JP6166170B2 - 複合基板及びその製法 - Google Patents
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Description
(a)表裏両面が平坦な第1支持基板と表裏両面が平坦な圧電基板とを有機接着層で貼り合わせた貼り合わせ基板を用意し、前記貼り合わせ基板の前記圧電基板の厚みが0.1〜3μmとなるように研磨を行う工程と、
(b)キャビティを有する第2支持基板を用意し、前記第2支持基板のうち前記キャビティが設けられた面と前記圧電基板のうち前記第1支持基板の接合面とは反対側の面とを直接接合する工程と、
(c)前記有機接着層をエッチングして前記圧電基板から前記第1支持基板を外すことにより、前記圧電基板と前記第2支持基板とが接合された複合基板を得る工程と、
を含むものである。
キャビティを有する支持基板と、
前記キャビティを覆うようにして前記支持基板に直接接合され、厚みが0.1〜3μmで面内の厚み分布が±50nm以内の圧電基板と、
前記圧電基板のうち前記支持基板の前記キャビティ内に位置する表面に形成された電極と、
を備えたものである。
厚みが100〜1000μmの第1支持基板21と、厚みが100〜1000μmの圧電基板12とを有機接着層30で貼り合わせた貼り合わせ基板50を用意する。第1支持基板21及び圧電基板12の表裏両面は、いずれもキャビティなどのない平坦な面である。第1支持基板21の材質は、支持基板22で例示したものと同じである。なお、第1支持基板21と支持基板22とは同じ材質であってもよいし、異なる材質であってもよい。有機接着層30は、例えばエポキシ樹脂やアクリル樹脂などが挙げられる。この貼り合わせ基板50の圧電基板12の厚みが0.1〜3μmとなるように研磨を行う。貼り合わせ基板50を構成する第1支持基板21及び圧電基板12はいずれもキャビティなどのない平坦な表面をもつ基板であるため、研磨後の圧電基板12の面内厚み分布は非常に小さくなる(例えば±50nm以内)。研磨の一例としては、ラップ研磨機を用いてダイヤモンドスラリーによる表面を研磨し、続いて、コロイダルシリカを用いてCMP研磨機により精密研磨を行う。
圧電基板12のうち第1支持基板21と接合している側とは反対側の面に電極14を形成する。電極14は、フォトリソグラフィー技術によって形成することができる。続いて、厚みが100〜500μmでキャビティ24を有する第2支持基板22を用意する。この第2支持基板22のキャビティ24内に電極14が包含されるように第2支持基板22と圧電基板12とを配置する。そして、第2支持基板22のうちキャビティ24が設けられた面と圧電基板12のうち第1支持基板21の接合面とは反対側の面とを直接接合する。直接接合は、圧電基板12と第2支持基板22のそれぞれの接合面を活性化した後、両接合面を向かい合わせにした状態で両基板12,22を押圧することにより行う。接合面の活性化は、例えば、接合面への不活性ガス(アルゴンなど)のイオンビームの照射のほか、プラズマや中性原子ビームの照射などが挙げられる。これにより、圧電基板12を第1支持基板21と第2支持基板22とで挟み込んだ3層構造体60を得る。
3層構造体60の有機接着層30をエッチャントを用いてエッチングして、圧電基板12から第1支持基板21を外すことにより、圧電基板21と第2支持基板22とが接合された複合基板10を得る。エッチャントとしては、有機接着層30を溶解可能なものであれば特に限定するものではなく、例えば、酸性液でもよいし、アルカリ性液でもよい。酸性液としては、フッ硝酸、フッ酸、硝酸、硫酸、塩酸、これらの混合液などが挙げられる。これらは、必要に応じて、適宜水で希釈してもよい。また、アルカリ性溶液としては、KOH水溶液、NaOH水溶液などが挙げられる。またそのままの状態でのエッチングで時間がかかる場合には、第1支持基板側からハーフダイシングを行い、有機接着層30まで切り込みを入れた後でエッチングしてもよい。こうすれば、エッチングが容易に進む。あるいは接着剤の接合界面にブレードを入れて機械的に剥離することも可能である。
第1支持基板として、厚みが500μmのSi(111)基板を用意し、圧電基板として、厚みが230μmのLiNbO3基板(LN基板)を用意した。Si基板にアクリル系の接着剤を用いてLN基板を貼り合わせ、貼り合わせ基板とした。定盤とセラミックス製の基板キャリアとを備えた研磨装置(図3参照)を用意し、貼り合わせ基板のSi基板側を基板キャリアにワックスを用いて固定し、LN基板の厚みが1.0μmになるまでCMPで片面研磨を行った。研磨後のLN基板の面内厚み分布を測定したところ、面内で±50nmの高精度薄膜が実現できていることが分かった。基板キャリアから貼り合わせ基板を剥離し、有機溶剤、純水を用いて十分な洗浄を行った。
Claims (5)
- (a)表裏両面が平坦な第1支持基板と表裏両面が平坦な圧電基板とを有機接着層で貼り合わせた貼り合わせ基板を用意し、前記貼り合わせ基板の前記圧電基板の厚みが0.1〜3μmとなるように研磨を行う工程と、
(b)キャビティを有する第2支持基板を用意し、前記第2支持基板のうち前記キャビティが設けられた面と前記圧電基板のうち前記第1支持基板の接合面とは反対側の面とを直接接合する工程と、
(c)前記有機接着層をエッチングして前記圧電基板から前記第1支持基板を外すことにより、前記圧電基板と前記第2支持基板とが接合された複合基板を得る工程と、
を含む複合基板の製法。 - 前記工程(b)では、前記第2支持基板と前記圧電基板とを接合する前に、前記圧電基板上に電極を形成し、前記第2支持基板の前記キャビティ内に前記電極が包含されるように前記第2支持基板と前記圧電基板とを直接接合する、
請求項1に記載の複合基板の製法。 - 前記第2支持基板は、前記キャビティを複数有しており、
前記圧電基板の前記電極は、前記キャビティのそれぞれに対応して形成されている、
請求項2に記載の複合基板の製法。 - 前記工程(c)では、前記有機接着層をエッチングする前に前記第1支持基板側からハーフダイシングを行い、前記有機接着層まで切り込みを入れる、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の複合基板の製法。 - キャビティを有する支持基板と、
前記キャビティを覆うようにして前記支持基板に直接接合され、厚みが0.1〜3μmで面内の厚み分布が±50nm以内の圧電基板と、
前記圧電基板の前記支持基板に対向する表面に形成された電極と、
を備えた複合基板。
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