具体的に、トランジスタ210がオンの場合、ノードM1には電位V1(例えば、電位VSS)が与えられる。一方、トランジスタ210がオフの場合には、ノードM1の電位は、上記プリチャージ動作によって定められた一定の電位(例えば、電位VDD)のまま維持される。こうして、トランジスタ210のオンまたはオフに対応して、ノードM1の電位は電位VDDまたは電位VSSとなる。
例えば、第1記憶素子201に保持されていた信号がデジタル値「1」に対応している場合、第1記憶素子201の出力端子OUTから出力された信号の電位は、ハイレベルである。この場合、ノードM1は、デジタル値「0」の信号に対応するローレベルの電位VSSとなる。一方、第1記憶素子201に保持されていた信号がデジタル値「0」に対応している場合、第1記憶素子201の出力端子OUTから出力された信号の電位は、ローレベルである。この場合、ノードM1は、デジタル値「1」に対応するハイレベルの電位VDDとなる。つまり、第1記憶素子201に記憶されていた信号とは、異なるデジタル値に対応する電位が、ノードM1に保持されることになる。図7において、この電位をVXbと表記する。つまり、期間2において第1記憶素子201から入力されたデータ(dataX)に対応する信号の電位が、ノードM1の電位(VXb)に変換される。
その後、期間6において、制御信号S3の電位をハイレベルとして、スイッチ205の第1の端子と第2の端子の間を導通の状態とする。この際、制御信号S2の電位はハイレベルのままである。また、制御信号S1の電位はローレベルのままであり、トランジスタ209はオフのままである。上記動作により、スイッチ203の第2の端子及びスイッチ204の第1の端子の電位(ノードM1の電位(VXb))に対応する信号は、論理素子206においてデータ(dataX)に対応する反転信号となる。当該反転信号は、第1記憶素子201に入力される。よって、第1記憶素子201は、単位記憶回路200への電源電圧の供給停止前に保持していたデータ(dataX)を再び保持することができる。
図6に示す単位記憶回路200では、ノードM1の電位を、期間4におけるプリチャージ動作によって一定の電位(図7では、電位VDD)にした後、期間5において、データ(dataX)に対応する電位VXbとするため、ノードM1の電位が所定の電位VXbに定まるまでの時間を短くすることができる。すなわち、図6に示す単位記憶回路200では、スイッチ203及びスイッチ204を設けることにより、プリチャージ動作を可能とし、電源電圧供給再開後に、第1記憶素子201が元のデータを保持するまでの時間を、短くすることができる。
本発明の一態様では、緩衝記憶装置が有する各単位記憶回路200に電源電圧が供給されない間は、揮発性の記憶素子に相当する第1記憶素子201に記憶されていたデータを、第2記憶素子202に設けられた容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量によって保持することができる。
また、トランジスタ209は、チャネル形成領域に酸化物半導体を含むために、オフ電流が極めて小さい。そのため、トランジスタ209を用いることによって、単位記憶回路200に電源電圧が供給されない場合でも、容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量に保持された電荷が、長期間に渡り保持される。よって、単位記憶回路200は、電源電圧の供給が停止した間もデータを保持することが可能である。
また、第2記憶素子202において、容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量によって保持された信号は、単位記憶回路200への電源電圧の供給が再開された後、トランジスタ210の状態(オンまたはオフ)に変換されるため、トランジスタ210のドレイン電流により第2記憶素子202から上記信号を読み出すことができる。それ故、容量素子208またはトランジスタ210のゲート容量に保持された信号に対応する電位が多少変動していても、元の信号を正確に読み出すことが可能である。
上記単位記憶回路200を、BMU104が有するレジスタやキャッシュメモリなどの緩衝記憶装置に用いることで、電源電圧の供給停止による緩衝記憶装置内のデータの消失を防ぐことができる。また、電源電圧の供給を停止する前の状態の退避を短時間で行うことができ、さらに、電源電圧の供給を再開した後、短時間で電源供給停止前の状態に復帰することができる。よって、BMU104において、60秒のように長い時間であっても、ミリ秒程度の短い時間であっても、電源電圧の供給の停止を行うことができる。そのため、消費電力を抑えることができる保護回路100を提供することができる。
なお、図6に示した構成の単位記憶回路200は、本発明の一態様に相当し、BMU104が有する緩衝記憶装置の各単位記憶回路が、図6に示した構成とは異なる構成を有していても良い。
次いで、単位記憶回路200の、図6とは異なる構成の一例について、図8を用いて説明する。
図8に示す単位記憶回路200は、揮発性を有する第1記憶素子251と、電源電圧の供給が停止されてもデータを保持することができる第2記憶素子252とを有する。第1記憶素子251は、入力された信号の極性を反転させて出力する第1の論理素子253a及び第2の論理素子253bと、トランジスタ254と、トランジスタ255とを有する。第2記憶素子252は、トランジスタ257と、記憶部に相当する容量素子256とを有する。
単位記憶回路200に入力されたデータを含む信号Dinは、トランジスタ254を介して第1の論理素子253aの入力端子に与えられる。第1の論理素子253aの出力端子は、第2の論理素子253bの入力端子に接続されている。第2の論理素子253bの出力端子は、トランジスタ255を介して、第1の論理素子253aの入力端子に接続されている。第1の論理素子253aの出力端子または第2の論理素子253bの入力端子の電位が、信号Doutとして後段の単位記憶回路200、或いは他の回路に出力される。
なお、図8では、第1の論理素子253a及び第2の論理素子253bとしてインバータを用いる例を示しているが、第1の論理素子253aまたは/及び第2の論理素子253bとして、インバータの他に、クロックドインバータを用いることもできる。
容量素子256は、単位記憶回路200に入力された信号Dinのデータを必要に応じて記憶できるように、トランジスタ254及びトランジスタ257を介して、単位記憶回路200の入力端子、すなわち信号Dinの電位が与えられるノードに接続されている。具体的に、容量素子256が有する一対の電極のうち、一方の電極は、トランジスタ257を介して第1の論理素子253aの入力端子に接続され、他方の電極は、接地電位などのローレベルの電位VSSが与えられているノードに接続されている。
トランジスタ257のオフ電流は、著しく小さいことが望ましい。トランジスタ257のオフ電流が小さいことで、記憶部からリークする電荷の量を小さく抑えることができるので、第2記憶素子252においてデータが保持される期間を長く確保することができる。バンドギャップが広く、電子供与体(ドナー)となる水分または水素などの不純物が低減され、なおかつ酸素欠損が低減されることにより高純度化された半導体をチャネル形成領域に含むトランジスタは、オフ電流が著しく小さいので、トランジスタ257として用いるのに望ましい。
なお、図8では、トランジスタ257がシングルゲート構造である場合を例示しているが、トランジスタ257は、電気的に接続された複数のゲート電極を有することで、チャネル形成領域を複数有する、マルチゲート構造であっても良い。
また、単位記憶回路200は、必要に応じて、ダイオード、抵抗素子、インダクタなどのその他の回路素子を、さらに有していても良い。
第1の論理素子253aは、ゲート電極が互いに接続されたpチャネル型のトランジスタ258と、nチャネル型のトランジスタ259とが、ハイレベルの電位VDDが与えられる第1のノードと、ローレベルの電位VSSが与えられる第2のノードの間において、直列に接続された構成を有する。具体的に、pチャネル型のトランジスタ258のソース端子が、電位VDDの与えられる第1のノードに接続され、nチャネル型のトランジスタ259のソース端子が、電位VSSの与えられる第2のノードに接続される。また、pチャネル型のトランジスタ258のドレイン端子と、nチャネル型のトランジスタ259のドレイン端子とが接続されており、上記2つのドレイン端子の電位は、第1の論理素子253aの出力端子の電位とみなすことができる。また、pチャネル型のトランジスタ258のゲート電極、及びnチャネル型のトランジスタ259のゲート電極の電位は、第1の論理素子253aの入力端子の電位とみなすことができる。
第2の論理素子253bは、ゲート電極が互いに接続されたpチャネル型トランジスタ260と、nチャネル型トランジスタ261とが、ハイレベルの電位VDDが与えられる第1のノードと、ローレベルの電位VSSが与えられる第2のノードの間において、直列に接続された構成を有する。具体的に、pチャネル型トランジスタ260のソース端子が、電位VDDの与えられる第1のノードに接続され、nチャネル型トランジスタ261のソース端子が、電位VSSの与えられる第2のノードに接続される。また、pチャネル型トランジスタ260のドレイン端子と、nチャネル型トランジスタ261のドレイン端子とが接続されており、上記2つのドレイン端子の電位は、第2の論理素子253bの出力端子の電位とみなすことができる。また、pチャネル型トランジスタ260のゲート電極、及びnチャネル型トランジスタ261のゲート電極の電位は、第2の論理素子253bの入力端子の電位とみなすことができる。
また、トランジスタ254は、そのゲート電極に与えられる信号Sig1によりオンまたはオフの状態が選択される。また、トランジスタ255は、そのゲート電極に与えられる信号Sig2によりオンまたはオフの状態が選択される。トランジスタ257は、そのゲート電極に与えられる制御信号Sig3によりオンまたはオフの状態が選択される。
なお、第1の論理素子253a、第2の論理素子253bには、高速動作が要求される。よって、結晶性を有するシリコンまたはゲルマニウムをチャネル形成領域に有するトランジスタを、第1の論理素子253aが有するnチャネル型のトランジスタ259、またはpチャネル型のトランジスタ258として、或いは、第2の論理素子253bが有するnチャネル型トランジスタ261、またはpチャネル型トランジスタ260として用いることが、望ましい。
なお、トランジスタ254またはトランジスタ255は、結晶性を有するシリコンまたはゲルマニウムをチャネル形成領域に有していても良い。
次いで、図8に示す単位記憶回路200の動作の一例について説明する。
まず、データの書き込み時において、トランジスタ254はオン、トランジスタ255はオフ、トランジスタ257はオフとする。そして、第1のノードに電位VDDを与え、第2のノードに電位VSSを与えることで、第1記憶素子251に電源電圧が与えられる。単位記憶回路200に与えられる信号Dinの電位は、トランジスタ254を介して第1の論理素子253aの入力端子に与えられるので、第1の論理素子253aの出力端子は、信号Dinの極性が反転した電位になる。そして、トランジスタ255をオンにし、第1の論理素子253aの入力端子と第2の論理素子253bの出力端子とを接続することで、第1の論理素子253a及び第2の論理素子253bにデータが書き込まれる。
次いで、入力されたデータの保持を、第1の論理素子253a及び第2の論理素子253bによって行う場合、トランジスタ255をオン、トランジスタ257をオフの状態にしたままで、トランジスタ254をオフにする。トランジスタ254をオフにすることで、入力されたデータは、第1の論理素子253a及び第2の論理素子253bによって保持される。このとき、第1のノードに電位VDDを与え、第2のノードに電位VSSを与えることで、第1のノードと第2のノード間に電源電圧が印加されている状態を維持する。
そして、第1の論理素子253aの出力端子の電位には、第1の論理素子253a及び第2の論理素子253bによって保持されているデータが反映されている。よって、上記電位を読み取ることで、データを単位記憶回路200から読み出すことができる。
なお、データの保持時において電源電圧の供給を停止する場合、電源電圧の供給が停止される前に、データの保持を、容量素子256において行う。容量素子256においてデータの保持を行う場合、まず、トランジスタ254はオフ、トランジスタ255はオン、トランジスタ257はオンとする。そして、トランジスタ257を介して、第1の論理素子253a及び第2の論理素子253bによって保持されているデータの値に見合った量の電荷が容量素子256に蓄積されることで、容量素子256へのデータの書き込みが行われる。容量素子256にデータが記憶された後、トランジスタ257をオフにすることで、容量素子256に記憶されたデータは保持される。トランジスタ257をオフにした後は、第1のノードと第2のノードとに、例えば電位VSSを与えて等電位とすることで、第1のノードと第2のノード間の電源電圧の印加を停止する。なお、容量素子256にデータが記憶された後は、トランジスタ255をオフにしても良い。
このように、入力されたデータの保持を容量素子256において行う場合は、第1のノードと第2のノード間に電源電圧を印加する必要がないので、第1の論理素子253aが有するpチャネル型のトランジスタ258及びnチャネル型のトランジスタ259、或いは、第2の論理素子253bが有するpチャネル型トランジスタ260及びnチャネル型トランジスタ261を介して、第1のノードと第2のノードの間に流れるオフ電流を限りなく0に近づけることができる。したがって、データの保持時における第1記憶素子251のオフ電流に起因する消費電力を大幅に削減することができ、緩衝記憶装置、延いては緩衝記憶装置を用いた保護回路の、消費電力を低く抑えることが可能となる。
また、上述したように、トランジスタ257はオフ電流が著しく小さい。よって、上記トランジスタ257がオフである時、容量素子256に蓄積された電荷はリークしにくいため、データは保持される。
また、容量素子256に記憶されているデータを読み出す場合は、トランジスタ254をオフとする。そして、再び、第1のノードに電位VDDを与え、第2のノードに電位VSSを与えることで、第1のノードと第2のノード間に電源電圧を印加する。そして、トランジスタ257をオンにすることで、データが反映された電位を有する信号Doutを、単位記憶回路200から読み出すことができる。
次いで、図9(A)に、緩衝記憶装置111がレジスタである場合の単位記憶回路200の接続構成を、一例として示す。図9(A)に示す緩衝記憶装置は、単位記憶回路200を複数有する記憶回路群222を有している。記憶回路群222が有する各単位記憶回路200には、図4に示したスイッチ107fを介して、ハイレベルの電位VDDが供給されている。さらに、記憶回路群222が有する各単位記憶回路200には、信号INの電位と、ローレベルの電位VSSの電位が与えられている。
図9(A)においてスイッチ107fは、そのゲート電極にパワーコントローラ108から与えられる制御信号SigAにより、オンまたはオフの選択が行われる。
また、図9(A)では、スイッチ107fにより、記憶回路群222が有する各単位記憶回路200への、ハイレベルの電位VDDの供給が制御されているが、パワースイッチが有するスイッチにより、ローレベルの電位VSSの供給が制御されていても良い。図9(B)に、記憶回路群222が有する各単位記憶回路200に、スイッチ130を介して、ローレベルの電位VSSが供給されている緩衝記憶装置の一例を示す。スイッチ130により、記憶回路群222が有する各単位記憶回路200への、ローレベルの電位VSSの供給を制御することができる。
なお、図6及び図8に示したように、オフ電流の著しく小さいトランジスタにより容量素子やフローティングノードへの電荷の供給、保持、放出が制御される第2記憶素子を用いた単位記憶回路200は、MRAMなどを第2記憶素子に用いた単位記憶回路に比べて、データの退避及び復帰により消費される電力(オーバーヘッド)が小さい。具体的に、MRAMは、データの書き込みに要する電流が50μA〜500μAと言われているが、図6及び図8に示した構成を有する単位記憶回路200では、容量素子への電荷の供給によりデータの退避を行っているので、データの書き込みに要する電流をMRAMの1/100程度に抑えることができる。よって、図6及び図8に示した構成を有する単位記憶回路200では、オーバーヘッドと電源の遮断により削減される電力とが等しくなる電源の遮断時間、すなわち損益分岐時間(BET:Break Even Time)を、MRAMを用いる場合より短くすることができ、保護回路の消費電力を抑えることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態3)
図5に、パワーコントローラ108の構成を、ブロック図で一例として示す。パワーコントローラ108は、IF(インターフェース)300と、コントローラ301と、コントローラ302と、CLK_GEN(クロックジェネレータ)303と、バッファ304とを有する。
IF300は、図1に示す上位システム112やプロセッサ109からの信号の、フォーマットを変換する機能、ノイズを除去する機能などを有する。
CLK_GEN303は分周回路305を有しており、上位システム112から入力されたクロック信号CLKから、IF300、コントローラ301、コントローラ302、バッファ304などの、パワーコントローラ108内の各種回路で用いられるクロック信号を、生成する機能を有する。
コントローラ301は、IF300を介して上位システム112から入力されたリセット信号(RESET)、割り込み信号(INT)などの各種の信号から、プロセッサ109用のリセット信号(P_RESET)、割り込み信号(P_INT)などを生成する機能を有する。また、コントローラ301は、CLK_GEN303から入力されたクロック信号を用いて、プロセッサ109用のクロック信号(P_CLK)を生成する機能を有する。
コントローラ302は、IF300を介してプロセッサ109から入力された信号に従い、パワースイッチが有するスイッチの動作を制御する信号SigAを生成する機能を有する。或いは、コントローラ302が分周回路305により分周された周波数の低いクロック信号を用いて、上記信号SigAを生成する機能を有していても良い。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態4)
本実施の形態では、図8に示した単位記憶回路200の、断面構造の一例について説明する。図10に、pチャネル型のトランジスタ258及びnチャネル型のトランジスタ259と、容量素子256と、トランジスタ257の構成を、断面図で一例として示す。なお、本実施の形態では、トランジスタ258及びトランジスタ259が、非晶質、微結晶、多結晶又は単結晶である、シリコン又はゲルマニウムなどの半導体を活性層に用い、トランジスタ257が、酸化物半導体を活性層に用いる場合を例に挙げて、単位記憶回路200の断面構造について説明する。
なお、シリコンとしては、プラズマCVD法などの気相成長法若しくはスパッタリング法で作製された非晶質シリコン、非晶質シリコンをレーザーアニールなどの処理により結晶化させた多結晶シリコン、単結晶シリコンウェハに水素イオン等を注入して表層部を剥離した単結晶シリコンなどを用いることができる。
図10では、その表面に絶縁膜401が形成された基板400上に、トランジスタ259と、トランジスタ258とが設けられている。
トランジスタ259は、結晶性を有するシリコンを有する半導体膜403nと、半導体膜403n上のゲート絶縁膜404nと、ゲート絶縁膜404nを間に挟んで半導体膜403nと重なる位置に設けられたゲート電極405nと、半導体膜403nに接続された導電膜406及び導電膜407とを有する。そして、半導体膜403nは、チャネル形成領域として機能する第1の領域408と、ソース領域またはドレイン領域として機能する第2の領域409及び第2の領域410とを有する。第2の領域409及び第2の領域410は、第1の領域408を間に挟んでいる。なお、図10では、半導体膜403nが、第1の領域408と第2の領域409及び第2の領域410との間に、LDD(Lightly Doped Drain)領域として機能する第3の領域411及び第3の領域412を有している場合を例示している。
また、トランジスタ258は、結晶性を有するシリコンを有する半導体膜403pと、半導体膜403p上のゲート絶縁膜404pと、ゲート絶縁膜404pを間に挟んで半導体膜403pと重なる位置に設けられたゲート電極405pと、半導体膜403pに接続された導電膜407及び導電膜413とを有する。そして、半導体膜403pは、チャネル形成領域として機能する第1の領域414と、ソース領域またはドレイン領域として機能する第2の領域415及び第2の領域416とを有する。第2の領域415及び第2の領域416は、第1の領域414を間に挟んでいる。なお、図10では、半導体膜403pが、第1の領域414と第2の領域415及び第2の領域416との間に、LDD領域として機能する第3の領域417及び第3の領域418を有している場合を例示している。
なお、図10では、トランジスタ259と、トランジスタ258とが導電膜407を共有している。
また、トランジスタ259のゲート電極405nと、トランジスタ258のゲート絶縁膜404pとは、導電膜450に接続されている。
また、図10では、トランジスタ259と、トランジスタ258とが、薄膜の半導体膜を用いている場合を例示しているが、トランジスタ259と、トランジスタ258とが、バルクの半導体基板にチャネル形成領域を有するトランジスタであっても良い。薄膜の半導体膜としては、例えば、非晶質シリコンをレーザー結晶化させることで得られる多結晶シリコン、単結晶シリコンウェハに水素イオン等を注入して表層部を剥離した単結晶シリコンなどを用いることができる。
そして、図10では、導電膜406、導電膜407、及び導電膜413上に絶縁膜419が設けられている。そして、絶縁膜419上には、トランジスタ257が設けられている。
トランジスタ257は、絶縁膜419上に、酸化物半導体を含む半導体膜430と、半導体膜430上の、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電膜432及び導電膜433と、半導体膜430、導電膜432及び導電膜433上のゲート絶縁膜431と、導電膜432と導電膜433の間において、ゲート絶縁膜431を間に挟んで半導体膜430と重なっているゲート電極434と、を有する。
そして、導電膜433は、絶縁膜419に設けられた開口部を介して、導電膜450に接続されている。
また、ゲート絶縁膜431上において導電膜432と重なる位置に、導電膜435が設けられている。ゲート絶縁膜431を間に挟んで導電膜432及び導電膜435が重なっている部分が、容量素子256として機能する。
なお、図10では、容量素子256をトランジスタ257と共に絶縁膜419の上に設けている場合を例示しているが、容量素子256は、トランジスタ259及びトランジスタ258と共に、絶縁膜419の下に設けられていても良い。
また、図10において、トランジスタ257は、ゲート電極434を半導体膜430の片側において少なくとも有していれば良いが、半導体膜430を間に挟んで存在する一対のゲート電極を有していても良い。
トランジスタ257が、半導体膜430を間に挟んで存在する一対のゲート電極を有している場合、一方のゲート電極にはオンまたはオフを制御するための信号が与えられ、他方のゲート電極は、電気的に絶縁しているフローティングの状態であっても良いし、電位が他から与えられている状態であっても良い。後者の場合、一対の電極に、同じ高さの電位が与えられていても良いし、他方のゲート電極にのみ接地電位などの固定の電位が与えられていても良い。他方のゲート電極に与える電位の高さを制御することで、トランジスタの閾値電圧を制御することができる。
シリコン半導体よりもバンドギャップが広く、真性キャリア密度がシリコンよりも低い半導体材料の一例として、酸化物半導体の他に、窒化ガリウム(GaN)などの化合物半導体などがある。酸化物半導体は、窒化ガリウムと異なり、スパッタリング法や湿式法により電気的特性の優れたトランジスタを作製することが可能であり、量産性に優れるといった利点がある。また、窒化ガリウムとは異なり、酸化物半導体は室温でも成膜が可能なため、ガラス基板或いはシリコンを用いた集積回路上に電気的特性の優れたトランジスタを作製することが可能である。また、基板の大型化にも対応が可能である。よって、上述したワイドギャップ半導体の中でも、特に酸化物半導体は量産性が高いというメリットを有する。また、トランジスタの性能(例えば電界効果移動度)を向上させるために結晶性の酸化物半導体を得ようとする場合でも、250℃から800℃の熱処理によって容易に結晶性の酸化物半導体を得ることができる。
なお、電子供与体(ドナー)となる水分または水素などの不純物が低減され、なおかつ酸素欠損が低減されることにより高純度化された酸化物半導体(purified OS)は、i型(真性半導体)又はi型に限りなく近い。そのため、上記酸化物半導体を用いたトランジスタは、オフ電流が著しく小さいという特性を有する。また、酸化物半導体のバンドギャップは、2eV以上、好ましくは2.5eV以上、より好ましくは3eV以上である。水分または水素などの不純物濃度が十分に低減され、なおかつ酸素欠損が低減されることにより高純度化された酸化物半導体膜を用いることにより、トランジスタのオフ電流を小さくすることができる。
なお、特に断りがない限り、本明細書でオフ電流とは、nチャネル型トランジスタにおいては、ドレイン端子をソース端子とゲート電極よりも高い電位とした状態において、ソース端子の電位を基準としたときのゲート電極の電位が0以下であるときに、ソース端子とドレイン端子の間に流れる電流のことを意味する。或いは、本明細書でオフ電流とは、pチャネル型トランジスタにおいては、ドレイン端子をソース端子とゲート電極よりも低い電位とした状態において、ソース端子の電位を基準としたときのゲート電極の電位が0以上であるときに、ソース端子とドレイン端子の間に流れる電流のことを意味する。
具体的に、高純度化された酸化物半導体膜をチャネル形成領域に用いたトランジスタのオフ電流が低いことは、いろいろな実験により証明できる。例えば、チャネル幅が1×10μmでチャネル長が10μmの素子であっても、ソース電極とドレイン電極間の電圧(ドレイン電圧)が1Vから10Vの範囲において、オフ電流が、半導体パラメータアナライザの測定限界以下、すなわち1×10−13A以下という特性を得ることができる。この場合、トランジスタのチャネル幅で規格化したオフ電流は、100zA/μm以下であることが分かる。また、容量素子とトランジスタとを接続して、容量素子に流入または容量素子から流出する電荷を当該トランジスタで制御する回路を用いて、オフ電流の測定を行った。当該測定では、高純度化された酸化物半導体膜を上記トランジスタのチャネル形成領域に用い、容量素子の単位時間あたりの電荷量の推移から当該トランジスタのオフ電流を測定した。その結果、トランジスタのソース電極とドレイン電極間の電圧が3Vの場合に、数十yA/μmという、さらに低いオフ電流が得られることが分かった。従って、高純度化された酸化物半導体膜をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、オフ電流が、結晶性を有するシリコンを用いたトランジスタに比べて著しく低い。
酸化物半導体としては、少なくともインジウム(In)あるいは亜鉛(Zn)を含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気的特性のばらつきを減らすためのスタビライザーとして、それらに加えてガリウム(Ga)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてスズ(Sn)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてハフニウム(Hf)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてアルミニウム(Al)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてジルコニウム(Zr)を含むことが好ましい。
また、他のスタビライザーとして、ランタノイドである、ランタン(La)、セリウム(Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ルテチウム(Lu)のいずれか一種または複数種を含んでいてもよい。
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属の酸化物であるIn−Zn系酸化物、Sn−Zn系酸化物、Al−Zn系酸化物、Zn−Mg系酸化物、Sn−Mg系酸化物、In−Mg系酸化物、In−Ga系酸化物、三元系金属の酸化物であるIn−Ga−Zn系酸化物(IGZOとも表記する)、In−Al−Zn系酸化物、In−Sn−Zn系酸化物、Sn−Ga−Zn系酸化物、Al−Ga−Zn系酸化物、Sn−Al−Zn系酸化物、In−Hf−Zn系酸化物、In−La−Zn系酸化物、In−Pr−Zn系酸化物、In−Nd−Zn系酸化物、In−Sm−Zn系酸化物、In−Eu−Zn系酸化物、In−Gd−Zn系酸化物、In−Tb−Zn系酸化物、In−Dy−Zn系酸化物、In−Ho−Zn系酸化物、In−Er−Zn系酸化物、In−Tm−Zn系酸化物、In−Yb−Zn系酸化物、In−Lu−Zn系酸化物、四元系金属の酸化物であるIn−Sn−Ga−Zn系酸化物、In−Hf−Ga−Zn系酸化物、In−Al−Ga−Zn系酸化物、In−Sn−Al−Zn系酸化物、In−Sn−Hf−Zn系酸化物、In−Hf−Al−Zn系酸化物を用いることができる。
なお、例えば、In−Ga−Zn系酸化物とは、InとGaとZnを含む酸化物という意味であり、InとGaとZnの比率は問わない。また、InとGaとZn以外の金属元素を含んでいてもよい。In−Ga−Zn系酸化物は、無電界時の抵抗が十分に高くオフ電流を十分に小さくすることが可能であり、また、移動度も高い。
例えば、In:Ga:Zn=1:1:1(=1/3:1/3:1/3)あるいはIn:Ga:Zn=2:2:1(=2/5:2/5:1/5)の原子比のIn−Ga−Zn系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いることができる。あるいは、In:Sn:Zn=1:1:1(=1/3:1/3:1/3)、In:Sn:Zn=2:1:3(=1/3:1/6:1/2)あるいはIn:Sn:Zn=2:1:5(=1/4:1/8:5/8)の原子比のIn−Sn−Zn系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
例えば、In−Sn−Zn系酸化物では比較的容易に高い移動度が得られる。しかしながら、In−Ga−Zn系酸化物でも、バルク内欠陥密度を低減することにより移動度を上げることができる。
酸化物半導体膜は、例えば非単結晶を有してもよい。非単結晶は、例えば、CAAC(C Axis Aligned Crystal)、多結晶、微結晶、非晶質部を有する。非晶質部は微結晶、CAACよりも欠陥準位密度が高い。また、微結晶は、CAACよりも欠陥準位密度が高い。なお、CAACを有する酸化物半導体を、CAAC−OS(C Axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor)と呼ぶ。
酸化物半導体膜は、例えばCAAC−OSを有してもよい。CAAC−OSは、例えば、c軸配向し、a軸または/及びb軸はマクロに揃っていない。
酸化物半導体膜は、例えば微結晶を有してもよい。なお、微結晶を有する酸化物半導体を、微結晶酸化物半導体と呼ぶ。微結晶酸化物半導体膜は、例えば、1nm以上10nm未満のサイズの微結晶(ナノ結晶ともいう)を膜中に含む。または、微結晶酸化物半導体膜は、例えば、1nm以上10nm未満の結晶部を有する結晶−非晶質混相構造の酸化物半導体を有している。
酸化物半導体膜は、例えば非晶質を有してもよい。なお、非晶質部を有する酸化物半導体を、非晶質酸化物半導体と呼ぶ。非晶質酸化物半導体膜は、例えば、原子配列が無秩序であり、結晶成分を有さない。または、非晶質酸化物半導体膜は、例えば、完全な非晶質であり、結晶部を有さない。
なお、酸化物半導体膜が、CAAC−OS、微結晶酸化物半導体、非晶質酸化物半導体の混合膜であってもよい。混合膜は、例えば、非晶質酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物半導体の領域と、CAAC−OSの領域と、を有する。また、混合膜は、例えば、非晶質酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物半導体の領域と、CAAC−OSの領域と、の積層構造を有してもよい。
なお、酸化物半導体膜は、例えば、単結晶を有してもよい。
酸化物半導体膜は、複数の結晶部を有し、当該結晶部のc軸が被形成面の法線ベクトルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃っていることが好ましい。なお、異なる結晶部間で、それぞれa軸及びb軸の向きが異なっていてもよい。そのような酸化物半導体膜の一例としては、CAAC−OS膜がある。
CAAC−OS膜は、完全な非晶質ではない。CAAC−OS膜は、例えば、結晶部及び非晶質部を有する結晶−非晶質混相構造の酸化物半導体を有している。なお、当該結晶部は、一辺が100nm未満の立方体内に収まる大きさであることが多い。また、透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)による観察像では、CAAC−OS膜に含まれる非晶質部と結晶部との境界、結晶部と結晶部との境界は明確ではない。また、TEMによってCAAC−OS膜には明確な粒界(グレインバウンダリーともいう。)は確認できない。そのため、CAAC−OS膜は、粒界に起因する電子移動度の低下が抑制される。
CAAC−OS膜に含まれる結晶部は、例えば、c軸がCAAC−OS膜の被形成面の法線ベクトルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向になるように揃い、かつab面に垂直な方向から見て金属原子が三角形状または六角形状に配列し、c軸に垂直な方向から見て金属原子が層状または金属原子と酸素原子とが層状に配列している。なお、異なる結晶部間で、それぞれa軸及びb軸の向きが異なっていてもよい。本明細書において、単に垂直と記載する場合、80°以上100°以下、好ましくは85°以上95°以下の範囲も含まれることとする。また、単に平行と記載する場合、−10°以上10°以下、好ましくは−5°以上5°以下の範囲も含まれることとする。
なお、CAAC−OS膜において、結晶部の分布が一様でなくてもよい。例えば、CAAC−OS膜の形成過程において、酸化物半導体膜の表面側から結晶成長させる場合、被形成面の近傍に対し表面の近傍では結晶部の占める割合が高くなることがある。また、CAAC−OS膜へ不純物を添加することにより、当該不純物添加領域において結晶部が非晶質化することもある。
CAAC−OS膜に含まれる結晶部のc軸は、CAAC−OS膜の被形成面の法線ベクトルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向になるように揃うため、CAAC−OS膜の形状(被形成面の断面形状または表面の断面形状)によっては互いに異なる方向を向くことがある。また、結晶部は、成膜したとき、または成膜後に加熱処理などの結晶化処理を行ったときに形成される。従って、結晶部のc軸は、CAAC−OS膜が形成されたときの被形成面の法線ベクトルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向になるように揃う。
CAAC−OS膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射による電気的特性の変動が小さい。よって、当該トランジスタは、信頼性が高い。
CAAC−OS膜は、例えば、多結晶である金属酸化物ターゲットを用い、スパッタリング法によって成膜する。当該ターゲットにイオンが衝突すると、ターゲットに含まれる結晶領域がa−b面から劈開し、a−b面に平行な面を有する平板状またはペレット状のスパッタリング粒子として剥離することがある。この場合、当該平板状のスパッタリング粒子が、結晶状態を維持したまま基板に到達することで、CAAC−OS膜を成膜することができる。
また、CAAC−OS膜を成膜するために、以下の条件を適用することが好ましい。
成膜時の不純物混入を低減することで、不純物によって結晶状態が崩れることを抑制できる。例えば、処理室内に存在する不純物濃度(水素、水、二酸化炭素および窒素など)を低減すればよい。また、成膜ガス中の不純物濃度を低減すればよい。具体的には、露点が−80℃以下、好ましくは−100℃以下である成膜ガスを用いる。
また、成膜時の基板加熱温度を高めることで、基板到達後にスパッタリング粒子のマイグレーションが起こる。具体的には、基板加熱温度を100℃以上740℃以下、好ましくは200℃以上500℃以下として成膜する。成膜時の基板加熱温度を高めることで、平板状のスパッタリング粒子が基板に到達した場合、基板上でマイグレーションが起こり、スパッタリング粒子の平らな面が基板に付着する。
また、成膜ガス中の酸素割合を高め、電力を最適化することで成膜時のプラズマダメージを軽減すると好ましい。成膜ガス中の酸素割合は、30体積%以上、好ましくは100体積%とする。
ターゲットの一例として、In−Ga−Zn系酸化物ターゲットについて以下に示す。
InO粉末、GaO粉末およびZnO粉末を所定のmol数比で混合し、加圧処理後、1000℃以上1500℃以下の温度で加熱処理をすることで多結晶であるIn−Ga−Zn系酸化物ターゲットとする。なお、X、YおよびZは任意の正数である。ここで、所定のmol数比は、例えば、InO粉末、GaO粉末およびZnO粉末が、2:2:1、8:4:3、3:1:1、1:1:1、4:2:3または3:1:2である。なお、粉末の種類、およびその混合するmol数比は、作製するターゲットによって適宜変更すればよい。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態5)
本発明の一態様に係る保護回路、充電装置、または蓄電装置は、表示機器、パーソナルコンピュータ、記録媒体を備えた画像再生装置(代表的にはDVD:Digital Versatile Disc等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを有する装置)に用いることができる。その他に、本発明の一態様に係る保護回路、充電装置、または蓄電装置を用いることができる電子機器として、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯情報端末、電子書籍、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプレイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンター、プリンター複合機、現金自動預け入れ払い機(ATM)、自動販売機などが挙げられる。これら電子機器の具体例を図11に示す。
図11(A)は携帯型ゲーム機であり、筐体5001、筐体5002、表示部5003、表示部5004、マイクロホン5005、スピーカー5006、操作キー5007、スタイラス5008等を有する。なお、図11(A)に示した携帯型ゲーム機は、2つの表示部5003と表示部5004とを有しているが、携帯型ゲーム機が有する表示部の数は、これに限定されない。
図11(B)は携帯情報端末であり、第1筐体5601、第2筐体5602、第1表示部5603、第2表示部5604、接続部5605、操作キー5606等を有する。第1表示部5603は第1筐体5601に設けられており、第2表示部5604は第2筐体5602に設けられている。そして、第1筐体5601と第2筐体5602とは、接続部5605により接続されており、第1筐体5601と第2筐体5602の間の角度は、接続部5605により変更できる。第1表示部5603における映像を、接続部5605における第1筐体5601と第2筐体5602との間の角度に従って、切り替える構成としても良い。また、第1表示部5603及び第2表示部5604の少なくとも一方に、位置入力装置としての機能が付加された表示装置を用いるようにしても良い。なお、位置入力装置としての機能は、表示装置にタッチパネルを設けることで付加することができる。或いは、位置入力装置としての機能は、フォトセンサとも呼ばれる光電変換素子を表示装置の画素部に設けることでも、付加することができる。
図11(C)はノート型パーソナルコンピュータであり、筐体5401、表示部5402、キーボード5403、ポインティングデバイス5404等を有する。
図11(D)は電気冷凍冷蔵庫であり、筐体5301、冷蔵室用扉5302、冷凍室用扉5303等を有する。
図11(E)はビデオカメラであり、第1筐体5801、第2筐体5802、表示部5803、操作キー5804、レンズ5805、接続部5806等を有する。操作キー5804及びレンズ5805は第1筐体5801に設けられており、表示部5803は第2筐体5802に設けられている。そして、第1筐体5801と第2筐体5802とは、接続部5806により接続されており、第1筐体5801と第2筐体5802の間の角度は、接続部5806により変更できる。表示部5803における映像の切り替えを、接続部5806における第1筐体5801と第2筐体5802との間の角度に従って行う構成としても良い。
図11(F)は普通自動車であり、車体5101、車輪5102、ダッシュボード5103、ライト5104等を有する。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
100 保護回路
101 二次電池
101a 二次電池
101b 二次電池
101c 二次電池
102 蓄電装置
103 検出部
104 BMU
105 スイッチ回路
106 スイッチ制御部
107 パワースイッチ
107a スイッチ
107b スイッチ
107c スイッチ
107d スイッチ
107e スイッチ
107f スイッチ
108 パワーコントローラ
109 プロセッサ
110 記憶装置
111 緩衝記憶装置
112 上位システム
113 外部電源
114 電源回路
115 充電装置
116 電圧検出部
117 電流検出部
118 IF
119 ADC
120 ADC
121 スイッチ
122 スイッチ
123 ダイオード
124 ダイオード
125 配線
126 配線
130 スイッチ
200 単位記憶回路
201 記憶素子
202 記憶素子
203 スイッチ
204 スイッチ
205 スイッチ
206 論理素子
207 容量素子
208 容量素子
209 トランジスタ
210 トランジスタ
213 トランジスタ
214 トランジスタ
222 記憶回路群
251 記憶素子
252 記憶素子
253a 論理素子
253b 論理素子
254 トランジスタ
255 トランジスタ
256 容量素子
257 トランジスタ
258 トランジスタ
259 トランジスタ
260 pチャネル型トランジスタ
261 nチャネル型トランジスタ
300 IF
301 コントローラ
302 コントローラ
303 CLK_GEN
304 バッファ
305 分周回路
400 基板
401 絶縁膜
403n 半導体膜
403p 半導体膜
404n ゲート絶縁膜
404p ゲート絶縁膜
405n ゲート電極
405p ゲート電極
406 導電膜
407 導電膜
408 第1の領域
409 第2の領域
410 第2の領域
411 第3の領域
412 第3の領域
413 導電膜
414 第1の領域
415 第2の領域
416 第2の領域
417 第3の領域
418 第3の領域
419 絶縁膜
430 半導体膜
431 ゲート絶縁膜
432 導電膜
433 導電膜
434 ゲート電極
435 導電膜
450 導電膜
5001 筐体
5002 筐体
5003 表示部
5004 表示部
5005 マイクロホン
5006 スピーカー
5007 操作キー
5008 スタイラス
5101 車体
5102 車輪
5103 ダッシュボード
5104 ライト
5301 筐体
5302 冷蔵室用扉
5303 冷凍室用扉
5401 筐体
5402 表示部
5403 キーボード
5404 ポインティングデバイス
5601 筐体
5602 筐体
5603 表示部
5604 表示部
5605 接続部
5606 操作キー
5801 筐体
5802 筐体
5803 表示部
5804 操作キー
5805 レンズ
5806 接続部

Claims (6)

  1. 緩衝記憶装置及びプロセッサを有する電池管理ユニットであって、
    前記プロセッサは、二次電池の端子間の電圧の値に応じて前記二次電池の充電が要か不要かの判断を、前記緩衝記憶装置を用いた演算処理により行う機能を有し、
    前記電池管理ユニットは、パワースイッチにより前記二次電池からの電源電圧の供給が制御され、
    前記緩衝記憶装置は、第1の記憶素子と、第2の記憶素子と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、論理素子と、を有し、
    前記第1の記憶素子は、前記緩衝記憶装置への前記電源電圧の供給が行われている期間において、データを保持する機能を有し、
    前記第2の記憶素子は、前記緩衝記憶装置への前記電源電圧の供給が停止されている期間において、前記データを保持する機能を有し、
    前記第2の記憶素子は、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、容量素子と、を有し、
    前記第3のトランジスタのゲートには、前記第4のトランジスタを介して前記データに応じた電位が供給され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第1の配線に電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記論理素子の入力端子に電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記論理素子の入力端子に電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
    前記論理素子の出力端子は、前記第1の記憶素子に電気的に接続され、
    前記論理素子は、入力された電位の極性を反転させて出力する機能を有し、
    前記第のトランジスタは、酸化物半導体をチャネル形成領域に含み、
    前記第乃至第3のトランジスタは、シリコンをチャネル形成領域に含む電池管理ユニット。
  2. 検出部と、
    電池管理ユニットと、
    パワースイッチと、
    パワーコントローラと、を有する保護回路であって、
    前記検出部は、二次電池の端子間の電圧を間欠的に検出する機能を有し、
    前記電池管理ユニットは、緩衝記憶装置及びプロセッサを有し、
    前記プロセッサは、二次電池の端子間の電圧の値に応じて前記二次電池の充電が要か不要かの判断を、前記緩衝記憶装置を用いた演算処理により行う機能を有し、
    前記パワーコントローラは、前記パワースイッチの導通状態を制御することで、前記二次電池から前記電池管理ユニットへの電源電圧の供給を制御する機能を有し、
    前記緩衝記憶装置は、第1の記憶素子と、第2の記憶素子と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、論理素子と、を有し、
    前記第1の記憶素子は、前記緩衝記憶装置への前記電源電圧の供給が行われている期間において、データを保持する機能を有し、
    前記第2の記憶素子は、前記緩衝記憶装置への前記電源電圧の供給が停止されている期間において、前記データを保持する機能を有し、
    前記第2の記憶素子は、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、容量素子と、を有し、
    前記第3のトランジスタのゲートには、前記第4のトランジスタを介して前記データに応じた電位が供給され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第1の配線に電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記論理素子の入力端子に電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記論理素子の入力端子に電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
    前記論理素子の出力端子は、前記第1の記憶素子に電気的に接続され、
    前記論理素子は、入力された電位の極性を反転させて出力する機能を有し、
    前記第のトランジスタは、酸化物半導体をチャネル形成領域に含み、
    前記第乃至第3のトランジスタは、シリコンをチャネル形成領域に含む保護回路。
  3. 検出部と、
    電池管理ユニットと、
    パワースイッチと、
    パワーコントローラと、
    スイッチ回路と、
    スイッチ制御部と、
    を有する保護回路であって、
    前記検出部は、二次電池の端子間の電圧を間欠的に検出する機能を有し、
    前記電池管理ユニットは、緩衝記憶装置及びプロセッサを有し、
    前記プロセッサは、二次電池の端子間の電圧の値に応じて前記二次電池の充電が要か不要かの判断を、前記緩衝記憶装置を用いた演算処理により行う機能を有し、
    前記パワーコントローラは、前記パワースイッチの導通状態を制御することで、前記二次電池から前記電池管理ユニットへの電源電圧の供給を制御する機能を有し、
    前記スイッチ回路は、上位システムと前記二次電池との間の電気的な接続を制御する機能を有し、
    前記スイッチ制御部は、前記電池管理ユニットにおける前記判断に従い、前記スイッチ回路の導通状態を制御する機能を有し、
    前記上位システムは、前記二次電池に電力を供給する機能と、前記二次電池の電力を消費する機能を有し、
    前記緩衝記憶装置は、第1の記憶素子と、第2の記憶素子と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、論理素子と、を有し、
    前記第1の記憶素子は、前記緩衝記憶装置への前記電源電圧の供給が行われている期間において、データを保持する機能を有し、
    前記第2の記憶素子は、前記緩衝記憶装置への前記電源電圧の供給が停止されている期間において、前記データを保持する機能を有し、
    前記第2の記憶素子は、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、容量素子と、を有し、
    前記第3のトランジスタのゲートには、前記第4のトランジスタを介して前記データに応じた電位が供給され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第1の配線に電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記論理素子の入力端子に電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記論理素子の入力端子に電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
    前記論理素子の出力端子は、前記第1の記憶素子に電気的に接続され、
    前記論理素子は、入力された電位の極性を反転させて出力する機能を有し、
    前記第のトランジスタは、酸化物半導体をチャネル形成領域に含み、
    前記第乃至第3のトランジスタは、シリコンをチャネル形成領域に含む保護回路。
  4. 請求項2または請求項3において、
    前記パワースイッチは、第1のスイッチと、第2のスイッチと、を有し、
    前記パワーコントローラは、前記第1のスイッチの導通状態を制御することで、前記二次電池から前記緩衝記憶装置への前記電源電圧の供給を制御する機能を有し、
    前記パワーコントローラは、前記第2のスイッチの導通状態を制御することで、前記二次電池から前記プロセッサへの前記電源電圧の供給を制御する機能を有する保護回路。
  5. 請求項1に記載の電池管理ユニット及び二次電池を有する蓄電装置。
  6. 請求項2乃至請求項4のいずれか一に記載の保護回路及び二次電池を有する蓄電装置。
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