JP6166131B2 - 基板位置決め装置 - Google Patents
基板位置決め装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6166131B2 JP6166131B2 JP2013178507A JP2013178507A JP6166131B2 JP 6166131 B2 JP6166131 B2 JP 6166131B2 JP 2013178507 A JP2013178507 A JP 2013178507A JP 2013178507 A JP2013178507 A JP 2013178507A JP 6166131 B2 JP6166131 B2 JP 6166131B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- spring
- spring member
- mounting table
- driving means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
(1)駆動部、即ち、シリンダ125、135のロッドが伸びることで基板位置決め用の爪151、151;161、161が開く。
(2)載置台110の載置領域Fに基板100が置かれる。
(3)シリンダ125、135のロッドが縮むことで基板位置決め用の爪151、151;161、161が閉じる。
(4)両方のシリンダ125、135を閉じることで基板100が、載置領域Fの規定位置Prに位置決めされる。
構成とされる。
基板が載置される基板ステージと、
前記基板ステージの中央部にて前記基板ステージに対し相対的に上下方向に移動自在に嵌合し、前記基板ステージに載置された前記基板を担持するための基板担持部材と、
前記基板ステージに載置された前記基板を挟み込むようにして前記基板の外周囲に配置された複数個の上下方向に延在したバネ部材と、
前記バネ部材の上方自由端が互いの方へと接近した閉鎖位置と、上方自由端が互いに離間した開放位置との間で前記バネ部材を移動させるバネ部材駆動手段と、
を備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記基板担持部材上の上記基板が前記バネ部材の上方自由端の方へと移動するように、前記基板担持部材と前記バネ部材とを相対的に移動させ、それによって、前記基板担持部材上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする、
ことを特徴とする基板位置決め装置が提供される。
前記複数個のバネ部材を外周囲に取付け、前記バネ部材駆動手段を備えたバネ支持台と、
前記バネ支持台より上方に所定距離だけ離間して前記バネ支持台と一体的に設け、上面に前記基板ステージを備えた載置台と、
前記基板担持部材を上下動するための基板担持部材駆動手段と、
と備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記基板担持部材駆動手段により前記基板担持部材を前記バネ部材に対して上昇させ、前記基板担持部材上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする。
前記複数個のバネ部材を外周囲に取付け、前記バネ部材駆動手段を備えたバネ支持台と、
前記バネ支持台より上方に所定距離だけ離間して前記バネ支持台と一体的に設け、上面に前記基板ステージを備えた載置台と、
前記載置台を上下動するための載置台駆動手段と、
と備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記載置台駆動手段により前記載置台及び前記バネ支持台を前記基板担持部材に対して下降させ、前記基板担持部材上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする。
基板が載置される基板ステージと、
前記基板ステージに載置された前記基板を挟み込むようにして前記基板の外周囲に配置された複数個の上下方向に延在したバネ部材と、
前記バネ部材の上方自由端が互いの方へと接近した閉鎖位置と、上方自由端が互いに離間した開放位置との間で前記バネ部材を移動させるバネ部材駆動手段と、
を備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記基板ステージ上の上記基板が前記バネ部材の上方自由端の方へと移動するように、前記基板ステージと前記バネ部材とを相対的に移動させ、それによって、前記基板ステージ上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする、
ことを特徴とする基板位置決め装置が提供される。
前記複数個のバネ部材を外周囲に取付け、前記バネ部材駆動手段を備えたバネ支持台と、
前記バネ支持台より上方に所定距離だけ離間して配置され、上面に前記基板ステージを備えた載置台と、
前記バネ支持台を上下動するためのバネ支持台駆動手段と、
と備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記バネ支持台駆動手段により前記バネ支持台を前記載置台及び前記基板ステージに対して下降させ、前記基板ステージ上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする。
(装置の全体構成)
図1(a)、(b)に、本発明に係る基板位置決め装置10の一実施例の概略構成を示す。本実施例にて、基板位置決め装置10は、図9を参照して上述した基板検査装置1における基板搬送装置2に設置された基板位置決め装置であるとして説明するが、これに限定されるものではない。本発明の基板位置決め装置10は、回路基板の製造ラインにて、製造途中の回路基板の受け渡し時の基板の位置決め装置などとしても利用し得る。
次に、上述した本発明の基板位置決め装置10の構成を模式的に上面図及び断面図にて示す図4(a)、(b)、(c)を参照して、回路基板100の位置決めを行う際の本発明に従って構成される基板位置決め装置10の動作態様について説明する。
(1)シリンダ22のロッド23を伸長し、複数個(本実施例では4個)のバネ部材17を互いに離れる方向に広げる。
(2)基板100を基板ステージ16に載置する。
(3)シリンダ22のロッド23をシリンダ内へと後退させ、4個のバネ部材17を互いの方へと近接するように狭める。
(4)シリンダ20を上昇させ、4個のバネ部材の弾性力で基板100を基板ステージ16の中央規定位置に位置決めする。
図5及び図6に、本発明に係る基板位置決め装置10の第二の実施例を示す。実施例1で説明した基板位置決め装置10は、基板担持部材駆動シリンダ20を駆動して基板担持部材25を上昇させることによって、基板担持部材25上に載置された基板100の位置ずれを矯正し、規定位置に配置するように構成された。
図7及び図8に、本発明に係る基板位置決め装置10の第三の実施例を示す。実施例1で説明した基板位置決め装置10は、基板担持部材駆動シリンダ20を駆動して基板担持部材25を上昇させることによって、基板担持部材25上に載置された基板100の位置ずれを矯正し、規定位置に配置するように構成された。
12 下方固定部材
13 バネ支持台
14 上方固定部材
15 載置台
16 基板ステージ
17 バネ部材
20 シリンダ(基板担持部材駆動手段)
22 シリンダ(バネ部材駆動手段)
25 基板担持部材
30 シリンダ(載置台駆動手段)
41 シリンダ(バネ支持台駆動手段)
Claims (7)
- 基板が載置される基板ステージと、
前記基板ステージの中央部にて前記基板ステージに対し相対的に上下方向に移動自在に嵌合し、前記基板ステージに載置された前記基板を担持するための基板担持部材と、
前記基板ステージに載置された前記基板を挟み込むようにして前記基板の外周囲に配置された複数個の上下方向に延在したバネ部材と、
前記バネ部材の上方自由端が互いの方へと接近した閉鎖位置と、上方自由端が互いに離間した開放位置との間で前記バネ部材を移動させるバネ部材駆動手段と、
を備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記基板担持部材上の上記基板が前記バネ部材の上方自由端の方へと移動するように、前記基板担持部材と前記バネ部材とを相対的に移動させ、それによって、前記基板担持部材上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする、
ことを特徴とする基板位置決め装置。 - 前記複数個のバネ部材を外周囲に取付け、前記バネ部材駆動手段を備えたバネ支持台と、
前記バネ支持台より上方に所定距離だけ離間して前記バネ支持台と一体的に設け、上面に前記基板ステージを備えた載置台と、
前記基板担持部材を上下動するための基板担持部材駆動手段と、
と備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記基板担持部材駆動手段により前記基板担持部材を前記バネ部材に対して上昇させ、前記基板担持部材上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板位置決め装置。 - 前記複数個のバネ部材を外周囲に取付け、前記バネ部材駆動手段を備えたバネ支持台と、
前記バネ支持台より上方に所定距離だけ離間して前記バネ支持台と一体的に設け、上面に前記基板ステージを備えた載置台と、
前記載置台を上下動するための載置台駆動手段と、
と備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記載置台駆動手段により前記載置台及び前記バネ支持台を前記基板担持部材に対して下降させ、前記基板担持部材上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板位置決め装置。 - 前記バネ支持台は矩形状とされ、
前記各バネ部材は、下方一端が前記バネ支持台に固定され、上方自由端は、前記載置台に形成したスロットを介して、互いに接近するように上方へと湾曲して延在している、
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の基板位置決め装置。 - 基板が載置される基板ステージと、
前記基板ステージに載置された前記基板を挟み込むようにして前記基板の外周囲に配置された複数個の上下方向に延在したバネ部材と、
前記バネ部材の上方自由端が互いの方へと接近した閉鎖位置と、上方自由端が互いに離間した開放位置との間で前記バネ部材を移動させるバネ部材駆動手段と、
を備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記基板ステージ上の上記基板が前記バネ部材の上方自由端の方へと移動するように、前記基板ステージと前記バネ部材とを相対的に移動させ、それによって、前記基板ステージ上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする、
ことを特徴とする基板位置決め装置。 - 前記複数個のバネ部材を外周囲に取付け、前記バネ部材駆動手段を備えたバネ支持台と、
前記バネ支持台より上方に所定距離だけ離間して配置され、上面に前記基板ステージを備えた載置台と、
前記バネ支持台を上下動するためのバネ支持台駆動手段と、
と備え、
前記バネ部材を前記閉鎖位置に移動させた後、前記バネ支持台駆動手段により前記バネ支持台を前記載置台及び前記基板ステージに対して下降させ、前記基板ステージ上の前記基板を前記バネ部材の弾性力で規定位置へと移動矯正して位置決めする、
ことを特徴とする請求項5に記載の基板位置決め装置。 - 前記バネ支持台は矩形状とされ、
前記各バネ部材は、下方一端が前記バネ支持台に固定され、上方自由端は、前記載置台及び前記基板ステージに形成したスロットを介して、互いに接近するように上方へと湾曲して延在している、
ことを特徴とする請求項6に記載の基板位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013178507A JP6166131B2 (ja) | 2013-08-29 | 2013-08-29 | 基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013178507A JP6166131B2 (ja) | 2013-08-29 | 2013-08-29 | 基板位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015050200A JP2015050200A (ja) | 2015-03-16 |
JP6166131B2 true JP6166131B2 (ja) | 2017-07-19 |
Family
ID=52700013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013178507A Expired - Fee Related JP6166131B2 (ja) | 2013-08-29 | 2013-08-29 | 基板位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6166131B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4860439A (en) * | 1988-10-25 | 1989-08-29 | Riley Bryan R | Universal alignment fixture |
JPH0748598B2 (ja) * | 1990-05-14 | 1995-05-24 | 株式会社村田製作所 | 電子部品用センタリングチャック機構 |
JPH0485999A (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-18 | Toshiba Corp | 板状部品の位置決め装置 |
JP2784285B2 (ja) * | 1991-09-30 | 1998-08-06 | アンリツ株式会社 | 電子部品位置出し機構 |
-
2013
- 2013-08-29 JP JP2013178507A patent/JP6166131B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015050200A (ja) | 2015-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104028944B (zh) | 整形装置及其定位机构 | |
EP2290375B1 (en) | Carrier for aligning electronic components with slidably arranged plates | |
KR101791787B1 (ko) | 이젝터 핀 조립체 및 이를 포함하는 다이 이젝팅 장치 | |
CN101996913B (zh) | 用于电子元器件的后处理的*** | |
US20190124804A1 (en) | Positioning Device | |
JP6516664B2 (ja) | 基板保持装置、塗布装置、基板保持方法 | |
CN104078404A (zh) | 电子部件的制造装置及其制造方法 | |
CN104708547A (zh) | 一种平面自由移动装配平台 | |
KR200472760Y1 (ko) | 트레이 지지장치 | |
JP4554578B2 (ja) | 基板搬送装置及びそれを備えた印刷はんだ検査装置 | |
JP4858657B1 (ja) | 基板検査装置、及び基板検査方法 | |
JP6166131B2 (ja) | 基板位置決め装置 | |
TW201543044A (zh) | 定位裝置以及處理裝置 | |
JP6718693B2 (ja) | バックアップ用治具を備える装置 | |
KR101198754B1 (ko) | 트레이 이송 장치 및 이에 채용되는 사이드 푸시 장치 | |
JP6901066B2 (ja) | フレキシブルプリント配線板の製造方法及びフレキシブルプリント配線板の製造装置 | |
JP6412357B2 (ja) | ノズル交換装置 | |
KR101830009B1 (ko) | 전사 장치 및 전사 방법 | |
CN106312426B (zh) | 用于焊接操作中对探测器管帽和载体板进行定位的装置 | |
JP2010266344A (ja) | 半導体装置試験装置用搬送キャリア冶具 | |
KR100705658B1 (ko) | 메모리 모듈 핸들러의 간격 조절장치 | |
JP2014195097A (ja) | 磁界プローバ | |
US9723720B2 (en) | Device for producing and/or processing a workpiece | |
JP2020085460A (ja) | 基板検査装置、及び基板の位置決め方法 | |
JP6132507B2 (ja) | 基板支持装置および基板検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160722 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6166131 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |